JP4132914B2 - ワーク姿勢制御装置及びワーク姿勢制御方法、傾斜測定装置及びその測定動作方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワーク姿勢制御装置及びそのワーク姿勢制御方法、傾斜測定装置及びその測定動作方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
ワーク姿勢制御装置は、例えば、図６に示すように、加工テーブル１を、互いに直交する２方向（以下、「Ｘ方向、Ｙ方向」）のそれぞれに対して傾動可能に備えた加工テーブル変位装置２に対して傾斜測定装置３を設置して構成されている。そして、傾斜測定装置３によって加工テーブル１上に載置されたワークＷの表面（以下、「ワーク加工面Ｗａ」）の傾きを測定し、その測定結果に基づいて加工テーブル１を傾動させることで、前記ワーク加工面Ｗａが例えば水平になるようワーク姿勢を制御するものである。
【０００３】
より具体的には、傾斜測定装置３は、ワーク加工面Ｗａに向けて光を出射する発光手段４と、その反射光を受光しその受光位置に応じて二次元座標系（以下、「測定座標系」）の位置信号（ｘ、ｙ）を出力する二次元位置検出素子５（例えばＣ-ＭＯＳ等）と、測定手段６とを備えてなる。ワーク加工面Ｗａの傾斜に応じて二次元位置検出素子５での受光位置が変化するので、この二次元位置検出素子５からの位置信号からワーク加工面Ｗａの傾きを、測定座標系ｘ−ｙの座標軸に対応した２方向に対する傾斜角度（θx ，θy ）として算出し、これらを加工テーブル変位装置２の駆動手段７側に与える。そして、この駆動手段７では、受けた傾斜角度（θｘ，θｙ）を相殺するように加工テーブル１を、前記Ｘ方向及びＹ方向に対して傾動させるよう動作する。
【０００４】
このような構成であれば、例えば図７（Ａ）に示すように、ワーク加工面ＷａがＸ方向に沿って傾斜している場合、傾斜測定装置３では、測定座標系においてｘ軸上の受光点Ｐに応じた位置信号（ｘ1 ，０）が出力され（同図（Ｂ）参照）、これに基づき傾斜角度（−θx1，０）と測定されることになり、これに基づき加工テーブル１を、Ｘ方向に対して＋θx1だけ傾動させることで、もってワーク加工面Ｗａが水平となるようワークＷの姿勢を制御することが可能になる。
【０００５】
ところで、このようなワーク姿勢制御を正常に実行させるには、傾斜測定装置３の有する測定座標系のｘ−ｙ−ｚ軸方向と、加工テーブル変位装置２のＸ−Ｙ方向とを一致させる必要がある（図７（Ｂ）参照）。しかしながら、これらを完全に一致させた状態に傾斜測定装置３を加工テーブル変位装置２に取り付けることは極めて困難であり、実際には、図８（Ｂ）に示すように、加工テーブル変位装置２のＸ−Ｙ方向に対して、傾斜測定装置３の有する測定座標系のｘ−ｙ軸方向が相対的にずれた、いわゆる取付誤差が生じてしまう。このような場合、傾斜測定装置３では、測定座標系のｘ軸上から反れた受光点Ｐ’に応じた位置信号（ｘ2 ，y2 ）が出力されることになる。すると、ｘ、ｙ軸の両方向に対して傾いるとして傾斜角度（θｘ2，θy2）が測定され、加工テーブル１がＸ及びＹの両方向に対して傾動されることになる（同図（Ａ）参照）が、これではワーク加工面Ｗａの傾斜を相殺しきれずに、ワーク姿勢を複雑に変位させながら制御動作が繰り返し実行されて、正常なワーク姿勢制御ができなくなってしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、加工テーブル変位装置に対して厳密な取付作業を要することなく、正常なワーク姿勢制御を可能にできるワーク姿勢制御装置及びそのワーク姿勢制御方法、傾斜測定装置及びその測定動作方法を提供するところにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