JP3085561B2 - スクリュー真空ポンプ - Google Patents
スクリュー真空ポンプInfo
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- JP3085561B2 JP3085561B2 JP04234808A JP23480892A JP3085561B2 JP 3085561 B2 JP3085561 B2 JP 3085561B2 JP 04234808 A JP04234808 A JP 04234808A JP 23480892 A JP23480892 A JP 23480892A JP 3085561 B2 JP3085561 B2 JP 3085561B2
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- shaft
- sealing device
- rotor
- shaft sealing
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置や理化
学機器などのクリ−ンな真空を必要とするところに好適
なスクリュー真空ポンプに関する。
学機器などのクリ−ンな真空を必要とするところに好適
なスクリュー真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のスクリュー真空ポンプは、特開昭
６３−２８５２７９号記載のように、ケ−シング内に一
対のスクリューロ−タを収容させ、このロ−タを軸端に
設けたタイミングギヤで非接触回転させることでクリ−
ンな真空を得ていた。ロ−タ同志のすきま、ロ−タ外径
すきま及びロ−タ吐出端面すきまは、すきまからの漏れ
が真空ポンプの到達圧力に影響するため、できるだけ小
さなすきまとなっている。吐出口は作動室の気体が一定
容積まで圧縮されてから大気に開放されるように開けら
れている。それ故、吐出口形状の一部はロータの歯形と
同一形状となっている。ロータ軸心に最も近い吐出口形
状はそれぞれのロータ歯底径と等しい。
６３−２８５２７９号記載のように、ケ−シング内に一
対のスクリューロ−タを収容させ、このロ−タを軸端に
設けたタイミングギヤで非接触回転させることでクリ−
ンな真空を得ていた。ロ−タ同志のすきま、ロ−タ外径
すきま及びロ−タ吐出端面すきまは、すきまからの漏れ
が真空ポンプの到達圧力に影響するため、できるだけ小
さなすきまとなっている。吐出口は作動室の気体が一定
容積まで圧縮されてから大気に開放されるように開けら
れている。それ故、吐出口形状の一部はロータの歯形と
同一形状となっている。ロータ軸心に最も近い吐出口形
状はそれぞれのロータ歯底径と等しい。
【０００３】このように形成された吐出口においては、
吐出側軸封装置の作動室側圧力は吐出側ロータ端面まで
延びる各歯溝の圧力の平均値に近い圧力となる。この圧
力は５００Ｔｏｒｒ前後の圧力で吐出側軸封装置の油室
圧力（大気圧）に比べて大分低い。従来の軸封装置では
フローティングシールとねじシールを組合せた軸封装置
に軸封ガス封入することで、油室から作動室側への油漏
れを解決していた。
吐出側軸封装置の作動室側圧力は吐出側ロータ端面まで
延びる各歯溝の圧力の平均値に近い圧力となる。この圧
力は５００Ｔｏｒｒ前後の圧力で吐出側軸封装置の油室
圧力（大気圧）に比べて大分低い。従来の軸封装置では
フローティングシールとねじシールを組合せた軸封装置
に軸封ガス封入することで、油室から作動室側への油漏
れを解決していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の軸封装置では、
パージガスは軸封するためには必要不可欠なもので、こ
のガスを少量にて軸封効果を上げることを目的としてい
た。しかしながら従来の軸封装置では、軸封装置の低圧
側、すなわち作動室側での圧力についての対策がないの
で、パージガスをより少なくするにはフローティングシ
ールとねじシールのすきまを小さくする必要がある。こ
