JP2008202586A - 回転機器 - Google Patents

回転機器 Download PDF

Info

Publication number
JP2008202586A
JP2008202586A JP2007042826A JP2007042826A JP2008202586A JP 2008202586 A JP2008202586 A JP 2008202586A JP 2007042826 A JP2007042826 A JP 2007042826A JP 2007042826 A JP2007042826 A JP 2007042826A JP 2008202586 A JP2008202586 A JP 2008202586A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hole
bearing chamber
spiral groove
bearing
partition wall
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007042826A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4888155B2 (ja
Inventor
Koji Horikawa
浩司 堀川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP2007042826A priority Critical patent/JP4888155B2/ja
Publication of JP2008202586A publication Critical patent/JP2008202586A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4888155B2 publication Critical patent/JP4888155B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00Details, component parts, or accessories
    • F04D29/08Sealings
    • F04D29/10Shaft sealings
    • F04D29/102Shaft sealings especially adapted for elastic fluid pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

【課題】 回転軸が隔壁を貫通する貫通孔であるシール部を適正にシールし、オイルミストの圧縮室への流入を防止できる回転機器を提供する。
【解決手段】 シール部Sにおける螺旋溝4MUは回転軸4の矢印方向の回転によってシール部Sにおけるガスを圧縮室C側に付勢するので、ガスの軸受室M側への流れを抑制する。他方、下方の螺旋溝4MDはシール部Sのガスを軸受室M側に付勢する。したがって軸受室Mの真空排気量を低減させた状態にしてシール部Sの差圧を確保できるので軸受室Mからのオイルミストの上昇を抑制できる。またオイルの表面張力による滞留が妨げられる。さらに軸受室M側に連通する連通路8Pを固定側に設けることで、連通路8Pはバイパス路として機能する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、たとえば気体レーザ発振器装置におけるガス循環用の電動コンプレッサとしてのブロワあるいは遠心分離機等に適用できるターボ型の回転機器に関する。
たとえばフロー型二酸化炭素ガスレーザ発振器装置の場合、炭酸ガスと他のガスの混合ガスを流しながら圧縮し、レーザ発振器に供給して共振させるようになっており、装置内にガス循環回路が構成されている。その循環回路の構成における一要素のブロワとしてターボ翼(回転体)を高速で回転させてガスを圧縮し、レーザ発振器に供給するターボ型の回転機器が使用されている。以下背景技術をこのターボ型の回転機器を例として説明する。
