JPH06331041A - 真空ポンプ用軸封装置 - Google Patents
真空ポンプ用軸封装置Info
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- JPH06331041A JPH06331041A JP5122334A JP12233493A JPH06331041A JP H06331041 A JPH06331041 A JP H06331041A JP 5122334 A JP5122334 A JP 5122334A JP 12233493 A JP12233493 A JP 12233493A JP H06331041 A JPH06331041 A JP H06331041A
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- Japan
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- oil
- seal
- communication hole
- casing
- oil seal
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressor (AREA)
- Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】第一の連通孔１３をハウジング９に、第二の連
通孔１４をケーシング１７に設け、第一の連通孔１３と
第二の連通孔１４の間に、オイルミスト捕集装置２１及
びガス流量制御装置２２などを設けた。 【効果】真空チャンバ内製品の油汚染防止と省ユーティ
リティ化ができる。
通孔１４をケーシング１７に設け、第一の連通孔１３と
第二の連通孔１４の間に、オイルミスト捕集装置２１及
びガス流量制御装置２２などを設けた。 【効果】真空チャンバ内製品の油汚染防止と省ユーティ
リティ化ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空ポンプ用軸封装置に
係り、特に、オイルシールからの漏洩油がオイルフリー
なポンプ機内へ浸入しないようにするために好適な真空
ポンプ用軸封装置に関する。
係り、特に、オイルシールからの漏洩油がオイルフリー
なポンプ機内へ浸入しないようにするために好適な真空
ポンプ用軸封装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２に従来例の真空ポンプ用軸封部の詳
細を、図３に全体構造を示す。図３において、スクリュ
ーロータ１は雄ロータと雌ロータの二軸で構成され、回
転軸２に固定されている。回転軸２は油潤滑軸受４によ
り支持されている。油潤滑軸受４には、回転軸２の下部
に設けた自吸式の潤滑油ポンプ１９により、油供給孔２
ａを通じて潤滑油５が供給される。潤滑油５はオイルフ
リーなポンプ機内６へ浸入しないように、スリーブ８と
ハウジング９の間にはオイルシール７が装着されてい
る。このような構成の真空ポンプでは、万一、オイルシ
ール７から潤滑油５が漏れると、液状である場合にはほ
とんどが排気口９ａに導かれ回収されるが、オイルミス
ト１２状のものはポンプ機内へ逆拡散し、上部真空チャ
ンバヘ浸入する恐れがある。
細を、図３に全体構造を示す。図３において、スクリュ
ーロータ１は雄ロータと雌ロータの二軸で構成され、回
転軸２に固定されている。回転軸２は油潤滑軸受４によ
り支持されている。油潤滑軸受４には、回転軸２の下部
に設けた自吸式の潤滑油ポンプ１９により、油供給孔２
ａを通じて潤滑油５が供給される。潤滑油５はオイルフ
リーなポンプ機内６へ浸入しないように、スリーブ８と
ハウジング９の間にはオイルシール７が装着されてい
る。このような構成の真空ポンプでは、万一、オイルシ
ール７から潤滑油５が漏れると、液状である場合にはほ
とんどが排気口９ａに導かれ回収されるが、オイルミス
ト１２状のものはポンプ機内へ逆拡散し、上部真空チャ
ンバヘ浸入する恐れがある。
【０００３】なお、この種の装置として関連する公知例
には、例えば実開昭63−175355号，実開平1−82371号公
報が挙げられる。