の場合はいずれのシールも非接触シールであるので、シ
ールすきまを小さくするには限界があった。
パージガスは軸封するためには必要不可欠なもので、こ
のガスを少量にて軸封効果を上げることを目的としてい
た。しかしながら従来の軸封装置では、軸封装置の低圧
側、すなわち作動室側での圧力についての対策がないの
で、パージガスをより少なくするにはフローティングシ
ールとねじシールのすきまを小さくする必要がある。こ
の場合はいずれのシールも非接触シールであるので、シ
ールすきまを小さくするには限界があった。
【０００５】本発明の目的は、軸封装置の作動室側の圧
力を大気圧力に近付け、軸封前後の圧力差を小さくする
ことでパージガスなしでも軸封効果を高めることにあ
る。また軸封装置を多重構造にすることで、潤滑油がポ
ンプ機内への侵入するのを防いだ真空ポンプを提供する
ことにある。
力を大気圧力に近付け、軸封前後の圧力差を小さくする
ことでパージガスなしでも軸封効果を高めることにあ
る。また軸封装置を多重構造にすることで、潤滑油がポ
ンプ機内への侵入するのを防いだ真空ポンプを提供する
ことにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、吸入口と吐出口を有するケーシング内に、
回転軸と一体となって互いに非接触で噛み合う一対のス
クリューロータを収容し、タイミングギヤで前記ロータ
を回転させ、その作動室と作動室外との連通を封止する
軸封装置を設けたスクリュー真空ポンプにおいて、前記
ロータの吐出端面に歯底径より小さい径のくぼみを設
け、吐出口を前記くぼみの一部を被うように開口させ
た。 また、前記ケーシングに大気と作動室を連通する大
気連通穴を設けた。 また、前記軸封装置が、スクリュー
ロータの回転軸と、この回転軸を支持する軸受を支える
ハウジングの間をシールする第１の軸封装置と、前記ス
クリューロータのオイルシール後面室の内周面と前記ハ
ウジングの外周面との間をシールする第２の軸封装置か
らなり、第２の軸封装置にねじシールを使用した。さら
に、前記ケーシングに大気と作動室を連通する大気連通
穴を設け、前記軸封装置が、スクリューロータの回転軸
と、この回転軸を支持する軸受を支えるハウジングの間
をシールする第１の軸封装置と、前記スクリューロータ
のオイルシール後面室の内周面と前記ハウジングの外周
面との間をシールする第２の軸封装置からなり、第２の
軸封装置にねじシールを使用した。
成するため、吸入口と吐出口を有するケーシング内に、
回転軸と一体となって互いに非接触で噛み合う一対のス
クリューロータを収容し、タイミングギヤで前記ロータ
を回転させ、その作動室と作動室外との連通を封止する
軸封装置を設けたスクリュー真空ポンプにおいて、前記
ロータの吐出端面に歯底径より小さい径のくぼみを設
け、吐出口を前記くぼみの一部を被うように開口させ
た。 また、前記ケーシングに大気と作動室を連通する大
気連通穴を設けた。 また、前記軸封装置が、スクリュー
ロータの回転軸と、この回転軸を支持する軸受を支える
ハウジングの間をシールする第１の軸封装置と、前記ス
クリューロータのオイルシール後面室の内周面と前記ハ
ウジングの外周面との間をシールする第２の軸封装置か
らなり、第２の軸封装置にねじシールを使用した。さら
に、前記ケーシングに大気と作動室を連通する大気連通
穴を設け、前記軸封装置が、スクリューロータの回転軸
と、この回転軸を支持する軸受を支えるハウジングの間
をシールする第１の軸封装置と、前記スクリューロータ
のオイルシール後面室の内周面と前記ハウジングの外周
面との間をシールする第２の軸封装置からなり、第２の
軸封装置にねじシールを使用した。
【０００７】
【作用】圧縮作動室を形成するロ−タ吐出端面と上ギヤ
ケ−スとの間は微小すきま(ε2）であるので、すきまか
らの漏れは少ない。一方、圧縮作動室を形成しないロ−
タ吐出端面と上ギヤケ−スとの圧力は、十分離れたすき
ま（くぼみ）であり、かつ吐出口が前記くぼみの一部を
被うよう形成されているので、吐出圧力となる。それ
故、第１の軸封装置の前後の圧力差はほとんどなくな