１の発明に係るワーク姿勢制御方法は、ワークの載置面を含む平面において互いに略直交する２方向のそれぞれに対して傾動可能に設けられた加工テーブル上に載置されたワークに向けて発光手段から光を照射し、その反射光を受光した二次元位置検出素子から出力される受光位置に応じた位置信号に基づいて前記ワークの表面の傾斜角度を測定し、その傾斜角度に基づき加工テーブルを傾動させてワーク姿勢を制御するワーク姿勢制御方法において、加工テーブル上にワークがない初期姿勢にあるときの二次元位置検出素子における受光位置を原点位置として測定し、そこから加工テーブルを、２方向のいずれか一方の方向に対して傾動させたときの受光位置の移動方向の、当該一方の方向に対する回転ずれ角度を算出し、ワーク姿勢の制御動作の際には、二次元位置検出素子からの位置信号を、原点位置を中心に回転ずれ角度分だけ逆回転させた位置に相当する位置信号に変換し、その変換後の位置信号に基づいて加工テーブルを傾動させるところに特徴を有する。
【０００８】
請求項２の発明に係る傾斜測定装置の測定動作方法は、ワークの載置面を含む平面において互いに略直交する２方向のそれぞれに対して傾動可能に設けられた加工テーブル上に載置されたワークに向けて発光手段から光を照射し、その反射光を受光した二次元位置検出素子から出力される受光位置に応じた位置信号に基づいて、基準面に対するワーク加工面の傾斜角度を測定し、その傾斜角度に応じた傾斜信号を出力する傾斜測定装置の測定動作方法において、加工テーブル上にワークがない初期姿勢にあるときの二次元位置検出素子における受光位置を原点位置として測定し、そこから加工テーブルを、２方向のいずれか一方の方向に対して傾動させたときの受光位置の移動方向の、当該一方の方向に対する回転ずれ角度を算出し、測定動作の際には、二次元位置検出素子からの位置信号を、原点位置を中心に回転ずれ角度分だけ逆回転させた位置に相当する位置信号に変換し、その変換後の位置信号に基づいて測定動作を行うところに特徴を有する。
【０００９】
請求項３の発明に係るワーク姿勢制御装置は、ワークが載置される加工テーブルを、その載置面を含む平面において互いに略直交する２方向のそれぞれに対して傾動可能に備えた加工テーブル変位装置と、傾斜測定装置とを備えて構成され、傾斜測定装置は、加工テーブル上に載置されたワークに向けて光を出射する発光手段と、その発光手段からの光の反射光を受光し、その受光位置に応じた位置信号を出力する二次元位置検出素子と、二次元位置検出素子からの位置信号に基づいて、基準面に対するワーク加工面の傾斜角度を測定し、その傾斜角度に応じた傾斜信号を出力する測定動作を行う傾斜測定手段とを備えてなり、加工テーブル変位装置は、傾斜測定装置から出力される傾斜信号に基づいて加工テーブルを傾動させることで、ワークの姿勢を制御するワーク姿勢制御装置において、加工テーブル上にワークがない初期姿勢にあるときの二次元位置検出素子における受光位置を原点位置として記憶すると共に、加工テーブルを、２方向のいずれか一方の方向に対して傾動させたときの二次元位置検出素子における受光位置の移動方向の、当該一方の方向に対する回転ずれ角度を算出して記憶する補正係数設定手段を備えて、傾斜測定手段は、ワーク姿勢の制御動作の際、二次元位置検出素子から出力される位置信号を、原点位置を中心に回転ずれ角度分だけ逆回転させた位置に相当する位置信号に変換し、その変換後の位置信号に基づいて測定動作を行うよう構成されて、ワークの姿勢を制御するところに特徴を有する。
【００１０】
