JP2008256696A - 振幅型走査プローブによる測定対象物の表面の走査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 駆動手段と、該駆動手段の制御手段と、測定対象物の表面の理論的形状と座標を記憶するための記憶手段とを含んだ座標測定機(4)による走査方法が、走査プローブ先端部(10)が測定対象物の表面(1)に接触する際に生じる接触力(F)についての設定範囲を決定する過程と、走査プローブ先端部(10)が測定対象物の表面(1)に接触するように位置づける過程と、所定の軌道に沿って支持体(3)を動かす過程と、測定対象物の表面(1)に対する支持体(3)の相対的な移動と同時に支持体(3)に対する走査プローブ(2)の移動を起こす過程とを含み、制御手段が、走査経路に沿って駆動手段の動作を調整し、走査の全体にわたって接触力Fを設定範囲内に維持する。
【選択図】図1
Description
各線が完了した後、装置の軸はプローブを、完了した線から離れた新たな位置に移動させ、平行する線に沿った動きを繰り返す。
さらに、機械の加速および減速は、表面の検出装置の位置決めを行っている部品の重い重量に起因する強い慣性力のために、測定過程における誤差を引き起こす可能性がある。
結果として、かかる偏向力が強過ぎるときには部品が曲がることもあり、測定結果に欠陥が生じる。
この特許文献1で開示されている走査プローブは、柔軟な部分に支持された測定針と、測定針と部品表面の間の接触力を測定する力の検出器を含んでいる。
釣り合いのシステムに基づく接触力調整メカニズムによって、慣性効果を取り除き、直線移動に対する所定の低いレベルに接触力を維持することが可能となっている。
プローブは、測定機のヘッドに取り付けられた針から構成され、ヘッドは二つの直角軸の周りを回転することのできるシャフトを含んでいる。
針を二つの軸の周りに角度をつけて配置することができる一方で、ヘッドは機械によって、該機械の操作範囲内のあらゆる位置に位置づけられる。
こうして、走査は、湾曲した経路に沿って、比較的一定の速度で効果的に実施することができる一方で、慣性効果は針の軽い重量のおかげで最小化される。
針の方向はどのような方向をとることもでき、したがって、先端は走査される表面との接触を維持する。
さらに、シャフトはモータで駆動され、該モータは、針の先端と走査される表面の間に一定の力をかける一定のトルク・モード、または、ヘッドの経路方向を横断する振幅型の動きを生み出す位置決定モードで動作することができる。
これを達成するために、接触力を調整し、その結果として針の湾曲が小さく抑えられ、測定の細かな精度が常に、表面の形状に関係なく保証されるようにするには、その他の修正を考える必要がある。
第1に、
座標測定機の支持体に取り付けられた走査プローブによる測定対象物の表面の走査方法であり、
前記座標測定機が、前記走査プローブ動作用の駆動手段と、該駆動手段の制御手段と、前記測定対象物の表面の理論的形状と座標を記憶するための記憶手段とを含み、
前記走査方法が、
走査プローブ先端部が測定対象物の表面に接触する際に生じる接触力についての第1の設定範囲を決定する過程と、
前記駆動手段を操作し、前記走査プローブ先端部が、前記測定対象物の表面に接触するように位置づける過程と、
前記座標測定機を操作し、所定の軌道に沿って支持体を動かす過程と、
前記駆動手段を操作し、測定対象物の表面に対する支持体の相対的な移動と同時に、支持体に対する前記走査プローブの移動を起こす過程とを含んでおり、
前記制御手段が、走査経路に沿って駆動手段の動作を調整することで、前記走査経路に沿った走査の全体にわたって、前記接触力Fを、前記第1の設定範囲内に維持することを特徴とする、測定対象物の表面の走査方法。
第2に、
前記第1に記載の走査方法であって、
さらに、走査対象の前記測定対象物の表面の前記理論的形状を、前記記憶手段にロードして記憶する初期過程を含み、
