JP2008270726A - 結晶化装置、結晶化方法、デバイス、および光変調素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の結晶化装置は、光変調素子(1)を介した光に基づいて所定の光強度分布を所定面に形成する結像光学系(3)と、所定面に非単結晶半導体膜(4)を保持するステージ(5)とを備え、所定の光強度分布を有する光を非単結晶半導体膜に照射して結晶化半導体膜を生成する。非単結晶半導体膜の溶融温度に対応する光強度の等強度線の少なくとも一部の曲率半径が0.3μm以下であるような光強度分布を非単結晶半導体膜上に形成する。
【選択図】 図1
Description
前記照射面での、光強度分布で、少なくとも1本の光強度の等強度線の曲率半径が、前記等強度線に沿って実質的に変化し、且つ前記等強度線の少なくとも一部の曲率半径が0.3μm以下の最小値を有する結晶化装置を提供する。
光強度の等強度線の少なくとも一部の曲率半径が0.3μm以下であるような光強度分布を有する光を前記非単結晶半導体膜に照射する結晶化方法を提供する。
前記光変調素子の基本パターンは、第1帯状領域と、該第1帯状領域に隣接する第2帯状領域とを有し、
前記第1帯状領域では、前記第1帯状領域と前記第2帯状領域との境界線に沿った第1方向および前記境界線と直交する第2方向に沿って、第1位相値を有する第1領域と第2位相値を有する第2領域との割合が単位領域毎に変化し、
前記第2帯状領域では、前記第1方向および前記第2方向に沿って、前記第1位相値を有する第1領域と第3位相値を有する第3領域との割合が単位領域毎に変化している光変調素子を提供する。
2 照明系
2a 光源
2b ビームエキスパンダ
2c,2e フライアイレンズ
2d,2f コンデンサー光学系
3 結像光学系
4 被処理基板
5 基板ステージ
11 非溶融領域の外縁に対応する等強度線
12 結晶化単位領域
12a 非溶融領域
13 結晶粒
13a 結晶粒界
Claims (18)
- 光変調素子と、この光変調素子を通った光に基づいて設定された光強度分布を、照射面に形成する結像光学系を備え、前記光強度分布を有する光を非単結晶半導体膜に照射して結晶化半導体膜を生成する結晶化装置であって、
前記照射面での、光強度分布で、少なくとも1本の光強度の等強度線の曲率半径が、前記等強度線に沿って実質的に変化し、且つ前記等強度線の少なくとも一部の曲率半径が0.3μm以下の最小値を有する結晶化装置。 - 光変調素子を介した光に基づいて設定された光強度分布を照射面に形成する結像光学系を備え、前記設定された光強度分布を有する光を非単結晶半導体膜に照射して結晶化半導体膜を生成する結晶化装置であって、
少なくとも1本の光強度の等強度線は特定方向に沿って細長い形状を有し、前記等強度線の曲率半径は前記等強度線に沿って実質的に変化し、且つ前記等強度線の少なくとも一部の曲率半径が0.3μm以下の最小値を有するような光強度分布を前記非単結晶半導体膜上に形成する光学系を有する結晶化装置。 - 光変調素子を介した光に基づいて設定された光強度分布を照射面に形成する結像光学系を備え、前記光強度分布を有する光を非単結晶半導体膜に照射して結晶化半導体膜を生成する結晶化装置であって、
基準の光強度を中心として少なくとも±2.5%の範囲の光強度に対応する等強度線の曲率半径は前記等強度線に沿って実質的に変化し、且つ前記等強度線の少なくとも一部の曲率半径が0.3μm以下の最小値を有するような光強度分布を前記非単結晶半導体膜上に形成する光学系を有する結晶化装置。 - 光変調素子を介した光に基づいて設定された光強度分布を照射面に形成する結像光学系を備え、前記光強度分布を有する光を非単結晶半導体膜に照射して結晶化半導体膜を生成する結晶化装置であって、
光強度の等強度線の少なくとも一部の曲率半径が0.3μm以下であるような光強度分布を前記非単結晶半導体膜上に形成する光学系を有する結晶化装置。 - 前記等強度線は、前記非単結晶半導体膜の溶融温度に対応する光強度の等強度線である請求項1乃至4のいずれか1項に記載の結晶化装置。
- 前記等強度線の曲率半径は、該等強度線に沿って実質的に変化し周囲よりも低い最小値を有する請求項4に記載の結晶化装置。
- 前記設定された光強度分布は、前記等強度線において最小の曲率半径を有する領域から前記等強度線の法線方向に沿って且つ外側に向かって光強度が増大する勾配分布を有する請求項1乃至4のいずれか1項に記載の結晶化装置。
- 前記勾配分布では、前記最小の曲率半径を有する領域から特定方向に沿った光強度の変化が、該特定方向の周辺の方向に沿った光強度の変化よりも緩やかである請求項7に記載の結晶化装置。
- 所定の光強度分布の光を非単結晶半導体膜に照射して結晶化半導体膜を生成する結晶化方法であって、
光強度の等強度線の少なくとも一部の曲率半径が0.3μm以下であるような光強度分布を有する光を前記非単結晶半導体膜に照射する結晶化方法。 - 前記等強度線は、前記非単結晶半導体膜の溶融温度に対応する光強度の等強度線である請求項9に記載の結晶化方法。
- 前記等強度線の曲率半径は、該等強度線に沿って実質的に変化し周囲よりも低い最小値を有する請求項9または10に記載の結晶化方法。
- 前記所定の光強度分布は、前記等強度線において最小の曲率半径を有する領域から前記等強度線の法線方向に沿って且つ外側に向かって光強度が増大する勾配分布を有する請求項11に記載の結晶化方法。
- 前記勾配分布では、前記最小の曲率半径を有する領域から特定方向に沿った光強度の変化が、該特定方向の周辺の方向に沿った光強度の変化よりも緩やかである請求項12に記載の結晶化方法。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の結晶化装置または請求項9に記載の結晶化方法を用いて製造されたデバイス。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の結晶化装置または請求項9に記載の結晶化方法に用いられて前記所定の光強度分布を形成する光変調素子。