請求項４の発明に係る傾斜測定装置は、ワークが載置される加工テーブルを、その載置面を含む平面において互いに略直交する２方向のそれぞれに対して傾動可能に備えた加工テーブル変位装置に対して設置され、加工テーブル上に載置されたワークに向けて光を出射する発光手段と、その発光手段からの光の反射光を受光し、その受光位置に応じた位置信号を出力する二次元位置検出素子と、二次元位置検出素子からの位置信号に基づいて、基準面に対するワーク加工面の傾斜角度を測定し、その傾斜角度に応じた傾斜信号を出力する測定動作を行う傾斜測定手段とを備えた傾斜測定装置において、加工テーブル上にワークがない初期姿勢にあるときに、二次元位置検出素子における受光位置を原点位置として記憶すると共に、加工テーブルを、２方向のいずれか一方の方向に対して傾動させたとき二次元位置検出素子における受光位置の移動方向の、当該一方の方向に対する回転ずれ角度を算出して記憶する補正係数設定手段を備えて、傾斜測定手段は、測定動作の際、二次元位置検出素子から出力される位置信号を、原点位置を中心に回転ずれ角度分だけ逆回転させた位置に相当する位置信号に変換し、その変換後の位置信号に基づいて測定動作を行うところに特徴を有する。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項３に記載のワーク姿勢制御装置において、発光手段がレーザ光を出射するレーザ光源で構成されると共に、そのレーザ光源から出射されワーク側に向うレーザ光を平行光にするコリメータレンズと、ワーク側からの反射光を受けて二次元位置検出素子上に結像する受光レンズとを備えたところに特徴を有する。
【００１２】
請求項６の発明は、請求項４に記載の傾斜測定装において、発光手段がレーザ光を出射するレーザ光源で構成されると共に、そのレーザ光源から出射されワーク側に向うレーザ光を平行光にするコリメータレンズと、ワーク側からの反射光を受けて二次元位置検出素子上に結像する受光レンズとを備えたところに特徴を有する。
【００１３】
【発明の作用及び効果】
＜請求項１及び請求項３の発明＞
この構成によれば、ワーク姿勢の制御動作を実行する前に、まず、加工テーブルにワークがない初期姿勢にあるときの二次元位置検出素子における受光位置を原点位置として測定する。次いで、そこから加工テーブルを、傾動可能な２方向のうち一方の方向に対して傾動させ、そのときの二次元位置検出素子での受光位置の移動方向と、当該一方の方向との回転ずれ角度を算出する。
そして、ワーク姿勢の制御動作の際には、二次元位置検出素子からの位置信号を、前記原点位置を中心に前記回転ずれ角度分だけ逆回転させた位置に相当する位置信号に変換し、その変換後の位置信号に基づいて前記加工テーブルを傾動させる。
【００１４】
このような構成であれば、たとえ加工テーブル変位装置のＸ−Ｙ方向に対して、傾斜測定装置の有する測定座標系のｘ−ｙ−ｚ軸方向が相対的にずれた、いわゆる取付誤差が生じていたとしても、そのずれを相殺するように変換した位置信号に基づいて加工テーブルを傾動させることができ、これにより加工テーブル変位装置に対して厳密な取付作業を要することなく、正常なワーク姿勢制御を行うができる。
【００１５】
＜請求項２及び請求項４の発明＞
この構成によれば、傾斜測定装置は、厳密な取付作業を要することなく、測定対象たる加工テーブルの傾動可能方向と一致した方向に対する傾斜角度として、その加工テーブルに載置されたワークの傾きを測定することができる。
【００１６】
＜請求項５及び請求項６の発明＞
この構成によれば、傾斜測定装置は、測定レーザ光源から光を出射させ、その出射光をコリメータレンズにて平行光にすると共に、ワーク側からの反射光を受けて受光レンズにて二次元位置検出素子上に結像するよう構成されている。このような高精度の傾斜測定を要求されるものであっても、厳密な取付作業を要することなく、測定対象たる加工テーブルの傾動可能方向と一致した方向に対する傾斜角度としてワークの傾きを測定でき、或いは、これに基づく正常なワーク姿勢制御が可能となる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態を図１ないし図３によって説明する。