前記制御手段が、前記理論的形状にしたがった前記走査経路に沿って前記駆動手段の動作の調整を行うことを特徴とする、走査方法。
第3に、
前記第2に記載の走査方法であって、
座標測定機が、さらに、前記走査プローブ先端部が前記測定対象物の表面に接触する際に生じる接触力や、該接触力の偏向力の成分を測定するための接触力検出手段を含み、
前記制御手段が、前記接触力検出手段の出力に応じて駆動手段の動作を調整することで、前記走査経路に沿った走査全体の間、前記接触力を、前記第1の設定範囲内に維持することを特徴とする、走査方法。
第4に、
前記第2に記載の走査方法であって、
前記駆動手段が、モータであり、
該モータのトルクが、前記走査プローブの角度位置と、測定対象物の表面に対する前記走査プローブの位置と、前記理論的形状とのいずれか一つ以上の要素に応じて調整される、走査方法。
第5に、
前記第1〜前記第4のいずれか一つに記載の走査方法であって、
さらに、前記走査経路に沿った、その場におけるすべての座標を、前記記憶手段に記憶する過程を含むことを特徴とする、走査方法。
第6に、
前記第5に記載の走査方法であって、
前記接触力検出手段によって測定された偏向力が、接触力について定められた前記第1の設定範囲内の値に関連する第2設定範囲内の値に収まっているときにだけ、前記走査経路に沿った、その場におけるすべての座標を、前記記憶手段に記憶する過程が実施されることを特徴とする、走査方法。
第7に、
前記第3に記載の走査方法であって、
さらに、前記接触力検出手段によって検出される偏向力が、前記第2設定範囲から外れているときに、前記軌道を修正する過程を含むことを特徴とする、走査方法。
第8に、
前記第7に記載の走査方法であって、
さらに、検出された偏向力を、前記第2設定範囲内の値に戻すリアルタイムでの修正過程を含むことを特徴とする、走査方法。
第9に、
前記第1に記載の走査方法であって、
前記座標測定機が、前記座標測定機と前記支持体の軸の位置を決定するデータを供給するエンコーダを含み、
さらに、前記軸の位置を決定するデータをサンプリングする過程と、
前記位置を決定するデータに基づき、前記走査経路に沿った前記測定対象物の表面の座標を計算する過程を含むことを特徴とする、走査方法。
実際、表面の形状にしたがった接触力の調整によって、針の湾曲を防ぐことができる。
本発明の好ましい実施態様では、調整によって接触力を所定の境界値に抑えることができない場合、さらなる修正を行うことができる。
また、慣性力に由来する力動学的な効果も、接触力の調整のために考慮することができる。
図1は、本発明に係る座標測定機の斜視図である。
図2は、走査経路に沿って移動する支持体と走査プローブの概略の平面図である。
図3は、走査プローブを取り付けた状態を示す縦断面図である。
図4は、走査プローブの動作を三次元的に示す斜視図である。
図5は、走査経路に沿った接触力の変化を表す概略図である。
図6は、本発明の一つの特徴による接触力の調整過程の状態を示す概略図である。
図7は、本発明の一つの特徴によるデュアル・モードでの動作の状態を示す概略図である。
該座標測定機4において、支持体3は、あらゆる直線方向(X、Y、Z)に移動することができ、走査プローブ2は、支持体3に取り付けられている一方で、支持体3に対して二次の回転の自由度を有している。
この実施例において、回転軸はZとYであるが、その他の軸の組み合わせも考えることができる(例:XとY)。
走査プローブ先端部10は、好ましくは球状であり、走査することになる表面1と接触する。
走査プローブ先端部10と走査すべき表面1の間の接触力Fは、表面1によって走査プローブ先端部10にかけられる反作用の反対として定義される。
したがって、この接触力Fは、表面1の接触点における平面に対して垂直方向に掛かる力である。
換言すれば、通常、接触力Fは、常に表面1にかかるものである。
走査すべき表面1は、点線の面で表されている。
