JPH07217748A - 真空ポンプ用軸封装置 - Google Patents
真空ポンプ用軸封装置Info
- Publication number
- JPH07217748A JPH07217748A JP6009087A JP908794A JPH07217748A JP H07217748 A JPH07217748 A JP H07217748A JP 6009087 A JP6009087 A JP 6009087A JP 908794 A JP908794 A JP 908794A JP H07217748 A JPH07217748 A JP H07217748A
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- JP
- Japan
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- oil
- seal
- sealing device
- shaft sealing
- shaft
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
- F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
Abstract
(57)【要約】
【構成】非接触シール１４を回転軸２とハウジング９と
の間に備え、ポンプ外部と軸封装置背面室１１とを連通
するシールガス導入孔９ｂをハウジング９に設け、上側
の油潤滑軸受４ａから溢れ出た潤滑油を積極的に排油口
９ｃに導くための油切り１５ａを非接触シール１４の回
転スリーブ１５に設けた構成とする。 【効果】真空チャンバ内製品の油汚染防止と省ユーティ
リティー化が図れる。
の間に備え、ポンプ外部と軸封装置背面室１１とを連通
するシールガス導入孔９ｂをハウジング９に設け、上側
の油潤滑軸受４ａから溢れ出た潤滑油を積極的に排油口
９ｃに導くための油切り１５ａを非接触シール１４の回
転スリーブ１５に設けた構成とする。 【効果】真空チャンバ内製品の油汚染防止と省ユーティ
リティー化が図れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はロータ支持用油潤滑軸受
の潤滑油がオイルフリーなポンプ機内へ浸入しないよう
にするために好適な真空ポンプ用軸封装置に関する。
の潤滑油がオイルフリーなポンプ機内へ浸入しないよう
にするために好適な真空ポンプ用軸封装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２に従来例の真空ポンプ用軸封装置部
の詳細を、図３に全体構造を示す。図３において、スク
リューロータ１は雄ロータと雌ロータの二軸で構成さ
れ、回転軸２に固定されている。回転軸２は油潤滑軸受
４ａ及び４ｂにより支持されている。油潤滑軸受４ａ及
び４ｂには回転軸２の下部に設けた自吸式の潤滑油ポン
プ１７により、油供給孔２ａを通じて潤滑油５が供給さ
れる。潤滑油５はオイルフリーなポンプ機内６へ浸入し
ないように、回転スリーブ８とハウジング９の間にはオ
イルシール７が装着されている。このような構成の真空
ポンプでは、万一、オイルシール７から潤滑油５が漏れ
ると、液状である場合にはほとんどが排気口９ａに導か
れ回収されるが、オイルミスト１２状のものはポンプ機
内６へ逆拡散し、上部真空チャンバヘ浸入する恐れがあ
る。また、オイルシール７と回転スリーブ８とは高速で
接触摺動するので、十分な潤滑油膜の確保と冷却による
摺動熱の除去が無い場合には異常摩耗を起し、ついには
油漏れを生じる。
の詳細を、図３に全体構造を示す。図３において、スク
リューロータ１は雄ロータと雌ロータの二軸で構成さ
れ、回転軸２に固定されている。回転軸２は油潤滑軸受
４ａ及び４ｂにより支持されている。油潤滑軸受４ａ及
び４ｂには回転軸２の下部に設けた自吸式の潤滑油ポン
プ１７により、油供給孔２ａを通じて潤滑油５が供給さ
れる。潤滑油５はオイルフリーなポンプ機内６へ浸入し
ないように、回転スリーブ８とハウジング９の間にはオ
イルシール７が装着されている。このような構成の真空
ポンプでは、万一、オイルシール７から潤滑油５が漏れ
ると、液状である場合にはほとんどが排気口９ａに導か
れ回収されるが、オイルミスト１２状のものはポンプ機
内６へ逆拡散し、上部真空チャンバヘ浸入する恐れがあ
る。また、オイルシール７と回転スリーブ８とは高速で
接触摺動するので、十分な潤滑油膜の確保と冷却による
摺動熱の除去が無い場合には異常摩耗を起し、ついには
油漏れを生じる。
【０００３】なお、この種の装置として関連する公知例
には、例えば、実開昭63−175355号，実開平1−82371号
公報が挙げられる。