本実施形態に係るワーク姿勢制御装置は、加工すべきワークＷを任意の姿勢に変位可能な加工テーブル変位装置１０に対して、ワークＷ表面（以下、「ワーク加工面Ｗａ」）の傾斜を測定するための傾斜測定装置２０を配置した構成となっている。
【００１８】
具体的には、まず、加工テーブル変位装置１０は、図１に示すように、加工テーブル１１と、その加工テーブル１１を互いに略直交する２方向（以下、「Ｘ方向、Ｙ方向」）に対して傾動させる傾動機構（図示せず）と、この傾動機構を駆動させる駆動手段１２とからなる。なお、加工テーブル変位装置１０は、傾動機構に加えて、加工テーブル１１をＸ方向及びＹ方向に移動させるスライド機構をも備えた構成であっても良い。
【００１９】
一方、傾斜測定装置２０は、いわゆるオートコリメータであって、半導体レーザ２１（例えばレーザダイオード）からワーク加工面Ｗａに向けて出射したレーザ光を、コリメータレンズ２２を介して平行光にすると共に、ワーク加工面Ｗａでの反射光をビームスプリッタ２３にて分岐させて集光レンズ２４を介して二次元位置検出素子２５（例えば、Ｃ-ＭＯＳ）の受光面に導くよう構成されている。
【００２０】
ワーク加工面Ｗａの傾斜によって、集光レンズ２４により結像された二次元位置検出素子２５上での受光位置は変位し、この受光位置に応じた二次元座標系（以下「測定座標系」）の位置信号（ｘ，ｙ）が出力される。測定手段に相当するＣＰＵ２６は、位置信号からワーク加工面Ｗａの傾きを、測定座標系のｘ軸，ｙ軸の２方向に対する傾斜角度（θｘ，θｙ）として算出し、これらを加工テーブル変位装置１０の駆動手段１２側に与える。また、ＣＰＵ２６は、次述する作用説明で明らかになるが、ワーク姿勢制御を開始する前の「ティーチングモード」において補正係数設定手段として機能する。
【００２１】
次に、上記構成からなる本実施形態の作用効果を説明する。
本実施形態に係るワーク姿勢制御装置においても、従来のものと同様に、加工テーブル変位装置１０のＸ−Ｙ方向に対して、傾斜測定装置２０の測定座標系ｘ−ｙ−ｚの軸方向が相対的にずれた、いわゆる取付誤差が生じ得る。従って、このままでは正常なワーク姿勢制御が行えない。
そこで、まず、加工テーブル１１上にワークＷがなく、加工テーブル１１をＸ方向及びＹ方向のいずれの方向にも傾動していない初期姿勢に戻し、傾斜測定装置２０において例えば図示しないモード切替スイッチにより「ティーチングモード」に切り替えて実行させる。
【００２２】
すると、ＣＰＵ２６により図２のフローチャートに示す制御が実行される。ステップＳ１で半導体レーザ２１をオンして、二次元位置検出素子２５からの位置信号（ｘ0 ，ｙ0 ）を「原点位置」として図示しないメモリに記憶する（ステップＳ２）。次いで、例えば図示しない入力手段により加工テーブル１１をＸ方向（或いはＹ方向）に対して傾斜させるための信号が加工テーブル変位装置１０に入力されると、その信号がＣＰＵ２６にも与えられる（ステップＳ３）。すると、ステップＳ４にて、加工テーブル１１がＸ方向に対して傾動している間、二次元位置検出素子２５からの位置信号のレベル偏差に基づき、測定座標系における受光位置の実際の移動方向が算出される。また，ＣＰＵ２６は、前記入力手段からの信号によって、加工テーブル変位装置１０のＸ−Ｙ方向と、傾斜測定装置２０の測定座標系のｘ−ｙ軸方向とが一致しているとした場合に、二次元位置検出素子２５での受光位置が移動すべき方向、即ち、測定座標系でのｘ軸方向（或いはｙ軸方向）を知ることができるから、このｘ軸方向（ｙ軸方向）に対する、実際の受光位置の移動方向との「回転ずれ角度（±θ）」を算出して前記メモリに記憶する（ステップＳ５）。そして、半導体レーザ２１をオフして（ステップＳ６）、「ティーチングモード」が完了する。