る。メインケ−スに設けた大気連通穴は外気を取り込
み、吸入側から吐出側へのガスの流れを作る。第２の軸
封装置のねじシ−ルは、第１の軸封装置の後面室圧力の
上昇、あるいは圧縮作動室から第１の軸封装置へのガス
の流れを作る。
ケ−スとの間は微小すきま(ε2）であるので、すきまか
らの漏れは少ない。一方、圧縮作動室を形成しないロ−
タ吐出端面と上ギヤケ−スとの圧力は、十分離れたすき
ま（くぼみ）であり、かつ吐出口が前記くぼみの一部を
被うよう形成されているので、吐出圧力となる。それ
故、第１の軸封装置の前後の圧力差はほとんどなくな
る。メインケ−スに設けた大気連通穴は外気を取り込
み、吸入側から吐出側へのガスの流れを作る。第２の軸
封装置のねじシ−ルは、第１の軸封装置の後面室圧力の
上昇、あるいは圧縮作動室から第１の軸封装置へのガス
の流れを作る。
【０００８】
【実施例】以下本発明の第１実施例を図１、図２、図３
に示す。図１は軸封装置回りの断面図、図２は図１のＡ
−Ａ断面に吐出口を投影した図，図３はスクリュー真空
ポンプの全体構造図を示す。図１、２、３において、１
は上ギヤケ−ス、２は下ギヤケ−ス、３はメインケ−ス
である。メインケ−ス３には一対のスクリューロータ４
が収容され、スクリューロータ４は回転軸５に固定され
ている。スクリューロータ４は右ねじロータ４ａと左ね
じロータ４ｂで構成され、一対のタイミングギヤ６によ
って非接触で回転する。回転軸５は上軸受７と下軸受８
で支持されている。上軸受７には回転軸５の下部に設け
た自吸式の油ポンプ９により油孔１０を通じて潤滑油１
１が送り込まれる。潤滑油１１がポンプ機内１２へ漏洩
するのを防止するため、スリーブ１３とハウジング１４
との間にはオイルシール１５が装着されている。
に示す。図１は軸封装置回りの断面図、図２は図１のＡ
−Ａ断面に吐出口を投影した図，図３はスクリュー真空
ポンプの全体構造図を示す。図１、２、３において、１
は上ギヤケ−ス、２は下ギヤケ−ス、３はメインケ−ス
である。メインケ−ス３には一対のスクリューロータ４
が収容され、スクリューロータ４は回転軸５に固定され
ている。スクリューロータ４は右ねじロータ４ａと左ね
じロータ４ｂで構成され、一対のタイミングギヤ６によ
って非接触で回転する。回転軸５は上軸受７と下軸受８
で支持されている。上軸受７には回転軸５の下部に設け
た自吸式の油ポンプ９により油孔１０を通じて潤滑油１
１が送り込まれる。潤滑油１１がポンプ機内１２へ漏洩
するのを防止するため、スリーブ１３とハウジング１４
との間にはオイルシール１５が装着されている。
【０００９】ロ−タ４の外径はａ、歯底径はｂ、ロ−タ
外径すきまはε1、ロ−タ端面すきまはε2、ロ−タ間す
きまはε3である。吐出側ロ−タ端面には歯底径より小
さい径のくぼみ３１が設けられている。くぼみ径をｃと
すると、ｃ＜ｂの関係にある。圧縮作動室はロ−タ４と
メインケ−ス３及び上ギヤケ−ス１とで構成される。シ
−ル面は、ロ−タ外径すきまε1、ロ−タ端面すきま
ε2、ロ−タ間すきまε３である。吐出口２１はくぼみ
３１の一部を被うように開口している。くぼみ３１のす
きまδ１、δ2はロータ端面すきまε2に比べて十分に大
きい。
外径すきまはε1、ロ−タ端面すきまはε2、ロ−タ間す
きまはε3である。吐出側ロ−タ端面には歯底径より小
さい径のくぼみ３１が設けられている。くぼみ径をｃと
すると、ｃ＜ｂの関係にある。圧縮作動室はロ−タ４と
メインケ−ス３及び上ギヤケ−ス１とで構成される。シ
−ル面は、ロ−タ外径すきまε1、ロ−タ端面すきま
ε2、ロ−タ間すきまε３である。吐出口２１はくぼみ
３１の一部を被うように開口している。くぼみ３１のす
きまδ１、δ2はロータ端面すきまε2に比べて十分に大
きい。
【００１０】このように構成されたスクリュー真空ポン
プの動作について説明する。モ−タ１６が回転すると、
ブルギヤ１７、アイドラギヤ１８、ピニオン１９と回転
力が伝わり、スクリューロータ４が回転する。すると吸
気口２０から吸い込まれた気体はスクリューロータ４に
