JPH094580A - スクリュー真空ポンプ - Google Patents
スクリュー真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH094580A JPH094580A JP17398395A JP17398395A JPH094580A JP H094580 A JPH094580 A JP H094580A JP 17398395 A JP17398395 A JP 17398395A JP 17398395 A JP17398395 A JP 17398395A JP H094580 A JPH094580 A JP H094580A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- discharge port
- rotor
- screw
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
- F04C29/124—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps
- F04C29/126—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps of the non-return type
Abstract
(57)【要約】
【目的】 必要以上の内部圧縮による軸トルクの増大を
防ぐとともに、異常な温度上昇を防止し、さらには、作
動室の圧力を短時間で設定圧に上昇するようになしたス
クリュー真空ポンプを提供する 【構成】 圧力調整装置を設けたスクリュ−真空ポンプ
において、前記圧力調整装置は、前記ケ−シング３の一
部を構成するスクリュー端面プレ−ト３ａ、３ｂに形成
された排出口４、５と、前記排出口４、５の外側に設け
られ前記作動室内圧力が大気圧を超えたときに開放され
る排出弁７と、前記排出口４、５を開閉するロ−タ１、
２の歯端面１ｂ、２ｂとを含み、前記ロ−タ１、２の回
転にしたがってロ−タ１、２の歯端面１ｂ、２ｂが前記
排出口４、５に位置する状態で、ロ−タ１、２の歯端面
１ｂ、２ｂが前記排出口４、５の内側を閉塞するように
構成されている。
防ぐとともに、異常な温度上昇を防止し、さらには、作
動室の圧力を短時間で設定圧に上昇するようになしたス
クリュー真空ポンプを提供する 【構成】 圧力調整装置を設けたスクリュ−真空ポンプ
において、前記圧力調整装置は、前記ケ−シング３の一
部を構成するスクリュー端面プレ−ト３ａ、３ｂに形成
された排出口４、５と、前記排出口４、５の外側に設け
られ前記作動室内圧力が大気圧を超えたときに開放され
る排出弁７と、前記排出口４、５を開閉するロ−タ１、
２の歯端面１ｂ、２ｂとを含み、前記ロ−タ１、２の回
転にしたがってロ−タ１、２の歯端面１ｂ、２ｂが前記
排出口４、５に位置する状態で、ロ−タ１、２の歯端面
１ｂ、２ｂが前記排出口４、５の内側を閉塞するように
構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、スクリュー真空ポンプ
に関し、更に詳しくは、吸入圧力が高い場合であっても
内部圧縮による軸トルクの増大を防止すると共に、発熱
を最小にした大気圧から中真空領域の使用において最適
なスクリュー真空ポンプに関する。
に関し、更に詳しくは、吸入圧力が高い場合であっても
内部圧縮による軸トルクの増大を防止すると共に、発熱
を最小にした大気圧から中真空領域の使用において最適
なスクリュー真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】スクリュー真空ポンプでは、吸入された