この種ターボ型の回転機器は、ハウジング内の上方にターボ翼が回転可能に配設され、ガスを圧縮して排出する機構を設けるとともに、下方にはこのターボ翼を高速回転駆動させる回転駆動源(たとえば電動機、以下モータと略称する)が配設されている。そして、このモータの回転子とターボ翼ならびに回転軸等からなる回転体は、機械的な軸受で軸支され、オイルによる潤滑手段が併設されている。そのため、オイルミストが発生するが、このオイルミストがガス圧縮とともに排出されないよう真空ポンプで排気する方式が採用されている(特許文献1参照)。
この回転機器の構成は図7に示すとおりである。図7は概略的に示す縦断面図で、ハウジング1の内方でその上方にターボ翼7が回転可能に配設されるとともに下方にはこのターボ翼7を高速回転駆動させるモータ2が配設され、両者が回転軸4にて連結されている。このモータ2はハウジング1の側に固設された電極コイル2Kと、この電極コイル2Kに対応して回転軸4に固設された回転子2Mで構成され、電極コイル2Kにインバータ3から電気エネルギーが供給される。
回転軸4は上部軸受5と下部軸受6を介してハウジング1に対し、回転可能に保持されているが、この回転軸4の上方に形成された取付軸4Sにターボ翼7が固設されている。このモータ2と回転子2M及び回転軸4からなる回転体が、軸受機構を構成する上部軸受5と下部軸受6に保持されている。なお、この上部軸受5と下部軸受6は軸受室M内に配設されている
ターボ翼7がモータ2によって高速回転駆動されると、ガスは吸気口1Kから吸入され、圧縮されて排気口1Hより排出される。この吸気口1Kから排気口1Hまでがガス圧縮を行う圧縮室Cを形成する。この排気口1Hからのガスは上記したようにガス循環回路(図示せず)を経てレーザ発振器(図示せず)に供給される。
ところで、回転軸4には図7に示すとおり、軸心上に中空孔4Hが形成されているが、この中空孔4Hの下方部は内孔が上方拡がりのテーパ状をなし、この下方部位が潤滑用のオイルL内に浸漬されている。したがって、中空孔4Hの下方域に侵入している潤滑用のオイルLは、回転軸4の回転による遠心力の作用を受けて中空孔4Hの内方を上方に移動し、この作用で中空孔4Hはポンプ機能を生起する。こうして潤滑用のオイルLは順次上方へ送り出され、射出孔4Tより外方に放出されてモータ2の冷却や上部軸受5と下部軸受6の潤滑を行なう。潤滑や冷却を終えた潤滑用のオイルLは再び下方のオイル槽1Yに溜められ、再び吸い上げられて循環することになる。
このように潤滑用のオイルLは、循環して上部軸受5や下部軸受6の潤滑を行なうが、この潤滑によって特に軸受室M内には噴霧状のオイルL(オイルミスト)が存在し浮遊することになる。軸受室Mにおける噴霧状のオイルLの存在は、上部軸受5と下部軸受6等における潤滑を良好にするが、このオイルミストが圧縮室Cに流入するとレーザ発振器などに流入し、レーザの発振機能を低下させる。
このことから圧縮室Cと軸受室Mとは、ハウジング1ないしハウジング1と一体の部材からなる隔壁部材8にて遮断されるようになっている。すなわち、ハウジング1には上部軸受5の上方位置において回転軸4が非接触で貫通できる貫通孔8Aが穿設され、回転軸4と協働してシール部Sが形成されている。このシール部Sはたとえば図示していないがラビリンスシール等が適用される。このシール部Sは、回転軸4と貫通部との間隙は通常数10ミクロンに設定されている。ラビリンスシール以外にも、数10ミクロンの微小な平行隙間に設定されたガスシールも採用されている。なお、9は軸受保持部材であり、9Hは貫通孔である。
他方、軸受室Mは排気パイプRを介して外設した真空ポンプ(図示せず)にて真空に排気される。これは上記したように、軸受室Mが潤滑用のオイルLのミストが充満しており、シール部Sの小さい隙間から圧縮室Cに漏洩するのを防止するためである。
このように、特にレーザ発振器に利用されるターボ型の回転機器においてはオイルLのミスト(ガス)の存在と対策が重要であるが、ミストの発生源であるオイルLの存在も無視できない。特に回転軸4の射出孔4Tから放出されるオイルLが上方のシール部Sに至るのをなるべくさける必要がある。そのために後述するように上記シール部Sにガスの流れを付勢する手段を設ける工夫が提案されている。この工夫は図6に示されている。