より移送、圧縮され、大気圧まで昇圧された後、吐出口
２１を介し、吐出通路２２に排気される。くぼみ３１は
吐出口２１を介して吐出通路２２につながっていので、
くぼみ３１での圧力は吐出圧力(≒大気圧力)となる。ま
たくぼみ３１はすきま３２を介してオイルシ−ル後面室
２３につながっているので、オイルシ−ル後面室２３で
の圧力も吐出圧力（≒大気圧力）となる。すなわちオイ
ルシ−ル後面室２３の圧力がほぼ大気圧になるので、オ
イルシ−ル前後の圧力差は小さくなり、オイルシ−ルか
ら潤滑油が漏れる可能性が減少する。圧縮作動室を形成
するロ−タ端面すきまε2は従来と同じであるので、ポ
ンプの到達圧力及び消費動力は変わらない。
プの動作について説明する。モ−タ１６が回転すると、
ブルギヤ１７、アイドラギヤ１８、ピニオン１９と回転
力が伝わり、スクリューロータ４が回転する。すると吸
気口２０から吸い込まれた気体はスクリューロータ４に
より移送、圧縮され、大気圧まで昇圧された後、吐出口
２１を介し、吐出通路２２に排気される。くぼみ３１は
吐出口２１を介して吐出通路２２につながっていので、
くぼみ３１での圧力は吐出圧力(≒大気圧力)となる。ま
たくぼみ３１はすきま３２を介してオイルシ−ル後面室
２３につながっているので、オイルシ−ル後面室２３で
の圧力も吐出圧力（≒大気圧力）となる。すなわちオイ
ルシ−ル後面室２３の圧力がほぼ大気圧になるので、オ
イルシ−ル前後の圧力差は小さくなり、オイルシ−ルか
ら潤滑油が漏れる可能性が減少する。圧縮作動室を形成
するロ−タ端面すきまε2は従来と同じであるので、ポ
ンプの到達圧力及び消費動力は変わらない。
【００１１】本発明の第２の実施例を図４に示す。第２
の実施例は、第１の実施例と同様にくぼみ３１を設ける
と共に、メインケ−ス３に大気連通穴３３を設けたもの
である。大気連通穴３３は右ねじロータ４ａ側、左ねじ
ロータ４ｂ側それぞれに設けても、ロ−タが交わる交線
上に一つ設けてもよい。またポンプの到達圧力を低く保
つには、吐出側に近い方が良く、吐出口に連通する圧縮
行程中が最も良い。
の実施例は、第１の実施例と同様にくぼみ３１を設ける
と共に、メインケ−ス３に大気連通穴３３を設けたもの
である。大気連通穴３３は右ねじロータ４ａ側、左ねじ
ロータ４ｂ側それぞれに設けても、ロ−タが交わる交線
上に一つ設けてもよい。またポンプの到達圧力を低く保
つには、吐出側に近い方が良く、吐出口に連通する圧縮
行程中が最も良い。
【００１２】ポンプは真空排気開始から到達圧力に達す
ると、流体の流れはほとんどなくなる。このためオイル
シール１５から油がミストとなって漏れ出したとき、吸
入側へ拡散しやすくなり、ポンプ機内１２へ侵入するこ
とになる。大気連通穴３３があると、常に吸入側から吐
出側へのガスの流れがあるので、仮りにオイルシール１
５から潤滑油１１が漏れたり、シール摺動部の潤滑油が
摺動熱によりオイルシール後面室２３に蒸発してもポン
プ機内１２へ侵入することはない。すなわち浮遊状態に
あるオイルミストは大気連通穴３３から吸い込まれたガ
スによって、強制的に吐出通路２１に吐き出される。
ると、流体の流れはほとんどなくなる。このためオイル
シール１５から油がミストとなって漏れ出したとき、吸
入側へ拡散しやすくなり、ポンプ機内１２へ侵入するこ
とになる。大気連通穴３３があると、常に吸入側から吐
出側へのガスの流れがあるので、仮りにオイルシール１
５から潤滑油１１が漏れたり、シール摺動部の潤滑油が
摺動熱によりオイルシール後面室２３に蒸発してもポン
プ機内１２へ侵入することはない。すなわち浮遊状態に
あるオイルミストは大気連通穴３３から吸い込まれたガ
スによって、強制的に吐出通路２１に吐き出される。
【００１３】本発明の第３の実施例を図５に示す。第３
の実施例は、第１の実施例と同様にくぼみ３１を設ける
と共に、軸封装置を第１の軸封装置と第２の軸封装置で
構成し、第２の軸封装置にねじシ−ル３４を使用したも
のである。実施例ではねじシ−ル３４をハウジング１４
に相対するロ−タ４の内周面に設けた。ねじシ−ル３４