気体は吐出ポートが開くまで、設計圧力比に従って圧縮
される。すなわち、作動室内の圧力は吸入側より吐出側
に向かって上昇する。このスクリュー真空ポンプを吸入
圧力が大気圧あるいは大気圧近傍で起動した場合、吐出
側圧力は大気圧であるため、スクリュー真空ポンプは設
計圧力比に従って必要以上の圧縮を行うことになる。
気体は吐出ポートが開くまで、設計圧力比に従って圧縮
される。すなわち、作動室内の圧力は吸入側より吐出側
に向かって上昇する。このスクリュー真空ポンプを吸入
圧力が大気圧あるいは大気圧近傍で起動した場合、吐出
側圧力は大気圧であるため、スクリュー真空ポンプは設
計圧力比に従って必要以上の圧縮を行うことになる。
【０００３】このように従来のスクリュー真空ポンプで
必要以上の圧縮を行うと、雄雌ロ−タを回転させるため
の軸トルクが増大し、消費電力が増加するという問題が
あった。また、気体を圧縮するとそれに伴い発熱する
が、必要以上に圧縮をおこなうため、スクリュー真空ポ
ンプの温度が異常に上昇し、スクリュー真空ポンプを構
成する部材の設計範囲を超える熱膨張が発生し、ケ−シ
ングとロ−タ−、雄ロ−タ−と雌ロ−タ−のかみ合い間
の寸法精度等を良好なものとすることができない等の問
題があった。
必要以上の圧縮を行うと、雄雌ロ−タを回転させるため
の軸トルクが増大し、消費電力が増加するという問題が
あった。また、気体を圧縮するとそれに伴い発熱する
が、必要以上に圧縮をおこなうため、スクリュー真空ポ
ンプの温度が異常に上昇し、スクリュー真空ポンプを構
成する部材の設計範囲を超える熱膨張が発生し、ケ−シ
ングとロ−タ−、雄ロ−タ−と雌ロ−タ−のかみ合い間
の寸法精度等を良好なものとすることができない等の問
題があった。
【０００４】上記問題を解決するものとして、特許公開
６１−６５０８７号公報に示されたスクリュー真空ポン
プが提案されている。この従来のスクリュー真空ポンプ
の概略について、図４乃至図６に基づいて説明する。
尚、図４はスクリュー真空ポンプの正面断面図である。
図５は図４におけるＡ−Ａ断面図である。図６は圧力調
整装置を示す要部断面図である。
６１−６５０８７号公報に示されたスクリュー真空ポン
プが提案されている。この従来のスクリュー真空ポンプ
の概略について、図４乃至図６に基づいて説明する。
尚、図４はスクリュー真空ポンプの正面断面図である。
図５は図４におけるＡ−Ａ断面図である。図６は圧力調
整装置を示す要部断面図である。
【０００５】図に示すように、この提案されたスクリュ
ー真空ポンプは、それ以前の一般的なスクリュー真空ポ
ンプと同様の構成を有している。すなわち、雄ロータ１
０と雌ロータ１１は、微小すきまを有しつつ噛み合うよ
うにメインケーシング１２内に納められ、吸入ケーシン
グ１３とメインケーシング１２に取り付けたスタフイン
グボックス１４、１５内のころ軸受１６、１７によって
回転自在に支持され、これらのロータに作用するスラス
ト荷重は、玉軸受１８によって支持されれている。また
作動室と軸受の間には、シャフトシール１９、２０が設
けられ作動室への油の侵入を防ぐと共に、作動室から圧
縮気体が漏洩するのを防いでいる。更に、駆動側である
雄ロータ１０の軸端にはピニオン２１が取りつけられ、
図示されていない増速ギヤで駆動されるように構成され
ている。尚、タイミングギヤ２２、２３は、雄ロータ１
１へ動力を伝達すると共に、雄・雌ロータが接触しない
ようにロータ間の回転角度を調整するものである。
ー真空ポンプは、それ以前の一般的なスクリュー真空ポ
ンプと同様の構成を有している。すなわち、雄ロータ１
０と雌ロータ１１は、微小すきまを有しつつ噛み合うよ