すなわち図6は、図7におけるターボ型の回転機器において、回転軸4が貫通孔を貫通する部位に螺旋溝4Mを設けたものである。この螺旋溝4Mは図5に詳細に示すように隔壁部材8の中間部位を界に、それぞれ反対方向の螺旋溝4MAと4MOが形成されている。上方の螺旋溝4MAは圧縮室Cから軸受室Mへの流体の流れを抑制するための流体漏出抑制領域YEを形成するものである。具体的には回転軸4が矢印方向に回転駆動されるとき、螺旋溝4MAの溝間隔の流体は上方へと移動する。すなわち螺旋溝4MAはガスを含む流体を圧縮室C側へ付勢する順方向螺旋溝である。
この螺旋溝4MAの回転によりガスが軸受室Mへ流動することが抑制される。他方、下方の螺旋溝4MOは回転軸4の矢印方向の回転によって、螺旋溝4MOの溝間隔の流体は下方へと移動するよう作動する流体付勢領域AEを形成する。すなわち流体を軸受室M側に付勢するよう機能する逆方向螺旋溝である。このようにしてそれぞれの螺旋溝4MA、4MOによりシール部Sにおける上方位の流体は圧縮室C側に付勢され、下方位の流体は軸受室M側に付勢される。したがってオイルミストを含むガスが圧縮室C側に流入することは阻止される。
なお、図5及び図6において図7と同一の符号で示される部品は図7の部品と同一で同様の機能を有するものであり、これら各部品の作動の詳細な説明は省略する。
なお、シール部Sと軸受保持部材9は図6および図7に示すようにボルト11を介してハウジング1に固定されている。
特開2000−209815号公報(第1−3頁、第1図−第8図)
圧縮室Cと軸受室Mとを区画する隔壁部材8のシール機構については、つぎのような問題を有している。まずラビリンスシール方式では、運転中の回転体の振れにより隔壁部材8における貫通孔8A側と回転軸4との接触を防止するため、貫通孔8Aの回転軸4側に対する同心性は強く求められており厳しいが、そのために回転機器の組立時の同心確認、調整は容易ではない。また、部品間のはめあい精度により決める場合には、関わる複数の部品の同心及び加工精度の要求値が厳しくなるとともに、一方で、隙間の低減に対しても限界が設定されている。
したがって、隙間が広がると運用中のシール部Sの真空引き量が増加し、レーザ発振器のブロアとして使用する場合、消費レーザガス量の増加、ランニングコストアップとなる。また、このシール機構をラビリンスシールで構成する場合、加工が複雑であり、回転軸4の一部に加工を施すことは、コスト面運用面でも問題であり、別部品とせざるを得ないのが実情である。他方、図6およびより詳細に示す図5に示す螺旋溝方式の場合も種々の問題を有している。すなわち、これらの螺旋溝方式の場合もガス圧縮側の圧縮室C内で圧力の脈動が発生した場合、一時的にシール部Sの差圧が低下し、そのために軸受室M側のオイルミストがシール部Sを介して圧縮室C側に流入する場合が生じ、充分にオイルミストの流入を防止できない。したがって螺旋溝の加工そのものにより精度が求められ、加工が困難である。
本発明が提供する回転機器は、上記課題を解決するために圧縮室と軸受室の隔壁を貫通する部位における回転軸の外周面に螺旋溝を形成するとともに貫通孔内周面と軸受室側とを連通する連通路を隔壁に設けたものである。したがってシール部位における空間と軸受室の連通で、圧縮室内の圧力脈動が生じてもシール部の差圧が大きく変動することはなく、しかもオイルミストの圧縮室への流入は完全に防止できる。
そこで本発明が第1に提供する回転機器は、螺旋溝を隔壁部における中間部位より下方位に設けるとともに、シール部位の下方側の螺旋溝がシール部位のガスを上方に付勢する機能を発揮するよう構成されている。さらに連通路には潤滑用流体をトラップするフィルタと軸受室の排気手段が併設されてオイルミストの圧縮室への流入が防止される。
さらに本発明が第2に提供する回転機器は、螺旋溝が貫通孔の中間部位を中心とする上下両側に設けられ、しかもそれぞれの螺旋溝は流体を中間部位の方向に付勢するよう形成されたものであり、構成が簡略化される。本発明の場合も連通路の軸受室側に潤滑用流体をトラップするフィルタを設けるが、軸受室の排気手段は不要である。オイルミストの流入は阻止できかつガスは連通路を流れるのでガスの付勢機能は保障される。