は、回転によってガスが図中上向きに流れるようなねじ
れ方向となっている。ねじシ−ル３４を設けることで、
オイルシ−ル１５前後の圧力差はより小さく、もしくは
圧力の大きさが逆転するので、オイルシ−ル１５から潤
滑油が漏れる可能性がより減少する。
の実施例は、第１の実施例と同様にくぼみ３１を設ける
と共に、軸封装置を第１の軸封装置と第２の軸封装置で
構成し、第２の軸封装置にねじシ−ル３４を使用したも
のである。実施例ではねじシ−ル３４をハウジング１４
に相対するロ−タ４の内周面に設けた。ねじシ−ル３４
は、回転によってガスが図中上向きに流れるようなねじ
れ方向となっている。ねじシ−ル３４を設けることで、
オイルシ−ル１５前後の圧力差はより小さく、もしくは
圧力の大きさが逆転するので、オイルシ−ル１５から潤
滑油が漏れる可能性がより減少する。
【００１４】また図６のように、ハウジング１４にオイ
ルシール後面室２３に開口するガス逃し穴３５を設け、
そのガス逃し穴の出口を大気あるいは吐出通路 ２１に
連絡した場合は、常にオイルシール後面室２３から大気
あるいは吐出通路へのガスの流れがあるので、オイルシ
−ル１５から潤滑油１１が漏れたり、シール摺動部の潤
滑油が摺動熱によりオイルシール後面室２３に蒸発して
もポンプ機内１２へ侵入することはない。
ルシール後面室２３に開口するガス逃し穴３５を設け、
そのガス逃し穴の出口を大気あるいは吐出通路 ２１に
連絡した場合は、常にオイルシール後面室２３から大気
あるいは吐出通路へのガスの流れがあるので、オイルシ
−ル１５から潤滑油１１が漏れたり、シール摺動部の潤
滑油が摺動熱によりオイルシール後面室２３に蒸発して
もポンプ機内１２へ侵入することはない。
【００１５】図７は、第１の軸封装置に非接触軸封装置
を使用した実施例で、第１の軸封装置はラビリンスシ−
ル３６とスリンガ３７からなる。潤滑油はラビリンスシ
−ル３６でほとんど遮られる。ラビリンスシ−ル３６を
通過した油はスリンガ３７で飛ばされ、下部に落下す
る。更にこれをも通過する油は、ねじシ−ル３４によっ
て押し戻されるので、ポンプ機内１２へオイルミストが
拡散することはない。第１の軸封装置に非接触軸封装置
を使用した場合は、すべての軸封装置が非接触になるの
で、軸封装置の寿命が著しく伸びる。
を使用した実施例で、第１の軸封装置はラビリンスシ−
ル３６とスリンガ３７からなる。潤滑油はラビリンスシ
−ル３６でほとんど遮られる。ラビリンスシ−ル３６を
通過した油はスリンガ３７で飛ばされ、下部に落下す
る。更にこれをも通過する油は、ねじシ−ル３４によっ
て押し戻されるので、ポンプ機内１２へオイルミストが
拡散することはない。第１の軸封装置に非接触軸封装置
を使用した場合は、すべての軸封装置が非接触になるの
で、軸封装置の寿命が著しく伸びる。
【００１６】本発明の第４の実施例を図８に示す。第４
の実施例は、第４図に示す第２実施例と同様にケ−シン
グに大気連通穴３３を設けると共に、第５図に示す第３
実施例と同様に第２の軸封装置にねじシ−ル３４を使用
し、かつ、ガス逃し穴３５を設けたもので、軸封装置が
多重構造になるので、潤滑油がポンプ機内６へ侵入する
ことは完全になくなる。
の実施例は、第４図に示す第２実施例と同様にケ−シン
グに大気連通穴３３を設けると共に、第５図に示す第３
実施例と同様に第２の軸封装置にねじシ−ル３４を使用
し、かつ、ガス逃し穴３５を設けたもので、軸封装置が
多重構造になるので、潤滑油がポンプ機内６へ侵入する
ことは完全になくなる。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、軸封装置の後面室圧力
がほぼ吐出圧力にできるので、軸封装置の前後の圧力差
が小さくなり、軸封装置からの潤滑油の漏れの危険が少
なくなる。また圧縮作動室を形成するロ−タ吐出端面で
のすきまは従来と同じであるので、ポンプの到達圧力及
び軸動力は変わらない。
がほぼ吐出圧力にできるので、軸封装置の前後の圧力差
が小さくなり、軸封装置からの潤滑油の漏れの危険が少
なくなる。また圧縮作動室を形成するロ−タ吐出端面で