- 入射光に基づいて所定の光強度分布を形成する光変調素子であって、
前記光変調素子の基本パターンは、第1帯状領域と、該第1帯状領域に隣接する第2帯状領域とを有し、
前記第1帯状領域では、前記第1帯状領域と前記第2帯状領域との境界線に沿った第1方向および前記境界線と直交する第2方向に沿って、第1位相値を有する第1領域と第2位相値を有する第2領域との割合が単位領域毎に変化し、
前記第2帯状領域では、前記第1方向および前記第2方向に沿って、前記第1位相値を有する第1領域と第3位相値を有する第3領域との割合が単位領域毎に変化している光変調素子。 - 前記第1帯状領域では、前記単位領域における前記第2領域の占有面積率の最も大きい第1特定箇所が前記境界線に隣接して存在し、前記第2領域の前記占有面積率は前記第1特定箇所から前記第1方向に沿って離れるにしたがって減少し且つ前記第1特定箇所から前記第2方向に沿って離れるにしたがって減少し、
前記第2帯状領域では、前記単位領域における前記第3領域の占有面積率の最も大きい第2特定箇所が前記境界線に隣接して存在し、前記第3領域の前記占有面積率は前記第2特定箇所から前記第1方向に沿って離れるにしたがって減少し且つ前記第2特定箇所から前記第2方向に沿って離れるにしたがって減少している請求項16に記載の光変調素子。 - 前記第1位相値に対する前記第2位相値の相対位相量と、前記第1位相値に対する前記第3位相値の相対位相量とは、その絶対値が互いに等しく且つ符号が異なる請求項16または17に記載の光変調素子。
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Families Citing this family (6)
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JP2009272509A (ja) * | 2008-05-09 | 2009-11-19 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法、およびデバイス |
US8457803B2 (en) * | 2010-02-10 | 2013-06-04 | Enernoc, Inc. | Apparatus and method for demand coordination network |
CN107636805B (zh) * | 2015-06-23 | 2020-12-11 | 三菱电机株式会社 | 半导体元件的制造方法及制造装置 |
JP6632252B2 (ja) * | 2015-08-21 | 2020-01-22 | キヤノン株式会社 | 検出装置、インプリント装置、物品の製造方法及び照明光学系 |
JP7190875B2 (ja) * | 2018-11-16 | 2022-12-16 | 東京エレクトロン株式会社 | ポリシリコン膜の形成方法及び成膜装置 |
CN113053466B (zh) * | 2021-03-03 | 2022-03-04 | 华南农业大学 | 三元特征向量方法表征双乳液体系中脂肪晶体分布位点的方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004343073A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-12-02 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 結晶化装置、結晶化方法、位相変調素子、デバイスおよび表示装置 |
JP2005093884A (ja) * | 2003-09-19 | 2005-04-07 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 半導体薄膜の結晶化方法、結晶化装置、位相シフタ、薄膜トランジスタおよび表示装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW512248B (en) * | 1998-07-15 | 2002-12-01 | Toshiba Corp | Manufacturing method and apparatus of semiconductor device |
JP4347545B2 (ja) * | 2002-06-28 | 2009-10-21 | 株式会社 液晶先端技術開発センター | 結晶化装置および結晶化方法 |
JP4278940B2 (ja) * | 2002-09-09 | 2009-06-17 | 株式会社 液晶先端技術開発センター | 結晶化装置および結晶化方法 |
TW200500512A (en) * | 2002-12-04 | 2005-01-01 | Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd | Crystallization apparatus and crystallization method |
TW200419279A (en) * | 2003-03-28 | 2004-10-01 | Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd | Method and apparatus for forming crystalline portions of semiconductor film |