には、例えば、実開昭63−175355号，実開平1−82371号
公報が挙げられる。
【０００４】上記の公知例は、漏洩流体を螺旋状の突起
または溝などにより、流体力学的ポンプ作用をもたら
し、径方向内側へ移動させるものや、漏洩流体をフェル
トなどの吸収部材へ吸収させるものである。
または溝などにより、流体力学的ポンプ作用をもたら
し、径方向内側へ移動させるものや、漏洩流体をフェル
トなどの吸収部材へ吸収させるものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来技術では、万一、
オイルシール７から油漏れが生じた場合の、ポンプ機内
６へのオイルミスト１２の浸入防止手段を備えておら
ず、オイルシール７から漏れだしたオイルミスト１２が
真空チャンバ内に浸入し製品を汚染したり、また、オイ
ルシール７の十分な潤滑と冷却などユーティリティー上
の問題があった。
オイルシール７から油漏れが生じた場合の、ポンプ機内
６へのオイルミスト１２の浸入防止手段を備えておら
ず、オイルシール７から漏れだしたオイルミスト１２が
真空チャンバ内に浸入し製品を汚染したり、また、オイ
ルシール７の十分な潤滑と冷却などユーティリティー上
の問題があった。
【０００６】本発明の目的は、従来のオイルシールに代
わり非接触シールとシールガス及び回転スリーブに設け
た油切りなどを用いた構成にすることにより、軸封装置
の潤滑及び冷却を不要にし省ユーティリティー化が図れ
るとともに完全無漏洩な真空ポンプ用軸封装置を提供す
ることにある。
わり非接触シールとシールガス及び回転スリーブに設け
た油切りなどを用いた構成にすることにより、軸封装置
の潤滑及び冷却を不要にし省ユーティリティー化が図れ
るとともに完全無漏洩な真空ポンプ用軸封装置を提供す
ることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は非接触シールを回転軸とハウジングとの間
に備え、ポンプ外部と軸封装置背面室とを連通するシー
ルガス導入孔をハウジングに設け、上側の油潤滑軸受か
ら溢れ出た潤滑油を積極的に排油口に導くための油切り
を非接触シールの回転スリーブに設けた構成としたもの
である。
め、本発明は非接触シールを回転軸とハウジングとの間
に備え、ポンプ外部と軸封装置背面室とを連通するシー
ルガス導入孔をハウジングに設け、上側の油潤滑軸受か
ら溢れ出た潤滑油を積極的に排油口に導くための油切り
を非接触シールの回転スリーブに設けた構成としたもの
である。
【０００８】
【作用】油潤滑軸受に供給された潤滑油は、ポンプ下部
にある油タンク内に自然落下で戻るが、一部は上側の油
潤滑軸受から溢れ出て軸封装置部へ浸入しようとする。
この際溢れ出た潤滑油の大部分は、非接触シールの回転
スリーブに設けられた油切りにより、積極的に排油口に
導かれ油タンク内に回収される。それでも回収しきれな
かった潤滑油及びオイルミストは、回転軸とハウジング
の間に備えた非接触シールを通って軸封装置背面室に浸
入しようとする。このため、ポンプ外部から軸封装置前
面室よりも高圧のシールガスを、ハウジングに設けたシ
ールガス導入口を通し、軸封装置背面室にパージする。
この結果、非接触シールからの油漏れは阻止され、また
非接触なため潤滑油や摺動による発熱が無いことから冷
却も不要となる。
にある油タンク内に自然落下で戻るが、一部は上側の油
潤滑軸受から溢れ出て軸封装置部へ浸入しようとする。
この際溢れ出た潤滑油の大部分は、非接触シールの回転
スリーブに設けられた油切りにより、積極的に排油口に
導かれ油タンク内に回収される。それでも回収しきれな
かった潤滑油及びオイルミストは、回転軸とハウジング
の間に備えた非接触シールを通って軸封装置背面室に浸
入しようとする。このため、ポンプ外部から軸封装置前
面室よりも高圧のシールガスを、ハウジングに設けたシ
ールガス導入口を通し、軸封装置背面室にパージする。
この結果、非接触シールからの油漏れは阻止され、また
非接触なため潤滑油や摺動による発熱が無いことから冷
却も不要となる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図により説明する。
本実施例は、スクリュー真空ポンプをはじめとする各種
ドライ真空ポンプで、真空チャンバ内へオイルミストの
浸入を許容しない真空ポンプの軸封装置に最適である
が、ここでは図３に示すスクリュー形の真空ポンプに適
用した例について説明する。
本実施例は、スクリュー真空ポンプをはじめとする各種
ドライ真空ポンプで、真空チャンバ内へオイルミストの
浸入を許容しない真空ポンプの軸封装置に最適である
が、ここでは図３に示すスクリュー形の真空ポンプに適
用した例について説明する。
【００１０】スクリュー形のロータ１は図３では一軸し
か示していないが、雄ロータと雌ロータの二軸があり、
それぞれ回転軸２に固定され、お互いが非接触で回転す
るようになっている。このとき、吸気口３から吸い込ま
れたガスは、雄，雌両ロータにより圧縮，移送され、大
気圧まで昇圧され、排気口９ａより排気される。
か示していないが、雄ロータと雌ロータの二軸があり、
それぞれ回転軸２に固定され、お互いが非接触で回転す
るようになっている。このとき、吸気口３から吸い込ま
れたガスは、雄，雌両ロータにより圧縮，移送され、大
気圧まで昇圧され、排気口９ａより排気される。
【００１１】ロータ１が装着されている回転軸２は、油
潤滑軸受４ａ及び４ｂで支持されている。この油潤滑軸
受４ａ及び４ｂの潤滑は、ポンプ下部にある油タンク１
８から回転軸２の下端部に設置された潤滑油ポンプ１７
により、回転軸２の内部に設けられた油供給孔２ａを通
して、潤滑油５を送りこむことで行っている。潤滑油５
がオイルフリーなポンプ機内６へ漏洩するのを防止する
ため、回転スリーブ８とハウジング９との間には軸封装
置が必要となる。
潤滑軸受４ａ及び４ｂで支持されている。この油潤滑軸
受４ａ及び４ｂの潤滑は、ポンプ下部にある油タンク１
８から回転軸２の下端部に設置された潤滑油ポンプ１７
により、回転軸２の内部に設けられた油供給孔２ａを通
して、潤滑油５を送りこむことで行っている。潤滑油５
がオイルフリーなポンプ機内６へ漏洩するのを防止する
ため、回転スリーブ８とハウジング９との間には軸封装
置が必要となる。
【００１２】従来例の軸封装置にはオイルシールが用い
られているが、その詳細を図２に示す。オイルシール７
の軸封装置前面室１３は大気圧程度であるのに対し、ロ
ータ吐出端部１０からオイルシール７の軸封装置背面室
１１の付近は低真空域となるので、万一、オイルシール
７から潤滑油５が漏れたり、オイルシール摺動部の潤滑
油が摺動熱によってオイルシール７の軸封装置背面室１
１側へ蒸発してきたりした場合には、ポンプ機内６へオ
イルミスト１２が浸入する恐れがある。そして、最悪の
場合は、吸気口３を通じて真空チャンバ内に浸入する。
られているが、その詳細を図２に示す。オイルシール７
の軸封装置前面室１３は大気圧程度であるのに対し、ロ
ータ吐出端部１０からオイルシール７の軸封装置背面室
１１の付近は低真空域となるので、万一、オイルシール
７から潤滑油５が漏れたり、オイルシール摺動部の潤滑
油が摺動熱によってオイルシール７の軸封装置背面室１
１側へ蒸発してきたりした場合には、ポンプ機内６へオ
イルミスト１２が浸入する恐れがある。そして、最悪の
場合は、吸気口３を通じて真空チャンバ内に浸入する。
【００１３】また、オイルシール７は回転スリーブ８と
接触摺動するので、摺動密封面には十分な潤滑油膜の確
保が必要となり、密封性能とは相反する関係となる。さ
らに、高速で接触摺動するため摺動熱が発生しオイルシ
ール７の寿命に悪影響を及ぼす。このため、ポンプ下部
にある油タンク内の潤滑油を水冷却して供給しておりユ
ーティリティー上の問題があった。
接触摺動するので、摺動密封面には十分な潤滑油膜の確
保が必要となり、密封性能とは相反する関係となる。さ
らに、高速で接触摺動するため摺動熱が発生しオイルシ
ール７の寿命に悪影響を及ぼす。このため、ポンプ下部
にある油タンク内の潤滑油を水冷却して供給しておりユ
ーティリティー上の問題があった。
【００１４】つぎに本発明の構成，動作及び効果を説明
する。
する。
【００１５】本発明の実施例を図１により説明する。図
１は図３の軸封装置付近を拡大したものである。この実
施例は接触形であるオイルシールに代え、非接触シール
１４を回転軸２とハウジング９との間に備え、ポンプ外
部と軸封装置背面室１１とを連通するシールガス導入孔
９ｂをハウジング９に設け、さらに非接触シール１４の
回転スリーブ１５に油切り１５ａを設けた構成としたも
のである。
１は図３の軸封装置付近を拡大したものである。この実
施例は接触形であるオイルシールに代え、非接触シール
１４を回転軸２とハウジング９との間に備え、ポンプ外
部と軸封装置背面室１１とを連通するシールガス導入孔
９ｂをハウジング９に設け、さらに非接触シール１４の
回転スリーブ１５に油切り１５ａを設けた構成としたも
のである。
【００１６】つぎに、この実施例の動作を説明する。油
潤滑軸受４ａ及び４ｂに供給された潤滑油５は、ポンプ
下部にある油タンク１８内に自然落下で戻るが、一部は
上側の油潤滑軸受４ａから溢れ出て非接触シール１４部
へ浸入しようとする。この際溢れ出た潤滑油の大部分
は、非接触シール１４の回転スリーブ１５に設けられた
油切り１５ａにより、積極的に排油口９ｃに導かれ油タ
ンク１８内に回収される。それでも回収しきれなかった
潤滑油及びオイルミストは、回転軸２とハウジング９の
間に備えた非接触シール１４を通って、軸封装置背面室
１１に浸入しようとする。このため、ポンプ外部から軸
封装置前面室１３よりも高圧のシールガス１６を、ハウ
ジング９に設けたシールガス導入孔９ｂを通し、軸封装
置背面室１１にパージする。この結果、潤滑油及びオイ
ルミストはシールガス１６により油タンク１８内に回収
され、非接触シール１４からの油漏れは阻止される。ま
た非接触なため潤滑油や摺動による発熱が無いことから
冷却も不要となる。
潤滑軸受４ａ及び４ｂに供給された潤滑油５は、ポンプ
下部にある油タンク１８内に自然落下で戻るが、一部は
上側の油潤滑軸受４ａから溢れ出て非接触シール１４部
へ浸入しようとする。この際溢れ出た潤滑油の大部分
は、非接触シール１４の回転スリーブ１５に設けられた
油切り１５ａにより、積極的に排油口９ｃに導かれ油タ
ンク１８内に回収される。それでも回収しきれなかった
潤滑油及びオイルミストは、回転軸２とハウジング９の
間に備えた非接触シール１４を通って、軸封装置背面室
１１に浸入しようとする。このため、ポンプ外部から軸
封装置前面室１３よりも高圧のシールガス１６を、ハウ
ジング９に設けたシールガス導入孔９ｂを通し、軸封装
置背面室１１にパージする。この結果、潤滑油及びオイ
ルミストはシールガス１６により油タンク１８内に回収
され、非接触シール１４からの油漏れは阻止される。ま
た非接触なため潤滑油や摺動による発熱が無いことから
冷却も不要となる。
【００１７】すなわち、本実施例によれば軸受潤滑油の
ポンプ機内への完全無漏洩化と、軸封装置の潤滑及び冷
却を不要にできることから省ユーティリティー化が図れ
る効果がある。
ポンプ機内への完全無漏洩化と、軸封装置の潤滑及び冷
却を不要にできることから省ユーティリティー化が図れ
る効果がある。
【００１８】なお非接触シールは、ラビリンスシール，
フローティングリングシール，ねじシール，端面型シー
ルなどがある。
フローティングリングシール，ねじシール，端面型シー
ルなどがある。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、非接触シールを回転軸
とハウジングとの間に備え、ポンプ外部と軸封装置背面
室とを連通するシールガス導入孔をハウジングに設け、
上側の油潤滑軸受から溢れ出た潤滑油を積極的に排油口
に導くための油切りを非接触シールの回転スリーブに設
けた構成とすることにより、軸受潤滑油のポンプ機内へ
の完全無漏洩化と、軸封装置の潤滑及び冷却を不要にで
きることから省ユーティリティー化が図れる。
とハウジングとの間に備え、ポンプ外部と軸封装置背面
室とを連通するシールガス導入孔をハウジングに設け、
上側の油潤滑軸受から溢れ出た潤滑油を積極的に排油口
に導くための油切りを非接触シールの回転スリーブに設
けた構成とすることにより、軸受潤滑油のポンプ機内へ
の完全無漏洩化と、軸封装置の潤滑及び冷却を不要にで
きることから省ユーティリティー化が図れる。
【図１】本発明の一実施例を示す要部の断面図。
【図２】従来技術を示す要部の断面図。
【図３】本発明を実施するスクリュー形真空ポンプの断
面図。
面図。
１…スクリューロータ、２…回転軸、４ａ，４ｂ…油潤
滑軸受、７…オイルシール、９ｂ…シールガス導入孔、
９ｃ…排油口、１１…軸封装置背面室、１３…軸封装置
前面室、１４…非接触シール、１５ａ…油切り、１６…
シールガス。
滑軸受、７…オイルシール、９ｂ…シールガス導入孔、
９ｃ…排油口、１１…軸封装置背面室、１３…軸封装置
前面室、１４…非接触シール、１５ａ…油切り、１６…
シールガス。
Claims (1)
- 【請求項１】お互いに噛み合う雄，雌一対のスクリュー
ロータとケーシングにより形成される真空ポンプ機内
に、ロータ回転軸を支持する油潤滑軸受の潤滑油が浸入
しないようにするための真空ポンプ用軸封装置におい
て、非接触シールを回転軸とハウジングとの間に備え、
ポンプ外部とシール背面室とを連通するシールガス導入
孔をハウジングに設け、潤滑油を積極的に排油口に導く
ための油切りを非接触シールの回転スリーブに設けた構
成を特徴とする真空ポンプ用軸封装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6009087A JPH07217748A (ja) | 1994-01-31 | 1994-01-31 | 真空ポンプ用軸封装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6009087A JPH07217748A (ja) | 1994-01-31 | 1994-01-31 | 真空ポンプ用軸封装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07217748A true JPH07217748A (ja) | 1995-08-15 |
Family
ID=11710842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6009087A Pending JPH07217748A (ja) | 1994-01-31 | 1994-01-31 | 真空ポンプ用軸封装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07217748A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004005711A1 (ja) * | 2002-07-04 | 2004-01-15 | Nabtesco Corporation | 液体ポンプ |
| WO2006106069A1 (de) * | 2005-04-02 | 2006-10-12 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Wellendichtung |
| JP2013507575A (ja) * | 2009-10-21 | 2013-03-04 | コディヴァック リミテッド | モータ内蔵型スクリューロータ型真空ポンプ |
| CN104399601A (zh) * | 2013-11-04 | 2015-03-11 | 巴工业株式会社 | 离心分离装置 |
| CN112682347A (zh) * | 2020-12-01 | 2021-04-20 | 安徽工程大学 | 一种非接触物料化工泵密封件 |
| CN113323873A (zh) * | 2021-07-05 | 2021-08-31 | 漯河职业技术学院 | 电动压缩机及其控制方法 |
-
1994
- 1994-01-31 JP JP6009087A patent/JPH07217748A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004005711A1 (ja) * | 2002-07-04 | 2004-01-15 | Nabtesco Corporation | 液体ポンプ |
| JPWO2004005711A1 (ja) * | 2002-07-04 | 2005-11-04 | ナブテスコ株式会社 | 液体ポンプ |
| WO2006106069A1 (de) * | 2005-04-02 | 2006-10-12 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Wellendichtung |
| JP2013507575A (ja) * | 2009-10-21 | 2013-03-04 | コディヴァック リミテッド | モータ内蔵型スクリューロータ型真空ポンプ |
| CN104399601A (zh) * | 2013-11-04 | 2015-03-11 | 巴工业株式会社 | 离心分离装置 |
| EP2868386A1 (en) * | 2013-11-04 | 2015-05-06 | TOMOE Engineering Co., Ltd. | Centrifugal separator |
| JP2015089525A (ja) * | 2013-11-04 | 2015-05-11 | 巴工業株式会社 | 遠心分離装置 |
| CN104399601B (zh) * | 2013-11-04 | 2015-08-12 | 巴工业株式会社 | 离心分离装置 |
| US9238233B2 (en) | 2013-11-04 | 2016-01-19 | Tomoe Engineering Co., Ltd. | Centrifugal separator with shaft sealing mechanism for a centrifugal separation bowl rotatable within a casing |
| CN112682347A (zh) * | 2020-12-01 | 2021-04-20 | 安徽工程大学 | 一种非接触物料化工泵密封件 |
| CN113323873A (zh) * | 2021-07-05 | 2021-08-31 | 漯河职业技术学院 | 电动压缩机及其控制方法 |
| CN113323873B (zh) * | 2021-07-05 | 2022-07-22 | 漯河职业技术学院 | 电动压缩机及其控制方法 |
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