うにメインケーシング１２内に納められ、吸入ケーシン
グ１３とメインケーシング１２に取り付けたスタフイン
グボックス１４、１５内のころ軸受１６、１７によって
回転自在に支持され、これらのロータに作用するスラス
ト荷重は、玉軸受１８によって支持されれている。また
作動室と軸受の間には、シャフトシール１９、２０が設
けられ作動室への油の侵入を防ぐと共に、作動室から圧
縮気体が漏洩するのを防いでいる。更に、駆動側である
雄ロータ１０の軸端にはピニオン２１が取りつけられ、
図示されていない増速ギヤで駆動されるように構成され
ている。尚、タイミングギヤ２２、２３は、雄ロータ１
１へ動力を伝達すると共に、雄・雌ロータが接触しない
ようにロータ間の回転角度を調整するものである。
【０００６】この提案された従来のスクリュー真空ポン
プの特徴は、圧力調整装置２７を設けたことにある。こ
の圧力調整装置について説明すると、圧力調整装置２７
はケ−シング１２の下部であって、しかも雄ロ−タ１１
軸方向に複数設けられている。また圧力調整装置２７
は、ケ−シング１２の下部に形成された排出口３１と、
前記排出口３１を開閉する弁棒２９と、前記弁棒２９の
自重を支えるばね３０と、前記弁棒２９とばね３０とを
収納する弁ボックス２８と、前記弁ボックス２８に形成
され排出口３１から吐出した気体を外部に放出する大気
開放口３２とから構成されている。なお、弁棒２１には
Ｏリング３３が取り付けられている。
プの特徴は、圧力調整装置２７を設けたことにある。こ
の圧力調整装置について説明すると、圧力調整装置２７
はケ−シング１２の下部であって、しかも雄ロ−タ１１
軸方向に複数設けられている。また圧力調整装置２７
は、ケ−シング１２の下部に形成された排出口３１と、
前記排出口３１を開閉する弁棒２９と、前記弁棒２９の
自重を支えるばね３０と、前記弁棒２９とばね３０とを
収納する弁ボックス２８と、前記弁ボックス２８に形成
され排出口３１から吐出した気体を外部に放出する大気
開放口３２とから構成されている。なお、弁棒２１には
Ｏリング３３が取り付けられている。
【０００７】次に上記圧力調整装置を備える従来のスク
リュー真空ポンプの動作について説明すると、作動室２
６の圧力が大気圧より低い場合には、弁ボックス２８内
の弁棒２９は、ばね３０によってその自重を支えられ、
排出口３１と大気との圧力差によって生じる上向きの力
によって、本体吐出ケーシング１２に接して排出口３１
を塞いでいる。したがって、吸入ポート２４より吸入さ
れた気体は、雄ロータ１０、雌ロータ１１及びメインケ
ーシング１２によって形成される作動室２６内に入り、
両ロータの回転により圧縮されて、前記圧力調整装置２
７から外部に吐出されることなく、吐出ポート２５より
圧出される。
リュー真空ポンプの動作について説明すると、作動室２
６の圧力が大気圧より低い場合には、弁ボックス２８内
の弁棒２９は、ばね３０によってその自重を支えられ、
排出口３１と大気との圧力差によって生じる上向きの力
によって、本体吐出ケーシング１２に接して排出口３１
を塞いでいる。したがって、吸入ポート２４より吸入さ
れた気体は、雄ロータ１０、雌ロータ１１及びメインケ
ーシング１２によって形成される作動室２６内に入り、
両ロータの回転により圧縮されて、前記圧力調整装置２
７から外部に吐出されることなく、吐出ポート２５より
圧出される。
【０００８】これに対し、作動室２６の圧力が大気圧よ
り高い場合には、弁棒２９は下方に押し下げられ、作動
室２６内の気体は排出口３１より弁ボックス２８内のす
きまを通り、大気開放口３２より外部へと放出される。
そして、前記圧力調整装置２７は吸入圧力が十分に低下
し、作動室が吐出ポートに達する以前に、作動室内圧力