螺旋溝部では、螺旋によりシール機構が有効に働くことで、軸受室からの真空排気量を低減した状態でシール部の差圧を確保でき、オイルミストの上昇や、圧縮室への流入を抑制できる。オイルの表面張力による滞留が妨げられる。さらに軸受室側から連通する通路を静止側に備えることでバイパス流路となり、螺旋溝効果により上方へのガス流れが過剰になった場合においても、螺旋溝を備えていないシール隙間上側においては、真空排気により下流へのガス流れを形成ができる。これによりシール上面へのオイルの逆流を防ぐことができる。また、ガスの消費量を軽減できる。
本発明の第1の特徴は、回転軸が隔壁を貫通する部位における回転軸の外周に螺旋溝を形成するとともに隔壁部に連通路を形成した点である。この2点の構成を特徴とするが、本発明は前述した目的から軸受室を排気することおよび螺旋溝による流体の付勢を行うことが前提にあり、この前提との関連で螺旋溝の形成の仕方を考慮したものである。このような理由から本発明の最良の形態はつぎの2つを基本とする。
第1は螺旋溝が貫通孔における中間部位より下方位のみに形成される。第2は排気手段を必要とせず、貫通孔の中間部位を中心に上下両部位に螺旋溝を設け、シール部位の空間においては、中間部位に向けた流体の流れを付勢するものである。
したがって本発明としてはこれらの回転機器が最良の形態である。すなわち、回転軸の貫通によるシール部を螺旋溝方式で構成してシール特性を良好ならしめるとともに、圧縮室の圧力脈動に対して連通路の介設で圧力変動を軽減でき、フィルタの介設でオイルミストの流入が阻止できる。
本発明による第1の実施例は図1に示される。図1は回転軸4が隔壁部材8を貫通する部位を拡大して示す断面図で、この図から明らかなように、隔壁部材8を貫通する部位の中間部位4MCから上方は単なる回転軸4の円柱部4EUのみである。したがって、この円柱部4EUの外周における流動域NEは、この第1の実施例においては図6、図7に示すように軸受室Mを真空に排気する排気手段が設けられており、軸受室Mを真空排気することで、ガスの下方への流動域となる。他方中間部位4MCから下方には回転軸4と隔壁部材8との空間に螺旋溝4MDが形成されている。しかもこの螺旋溝4MDは回転軸4と隔壁部材8の内周面における流体を中間部位4MC側に付勢する方向で形成されている。
なお図1において図5と同一の符号で示される部品は図5における符号の部品と同一の機能を有するものであり、これらの符号の部品についての詳細な説明は省略する。
さらに本実施例では図1に示すとおり8Pが隔壁部材8に穿設された連通路で、軸受室Mへの開口部にはフィルタFが設置されている。他方の開口は両方の螺旋溝4MUと4MDの中間部位4MCに対応している。
したがってターボ型の回転機器がガス圧縮機として作動するとき、回転軸4の円柱部4EUにおける流動域NEにおいては、連通路8Pを介して排気が行われているので、下方への流体の流れが生起する。同時に螺旋溝4MDが形成されている下方の流体付勢領域AEにおいては、螺旋溝4MDが回転方向と逆方向であり、流体の流れを上方に付勢する。すなわち、図1においてAEは流体付勢領域である。したがって円柱部4EUにおいて真空排気に伴う上方からのガスの流れと螺旋溝4MDによるガスの上方への付勢によってガスは中間部位4MCで合流し、連通路8Pを介して軸受室M側へ流動する。
またオイルの表面張力による滞留が妨げられる。さらに軸受室M側に連通する連通路8Pを固定側に設けることで、連通路8Pはバイパス路として機能する。特に圧縮室C内で圧力の脈動が発生した場合は一時的にシール部Sの差圧が低下して軸受室Mのオイルミストの上昇の流れを生じることになるが、連通路8Pの存在でこの一時的低下は生起せずオイルミストの上昇逆流もない。この機能によりオイルのシール部Sより上方への逆流を防ぐことができる。さらに本発明ではフィルタFが設置されているので、オイルトラップが確実に行われる。