には、例えば実開昭63−175355号，実開平1−82371号公
報が挙げられる。
【０００４】上記の公知例は、漏洩流体を螺旋状の突起
または溝などにより、流体力学的ポンプ作用をもたら
し、径方向内側へ移動させるものや、漏洩流体をフェル
トなどの吸収部材へ吸収させるものである。
または溝などにより、流体力学的ポンプ作用をもたら
し、径方向内側へ移動させるものや、漏洩流体をフェル
トなどの吸収部材へ吸収させるものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来技術では、万一、
オイルシール７から油漏れが生じた場合の、ポンプ機内
６へのオイルミスト１２の浸入防止手段としての予備手
段を備えておらず、オイルシール７から漏れだしたオイ
ルミスト１２が真空チャンバ内に浸入し、製品を汚染す
るという問題があった。
オイルシール７から油漏れが生じた場合の、ポンプ機内
６へのオイルミスト１２の浸入防止手段としての予備手
段を備えておらず、オイルシール７から漏れだしたオイ
ルミスト１２が真空チャンバ内に浸入し、製品を汚染す
るという問題があった。
【０００６】本発明の目的は、万一オイルシールから油
漏れが生じた場合でも、ポンプ機内へのオイルミストの
浸入を防ぐとともに、圧力差を利用したガスの循環方式
により、省ユーティリティ化が図れる真空ポンプ用軸封
装置を提供することにある。
漏れが生じた場合でも、ポンプ機内へのオイルミストの
浸入を防ぐとともに、圧力差を利用したガスの循環方式
により、省ユーティリティ化が図れる真空ポンプ用軸封
装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明はオイルシールと非接触円筒面シールとの間
で形成されるオイルシール背面室と、ロータ外周部とケ
ーシングとの間で形成される隙間部とを連通する第一の
連通孔をハウジングに、第二の連通孔をケーシングに設
け、第一の連通孔と第二の連通孔の間に、オイルミスト
捕集装置及びガス流量制御装置などを設け、外部からパ
ージガスを積極的に導入する方式に対し、ポンプ自体が
持つ圧力差を利用したガスの循環方式を備えたものであ
る。
め、本発明はオイルシールと非接触円筒面シールとの間
で形成されるオイルシール背面室と、ロータ外周部とケ
ーシングとの間で形成される隙間部とを連通する第一の
連通孔をハウジングに、第二の連通孔をケーシングに設
け、第一の連通孔と第二の連通孔の間に、オイルミスト
捕集装置及びガス流量制御装置などを設け、外部からパ
ージガスを積極的に導入する方式に対し、ポンプ自体が
持つ圧力差を利用したガスの循環方式を備えたものであ
る。
【０００８】
【作用】万一、オイルシールから潤滑油が漏れた場合、
オイルミストはオイルシール背面室に浮遊することが考
えられる。これに対し、本発明ではオイルシール背面室
と、ロータ外周部とケーシングとの間で形成される隙間
部とを連通する第一の連通孔をハウジングに、第二の連
通孔をケーシングに設け、第一の連通孔と第二の連通孔
の間にオイルミスト捕集装置及びガス流量制御装置など
を備えた。すなわち、オイルシール背面室のガスは、オ
イルシール背面室に比べロータ外周部とケーシングの隙
間部の方が真空度が高いので、第一の連通孔及び第二の
連通孔を通ってロータ外周部とケーシングの隙間部に吸
い込まれ排気口より排気される。この際ガス中に含まれ
るオイルミストは、ガスの流れに乗りハウジングに設け
た第一の連通孔を通って、オイルミスト捕集装置に捕ら
えられる。このためオイルシールの後方に設けた非接触
円筒面シール通って、ポンプ機内へ浸入することはな
い。
オイルミストはオイルシール背面室に浮遊することが考
えられる。これに対し、本発明ではオイルシール背面室
と、ロータ外周部とケーシングとの間で形成される隙間
部とを連通する第一の連通孔をハウジングに、第二の連
通孔をケーシングに設け、第一の連通孔と第二の連通孔
の間にオイルミスト捕集装置及びガス流量制御装置など
を備えた。すなわち、オイルシール背面室のガスは、オ
イルシール背面室に比べロータ外周部とケーシングの隙
間部の方が真空度が高いので、第一の連通孔及び第二の
連通孔を通ってロータ外周部とケーシングの隙間部に吸
