JPH0318684A

JPH0318684A - 真空ポンプ用軸封装置

Info

Publication number: JPH0318684A
Application number: JP14966089A
Authority: JP
Inventors: Eiichi Sato; 栄一佐藤; Nobuo Tsumaki; 妻木　伸夫; Hiroshi Torigoe; 大資鳥越; Kotaro Naya; 納谷　孝太郎
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1989-06-14
Filing date: 1989-06-14
Publication date: 1991-01-28

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、真空ポンプ用軸封装置に係り、特に油潤滑軸
受の潤滑油の油滴や油煙がボンブ機内へ浸入しないよう
にするために好適む真空ポンプ用軸封装置に関する．〔従来の技術〕従来の軸封装置は、特開昭６３−１２８９７号公報に記
載のように、ラビリンス装置またはオイルシ一トを単段
あるいは数段ずつ用いるようになっていた。

第２図にオイルシールを単段で用いた従来技術を示す。

この第２図に示す従来技術において、スクリュー型のロ
ータ１は，ａロータと雌ロータの２軸で構威され、また
回転軸２に固定されている。

前記回転軸２は、スリーブ８とハウジング９間に設けら
れた油潤滑軸受４に支持されている。この油潤滑軸受４
には、回転軸２の内部に設けられた油供給穴２ａを通じ
て潤滑油５が供給されるようになっている．また、前記スリーブ８とハウジング９との間には、オイ
ルシール７が装着されている。このオイルシール７は、
オイルフリーのポンプ機内６への潤滑油５の漏洩を防止
するようになっている。

このスクリュー型のロータ１は、回転軸２が回転駆動さ
れるに伴い，雄，雌ロータが非接触で同期回転し，この
とき吸気口３から吸い込まれた気体は、雄，雌ロータに
より圧縮，移送され、大気圧まで昇圧され、排気される
。

なお、第２図中、１０はロータ吐出端部，１１はロータ
内部室，１２は潤滑油の油煙，１３は潤滑油の油滴を示
す。

〔発明が解決しようとする課題〕

前記従来技術では、万−オイルシール７から油漏れが生
じた場合の、ポンプ機内６への潤滑油の浸入防止手段と
しての予備手段を備えておらず，オイルシール７から漏
出した油煙１２や油滴１３が真空チャンバ内に浸入し、
製品を汚染するという問題があった。

本発明の目的は、万−オイルシールから潤滑油が漏れた
場合でも、ポンプ機内への浸入を防止し、また漏洩油を
早期に察知でき、さらにオイルシールの長寿命化を図り
得る真空ポンプ用軸封装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的を達成するため、本発明は油潤滑軸受の潤滑油
のオイルシールの後方に、油滴を吸収する油吸収材と，
油滴の飛散を防止する邪魔板とを設けるとともに、大気
よりロータ内部室へ連通ずる第１の連通穴と、大気より
ロータ内部室と連なるシールボックスに連通する第２の
連通穴とを形成し，前記第１，第２の連通穴のいずれか
一方に吸引ファン付きオイルミストセンサを設けたもの
である。

〔作用〕

本発明では、万−オイルシールから潤滑油が漏れた場合
、その潤滑油の油滴は、回転軸の回転による遠心力によ
り、油吸収材の方向へ飛散する。

また，スラスト方向へ飛散しようとする油滴は、邪魔板
によりブロツクされ、これも浦吸収材の方向に飛散する
．このようにして飛散した油滴は、自然に油吸収材１５
の方向に収集され、油吸収材に浸透し、捕獲されること
になる。

一方、回転軸の回転による遠心力により飛散されにくい
油煙はシールボックスに浮遊することが考えられる。こ
れに対して、本発明ではロータ内部室に、大気に連通ず
る第１，第２の連通穴を形或し、第１の連通穴→ロータ
内部室→シールボックス→第２の連通穴に至る一つの循
環系を＃ＸＩｔ戊するとともに、前記第１，第２の連通
穴のうちのいずれか一方に吸引ファン付きオイルミスト
センサを設けている。その結果、前記浦吸収材で捕獲さ
れずロータ内部室に浮遊する油煙は、吸引ファンにより
積極的に外部に吸引され，ポンプ機内への浸入が防止さ
れる。また、万一浦漏れが発生したときは、オイルミス
トセンサにより早期に祭知することができる。

