JP5369390B2 - ブリッジレスのエッチング製品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ブリッジレスのエッチング製品の製造方法に関する。

従来、金属エッチング製品を製造するにあたり、製造効率を向上し、生産コストを低減するために、枚葉、或いは、長尺状の金属シートに、複数の金属エッチング製品を多面付けして製造されている。そのため、通常、金属エッチング製品は、個別の単体製品が製造中に、金属シートから脱落しないよう、しかもバラバラにならないよう、個別の各単体製品に、ブリッジ（タブ）をつけて相互に、或いは、金属シートに、連結一体化して、金属シート内に配置している。しかし、単体製品に切り離す際、ブリッジ部分が直線に切断されなかったり、バリが生じたりする。また、切り離し時に、製品が変形することもある。そこで、ブリッジの無い製品を作製するために、ブリッジのないブリッジレスのパターンを形成したパターン露光用フォトマスクを用いて、整面、レジストコートした金属シートに、露光、現像を行った後に、金属シートの片面に粘着テープを貼り、片面エッチングを行い、レジストを剥離、水洗、乾燥した後、部品単体を一個づつ粘着テープから剥がして製品にしている。或いは、もう一つの方法として、金属シートの片面に粘着テープを貼り、金属シートの他方の面をハーフエッチングし、水洗、乾燥後、レジストが付いた状態で、エッチング面に粘着テープを貼り、既に貼ってあるテープを剥がし再度反対側からエッチングし、レジストを剥離することも行われている。
このように、レジストが付いた状態でテープに貼られた個別の製品単体を一個づつテープから剥がし、これを籠、バットのような容器に入れて、剥離液を入れて、レジストを剥離、水洗し、乾燥している（特許文献１）。
特開２００３−２５３４７６号公報 しかし、このように、ブリッジレスの製品単体を粘着テープから剥がす際、金属箔のような薄い金属板では、粘着テープを剥がす際に加わる外力により、製品が変形したり、曲がったりしてしまう。そして、レジストの剥離・洗浄・乾燥に手間と時間がかかる。さらに、バラバラの製品単体が槽や籠等の中でお互いにくっついて最終製品にしみを生じたり、製品同士がくっついた状態で仕上がってしまい、歩留まりが低下する。さらには、製品単体が一個一個バラバラなので、製品の表裏の外観検査に非常に手間がかかる等の不都合があった。

本発明の目的は、製造の作業性と検査の作業性が向上した切り離し時の変形がないブリッジレスのエッチング製品の製造方法を提供することにある。この際、テープに貼った状態で客先に提供できるものとする。しかも、必要に応じ、任意に単体製品を配置できるものとする。

このような目的は、板厚が０．３ｍｍ以下金属板の脱脂および整面を行う工程と、前記金属板の一方の面に、長尺のシート状またはロール状のＵＶ粘着消失テープを貼り付ける工程と、前記金属板の他方の面に、フォトレジストをコートする工程と、前記他方の面に露光、現像、エッチング、フォトレジストの剥離を行って、前記ＵＶ粘着消失テープで保持されたブリッジレスのエッチング製品を得る工程と、必要に応じ外観検査を行う工程と、ＵＶ光を照射し、個々のブリッジレスのエッチング製品を前記ＵＶ粘着消失テープから剥離し、個々のブリッジレスのエッチング製品を得る工程とを含むことを特徴とするブリッジレスのエッチング製品の製造方法によって達成される。
また、金属板の板厚が０．３ｍｍより大の金属板の脱脂および整面を行う工程と、前記金属板の両方の面に、フォトレジストをコートする工程と、前記金属板の両方の面に、露光して、現像を行う工程と、現像後の金属板の一方の面に、長尺のシート状またはロール状の第１のＵＶ粘着消失テープを貼り付ける工程と、現像後の金属板の他方の面をエッチングして、エッチング面のフォトレジストを剥離した後に、ＵＶ照射を行い、前記第１のＵＶ粘着消失テープを剥膜する工程と、前記他方の面に長尺のシート状またはロール状の第２のＵＶ粘着消失テープを貼り付けて、前記一方の面にエッチングを行なった後に、フォトレジストを剥膜し、前記第２のＵＶ粘着消失テープで保持されたブリッジレスのエッチング製品を得る工程と、必要に応じ外観検査を行う工程と、ＵＶ光を照射し、個々のブリッジレスのエッチング製品を前記第２のＵＶ粘着消失テープから剥離し、個々のブリッジレスのエッチング製品を得る工程とを含むことを特徴とするブリッジレスのエッチング製品の製造方法によって達成される。