のすきまは従来と同じであるので、ポンプの到達圧力及
び軸動力は変わらない。
【００１８】またケ−シングに大気連通穴を設けた本発
明の第２実施例によれば、常に吸入側から吐出側へのガ
スの流れができるので、仮りに潤滑油が漏れてもポンプ
機内まで拡散することはない。
明の第２実施例によれば、常に吸入側から吐出側へのガ
スの流れができるので、仮りに潤滑油が漏れてもポンプ
機内まで拡散することはない。
【００１９】また軸封装置が第１の軸封装置と第２の軸
封装置からなり、第２の軸封装置にねじシ−ルを使用し
た本発明の第３実施例によれば、第１の軸封装置（オイ
ルシ−ルなどの接触式シ-ル）の前後の圧力差がより小
さくり、軸封装置からの潤滑油の漏れの危険がより少な
くなる。更に第１の軸封装置に非接触軸封装置を使用す
ることも可能で、この場合は軸封装置の寿命を伸ばすこ
とができる。
封装置からなり、第２の軸封装置にねじシ−ルを使用し
た本発明の第３実施例によれば、第１の軸封装置（オイ
ルシ−ルなどの接触式シ-ル）の前後の圧力差がより小
さくり、軸封装置からの潤滑油の漏れの危険がより少な
くなる。更に第１の軸封装置に非接触軸封装置を使用す
ることも可能で、この場合は軸封装置の寿命を伸ばすこ
とができる。
【００２０】本発明の第４の実施例によれば、ケ−シン
グに大気連通穴、軸封装置が第１の軸封装置と第２の軸
封装置からなり、第２の軸封装置にねじシ−ルを使用し
たので、潤滑油に対する軸封は三重になり、ポンプ機内
まで潤滑油が拡散することは完全になくなる。
グに大気連通穴、軸封装置が第１の軸封装置と第２の軸
封装置からなり、第２の軸封装置にねじシ−ルを使用し
たので、潤滑油に対する軸封は三重になり、ポンプ機内
まで潤滑油が拡散することは完全になくなる。
【図１】本発明の第1実施例の軸封装置回りの断面図
【図２】図1のＡ−Ａ断面図に吐出口を投影した図
【図３】本発明のスクリュー真空ポンプの全体構造図
【図４】本発明の第２実施例の軸封装置回りの断面図
【図５】本発明の第３実施例の軸封装置回りの断面図
【図６】ガス逃し穴を設けた第３実施例の軸封装置回り
の断面図
の断面図
【図７】第１の軸封装置に非接触シ−ルを設けた第３実
施例の軸封装置回りの断面図
施例の軸封装置回りの断面図
【図８】本発明の第４実施例の軸封装置回りの断面図
４…スクリューロータ、１５…オイルシ−ル、２１…吐
出口、２３…オイルシール後面室、３１…くぼみ、３３
…大気連通穴、３４…ねじシ−ル、３５…ガス逃し穴、
３６…ラビリンスシ−ル、３７…スリンガ
出口、２３…オイルシール後面室、３１…くぼみ、３３
…大気連通穴、３４…ねじシ−ル、３５…ガス逃し穴、
３６…ラビリンスシ−ル、３７…スリンガ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三橋 晋司 静岡県清水市村松390番地 株式会社 日立製作所 清水工場内 (56)参考文献 特開 平４−183990（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−18684（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−285279（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F04C 23/00 - 29/10 F04C 18/16
Claims (4)
- 【請求項１】 吸入口と吐出口を有するケーシング内
に、回転軸と一体となって互いに非接触で噛み合う一対
のスクリューロータを収容し、タイミングギヤで前記ロ
ータを回転させ、その作動室と作動室外との連通を封止
する軸封装置を設けたスクリュー真空ポンプにおいて、
前記ロータの吐出端面に歯底径より小さい径のくぼみを
設け、吐出口を前記くぼみの一部を被うように開口させ
たことを特徴とするスクリュー真空ポンプ。 - 【請求項２】 前記ケーシングに大気と作動室を連通す
る大気連通穴を設けたことを特徴とする請求項１に記載