が大気圧に達することがなくなると、排出口３１はすべ
て塞がれ、吸入ポート２４より吸入された気体は、雄ロ
ータ１０、雌ロータ１１及びメインケーシング１２によ
って形成される作動室２６内に入り、両ロータの回転に
より圧縮されて、前記圧力調整装置２７から外部に吐出
されることなく、吐出ポート２５より圧出される。
り高い場合には、弁棒２９は下方に押し下げられ、作動
室２６内の気体は排出口３１より弁ボックス２８内のす
きまを通り、大気開放口３２より外部へと放出される。
そして、前記圧力調整装置２７は吸入圧力が十分に低下
し、作動室が吐出ポートに達する以前に、作動室内圧力
が大気圧に達することがなくなると、排出口３１はすべ
て塞がれ、吸入ポート２４より吸入された気体は、雄ロ
ータ１０、雌ロータ１１及びメインケーシング１２によ
って形成される作動室２６内に入り、両ロータの回転に
より圧縮されて、前記圧力調整装置２７から外部に吐出
されることなく、吐出ポート２５より圧出される。
【０００９】以上のように、従来のスクリュ−真空ポン
プにあっては、作動室内の圧力を大気圧以下に抑えられ
るため、吸入圧力が大気圧近傍の状態での運転に際して
も、必要以上の圧縮による軸トルクの増大を防ぐことが
でき、消費電力を抑えることができ、また必要以上の圧
縮がないため、スクリュー真空ポンプの温度が異常に上
昇することはなく、ケ−シングとロ−タ−、雄ロ−タ−
と雌ロ−タ−のかみ合い間の寸法精度等を良好なものと
することができる。
プにあっては、作動室内の圧力を大気圧以下に抑えられ
るため、吸入圧力が大気圧近傍の状態での運転に際して
も、必要以上の圧縮による軸トルクの増大を防ぐことが
でき、消費電力を抑えることができ、また必要以上の圧
縮がないため、スクリュー真空ポンプの温度が異常に上
昇することはなく、ケ−シングとロ−タ−、雄ロ−タ−
と雌ロ−タ−のかみ合い間の寸法精度等を良好なものと
することができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、提案さ
れた従来のスクリュ−真空ポンプでは、圧力調整装置２
７がケ−シング１２の下面に、しかもロ−タの軸方向に
形成されているため、図６に示すように作動室２６ａと
隣の作動室２６ｂとが排出口３１を介して連通すること
がある。図中矢印は、この時の気体の流れを示したもの
である。すなわち、ロ−タの歯先３４は十分な幅を有さ
ないため、排出口３０は作動室２６ａと隣の作動室２６
ｂとに跨がる状態が生ずる。その結果、排出口３１はす
べて塞がれ、所定の吐出圧を必要としている場合に、圧
力の高い作動室２６ａから圧力の低い作動室２６ｂに気
体が洩れ、作動室２６ａの圧力が設定圧力まで上昇しな
かったり、あるいは設定圧力に上昇するまでにかなりの
時間を要するという技術的課題があった。
れた従来のスクリュ−真空ポンプでは、圧力調整装置２
７がケ−シング１２の下面に、しかもロ−タの軸方向に
形成されているため、図６に示すように作動室２６ａと
隣の作動室２６ｂとが排出口３１を介して連通すること
がある。図中矢印は、この時の気体の流れを示したもの
である。すなわち、ロ−タの歯先３４は十分な幅を有さ
ないため、排出口３０は作動室２６ａと隣の作動室２６
ｂとに跨がる状態が生ずる。その結果、排出口３１はす
べて塞がれ、所定の吐出圧を必要としている場合に、圧
力の高い作動室２６ａから圧力の低い作動室２６ｂに気
体が洩れ、作動室２６ａの圧力が設定圧力まで上昇しな
かったり、あるいは設定圧力に上昇するまでにかなりの
時間を要するという技術的課題があった。
【００１１】本発明は上記した技術的課題を解決するた
めになされたものであり、必要以上の内部圧縮による軸