【００２３】
なお、ステップ３において入力手段からの信号ではなく、傾斜測定装置２０のＣＰＵ２６により測定座標系のｘ軸方向及びｙ軸方向のいずれか一方のみの方向に対して傾斜しているとする傾斜信号を（（θｘ，０），（０、θｙ））を加工テーブル変位装置１０側に与えることで、加工テーブル１１をＸ方向或いはＹ方向に傾動させる構成であっても良い。
【００２４】
次に、前記モード切替スイッチにて「傾斜測定モード」に切り替えると、再び半導体レーザ２１をオンすると共に、メモリから「原点位置」及び「回転ずれ角度（±θ）」を読み込んで、二次元位置検出素子２５からの位置信号Ｐ（ｘ，ｙ）を、例えば、次の式によって前記原点位置を中心に、逆回転変換させる。
【００２５】
Ｐ'（ｘ，ｙ）＝Ｐ（ｘ・ｃｏｓθ−ｙ・ｓｉｎθ，ｘ・ｓｉｎθ＋ｙ・ｃｏｓθ）
そして、この逆回転変換後の位置信号Ｐ'に基づいてワーク加工面Ｗａの傾斜角度（θｘ ，θｙ）が測定され、これが加工テーブル変位装置１０の駆動手段１２に与えられることになる。
【００２６】
ここで、例えば、図３（Ａ）に示すように、加工テーブル変位装置１０のＸ−Ｙ方向に対して、傾斜測定装置２０の測定座標系ｘ−ｙの軸方向が所定角度−αだけずれており、図１に示すように、ワーク加工面Ｗａが加工テーブル１１のＸ方向に対して角度βだけ傾斜している場合を例に挙げて説明する。なお、説明を簡単にするために測定座標系の中心位置（二次元位置検出素子２５の受光面における中心位置）と、加工テーブル１１上でのＸ−Ｙ方向の交差点とは一致しているとする。
【００２７】
この場合、前述の「ティーチングモード」実行により、図３（Ｂ）に示すように、加工テーブル１１上にワークＷがない初期姿勢においてメモリに原点位置（０，０）が記憶される。そして、そこから加工テーブル１１をＸ正方向に対して下方側に傾動させる(図４（Ｂ）参照）と、図４（Ａ）に示すように、測定座標系ではｘ軸上から反れた点Ｑへ受光位置が推移する。ここでその受光位置の移動方向とｘ軸方向とから回転ずれ角度（−α）が記憶される。
次いで、図５（Ａ）に示すように、加工テーブル１１上にワークＷを再度載置し、「傾斜測定モード」に切り替えて実行すると、二次元位置検出素子２５からの位置信号Ｐが（Ｌｃｏｓα，-Ｌｓｉｎα）となるが、これが上記式にてＰ'（Ｌ，０）に逆回転変換される（同図（Ｂ）参照）。これにより、傾斜測定装置２０では、加工テーブル１１上のＸ方向に対して角度−βだけ傾斜しているとして、これが加工テーブル変位装置１０の駆動手段１２に与えられることになる。そして、駆動手段１２にてＸ方向に対して角度＋βだけ傾動させることで、もってワーク加工面Ｗａが水平になるようにワーク姿勢制御をスムーズに実行することができる。
【００２８】
このような構成であれば、たとえ加工テーブル変位装置１０のＸ−Ｙ方向に対して、傾斜測定装置２０の有する測定座標系のｘ−ｙ軸方向が相対的にずれた、いわゆる取付誤差が生じていたとしても、そのずれを相殺するように変換した位置信号に基づいて加工テーブル１１を傾動させることができ、これにより加工テーブル変位装置１０に対して厳密な取付作業を要することなく、正常なワーク姿勢制御を可能にできる。
【００２９】
なお、上記説明では、測定座標系ｘ−ｙ−ｚのｚ軸と、加工テーブル１１上でのＸ−Ｙ方向の交差点とが一致している場合としたが、たとえこれらがずれている場合であっても上記ティーチングモードを実行することでそれらのずれも調整される。従って、測定座標系のｚ軸（ｘ−ｙ座標の原点位置）と、加工テーブル１１上でのＸ−Ｙ方向の交差点とにおいても厳密な調整が必要なくなる。
【００３０】
＜他の実施形態＞