い込まれ排気口より排気される。この際ガス中に含まれ
るオイルミストは、ガスの流れに乗りハウジングに設け
た第一の連通孔を通って、オイルミスト捕集装置に捕ら
えられる。このためオイルシールの後方に設けた非接触
円筒面シール通って、ポンプ機内へ浸入することはな
い。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図により説明する。
本実施例は、スクリュ真空ポンプをはじめとする各種ド
ライ真空ポンプで、真空チャンバ内へオイルミストの浸
入を絶対許容しない真空ポンプの軸封装置に最適である
が、ここでは図３に示すスクリュ形の真空ポンプに適用
した例について説明する。
本実施例は、スクリュ真空ポンプをはじめとする各種ド
ライ真空ポンプで、真空チャンバ内へオイルミストの浸
入を絶対許容しない真空ポンプの軸封装置に最適である
が、ここでは図３に示すスクリュ形の真空ポンプに適用
した例について説明する。
【００１０】スクリュ形のロータ１は図では一軸しか示
していないが、雄ロータと雌ロータの二軸があり、それ
ぞれ回転軸２に固定され、非接触で回転するようになっ
ている。このとき、吸気口３から吸い込まれたガスは、
雄，雌両ロータにより圧縮，移送され、大気圧まで昇圧
され、排気口９ａより排気される。
していないが、雄ロータと雌ロータの二軸があり、それ
ぞれ回転軸２に固定され、非接触で回転するようになっ
ている。このとき、吸気口３から吸い込まれたガスは、
雄，雌両ロータにより圧縮，移送され、大気圧まで昇圧
され、排気口９ａより排気される。
【００１１】ロータ１が装着されている回転軸２は、油
潤滑軸受４で支持されている。この油潤滑軸受４の潤滑
は、回転軸２の下端部に設置された潤滑油ポンプ１９か
ら、回転軸２の内部に設けられた油供給孔２ａを通じ
て、潤滑油５を送りこむことで行っている。潤滑油５が
オイルフリーなポンプ機内６へ漏洩するのを防止するた
め、スリーブ８とハウジング９との間にオイルシール７
が装着されている。
潤滑軸受４で支持されている。この油潤滑軸受４の潤滑
は、回転軸２の下端部に設置された潤滑油ポンプ１９か
ら、回転軸２の内部に設けられた油供給孔２ａを通じ
て、潤滑油５を送りこむことで行っている。潤滑油５が
オイルフリーなポンプ機内６へ漏洩するのを防止するた
め、スリーブ８とハウジング９との間にオイルシール７
が装着されている。
【００１２】軸封装置の詳細を図２に示す。オイルシー
ル７の前方の油室は大気圧程度であるのに対し、ロータ
吐出端部１０からオイルシール背面室１１の付近は低真
空域となるので、万一、オイルシール７から潤滑油５が
漏れたり、シール摺動部の潤滑油が摺動熱によってオイ
ルシール背面室１１側へ蒸発してきたりした場合には、
ポンプ機内６へオイルミスト１２が浸入する恐れがあ
る。そして、最悪の場合は、吸気口３を通じて真空チャ
ンバ内に浸入する。
ル７の前方の油室は大気圧程度であるのに対し、ロータ
吐出端部１０からオイルシール背面室１１の付近は低真
空域となるので、万一、オイルシール７から潤滑油５が
漏れたり、シール摺動部の潤滑油が摺動熱によってオイ
ルシール背面室１１側へ蒸発してきたりした場合には、
ポンプ機内６へオイルミスト１２が浸入する恐れがあ
る。そして、最悪の場合は、吸気口３を通じて真空チャ
ンバ内に浸入する。
【００１３】本発明の構成，動作及び効果を次に説明す
る。
る。
【００１４】本発明の一実施例を図１により説明する。
図１は図３のオイルシール部付近を拡大したものであ
る。この実施例はオイルシール７の補助シールとして、
非接触円筒面シール２０を備え、オイルシール背面室１
１と、ロータ外周部１６とケーシング１７との間で形成
される隙間部１５とを連通する第一の連通孔１３をハウ
ジング９に、第二の連通孔１４をケーシング１７に設
け、第一の連通孔１３と第二の連通孔１４の間に、オイ
ルミスト捕集装置２１及びガス流量制御装置２２などを
備えたものである。なお、運転中のポンプの圧力分布
は、ロータ１の上部付近の真空度が最も高く、ロータ１
の下部になるに連れ真空度が低下し、排気口９ａ付近で
大気圧となる。従って、オイルシール背面室１１付近
は、ロータ外周部１６とケーシング１７との間で形成さ