該表面1は、平面(X、Y)を含み、また、三次元の空間(X、Y、Z)を構成するものに広げることができる。
支持体3の直線軌道17は、点線の直線であり、該直線はあらゆる方向を指すことができる。
本発明の好ましい実施態様では、支持体3はガリレイ座標系に存する。
つまり、一定の速度で移動することにより、慣性の力を伴わない。
走査プローブ2を構成する針の重量は、走査プローブ先端部10にかかる慣性力を最小にするために、可能な限り小さくなるように選択される。
直線軌道17に沿った支持体3の移動と連動する走査プローブ2に固有の移動によって、走査プローブ先端部10がしたがう走査経路18が決定される。
図2は、二次元での走査経路の投射のみを表しているが、この走査経路は、平面に制限されず、三次元の空間にも広げることができる。
第1駆動手段5は、Z軸に沿って中央のシャフトを作動させるロータであり、好ましくは電気モータである。
走査プローブ2のヘッド25がシャフトの底部に適合することで、走査プローブ2を固定し、回転移動を走査プローブ2に伝達する。
走査プローブ2のヘッド25は、走査プローブ2が他の軸を中心としても自由に回転できるように設計されており、したがって、この第2の軸は第1の軸(本実施例ではZ)に直角であるが、平面における該第2の軸の方向は中央シャフトの位置によって決まる。
走査プローブ2は、第2駆動手段7によって、該第2駆動手段7の軸を中心に回転駆動する。
該第2駆動手段7も、好ましくは電気モータである。
第1駆動手段5の軸と、第2駆動手段7の軸とが交差する箇所は、交差点24によって示されている。
この交差点24は、本発明の好ましい実施態様では、両方の回転移動の中心であり、支持体3のガリレイ座標系の中心を表している。
走査プローブ先端部10と二つの軸の交差点24の間の走査プローブ2の長さLによって、接触点の位置を決定することができ、したがって、直線軌道17に沿った交差点24の座標は分かっているため、走査プローブ先端部10が測定対象物に接触する点の絶対座標値20を求めることが可能となる。
座標測定機4および走査プローブ2の角度位置によるこのようなパラメータは適切なエンコーダによって与えられ、座標測定機4のコントローラによってサンプリングされるものであり、該コントローラが該パラメータを、走査経路18に沿った表面地点の絶対座標値20に変換し、結果を記憶する。
また、判定には、当該分野で知られているように、例えば走査プローブ2の偏向、座標測定機4の変形、データのキャリブレーションといった、いくつかの追加パラメータや修正要素も考慮に入れることができる。
なぜなら、走査プローブ2のヘッド25が単純に直線軌道17に沿って動くのに対し、該走査プローブ2の方向付けによって、さまざまな角度がつけられた表面1を有する測定対象物である測定対象部品との接触を失うことなく走査することが可能となる。
さらに、慣性効果は、重い重量の支持体3とは逆に、軽い重量の走査プローブ2とすることで最小化される。
走査プローブ先端部10と測定対象物との接触点による絶対座標値20は、走査経路18に沿って変化する。
ここで、該走査経路18は、走査プローブ先端部10と表面1のすべての接触点によって構成される。
本発明の好ましい実施態様では、絶対座標値20は、図6に示されているように、記憶手段14に記憶される。
しかし、支持体3を直線移動で、走査プローブ2のヘッド25を円移動で駆動することで、穴または円筒形の表面を走査することも可能であり、その結果、走査プローブ先端部10の走査経路18は螺旋状となる。
これらの曲げ力は、第1駆動手段5、第2駆動手段7によってかけられるトルクから派生するものであり、一方では、座標測定機4の振動を引き起こし、該座標測定機4を劣化させる可能性があるのに対し、他方では、このような曲げ力が走査プローブ2を構成する針を直線形から偏向させる傾向があるため、かかる力が強すぎ、走査プローブ2の湾曲を引き起こすときには、測定される座標が不正確なものになりうる。