しかも、前記第１，第２の連通穴を通じて、オイルシー
ルの後方を、大気圧にしているので、オイルシールの前
後が大気圧程度となり、差圧が殆どなくなるので、オイ
ルシールの寿命を長く保つことができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を第１図により説明する。

本実施例は、スクリュー真空ポンプ，ターボ真空ポンプ
などクリーンな真空を必要とする真空ポンプの回転軸シ
ールに最適であるが，オイルフリーな圧縮機などの軸シ
ールにも適用可能である。

ここでは、スクリュー型の真空ポンプに適用した例につ
いて説明する。

スクリュー型のロータ１は図ではｌ軸して示していない
が，雄ロータと雌ロータの２軸があり、それぞれ回転軸
２に固定され、非接触で同期回転するようになっている
。このとき、吸気口３から吸い込まれた気体は、雄，ｔ
ｌｔ両ロータにより圧縮，移送され、大気圧まで昇圧さ
れ，排気される。

前記ロータ１が装置されている回転軸２は、油潤滑軸受
４で支持されている。この油潤滑軸受４の潤滑は，回転
軸２の下端部に設置された潤滑油ポンプ（図示せず）か
ら、回転軸２の内部に設けられた油供給穴２ａを通じて
、潤滑油５を送り込むことで行っている。この潤滑油５
をオイルフリーなロータ機内６へ漏洩するのを防止する
ため、スリーブ８とハウジング９との間に，オイルシー
ル７が装置されている。

このような構成の軸封装置では、オイルシール７の前方
の油室は大気圧程度であるのに対し、ロータ吐出端部１
０からロータ内部室１１の付近は低真空域となるので、
万−オイルシール７から潤滑油５が漏れた場合、ポンプ
機内６へ油煙ｌ２あるいは油？ｉＩｌ３が浸入する恐れ
がある。そして、最悪の場合は、吸気口３を通じて真空
チャンバ（図示せず）内に浸入する恐れがある。

そこで、この実施例では万−オイルシール７から潤滑油
５が漏れた場合の対策として、次のように構或した予備
手段を備えている．すなわち、オイルシール７の後方のシールボックス１４
には，油吸収材１５が装置されている．その上方には、
邪魔板１６が設けられている。

また、ハウジング９には互いに間隔をおいて第１，第２
の連通穴１７，１８が形成されてし）る。

前記第１の連通穴１７は、大気よりノ＼ウジング９の内
部を通り、ロータ吐出端部１０付近を経てロータ内部室
工１に連通している。前記第２の連通穴１８は、大気よ
りハウジング９の内部を通り、油吸収材工５と邪魔板１
６間を経てシールボックス１４に連通している。この第
２の連通穴ｌ８の大圧側には，吸引ファン付きオイルミ
ストセンサ１９が設けられている。

この第１図に示す実施例の軸封装置は、次のように作用
する。

すなわち、万−オイルシール７から潤滑油５が漏れた場
合，スリーブＢｔ＆伝わってシールボックス１４へ浸入
することになる。その際、回転軸２の回転による遠心力
により、油滴１３が油吸収材１５の方向へ飛散する。ま
た、スラスト方向へ飛散しようとする潤滑油５は邪魔板
１６によりブロツクされ、同様に油吸収材１５の方向に
飛散する。