TW200422749A (en) * | 2003-04-22 | 2004-11-01 | Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd | Crystallization apparatus, crystallization method, phase modulation element, device and display apparatus |
TW200503061A (en) * | 2003-06-30 | 2005-01-16 | Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd | Crystallization method, crystallization apparatus, processed substrate, thin film transistor and display apparatus |
JP4633428B2 (ja) | 2003-09-30 | 2011-02-16 | 株式会社 液晶先端技術開発センター | 結晶化装置、結晶化方法、デバイス、および位相変調素子 |
TW200519503A (en) * | 2003-09-30 | 2005-06-16 | Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd | Crystallization apparatus, crystallization method, device and phase modulation element |
TW200528756A (en) * | 2004-01-27 | 2005-09-01 | Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd | Light application apparatus, crystallization apparatus and optical modulation element assembly |
TW200533982A (en) * | 2004-02-17 | 2005-10-16 | Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd | Light irradiation apparatus, light irradiation method, crystallization apparatus, crystallization method, device, and light modulation element |
TW200607098A (en) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd | Crystallization apparatus, crystallization method, and phase modulation device |
US8221544B2 (en) * | 2005-04-06 | 2012-07-17 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Line scan sequential lateral solidification of thin films |
KR20070094470A (ko) * | 2006-03-17 | 2007-09-20 | 가부시키가이샤 에키쇼센탄 기쥬쓰 가이하쓰센타 | 광조사장치, 광조사방법, 결정화장치, 결정화방법, 및반도체디바이스 |
WO2008099526A1 (ja) | 2007-02-16 | 2008-08-21 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co., Ltd. | 薄膜トランジスタ及び表示装置 |
JP2008227445A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-25 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 薄膜トランジスタ及び表示装置 |
JP2009130231A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 結晶シリコンアレイ、および薄膜トランジスタの製造方法 |
JP2009272509A (ja) * | 2008-05-09 | 2009-11-19 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法、およびデバイス |
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2010
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004343073A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-12-02 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 結晶化装置、結晶化方法、位相変調素子、デバイスおよび表示装置 |
JP2005093884A (ja) * | 2003-09-19 | 2005-04-07 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 半導体薄膜の結晶化方法、結晶化装置、位相シフタ、薄膜トランジスタおよび表示装置 |
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