実際に、図5は直線軌道17を含んだ垂直平面にしたがった断面であり、したがって接触力Fの一つの成分のみを表しているが、一般的な平面にしたがった断面にも同じ推論が適用される。
力MFは、走査プローブ2に直角な方向に沿って、走査プローブ先端部10によって測定対象の部品の表面1にかけられ、部品によって走査プローブ先端部10にかけられる力(図示せず)と等しくかつ逆である。
例えば、摩擦力や慣性力といった、その他の外力が無視できるというアプローチでは、表面1に直角な接触力Fは、軸8に対する力Fのモーメントが第2駆動手段7のトルクMと等しいと考えることで得られる。
F=MF×L×cos(β) 式(1)
しかし、走査プローブ2と、表面1に接する平面の間の角度β’は、位置Aとは異なっている。
この場合、接触力Fは異なる係数cos(β’)による力MFに比例する。
重大なことは、走査プローブ2が支持体3の直線軌道17に平行ではなく、部品の傾斜した部分を走査しているため、角度β’は一定ではなく、走査地点が上昇するにつれて変動し、力FとMFの比率はcos(β’)にしたがって変動することである。
FとMFの比率は、cos(β’’)に等しく、それに応じて変化する。
したがって、第2駆動手段7のトルクは、投射角度β、β’、β’’に適合させなければならない。
これは、位置(A)および(C)の場合のように投射の角度が一定であるときには、表面1の平面に対する「静的」な方法で、すなわち、式(1)を用いてリアルタイムで要求されるトルクを計算することで実施することができる。
結果的に、第1駆動手段5、第2駆動手段7のトルクは、既知の幾何学法を適用して三次元における表面1を走査することに適合され、適切な場合には、例えば摩擦力や慣性力といったその他の外力に対して適切な近似値を含めることで適合化することができる。
この適合化は、第1駆動手段5、第2駆動手段7に連結された、制御手段13によって実施される。
本発明の好ましい実施態様では、制御手段13は、第1駆動手段5であるモータや第2駆動手段7であるモータに供給される入力電圧または電流を調整し、これらのモータが、供給された入力に応じて望まれるトルクを生み出すものである。
したがって、表面1の理論的形状19を記憶手段14にロードすることで、走査経路18に沿った各接触点についてこの角度βを判定することができる。
この理論的形状19は、制御手段13によって参照され、走査経路18に沿った各絶対座標値20について即座に調整を行うようになっている。
走査プローブ2は、表面1に対して強く押しつけられると変形することになり、走査プローブ2の湾曲による振動は、該振動が引き起こす測定エラーを評価するようにキャリブレートすることができないため、調整過程によって、接触力Fを一定の大きさに保ち、常に正常に作用するようにすることが望ましい。
さらに、この調整過程によって、破壊することや途切れることなく、表面1をより滑らかに進むことが可能となる。
この破壊や途切れは、走査プローブ2に損害を与え、望まれないシステム全体の振動を引き起こす可能性をもつものである。
好ましくは、制御手段13はコンピュータの中にあり、該コンピュータは、記憶手段14にロードされた理論的形状19にしたがって走査実行プログラム31を処理する。
ここで、多種の理論的形状19を、記憶手段14にロードし、記録しておくことができる(矢印33参照)。
走査実行プログラム31は、投射角度β1、β2のそれぞれを対応する角度位置(α、θ)から派生させることができ、制御手段13は、β1とβ2それぞれの余弦関数としてトルクM1とM2を派生させる。
したがって、矢印36によって示されているように、該走査実行プログラム31は望まれる一定の接触力Fを出力する。
キャリブレーション34は、第1駆動手段5、第2駆動手段7が動作する前に、接触力Fの大きさを計算するために必要なすべてのパラメータ35(すなわちM1、M2、β1、β2)が分かっている所定の位置に走査プローブ先端部10を置くことによる自立モードで行われ、したがって、力の大きさに対する値の設定範囲15も動的にロードされる(矢印32参照)。