本実施例は図2に示される。図2は図1と同様、ターボ翼7と回転軸4との結合部を拡大して示す縦断面図である。図2に示すように本実施例においては、2個の螺旋溝4MUと4MDが貫通孔8Aの内周面側に形成された実施例である。上方の螺旋溝4MUは回転軸4の矢印方向の回転によって、シール部位の空間においては流体が中間部位4MCの側に付勢されるよう機能する。
すなわち図2においてYEは、圧縮室C側への流体の漏出を抑制する流体漏出抑制領域を示している。他方下方の螺旋溝4MDは回転軸4の矢印方向の回転により、シール部Sにおける流体が上方に付勢されるよう形成されている。回転軸4と螺旋溝4MU、4MDの形成方向は密接な関係にあり、回転軸4の回転方向に沿って設定され形成される。
さらに図2に示すとおり連通路8Pが設けられ、軸受室M側開口部にはフィルタFが設置されている。したがってターボ型の回転機器がガス圧縮機として作動するとき、回転軸4に形成された螺旋溝4MU、4MDが形成されているのでこれら螺旋溝4MU、4MDの回転により、流体の流れが中間部位4MCに付勢される。したがって螺旋溝4MUによる上方からのガスの流れと螺旋溝4MDによるガスの上方への付勢によってガスは中間部位で合流し、連通路8Pを介して軸受室M側へ流動する。
またオイルの表面張力による滞留が妨げられる。さらに軸受室M側に連通する連通路8Pを固定側に設けることで、連通路8Pはバイパス路として機能する。特に圧縮室C内で圧力脈動が発生した場合は一時的にシール部Sの差圧が低下して軸受室Mのオイルミストの上昇の流れを生じることになるが、連通路8Pの存在でこの一時的低下は生起せずオイルミストの上昇逆流もない。この機能によりオイルのシール部Sより上方への逆流を防ぐことができる。さらに本発明ではフィルタFが設置されているので、オイルトラップが確実に行われる。
本実施例は図3、図4に示される。図3は図1に示す実施例において、螺旋溝4MDを設ける代わりに隔壁8の内周面と回転軸4との空間において隔壁8の内周面側に螺旋溝8MDを形成した例で、螺旋溝4MD程に強力な付勢力を有しないが実施例1と同様に一定の付勢力を有する。図4は図2に示す実施例において螺旋溝4MU、4MDの代わりに隔壁8の内周面側に螺旋溝8MD、8MUを形成した例でその機能は図3と同様である。
本発明が提供する回転機器の特徴は以上詳述したとおりであるが、上記ならびに図示例に限定されるものではない。特に上記実施例ではターボ型の回転機器について説明したが、ターボ方式以外の軸流ポンプにおいても実施できる。さらに、連通路8Pの形状については図示例のようにL字形に必ずしなければならないということではなく、たとえば図示例の両開口を直線で結ぶこともできる。さらに図示例は片方側に1個のL字形連通路8Pを設けることもできる。
さらに隔壁部材8を図示例ではハウジング1と別個の部材で実施した例であるが、この隔壁部材8はハウジング1と一体に形成することもできる。本発明が特許請求の範囲において特定する「隔壁」はこれらハウジング1と一体に形成された隔壁や図示例の隔壁部材を含むものであり、本発明はこれら変形例をすべて包含するものである。
本発明が提供する回転機器の要部の構成を示す縦断面図である。 本発明が提供する回転機器の要部を拡大して示す縦断面図である。 本発明における回転機器において回転軸が隔壁を貫通する部位を拡大して示す図である。 本発明における回転機器のターボ翼の取付部である回転軸に改良を加えた構成を示す図である。 従来における回転機器の構成を概略的に示す図である。 従来の回転機器において螺旋溝を簡略に示す図である。 従来における回転機器を示す図である。
符号の説明
1 ハウジング
1K 吸気口
1H 排気口
1Y オイル槽
2 モータ
2K 電極コイル
2M 回転子
3 インバータ
4 回転軸
4EU 円柱部
4H 中空孔
4M 螺旋溝
4MA 螺旋溝
4MC 中間部位
4MD 螺旋溝
4MO 螺旋溝
4MU 螺旋溝
4S 取付軸
4T 射出孔
5 上部軸受
6 下部軸受
7 ターボ翼
8 隔壁部材
8A 貫通孔
8MD 螺旋溝
8MU 螺旋溝
8P 連通路
9 軸受保持部材
9H 貫通孔
11 ボルト
AE 流体付勢領域
C 圧縮室
F フィルタ
L オイル
M 軸受室
NE 流動域
S シール部
R 排気パイプ
YE 流体漏出抑制領域