トルクの増大を防ぐとともに、異常な温度上昇を防止
し、さらには、作動室の圧力を短時間で設定圧に上昇す
るようになしたスクリュー真空ポンプを提供することを
目的とするものである。
めになされたものであり、必要以上の内部圧縮による軸
トルクの増大を防ぐとともに、異常な温度上昇を防止
し、さらには、作動室の圧力を短時間で設定圧に上昇す
るようになしたスクリュー真空ポンプを提供することを
目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明にかかるスクリュ
ー真空ポンプは、互に噛み合いながら回転する一対の雄
ロ−タ及び雌ロ−タと、両ロ−タを収納するケ−シング
により作動室を形成し、前記作動室に閉じ込められた吸
入気体を前記ロ−タの回転に伴って、吐出口から圧出す
るとともに、作動室内圧力が大気圧より上昇しないよう
に、圧力を制限する圧力調整装置を設けたスクリュ−真
空ポンプにおいて、前記圧力調整装置は、前記ケ−シン
グの一部を構成するスクリュー端面プレ−トに形成され
た排出口と、前記排出口の外側に設けられ前記作動室内
圧力が大気圧を超えたときに開放される排出弁と、前記
排出口を開閉するロ−タの歯端面とを含み、前記ロ−タ
の回転にしたがってロ−タの歯端面が前記排出口に位置
する状態で、ロ−タの歯端面が前記排出口の内側を閉塞
するように構成されている。
ー真空ポンプは、互に噛み合いながら回転する一対の雄
ロ−タ及び雌ロ−タと、両ロ−タを収納するケ−シング
により作動室を形成し、前記作動室に閉じ込められた吸
入気体を前記ロ−タの回転に伴って、吐出口から圧出す
るとともに、作動室内圧力が大気圧より上昇しないよう
に、圧力を制限する圧力調整装置を設けたスクリュ−真
空ポンプにおいて、前記圧力調整装置は、前記ケ−シン
グの一部を構成するスクリュー端面プレ−トに形成され
た排出口と、前記排出口の外側に設けられ前記作動室内
圧力が大気圧を超えたときに開放される排出弁と、前記
排出口を開閉するロ−タの歯端面とを含み、前記ロ−タ
の回転にしたがってロ−タの歯端面が前記排出口に位置
する状態で、ロ−タの歯端面が前記排出口の内側を閉塞
するように構成されている。
【００１３】また前記スクリュー端面プレ−トに形成さ
れた排出口は、ロ−タを構成するねじ歯車のピッチ円に
対応する位置に、前記ねじ歯車の歯ピッチの間隔をもっ
て複数形成されているのが望ましく、またロ−タの歯数
より１つ少ない個数の排出口が形成されているのが望ま
しい。
れた排出口は、ロ−タを構成するねじ歯車のピッチ円に
対応する位置に、前記ねじ歯車の歯ピッチの間隔をもっ
て複数形成されているのが望ましく、またロ−タの歯数
より１つ少ない個数の排出口が形成されているのが望ま
しい。
【００１４】更に、前記排出弁は、排出口の外側に配さ
れ前記排出口を開閉する弁棒と、前記弁棒を排出口を閉
塞する方向に附勢するばねと、前記弁棒とばねとを収納
する弁ボックスと、前記弁ボックスに形成され、前記排
出口から圧出した気体を外部に放出する大気開放口とを
含む構成を有している。
れ前記排出口を開閉する弁棒と、前記弁棒を排出口を閉
塞する方向に附勢するばねと、前記弁棒とばねとを収納
する弁ボックスと、前記弁ボックスに形成され、前記排
出口から圧出した気体を外部に放出する大気開放口とを
含む構成を有している。
【００１５】
【作用】上記のように構成されたスクリュー真空ポンプ
は、吸入気体の圧力が低く、作動室の圧力が大気圧より
低い場合には、弁ボックス内の弁棒は、ばねによって附
勢され、排出口の外側を塞いでいる。この時、排出口の
内側はロ−タを構成するねじ歯車の歯端面で閉塞するよ
うに構成されているため、ロ−タが回転しても作動室が