本発明の変形例では、キャリブレーション34は、第2設定範囲16と、接触力検出手段9のフィードバックによって実施される。
好ましくは、接触力検出手段9は、偏向力Dを測定する歪みゲージであり、該偏向力Dは曲げ力とも称されるもので、空間の三方向(例えばX、Y、Z)において、走査プローブ先端部10にかかる。
しかし、その他の力を測定する手段も可能であり、該手段も本発明の範囲に含まれる。
接触力検出手段9は、とりわけ、光学偏向検出器、磁気偏向検出器、力の圧電検出器、力の誘導検出器、またはその他のあらゆる適切な力の検出手段を含むことができる。
二つの力の間にあるこの差を示す簡単な例は、図5の位置(A)、(B)、(C)を考慮し、走査プローブ2が移動していないと考えることである。
この場合、走査プローブ先端部10が動いていないため、偏向力を構成する、先端にかかる力の合計は、走査プローブ先端部10が表面1にかける力のちょうど反対になる。
したがって、接触力Fと偏向力Dの大きさを比較したとき、投射角度βを考慮する逆方向の修正を行わなければならない。
走査プローブ2が移動しているとき、後で述べるように、さらなる力の修正を考慮することができる。
いずれの場合にも、接触力Fについて定められた値の設定範囲15は調整する必要があり、偏向力Dに適用するために、もう一つの値の第2設定範囲16に移行する必要がある。
偏向力Dによって引き起こされる走査プローブ2の湾曲は、すべての方向で同じとは限らないので、それらの値がゼロに近い限り、等しい値の設定範囲15、第2設定範囲16を選択することができる。
それらの値の範囲の目的は、接触力F、偏向力Dの両方が、それ自体では非常に弱いことを保証することであり、精度という点で測定に必要な条件は、このような値の範囲を考えることで満たされる。
好ましくは、接触力検出手段9は、走査プローブ先端部10が実際に表面1を通ったかどうか判定するフィードバック・ツールとしても用いられ、該表面1の形状は実際に記憶手段14に記憶された理論的形状19に対応している。
第1駆動手段5、第2駆動手段7の両方の調整されたトルクは、接触力Fを出力し、該接触力Fは移項され、そして歪みゲージによる接触力検出手段9によって判定された実際の偏向力Dの値と比較される(四角38参照)。
同一であると想定されている、偏向力Dと、この移項された接触力Fの値が異なっている場合、実施された走査経路18が計画された経路ではないことを意味している。
結果的に、予測した調整が接触力Fを一定に保つ要求に合致しないことになり、このような場合に追加の特徴が予測されていなければ、該接触力Fの大きさと方向の両方が制御から外れることになる。
調整モード41は、走査された表面1が理論的形状19に対応することの単純な確認であるのに対し、修正モード42によって、第1駆動手段5、第2駆動手段7のトルクとプローブ・ヘッドの直線軌道17を適合化することが可能となる。
その結果、歪みゲージによって測定された偏向力Dが、該偏向力Dについて設定された所定の値の第2設定範囲16に戻り、このとき、この値の集合は、好ましくは接触力Fに対して規定された値の設定範囲15に関連し、したがってゼロに近く、少なくとも高すぎることはない。
歪みゲージによる接触力検出手段9からプログラムへのフィードバックは、該プログラムの実行モードを、論理的な接触力(二つの調整されたトルクの出力)と、歪みゲージによる接触力検出手段9によって測定された偏向力Dの比較結果である四角38に応じて設定する。
このデュアル・モードの設定は、走査実行プログラム31へのフィードバックとして矢印39によって示されており、モード間の切り替えは、後で図7によってより詳細に説明する。
したがって、図6の矢印40によって示された合同測定と記憶過程は、調整モードや修正モードに関係なく続けることができる。
モードの切り替えがプローブの不適切な湾曲に起因する精度のロスを引き起こすことはないので、実際の絶対座標値20は、修正過程の間にも連続的に測定、サンプリングすることができ、結果として、該絶対座標値20を元々の期待値と比較することができる。
さらに、プログラムは、いつ接触力Fが値の設定範囲15の外にあるかということを登録する過程、したがって偏向力Dが値の第2設定範囲16の外にあることを例えばアラーム音によって通知する過程も含むことができ、そして走査過程を停止することができる。
このため、角速度ω1とω2(図6では図示せず)とトルクM1、M2の間の関係も定義する必要がある。
例えば、該関係は直線関係であってよい。
しかし、時間をプログラム実行のための時間パラメータ30(図6の符号30による点の四角参照)に含めるということは、これ以外の場合に用いられるその他のパラメータを使う可能性を排除するわけではない。
時間パラメータ30の使用によって、例えば、加速の値と方向が走査経路18に沿った接触点のそれぞれについて分かっているとき、力の修正を実行することが可能となる。
これらの力の修正は、走査経路18に沿って接触力検出手段9によって評価される偏向力Dを非常に正確に判定するために非常に有効となり、特に少なくとも一つの角速度ω1またはω2の変動が大きいとき(例えば走査プローブ2の振幅性の動きによる高速連続操作の場合)には有効となりうるものである。
このモードに対する良いアプローチは、走査プローブ先端部10にかけられる力の合計が該先端にかかる力の逆も同様であると考えることである。
実際、走査プローブ先端部10自体は、移動のない非ガリレイ座標系を構成する。
したがって、この座標系では、力の合計は、力の構成定理(とりわけコリオリの力などによる値を生み出す)によって与えられる慣性力の合計に等しい。
走査プローブ2の重量と、支持体3にある交差点24に対する走査プローブ先端部10の加速の両方が十分に小さいと考えることで、これらの慣性力を無視すれば、実際に歪みゲージによって測定されるこの曲げ力の大きさが、第1駆動手段5、第2駆動手段7のトルクの二乗の合計の平方根による一次関数であることが得られる。
言い換えれば、トルクの二乗M12+M22を一定の値に抑えたいわけである。
よく知られた式Cos2θ+Sin2θ=1が、これらの要求を満たし、したがって、トルクは、修正モード42において、任意の角度θの正弦関数の補関数として調整することができる。
ここで、M1=M0Cosθ、M2=M0sinθまたはその逆であり、ここで基準となる大きさM0と角度θは、接触力Fの大きさに対する元々の要求に応えるように、例えばキャリブレーション過程の間に設定することができる。
図7の状態図は、どのようにこのデュアル・モード操作が作動するか表しており、特に、いつ、どのようにモード間切替43が実施されるか表している。
走査実行プログラム31が実施されると、まずキャリブレーション34の操作から開始され、そしていわゆる調整モード41に入る。
歪みゲージによって測定された偏向力Dと接触力Fの移項された値が同一でなければ、操作実行プログラム31はモード間切替43を実施し、測定された絶対座標値20と理論的形状19に属する座標の一致点を見つけるまで、修正モード42で走査を続ける(符号44参照)。
この瞬間、走査実行プログラム31は、調整モード41に戻る(矢印43参照)。
この場合、接触力Fに対する移項された値を偏向力Dの値と比較する過程を示す四角38は、歪みゲージによる接触力検出手段9によって測定された偏向力Dの実際の値と、偏向力Dについて設定された値の第2設定範囲16の間における適合要求に置き換えられる。
したがって、修正モード42は、測定された偏向力Dを前記第2設定範囲16の値に戻し、一致した座標を見つけるまで、走査を続けることになる(符号44参照)。
2 走査プローブ
3 支持体
4 座標測定機
5 第1駆動手段
7 第2駆動手段
8 軸