Claims (5)

  1. 回転により室内にガス圧縮を行う回転体を内設した圧縮室と、前記回転体を回転駆動する回転駆動源および回転体と回転駆動源を連結する回転軸と軸受等の駆動系を内設した軸受室を備え、この圧縮室と軸受室を隔壁にて区画するとともに、前記隔壁に回転軸を貫挿する貫通孔を穿設したハウジングと、軸受室内を圧縮室より低圧に保持する排気手段を備え、回転駆動源を回転駆動させて回転体を回転させ圧縮機能を行わせる回転機器において、貫通孔の中間部位より下方部位における回転軸の外周面と貫通孔内周面との間に、貫通孔内の流体を貫通孔の中間部位に向けて付勢する螺旋溝を設けるとともに一端が軸受室側に開口し、他端が貫通孔の中間部位に開口して貫通孔内周面と軸受室側とを連通する連通路を隔壁に設けたことを特徴とする回転機器。
  2. 螺旋溝が隔壁に穿設された貫通孔の内周面に形成されていることを特徴とする請求項1記載の回転機器。
  3. 回転により室内にガス圧縮を行う回転体を内設した圧縮室と、前記回転体を回転駆動する回転駆動源および回転体と回転駆動源を連結する回転軸と軸受等の駆動系を内設した軸受室を備え、この圧縮室と軸受室を隔壁にて区画するとともに、前記隔壁に回転軸を貫挿する貫通孔を穿設したハウジングと、回転駆動源を回転駆動させて回転体を回転させ圧縮機能を行わせる回転機器において、貫通孔の中間部位における回転軸の外周面と貫通孔内周面との間に、貫通孔内の流体を貫通孔の中間部位に向けて付勢する螺旋溝を設けるとともに一端が軸受室側に開口し、他端が貫通孔の中間部位に開口して貫通孔内周面と軸受室側とを連通する連通路を隔壁に設けたことを特徴とする回転機器。
  4. 螺旋溝が隔壁に穿設された貫通孔の内周面に形成されていることを特徴とする請求項3記載の回転機器。
  5. 連通路の軸受室側開口部に潤滑用流体をトラップするフィルタを設けたことを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3または請求項4記載の回転機器。
JP2007042826A 2007-02-22 2007-02-22 回転機器 Expired - Fee Related JP4888155B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007042826A JP4888155B2 (ja) 2007-02-22 2007-02-22 回転機器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007042826A JP4888155B2 (ja) 2007-02-22 2007-02-22 回転機器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008202586A true JP2008202586A (ja) 2008-09-04
JP4888155B2 JP4888155B2 (ja) 2012-02-29