れる隙間部１５に比べ、真空度が十分低い。
図１は図３のオイルシール部付近を拡大したものであ
る。この実施例はオイルシール７の補助シールとして、
非接触円筒面シール２０を備え、オイルシール背面室１
１と、ロータ外周部１６とケーシング１７との間で形成
される隙間部１５とを連通する第一の連通孔１３をハウ
ジング９に、第二の連通孔１４をケーシング１７に設
け、第一の連通孔１３と第二の連通孔１４の間に、オイ
ルミスト捕集装置２１及びガス流量制御装置２２などを
備えたものである。なお、運転中のポンプの圧力分布
は、ロータ１の上部付近の真空度が最も高く、ロータ１
の下部になるに連れ真空度が低下し、排気口９ａ付近で
大気圧となる。従って、オイルシール背面室１１付近
は、ロータ外周部１６とケーシング１７との間で形成さ
れる隙間部１５に比べ、真空度が十分低い。
【００１５】この軸封装置では、万一、オイルシール７
から油が漏れたり、あるいは蒸発して、オイルシール背
面室１１にオイルミスト１２が浮遊したりしても、オイ
ルシール背面室１１に比べ、ロータ１の隙間部１５の方
が真空度が十分高いので、オイルミスト１２は非接触円
筒面シール２０を通ってポンプ機内６には浸入せず、第
一の連通孔１３を通ってオイルシール背面室１１から吸
い出されオイルミスト捕集装置２１に捕集される。その
後、オイルミスト捕集装置２１を通過したクリーンなガ
スは、第二の連通孔１４を通って、ロータ１の隙間部１
６に吸い込まれ、排気口９ａに導かれる。ケーシング１
７に設ける第二の連通孔１４の位置は、到達真空度に悪
影響を及ばさないロータ下部の方がよい。
から油が漏れたり、あるいは蒸発して、オイルシール背
面室１１にオイルミスト１２が浮遊したりしても、オイ
ルシール背面室１１に比べ、ロータ１の隙間部１５の方
が真空度が十分高いので、オイルミスト１２は非接触円
筒面シール２０を通ってポンプ機内６には浸入せず、第
一の連通孔１３を通ってオイルシール背面室１１から吸
い出されオイルミスト捕集装置２１に捕集される。その
後、オイルミスト捕集装置２１を通過したクリーンなガ
スは、第二の連通孔１４を通って、ロータ１の隙間部１
６に吸い込まれ、排気口９ａに導かれる。ケーシング１
７に設ける第二の連通孔１４の位置は、到達真空度に悪
影響を及ばさないロータ下部の方がよい。
【００１６】なお、ガス流量制御装置２２は、低真空の
ガスを高真空中に導入することによる到達真空度への悪
影響を避けるためのものであり、オリフィスあるいは流
量調節弁などで所定の圧力になるように調節する。オイ
ルミスト捕集装置２１としては、オイルミストフィル
タ，活性炭，コールドトラップなどがある。
ガスを高真空中に導入することによる到達真空度への悪
影響を避けるためのものであり、オリフィスあるいは流
量調節弁などで所定の圧力になるように調節する。オイ
ルミスト捕集装置２１としては、オイルミストフィル
タ，活性炭，コールドトラップなどがある。
【００１７】また、非接触円筒面シール２０としては、
ラビリンスシール，フローティングリングシール，ねじ
シールなどがあるが、オイルミスト１２の浸入を完全に
防止するにはねじシールが最適である。
ラビリンスシール，フローティングリングシール，ねじ
シールなどがあるが、オイルミスト１２の浸入を完全に
防止するにはねじシールが最適である。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、オイルシール背面室
と、ロータ外周部とケーシングとの間で形成される隙間
部とを連通する第一の連通孔をハウジングに、第二の連
通孔をケーシングに設け、第一の連通孔と第二の連通孔
の間に、オイルミスト捕集装置及びガス流量制御装置な
どを設けたことにより、万一オイルシールから油漏れが
生じた場合でも、ポンプ機内への浸入を防ぎ、また、外
部からパージガスを積極的に導入する方式に比べ、圧力
差を利用してガスが循環できるため、省ユーティリティ
化が図れる。
と、ロータ外周部とケーシングとの間で形成される隙間
部とを連通する第一の連通孔をハウジングに、第二の連
通孔をケーシングに設け、第一の連通孔と第二の連通孔
の間に、オイルミスト捕集装置及びガス流量制御装置な