9 接触力検出手段
10 走査プローブ先端部
12 偏向力
13 制御手段
14 記憶手段
15 設定範囲
16 第2設定範囲
17 直線軌道
18 走査経路
19 理論的形状
20 絶対座標値
23 プローブ
24 交差点
25 ヘッド
30 時間パラメータ
31 走査実行プログラム
34 キャリブレーション
35 パラメータ
41 調整モード
42 修正モード
Claims (9)
- 座標測定機の支持体に取り付けられた走査プローブによる測定対象物の表面の走査方法であり、
前記座標測定機が、前記走査プローブ動作用の駆動手段と、該駆動手段の制御手段と、前記測定対象物の表面の理論的形状と座標を記憶するための記憶手段とを含み、
前記走査方法が、
走査プローブ先端部が測定対象物の表面に接触する際に生じる接触力についての第1の設定範囲を決定する過程と、
前記駆動手段を操作し、前記走査プローブ先端部が、前記測定対象物の表面に接触するように位置づける過程と、
前記座標測定機を操作し、所定の軌道に沿って支持体を動かす過程と、
前記駆動手段を操作し、測定対象物の表面に対する支持体の相対的な移動と同時に、支持体に対する前記走査プローブの移動を起こす過程とを含んでおり、
前記制御手段が、走査経路に沿って駆動手段の動作を調整することで、前記走査経路に沿った走査の全体にわたって、前記接触力Fを、前記第1の設定範囲内に維持することを特徴とする、測定対象物の表面の走査方法。 - 請求項1に記載の走査方法であって、
さらに、走査対象の前記測定対象物の表面の前記理論的形状を、前記記憶手段にロードして記憶する初期過程を含み、
前記制御手段が、前記理論的形状にしたがった前記走査経路に沿って前記駆動手段の動作の調整を行うことを特徴とする、走査方法。 - 請求項2に記載の走査方法であって、
座標測定機が、さらに、前記走査プローブ先端部が前記測定対象物の表面に接触する際に生じる接触力や、該接触力の偏向力の成分を測定するための接触力検出手段を含み、
前記制御手段が、前記接触力検出手段の出力に応じて駆動手段の動作を調整することで、前記走査経路に沿った走査全体の間、前記接触力を、前記第1の設定範囲内に維持することを特徴とする、走査方法。 - 請求項2に記載の走査方法であって、
前記駆動手段が、モータであり、
該モータのトルクが、前記走査プローブの角度位置と、測定対象物の表面に対する前記走査プローブの位置と、前記理論的形状とのいずれか一つ以上の要素に応じて調整される、走査方法。 - 請求項1〜請求項4のいずれか一つに記載の走査方法であって、
さらに、前記走査経路に沿った、その場におけるすべての座標を、前記記憶手段に記憶する過程を含むことを特徴とする、走査方法。 - 請求項5に記載の走査方法であって、
前記接触力検出手段によって測定された偏向力が、接触力について定められた前記第1の設定範囲内の値に関連する第2設定範囲内の値に収まっているときにだけ、前記走査経路に沿った、その場におけるすべての座標を、前記記憶手段に記憶する過程が実施されることを特徴とする、走査方法。 - 請求項3に記載の走査方法であって、
さらに、前記接触力検出手段によって検出される偏向力が、前記第2設定範囲から外れているときに、前記軌道を修正する過程を含むことを特徴とする、走査方法。 - 請求項7に記載の走査方法であって、
さらに、検出された偏向力を、前記第2設定範囲内の値に戻すリアルタイムでの修正過程を含むことを特徴とする、走査方法。 - 請求項1に記載の走査方法であって、
前記座標測定機が、前記座標測定機と前記支持体の軸の位置を決定するデータを供給するエンコーダを含み、
さらに、前記軸の位置を決定するデータをサンプリングする過程と、
前記位置を決定するデータに基づき、前記走査経路に沿った前記測定対象物の表面の座標を計算する過程を含むことを特徴とする、走査方法。
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