Family

ID=39780331

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007042826A Expired - Fee Related JP4888155B2 (ja) 2007-02-22 2007-02-22 回転機器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4888155B2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8790072B2 (en) 2011-08-16 2014-07-29 Weir Floway, Inc. Bearing assembly for a vertical turbine pump
WO2017014316A1 (ja) * 2015-07-23 2017-01-26 株式会社 豊田自動織機 遠心圧縮機
JP2017517695A (ja) * 2014-05-30 2017-06-29 ヌオーヴォ ピニォーネ ソチエタ レスポンサビリタ リミタータNuovo Pignone S.R.L. ターボ機械用のシールデバイス
CN108506214A (zh) * 2018-06-04 2018-09-07 西安交通大学 一种螺杆压缩机的轴封结构
CN111140519A (zh) * 2011-02-25 2020-05-12 瑞思迈发动机及马达技术股份有限公司 鼓风机与pap系统
WO2024042684A1 (ja) * 2022-08-25 2024-02-29 ファナック株式会社 送風装置、及びこれを適用したガスレーザ発振器

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0323699A (ja) * 1989-06-21 1991-01-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品実装方法
JPH1113687A (ja) * 1997-06-20 1999-01-19 Daikin Ind Ltd ターボ機械
JP2006125315A (ja) * 2004-10-29 2006-05-18 Shimadzu Corp ターボ形高速回転機器

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0323699A (ja) * 1989-06-21 1991-01-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品実装方法
JPH1113687A (ja) * 1997-06-20 1999-01-19 Daikin Ind Ltd ターボ機械
JP2006125315A (ja) * 2004-10-29 2006-05-18 Shimadzu Corp ターボ形高速回転機器

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111140519A (zh) * 2011-02-25 2020-05-12 瑞思迈发动机及马达技术股份有限公司 鼓风机与pap系统
US8790072B2 (en) 2011-08-16 2014-07-29 Weir Floway, Inc. Bearing assembly for a vertical turbine pump
JP2017517695A (ja) * 2014-05-30 2017-06-29 ヌオーヴォ ピニォーネ ソチエタ レスポンサビリタ リミタータNuovo Pignone S.R.L. ターボ機械用のシールデバイス
WO2017014316A1 (ja) * 2015-07-23 2017-01-26 株式会社 豊田自動織機 遠心圧縮機
CN108506214A (zh) * 2018-06-04 2018-09-07 西安交通大学 一种螺杆压缩机的轴封结构
WO2024042684A1 (ja) * 2022-08-25 2024-02-29 ファナック株式会社 送風装置、及びこれを適用したガスレーザ発振器

Also Published As

Publication number Publication date
JP4888155B2 (ja) 2012-02-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4888155B2 (ja) 回転機器
EP0228040B1 (en) Vacuum pump
KR100815538B1 (ko) 부스터-타입 가스 컴프레서
JP5447149B2 (ja) ベーンポンプ
JP2008185033A (ja) ギアボックスに取り付けられた始動装置を組み込んだガスタービンエンジン
JP2016000960A (ja) 輸送機械用の電動圧縮機
JP6126512B2 (ja) 圧縮機
JP4714009B2 (ja) 回転機械のオイルミスト飛散防止システム
JP2014515073A (ja) 油中ポンプに用いられる駆動ユニットおよびポンプ
JP2011163205A (ja) 圧縮装置
JP2006214341A (ja) ターボ型回転機器
JP4835861B2 (ja) 回転機器
JP2006348936A (ja) 電動圧縮機
JP4742886B2 (ja) 回転機器
JP2010203347A (ja) 過給機の潤滑装置
JP4639666B2 (ja) ターボ形高速回転機器
JPH11324971A (ja) キャンドモータポンプ
JP2005171959A (ja) モータ一体型燃料ガス圧縮機の軸封機構
JP2004183620A (ja) 高速回転機器
JP3163284U (ja) 回転機器
JPH07217748A (ja) 真空ポンプ用軸封装置
JP2001020895A (ja) 電動式ターボ機械
JP2006177280A (ja) 高速回転機器
JP4983026B2 (ja) 回転機器
WO2024042684A1 (ja) 送風装置、及びこれを適用したガスレーザ発振器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090827

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110831

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110831

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111024

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111115

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111128

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141222

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees