JP2008256669A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 基部と、
   前記基部から一体的にほぼ同一方向へ延出された３本のアーム部と、
   前記各アーム部の一表面に形成された圧電膜と、
   前記３本のアーム部のうち少なくとも外側に位置する第１及び第２のアーム部の前記圧電膜上にそれぞれ形成された励振用の第１及び第２の駆動電極と、
   前記３本のアーム部のうち少なくとも中央に位置する第３のアーム部の前記圧電膜上の、当該アーム部の軸心に関して対称な位置に一対形成された角速度検出用の第１及び第２の検出電極とを備え、
   前記第１及び第２のアーム部は同相で励振され、前記第３のアーム部は前記第１及び第２のアーム部と逆相で励振されるとともに、
   前記駆動電極は、前記アーム部を前記圧電膜の形成面と垂直な第１の方向に励振し、
   前記検出電極は、前記アーム部の前記圧電膜の形成面と平行な第２の方向へのコリオリ力を検出する
   角速度センサ。
2. 請求項１に記載の角速度センサであって、
   前記第１及び第２のアーム部の前記圧電膜上に形成された角速度検出用の第３及び第４の検出電極をさらに備え、
   前記第３のアーム部上に形成された一対の検出電極のうち、一方側の前記第１の検出電極は、前記基部を介して当該アーム部から前記一方側に位置する前記第１のアーム部上に形成された前記第３の検出電極にわたって連続的に形成されているとともに、
   他方側の前記第２の検出電極は、前記基部を介して当該アーム部から前記他方側に位置する前記第２のアーム部上に形成された前記第４の検出電極にわたって連続的に形成されている
   角速度センサ。
3. 請求項２に記載の角速度センサであって、
   前記第１の検出電極からの出力信号と前記第３の検出電極からの出力信号との第１の和信号と、前記第２の検出電極からの出力信号と前記第４の検出電極からの出力信号との第２の和信号とをそれぞれ算出し、前記第１の和信号と前記第２の和信号の差分信号を角速度信号として検出する制御部を更に具備する
   角速度センサ。
4. 請求項２に記載の角速度センサであって、
   前記第１の検出電極からの出力信号と前記第３の検出電極からの出力信号との第１の和信号と、前記第２の検出電極からの出力信号と前記第４の検出電極からの出力信号との第２の和信号とをそれぞれ算出し、前記第１の和信号と前記第２の和信号との和信号をアーム圧電駆動のための発振回路に参照信号としてフィードバックする制御部を更に具備する
   角速度センサ。
5. 請求項２に記載の角速度センサであって、
   前記第１、第２、第３及び第４の検出電極は、前記第１及び第２の方向と直交する第３の方向に長さ方向を有し、
   前記第１、第２、第３及び第４の検出電極のそれぞれの長さは等しい
   角速度センサ。
6. 請求項１に記載の角速度センサであって、
   前記第３のアーム部は、前記第１及び第２のアーム部の励振の反作用により励振される
   角速度センサ。
7. 請求項１に記載の角速度センサであって、
   前記第３のアーム部の前記圧電膜上の当該アーム部の軸心上に形成され、当該アーム部を前記第１及び第２のアーム部と逆相で駆動する第３の駆動電極を更に具備する
   角速度センサ。
8. 請求項１に記載の角速度センサであって、
   前記第３のアーム部は、振動錘部を有する
   角速度センサ。
9. 請求項１に記載の角速度センサであって、
   前記第１、第２及び第３のアーム部は、前記第２の方向に幅方向を有し、
   前記第３のアーム部の幅は、前記第１及び第２のアーム部の幅よりも大きい
   角速度センサ。
10. 請求項１に記載の角速度センサであって、
    前記３本のアーム部の前記第１の方向における共振周波数は、それぞれ一致するように設定されているとともに、
    前記３本のアーム部の前記第２の方向における共振周波数は、前記第３のアーム部のみが前記第１の方向における共振周波数付近に設定されている
    角速度センサ。
11. 請求項１に記載の角速度センサであって、
    前記第３のアーム部の前記圧電膜上の当該アーム部の軸心上に形成され、当該アーム部の振動特性を検出する参照電極を更に具備する
    角速度センサ。
12. 請求項１に記載の角速度センサであって、
    前記基部に設けられ、前記各アーム部に対する信号入出力用の複数の外部接続端子を更に具備し、
    前記各外部接続端子は、前記基部の一表面上であって、前記３本のアーム部の間の振動が最小の位置に形成されている
    角速度センサ。
13. 請求項１２に記載の角速度センサであって、
    前記各外部接続端子は、前記各アーム部の軸心の延長線上からずれた位置に形成されている
    角速度センサ。
14. 請求項１に記載の角速度センサであって、
    前記基部は、
    前記各アーム部を支持する支持部と、
    前記外部接続端子の形成領域であり、前記第２の方向に第１の幅で形成された固定部と、
    前記支持部と前記固定部との間に設けられ、前記第２の方向に前記第１の幅より小さい第２の幅で形成された緩衝部とを有する
    角速度センサ。
15. 請求項１４に記載の角速度センサであって、
    前記第１、第２、第３のアーム部及び前記支持部でなる振動系であって前記第１、第２及び第３のアーム部の前記第１の方向の第１の振動系の共振周波数がｆｖであり、前記第１、第２、第３のアーム部、前記支持部及び前記緩衝部でなる振動系であって前記第１の方向の第２の振動系の共振周波数がｆ０である場合、０．２５≦（ｆ０／ｆｖ）≦１／√２である
    角速度センサ。
16. 本体と、
    基部と、前記基部から一体的にほぼ同一方向へ延出された３本のアーム部と、前記各アーム部の一表面に形成された圧電膜と、前記３本のアーム部のうち少なくとも外側に位置する第１及び第２のアーム部の前記圧電膜上にそれぞれ形成された励振用の第１及び第２の駆動電極と、前記３本のアーム部のうち少なくとも中央に位置する第３のアーム部の前記圧電膜上の、当該アーム部の軸心に関して対称な位置に一対形成された角速度検出用の第１及び第２の検出電極とを有し、前記第１及び第２のアーム部は同相で励振され、前記第３のアーム部は前記第１及び第２のアーム部と逆相で励振されるとともに、前記駆動電極は、前記アーム部を前記圧電膜の形成面と垂直な第１の方向に励振し、前記検出電極は、前記アーム部の前記圧電膜の形成面と平行な第２の方向へのコリオリ力を検出する、前記本体内に配置された角速度センサと
    を具備する電子機器。