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に説明するような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
（１）上記実施形態では、傾斜測定装置２０は、発光手段を半導体レーザ２１とし、コリメータレンズ２２及び集光レンズ２４を備えたオートコリメータとしたが、例えば発光手段はレーザ光を出射するものに限らず、また、コリメータレンズ２２や集光レンズ２４等を備えていない傾斜測定装置２０であっても良い。（２）上記実施形態では、二次元位置検出素子としてＣ-ＭＯＳを使用した例を説明したが、これに限らず、ＰＳＤ、Ｎ-ＭＯＳやＣＣＤであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るワーク姿勢制御装置の全体構成図
【図２】ティーチングモードを示すフローチャート図
【図３】加工テーブル変位装置のＸ−Ｙ方向と、傾斜測定装置の測定座標系との関係を示した模式図（１）
【図４】加工テーブル変位装置のＸ−Ｙ方向と、傾斜測定装置の測定座標系との関係を示した模式図（２）
【図５】加工テーブル変位装置のＸ−Ｙ方向と、傾斜測定装置の測定座標系との関係を示した模式図（３）
【図６】従来のワーク姿勢制御装置の全体構成図
【図７】加工テーブル変位装置のＸ−Ｙ方向と、傾斜測定装置の測定座標系との関係を示した模式図（１）
【図８】加工テーブル変位装置のＸ−Ｙ方向と、傾斜測定装置の測定座標系との関係を示した模式図（２）
【符号の説明】
１０…加工テーブル変位装置
１１…加工テーブル
１２…駆動手段
２０…傾斜測定装置
２１…半導体レーザ
２２…コリメータレンズ
２４…集光レンズ
２５…二次元位置検出素子
２６…ＣＰＵ
Ｗ… ワーク

Claims (6)

1. ワークの載置面を含む平面において互いに略直交する２方向のそれぞれに対して傾動可能に設けられた加工テーブル上に載置されたワークに向けて発光手段から光を照射し、その反射光を受光した二次元位置検出素子から出力される受光位置に応じた位置信号に基づいて前記ワークの表面の傾斜角度を測定し、その傾斜角度に基づき前記加工テーブルを傾動させて前記ワーク姿勢を制御するワーク姿勢制御方法において、
   前記加工テーブル上に前記ワークがない初期姿勢にあるときの前記二次元位置検出素子における受光位置を原点位置として測定し、そこから前記加工テーブルを、前記２方向のいずれか一方の方向に対して傾動させたときの前記受光位置の移動方向の、当該一方の方向に対する回転ずれ角度を算出し、
   ワーク姿勢の制御動作の際には、前記二次元位置検出素子からの位置信号を、前記原点位置を中心に前記回転ずれ角度分だけ逆回転させた位置に相当する位置信号に変換し、その変換後の位置信号に基づいて前記加工テーブルを傾動させることを特徴とするワーク姿勢制御方法。
2. ワークの載置面を含む平面において互いに略直交する２方向のそれぞれに対して傾動可能に設けられた加工テーブル上に載置されたワークに向けて発光手段から光を照射し、その反射光を受光した二次元位置検出素子から出力される受光位置に応じた位置信号に基づいて、基準面に対する前記ワーク表面の傾斜角度を測定し、その傾斜角度に応じた傾斜信号を出力する傾斜測定装置の測定動作方法において、
   前記加工テーブル上に前記ワークがない初期姿勢にあるときの前記二次元位置検出素子における受光位置を原点位置として測定し、そこから前記加工テーブルを、前記２方向のいずれか一方の方向に対して傾動させたときの前記受光位置の移動方向の、当該一方の方向に対する回転ずれ角度を算出し、
   前記測定動作の際には、前記二次元位置検出素子からの位置信号を、前記原点位置を中心に前記回転ずれ角度分だけ逆回転させた位置に相当する位置信号に変換し、その変換後の位置信号に基づいて前記測定動作を行うことを特徴とする傾斜測定装置の測定動作方法。
