JP2008224594A - 振動型ジャイロセンサ、制御回路、電子機器及び振動型ジャイロセンサの製造方法 - Google Patents
振動型ジャイロセンサ、制御回路、電子機器及び振動型ジャイロセンサの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】振動型ジャイロセンサ200は、振動ジャイロ素子31と、この振動ジャイロ素子31を駆動する制御回路250とを備える。GCA24は、加算回路22の出力の電圧振幅を検波回路25で検出し、加算回路22の出力が一定の電圧振幅になるようにフィード・バックを掛けることで増幅度をコントロールしている。振動型ジャイロセンサ200の製造段階または出荷前の段階で、ボルテージ・ホロワァ28を介して、GCA24から出力される駆動信号が監視されればよい。これにより、信頼性の高い振動型ジャイロセンサを実現できる。ボルテージ・ホロワァ28を介して監視されることにより、圧電膜33の静電破壊や電荷抜けによる分極崩れが起こることを防止することができる。
【選択図】図7
Description
K = k1 × k2 × k3 × 2 × m × fv
22…加算回路
28…ボルテージ・ホロワァ
33、148a、148b、148c、248a、248b、248c、…圧電膜
34d、144a、144b、144c、244a、244b、244c、…共通電極
34a、145a、145b、145c、245a、245b、245c…駆動電極
34b、34c146a、146b、246a、246b…検出電極
50、250…制御回路
130、140…ベース体
141.142…振動アーム
141、142、143、241、242、243…振動アーム
200、300、400…振動型ジャイロセンサ
260…デジタルカメラ
261…機器本体(筐体)
Claims (8)
- 駆動電極と検出電極とを含む圧電素子を有し、前記駆動電極に加えられる駆動信号により振動し、前記検出電極からコリオリ力に応じた検出信号を含む出力信号を発生させることが可能な振動ジャイロ素子と、
前記出力信号に基き、前記振動ジャイロ素子を振動させるための信号を、前記駆動信号として前記駆動電極に出力する発振回路と、
前記出力信号が一定になるような駆動信号を出力するように、前記発振回路を制御する制御器と、
前記発振回路から出力される前記駆動信号が入力されるインピーダンス変換回路と
を具備することを特徴とする振動型ジャイロセンサ。 - 請求項1に記載の振動型ジャイロセンサであって、
前記検出電極は、
第1の信号を発生する第1の検出電極と、
前記第1の信号との差分により前記検出信号を得るための第2の信号を発生する第2の検出電極とで構成され、
当該振動型ジャイロセンサは、
前記第1の検出電極から得られる第1の信号と、前記第2の検出電極から得られる第2の信号とを加算する加算回路をさらに具備し、
前記発振回路は、前記加算回路で加算された信号に基き、前記駆動信号を前記駆動電極に出力することを特徴とする振動型ジャイロセンサ。 - 請求項1に記載の振動型ジャイロセンサであって、
前記振動ジャイロ素子は、
前記圧電素子を搭載した振動アームと、
前記駆動電極及び前記検出電極を外部接続するためのリード電極群を有し、前記振動アームを支持するベース体と
を有することを特徴とする振動型ジャイロセンサ。 - 請求項3に記載の振動型ジャイロセンサであって、
前記圧電素子は、
前記駆動電極及び前記検出電極が形成された第1の面と、前記第1の面とは反対側の第2の面とを有する圧電膜と、
前記第2の面に形成された共通電極とを有し、
前記振動アームは、前記圧電膜との間に前記共通電極が設けられるように、前記圧電素子が搭載された半導体でなるアームベースを有することを特徴とする振動型ジャイロセンサ。 - 第1の駆動電極と検出電極とを含む第1の圧電素子を有する第1の振動アームと、第2の駆動電極を含む第2の圧電素子を有する第2の振動アームと、第3の駆動電極を含む第3の圧電素子を有する第3の振動アームとを有し、前記第1、第2及び第3の駆動電極に加えられる駆動信号により振動し、前記検出電極からコリオリ力に応じた検出信号を含む出力信号を発生させることが可能な振動ジャイロ素子と、
前記出力信号に基き、前記振動ジャイロ素子を振動させるための信号を、前記駆動信号として前記第1、第2及び第3の駆動電極に出力する発振回路と、
前記出力信号が一定になるような駆動信号を出力するように、前記発振回路を制御する制御器と、
前記発振回路から出力される前記駆動信号が入力されるインピーダンス変換回路と
を具備することを特徴とする振動型ジャイロセンサ。 - 駆動電極と検出電極とを含む圧電素子を有し、前記駆動電極に加えられる駆動信号により振動し、前記検出電極からコリオリ力に応じた検出信号を含む出力信号を発生させることが可能な振動ジャイロ素子を備える振動型ジャイロセンサの制御回路であって、
前記出力信号に基き、前記振動ジャイロ素子を振動させるための信号を、前記駆動信号として前記駆動電極に出力する発振回路と、
前記出力信号が一定になるような駆動信号を出力するように、前記発振回路を制御する制御器と、
前記発振回路から出力される前記駆動信号が入力されるインピーダンス変換回路と
を具備することを特徴とする制御回路。 - 筐体と、
圧電材と、前記圧電材を駆動する駆動電極と、前記圧電材にコリオリ力が発生したときに該コリオリ力に応じた検出信号を含む出力信号を出力する検出電極とを有する振動ジャイロ素子と、前記出力信号に基き、前記振動ジャイロ素子を振動させるための信号を、前記駆動信号として前記駆動電極に出力する発振回路と、前記出力信号が一定になるような駆動信号を出力するように、前記発振回路を制御する制御器と、前記発振回路から出力される前記駆動信号が入力されるインピーダンス変換回路とを含み、前記筐体内に設けられた振動型ジャイロセンサと
を具備することを特徴とする電子機器。 - 駆動電極と検出電極とを含む圧電素子を有し、前記駆動電極に加えられる駆動信号により振動し、前記検出電極からコリオリ力に応じた検出信号を含む出力信号を発生させることが可能な振動ジャイロ素子を備える振動型ジャイロセンサの製造方法であって、
前記出力信号に基き、前記振動ジャイロ素子を振動させるための信号を、前記駆動信号として前記駆動電極に出力する発振回路と、前記出力信号が一定になるような駆動信号を出力するように、前記発振回路を制御する制御器と、前記発振回路から出力される前記駆動信号が入力されるインピーダンス変換回路とを有する制御回路と、前記振動ジャイロ素子とを電気的に接続し、
前記制御回路の前記発振回路から前記駆動信号を出力させることで、前記振動ジャイロ素子を駆動し、
前記制御回路の前記インピーダンス変換回路から出力される前記駆動信号を監視する
ことを特徴とする振動型ジャイロセンサの製造方法。
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