本発明によれば、金属板にＵＶ粘着消失テープを貼り付けた状態で、レジストコート・露光・現像・エッチング剥離ができるので、金属箔を用いた場合でも変形をおこすことなく製造が可能である。しかも、ＵＶ粘着消失テープのエッチング工程でのエッチングおよび剥膜・洗浄・乾燥が、長尺のシートやロールで製造できるので、製造の作業性および製造効率が格段と向上する。さらに、ＵＶ光を照射するだけで粘着テープの粘着力が弱くなるか、或いは、消失し無くなって、容易にテープを剥離すことができるので、従来必要とされていた力を加えての粘着テープからの製品の剥がしが不要となり、ＵＶ消失粘着テープの剥離の際の製品の変形も皆無となる。さらに、ＵＶ粘着消失テープに貼り付けた状態で客先に提供できるので、客先でＵＶ照射を行い製品単体を自由に、個片にすることができる。そして、渦巻き型等の種々の形状の製品単体や金属箔ヒーター等の各種用途の製品単体の製造が可能となる。これら、ブリッジという余分な部分が無い分、空間的に余裕ができ、部品配置の自由度が増し、配置される部品・製品のピッチ等を自由に合わせられるのである。また、金属板への製品の画付け数を増やせるので、製品単価を下げられるという効果も発現する。

本発明においては、ＵＶ粘着消失テープを用いる。用いるＵＶ粘着消失テープは、通常は、粘着力を有するが、UV光(紫外線光)照射により、粘着力が低下する接着剤を基材上に塗布したものである。例えば、公知のＵＶ硬化型のアクリル樹脂系、エポキシ樹脂系、スチレン−ブタジエン系、ＳＢＳ又はＳＩＳ系、イソプレン系、クロロプレン系、或いは、アクリルブタジエン系等のエラストマー重合体や各種ゴム等の感圧性接着剤を用いることができる。特に、アクリル樹脂系の感圧性の接着剤を用いることが好ましい。この接着剤が粘着力を有する時の初期剥離力は、０．０５~３０Ｎ／ｍｍであることが好ましい。そして、ＵＶ照射後には、剥離力が０．０５Ｎ／ｍｍ未満になることが好ましい。粘着消失テープの接着剤の厚さは、０．５〜２０μｍであることが好ましい。
本発明では、このようなＵＶ粘着消失テープを金属板に貼り付ける。そして、貼り付け体に、公知のフォトエッチング法に従い、金属板表面にフォトレジストコートを行う。その後、公知のフォトエッチング法に従い、露光・現像・エッチング・剥離を施して、エッチング処理が行われて、ブリッジレスのエッチング製品が完成する。このようなエッチング処理によって作成されるエッチング製品は、複数の製品単体を相互に離間して、ブリッジレスの状態で配置されている。この場合、ブリッジレスの製品は、長尺のシート状、或いは、ロール状で、客先に提供されるものである。なお、特開２００６−１１４７７９号公報には、ＵＶ粘着消失テープを金属板に貼り付けてエッチング処理を施す旨が開示されているが、しかし、この公報には、複数の製品単体を配置することも、それらを離間して、ブリッジレスの状態で配置することも、その後、何ら、処理を行わないでシート状、或いは、ロール状で、客先に、製品として提供すること等も、開示も示唆もされていない。このため、本発明による優れた効果についても示唆さへされていない。
そして、この次ぎに、このブリッジレスのエッチング製品は、必要に応じ、外観検査を行う。この外観検査は、出荷元が行う場合と客先で行う場合との双方がある。そして、客先では、ＵＶ光を全面照射すればよい。このＵＶ光照射により、容易に一個づつの個別の製品単体を得ることができる。