このようにして飛散した油滴１３は、自然に油１米収材
１５の方向に収集され，油吸収材１５に浸透し，捕獲さ
れることになる。

一方，回転軸２の回転による遠心力により飛散されにく
い油煙１２は、シールボックス１４に浮遊することが考
えられる．これに対しては、この実施例では大気よりハ
ウジング９の内部を通り，ロータ吐出端部１ｏを経てロ
ータ内部室１１に連通する第１の連通穴１７と、大気よ
りハウジング９の内部を通り、シールボックス１４に連
通ずる第２の連通穴１８とを形或している、これにより
，第ｌの連通穴１７→ロータ内部室１１→シールボック
ス１４→第２の連通穴工８に至る一つの循環系が構成さ
れ、ロータ内部室１１やシールボックスエ４内は大気圧
となる。そして、第２の連通穴１８の大気側には、吸引
ファン付きオイルミストセンサｌ９を設けているので、
その吸引ファンにより、シールボックス１４に浮遊して
いる油煙１２を強制的に外部へ吸引することが可能とな
る。

ここで、吸引ファンの代わりに、エアあるいはＮＺガス
などのシールガスを第１の連通穴１７の外部から供給し
ても同様の効果が得られる。

また、前記第２の連通穴１・８の大気側に設けられた吸
引ファン付きオイルミストセンサ１９のオイルミストセ
ンサの働きにより、油漏れを早期に発見することもでき
る。

さらに、前記第１，第２の連通穴１７，１８を通じてオ
イルシール７の後方を大気圧とすることができ、したが
ってオイルシール７の前後が大気圧程度となり、差圧が
殆どなくなるので、オイルシール７の寿令を長く保つこ
とが可能となる。

〔発明の効果〕

以上説明した本発明によれば、オイルシールの後方に、
油滴を吸収する油吸収材と、油滴の飛散を防止する邪魔
板とを設けるとともに、大気よりロータ内部室へ連通す
る第１の連通穴と，大気よりロータ内部室と連なるシー
ルボックスに連通ずる第２の連通穴とを形或し、前記第
ｌ，第２の連通穴のいずれか一方に吸引ファン付きオイ
ルミストセンサを設けており、万−オイルシールから潤
滑油が漏れた場合に、その油滴の殆どを、油吸収材と邪
魔板の作用で捕獲することができ，またロータ内部室に
浮遊する油煙等のオイルミストは第１，第２の連通穴と
、これらのうちのいずれかの連通穴に設けられた吸引フ
ァン付きオイルミストセンサの吸引ファンの作用により
外部に吸引できるので、オイルシールから漏れた潤滑油
のポンプ機内への浸入を確実に防止し得る効果がある。

また、本発明によれば、万一油漏れが発生した場合に、
第１，第２の連通穴のうちのいずれかに設けられた吸引
ファン付きオイルミストセンサにおけるオイルミストセ
ンサの働きにより、早期に察知し得る効果がある。

さらに，本発明によれば、前記第１，第２の連通穴を通
じて、オイルシールの後方に大気圧としているので、オ
イルシールの前後が大気圧程度となり、差圧が殆どなく
なるので、オイルシールの寿命を長く保ち得る効果もあ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を要部を示す断面図、第２図
は従来技術を示す断面図である。１・・・ロータ、２・・・回転軸、３・・・吸気口，４
・・・油潤滑軸営、５・・・潤滑油、６・・・ポンプ機
内、７・・・オイルシール、９・・・ハウジング．１０
・・・ロータ吐出端部，１１・・・ロータ内部室、ｌ２
・・・潤滑油の油煙、１３・・・同油滴，１４・・・シ
ールボックス、１５・・・油吸収材、↓６・・・邪魔板
、１７．１８・・・第１，第２の連通穴，１９・・・吸
引ファン付きオイルミストセ囁／巴ロ欠１

Claims

【特許請求の範囲】

１、回転軸を油潤滑軸受で支持し、その潤滑油がポンプ
機内に浸入しないように、オイルシールを設けてなる真
空ポンプ用軸封装置において、前記オイルシールの後方
に、油滴を吸収する油吸収材と、油滴の飛散を防止する
邪魔板とを設けるとともに、大気よりロータ内部室へ連
通する第１の連通穴と、大気よりロータ内部室と連なる
シールボックスに連通する第２の連通穴とを形成し、前
記第１，第２の連通穴のいずれか一方に吸引ファン付き
オイルミストセンサを設けたことを特徴とする真空ポン
プ用軸封装置。