どを設けたことにより、万一オイルシールから油漏れが
生じた場合でも、ポンプ機内への浸入を防ぎ、また、外
部からパージガスを積極的に導入する方式に比べ、圧力
差を利用してガスが循環できるため、省ユーティリティ
化が図れる。
【図１】本発明の一実施例を示す要部の断面図。
【図２】従来技術を示す要部の断面図。
【図３】本発明を実施するスクリュ形真空ポンプの断面
図。
図。
１…ロータ、２…回転軸、４…油潤滑軸受、６…ポンプ
機内、７…オイルシール、９…ハウジング、１１…オイ
ルシール背面室、１３…第一の連通孔、１４…第二の連
通孔、１７…ケーシング、２０…非接触円筒面シール、
２１…オイルミスト捕集装置、２２…ガス流量制御装
置。
機内、７…オイルシール、９…ハウジング、１１…オイ
ルシール背面室、１３…第一の連通孔、１４…第二の連
通孔、１７…ケーシング、２０…非接触円筒面シール、
２１…オイルミスト捕集装置、２２…ガス流量制御装
置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三橋 晋司 静岡県清水市村松390番地 株式会社日立 製作所清水工場内
Claims (1)
- 【請求項１】お互いに噛み合う雄，雌一対のスクリュー
ロータとケーシングにより形成される真空ポンプ機内
に、ロータ回転軸を支持する油潤滑軸受の潤滑油が浸入
しないように、前記ロータ回転軸とハウジングとの間に
オイルシールと非接触円筒面シールとを備えた真空ポン
プ用軸封装置において、前記オイルシールと前記非接触
円筒面シールとの間で形成されるオイルシール背面室
と、ロータ外周部と前記ケーシングとの間で形成される
隙間部とを連通する第一の連通孔を前記ハウジングに、
第二の連通孔を前記ケーシングに設け、前記第一の連通
孔と前記第二の連通孔の間に、オイルミスト捕集装置及
びガス流量制御装置を設け、ポンプ自体の持つ圧力差を
利用したガスの循環方式を備えたことを特徴とする真空
ポンプ用軸封装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5122334A JPH06331041A (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 真空ポンプ用軸封装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5122334A JPH06331041A (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 真空ポンプ用軸封装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06331041A true JPH06331041A (ja) | 1994-11-29 |
Family
ID=14833404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5122334A Pending JPH06331041A (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 真空ポンプ用軸封装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06331041A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115355171A (zh) * | 2022-09-06 | 2022-11-18 | 鑫磊压缩机股份有限公司 | 一种组合式密封的无油螺杆鼓风机 |
-
1993
- 1993-05-25 JP JP5122334A patent/JPH06331041A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115355171A (zh) * | 2022-09-06 | 2022-11-18 | 鑫磊压缩机股份有限公司 | 一种组合式密封的无油螺杆鼓风机 |
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