図１には、本発明の第１の実施例が示される。図１に示される例は、金属板の板厚が０．３ｍｍ以下と薄い場合の例である。この場合は、図１（ａ）に示されるように、金属板１の脱脂および整面を行う。次いで、図１（ｂ）に示されるように、この金属板１の一方の面に、ＵＶ粘着消失テープ２を貼り付ける。その後、図１（ｃ）に示されるように、金属板の表面にフォトレジスト３をコートする。次に、図１（d）に示されるように、フォトマスク４を配置する。そして、図１（ｅ）に示されるように、露光を行い、さらに、図１（ｆ）に示されるように、現像を行い、図１（ｇ）に示されるように、エッチングが完了して、エッチング製品が完成する。その後、図１（ｈ）に示されるように、必要に応じ外観検査を行い、UV光を照射して、テープを剥膜すればよい。
図２には、本発明の第２の実施例が示される。図２に示される例は、金属板の板厚が０．３ｍｍより大であって、板厚が厚い場合の例である。金属板の板厚が薄い場合は、一方の面からのエッチングで、金属板に貫通パターンを形成できる。しかし、金属板が厚くなると、一方の面側からのエッチングだけでは、精度の良い貫通パターンが得られなくなる。第2の実施例では、金属板が厚い場合でも精度の良いパターンが得られるのである。この場合も、図２（ａ）に示されるように、金属板１の脱脂および整面を行う。この場合は、次いで、図２（ｂ）に示されるように、この金属板１の両方の面に、フォトレジスト３，３をコートする。次に、図２（ｃ）、（d）に示されるように、露光して、図２（ｅ）に示されるように、現像を行う。その後、図２（ｆ）に示されるように、現像後の一方の面に、ＵＶ粘着消失テープ２を貼り付ける。その後、図２（ｇ）に示されるように、片面をエッチングして、その後に、図２（ｈ）に示されるように、エッチング面を剥離した後に、UV照射を行い、ＵＶ粘着消失テープを剥膜して、さらに、図２（ｉ）に示されるように、再び、ＵＶ粘着消失テープ２を逆側の面に貼り付けて、図２（ｊ）に示されるように、エッチングを行なった後に、レジストを剥膜すれば、エッチング製品が得られる。その後、前記と同様に、必要に応じて図２（ｋ）に示されるように、UV照射して、テープの剥膜を行えばよい。
図３には、本発明の適用例が示される。本発明は、図３（ａ）に示されるような矩形や図３（ｂ）に示されるようなリング状や、図３（ｅ）に示されるような渦巻き状や図３（d）に示されるようなスパイラル状等種々の形状の単体製品に適用可能である。しかも、ＵＶ粘着消失テープへのエッチングは、シート状、ロール状等の長尺シートに行うことができるので、製造上有利である。

発明の実施例

実施例１
金属板として、厚さ０．０５ｍｍのステンレス箔を用意した。このステンレス箔に、上述した図1に示される工程に従い、日立化成工業株式会社製の品番HAE-1606のＵＶ粘着消失テープを貼付けて、これに、フォトレジストコート・露光・現像を行い、間隔０．５ｍｍで、０．５ｍｍ幅の形状のストライプをエッチングした。その後、テープを剥膜した。その結果、良好なエッチング製品が完成していた。
このような結果は、図２に示される板厚０．３mm超の場合も同様に実現した。

産業上の利用分野

製造の作業性と検査の作業性が向上したブリッジレスのエッチング製品を製造するに際し、その作業性と検査の作業性が向上する。この際、テープに貼った状態で客先に提供でき、しかも、必要に応じ、任意に単体製品を配置できる。

本発明の第１の実施例を説明するための図である。 本発明の第２の実施例を説明するための図である。 本発明の適用例を説明するための図である。

符号の説明

１金属板
２UV粘着消失テープ

Claims (2)

1. 板厚が０．３ｍｍ以下金属板の脱脂および整面を行う工程と、
   前記金属板の一方の面に、長尺のシート状またはロール状のＵＶ粘着消失テープを貼り付ける工程と、
   前記金属板の他方の面に、フォトレジストをコートする工程と、
   前記他方の面に露光、現像、エッチング、フォトレジストの剥離を行って、前記ＵＶ粘着消失テープで保持されたブリッジレスのエッチング製品を得る工程と、
   必要に応じ外観検査を行う工程と、
   ＵＶ光を照射し、個々のブリッジレスのエッチング製品を前記ＵＶ粘着消失テープから剥離し、個々のブリッジレスのエッチング製品を得る工程とを含むことを特徴とするブリッジレスのエッチング製品の製造方法。
2. 金属板の板厚が０．３ｍｍより大の金属板の脱脂および整面を行う工程と、
   前記金属板の両方の面に、フォトレジストをコートする工程と、
   前記金属板の両方の面に、露光して、現像を行う工程と、
   現像後の金属板の一方の面に、長尺のシート状またはロール状の第１のＵＶ粘着消失テープを貼り付ける工程と、
   現像後の金属板の他方の面をエッチングして、エッチング面のフォトレジストを剥離した後に、ＵＶ照射を行い、前記第１のＵＶ粘着消失テープを剥膜する工程と、
   前記他方の面に長尺のシート状またはロール状の第２のＵＶ粘着消失テープを貼り付けて、前記一方の面にエッチングを行なった後に、フォトレジストを剥膜し、前記第２のＵＶ粘着消失テープで保持されたブリッジレスのエッチング製品を得る工程と、
   必要に応じ外観検査を行う工程と、
   ＵＶ光を照射し、個々のブリッジレスのエッチング製品を前記第２のＵＶ粘着消失テープから剥離し、個々のブリッジレスのエッチング製品を得る工程とを含むことを特徴とするブリッジレスのエッチング製品の製造方法。