3. ワークが載置される加工テーブルを、その載置面を含む平面において互いに略直交する２方向のそれぞれに対して傾動可能に備えた加工テーブル変位装置と、傾斜測定装置とを備えて構成され、
   前記傾斜測定装置は、
   前記加工テーブル上に載置された前記ワークに向けて光を出射する発光手段と、その発光手段からの光の反射光を受光し、その受光位置に応じた位置信号を出力する二次元位置検出素子と、
   前記二次元位置検出素子からの位置信号に基づいて、基準面に対する前記ワーク表面の傾斜角度を測定し、その傾斜角度に応じた傾斜信号を出力する測定動作を行う傾斜測定手段とを備えてなり、
   前記加工テーブル変位装置は、前記傾斜測定装置から出力される前記傾斜信号に基づいて前記加工テーブルを傾動させることで、前記ワークの姿勢を制御するワーク姿勢制御装置において、
   前記加工テーブル上に前記ワークがない初期姿勢にあるときの前記二次元位置検出素子における受光位置を原点位置として記憶すると共に、前記加工テーブルを、前記２方向のいずれか一方の方向に対して傾動させたときの前記二次元位置検出素子における受光位置の移動方向の、当該一方の方向に対する回転ずれ角度を算出して記憶する補正係数設定手段を備えて、
   前記傾斜測定手段は、ワーク姿勢の制御動作の際、前記二次元位置検出素子から出力される位置信号を、前記原点位置を中心に前記回転ずれ角度分だけ逆回転させた位置に相当する位置信号に変換し、その変換後の位置信号に基づいて前記測定動作を行うよう構成されて、前記ワークの姿勢を制御することを特徴とするワーク姿勢制御装置。
4. ワークが載置される加工テーブルを、その載置面を含む平面において互いに略直交する２方向のそれぞれに対して傾動可能に備えた加工テーブル変位装置に対して設置され、
   前記加工テーブル上に載置された前記ワークに向けて光を出射する発光手段と、
   その発光手段からの光の反射光を受光し、その受光位置に応じた位置信号を出力する二次元位置検出素子と、
   前記二次元位置検出素子からの位置信号に基づいて、基準面に対する前記ワーク表面の傾斜角度を測定し、その傾斜角度に応じた傾斜信号を出力する測定動作を行う傾斜測定手段とを備えた傾斜測定装置において、
   前記加工テーブル上に前記ワークがない初期姿勢にあるときに、前記二次元位置検出素子における受光位置を原点位置として記憶すると共に、前記加工テーブルを、前記２方向のいずれか一方の方向に対して傾動させたとき前記二次元位置検出素子における受光位置の移動方向の、当該一方の方向に対する回転ずれ角度を算出して記憶する補正係数設定手段を備えて、
   前記傾斜測定手段は、前記測定動作の際、前記二次元位置検出素子から出力される位置信号を、前記原点位置を中心に前記回転ずれ角度分だけ逆回転させた位置に相当する位置信号に変換し、その変換後の位置信号に基づいて前記測定動作を行うことを特徴とする傾斜測定装置。
5. 前記発光手段がレーザ光を出射するレーザ光源で構成されると共に、そのレーザ光源から出射され前記ワーク側に向うレーザ光を平行光にするコリメータレンズと、前記ワーク側からの反射光を受けて前記二次元位置検出素子上に結像する受光レンズとを備えたことを特徴とする請求項３に記載のワーク姿勢制御装置。
6. 前記発光手段がレーザ光を出射するレーザ光源で構成されると共に、そのレーザ光源から出射され前記ワーク側に向うレーザ光を平行光にするコリメータレンズと、前記ワーク側からの反射光を受けて前記二次元位置検出素子上に結像する受光レンズとを備えたことを特徴とする請求項４に記載の傾斜測定装置。

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