のスクリュー真空ポンプ。 - 【請求項３】 前記軸封装置が、スクリューロータの回
転軸と、この回転軸を支持する軸受を支えるハウジング
の間をシールする第１の軸封装置と、前記スクリューロ
ータのオイルシール後面室の内周面と前記ハウジングの
外周面との間をシールする第２の軸封装置からなり、第
２の軸封装置にねじシールを使用したことを特徴とする
請求項１に記載のスクリュー真空ポンプ。 - 【請求項４】 前記ケーシングに大気と作動室を連通す
る大気連通穴を設け、前記軸封装置が、スクリューロー
タの回転軸と、この回転軸を支持する軸受を支えるハウ
ジングの間をシールする第１の軸封装置と、前記スクリ
ューロータのオイルシール後面室の内周面と前記ハウジ
ングの外周面との間をシールする第２の軸封装置からな
り、第２の軸封装置にねじシールを使用したことを特徴
とする請求項１に記載のスクリュー真空ポンプ。
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|---|---|---|---|
| JP04234808A JP3085561B2 (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | スクリュー真空ポンプ |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04234808A JP3085561B2 (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | スクリュー真空ポンプ |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0681788A JPH0681788A (ja) | 1994-03-22 |
| JP3085561B2 true JP3085561B2 (ja) | 2000-09-11 |
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ID=16976720
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3085561B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR101431055B1 (ko) * | 2011-07-21 | 2014-08-20 | 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠 | 가스 배기용 펌프의 스테이터 및 그 제조방법과, 그 스테이터를 구비한 펌프 및 그 제조방법 및 조립방법 |
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| CN115076107B (zh) * | 2022-07-06 | 2023-06-23 | 杭州千岛泵业有限公司 | 一种悬臂立式螺杆真空泵 |
-
1992
- 1992-09-02 JP JP04234808A patent/JP3085561B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101284488B1 (ko) * | 2010-07-21 | 2013-07-16 | 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 | 유체 기계 |
| KR101284489B1 (ko) * | 2012-01-31 | 2013-07-16 | 한국과학기술원 | 다중 기기 환경에서의 홈 미디어 시스템의 단일 인터페이스 제공 방법 |
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|---|---|
| JPH0681788A (ja) | 1994-03-22 |
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