隣接する作動室と連通することはなく、圧力の高い作動
室から圧力の低い作動室に気体が洩れ、作動室圧力が設
定圧まで上昇しなかったり、あるいは設定圧に上昇する
までにかなりの時間を要することもない。
は、吸入気体の圧力が低く、作動室の圧力が大気圧より
低い場合には、弁ボックス内の弁棒は、ばねによって附
勢され、排出口の外側を塞いでいる。この時、排出口の
内側はロ−タを構成するねじ歯車の歯端面で閉塞するよ
うに構成されているため、ロ−タが回転しても作動室が
隣接する作動室と連通することはなく、圧力の高い作動
室から圧力の低い作動室に気体が洩れ、作動室圧力が設
定圧まで上昇しなかったり、あるいは設定圧に上昇する
までにかなりの時間を要することもない。
【００１６】また吸入気体の圧力が高く、作動室の圧力
が大気圧より高い場合には、弁棒は下方に押し下げら
れ、作動室内の気体は排出口より弁ボックス内のすきま
を通り、大気開放口より外部へと放出される。そして、
前記圧力調整装置は吸入圧力が十分に低下し、作動室が
吐出ポートに達する以前に、作動室内圧力が大気圧に達
することがなくなると、排出口はすべて塞がれ、前記圧
力調整装置から外部に吐出されることなく、吐出ポート
より圧出される。
が大気圧より高い場合には、弁棒は下方に押し下げら
れ、作動室内の気体は排出口より弁ボックス内のすきま
を通り、大気開放口より外部へと放出される。そして、
前記圧力調整装置は吸入圧力が十分に低下し、作動室が
吐出ポートに達する以前に、作動室内圧力が大気圧に達
することがなくなると、排出口はすべて塞がれ、前記圧
力調整装置から外部に吐出されることなく、吐出ポート
より圧出される。
【００１７】
【実施例】本発明の一実施例について、図１乃至図４に
基づいて説明する。尚、図１は本発明の一実施例にかか
るスクリュー真空ポンプをケ−シングの吐出側からみた
概略図であって、（ａ）は雄ロ−タ側の排出口に雄ロ−
タの歯端面が位置しない状態を示す図である。また
（ｂ）は雄ロ−タが回転し、排出口に雄ロ−タの歯端面
が位置する状態を示す図である。また、図２は本発明の
一実施例にかかるスクリュー真空ポンプをロ−タの周方
向を開いて、模式的に表した図である。更に、図３は排
出口の要部拡大図である。
基づいて説明する。尚、図１は本発明の一実施例にかか
るスクリュー真空ポンプをケ−シングの吐出側からみた
概略図であって、（ａ）は雄ロ−タ側の排出口に雄ロ−
タの歯端面が位置しない状態を示す図である。また
（ｂ）は雄ロ−タが回転し、排出口に雄ロ−タの歯端面
が位置する状態を示す図である。また、図２は本発明の
一実施例にかかるスクリュー真空ポンプをロ−タの周方
向を開いて、模式的に表した図である。更に、図３は排
出口の要部拡大図である。
【００１８】図に示すように、１は雄ロ−タ−であっ
て、前記雄ロ−タ−１と噛み合う雌ロ−タ−２が、従来
のスクリュー真空ポンプ同様、ケ−シング３内に収納さ
れている。そして、前記ケ−シング３の吐出側には、雄
ロータ端面プレート３ａ、雌ロータ端面プレート３ｂが
形成され、この端面プレート３ａ、端面プレート３ｂと
雄ロ−タ１の歯端面、雌ロ−タ２の歯端面とは摺動可能
に密着している。したがって、雄ロータ端面プレート３
ａ、雌ロータ端面プレート３ｂと雄ロ−タ１の歯端面１
ｂ、雌ロ−タ２の歯端面２ｂとによって、作動室１ａ、
２ａの気密性が保たれる。
て、前記雄ロ−タ−１と噛み合う雌ロ−タ−２が、従来
のスクリュー真空ポンプ同様、ケ−シング３内に収納さ
れている。そして、前記ケ−シング３の吐出側には、雄
ロータ端面プレート３ａ、雌ロータ端面プレート３ｂが
形成され、この端面プレート３ａ、端面プレート３ｂと
雄ロ−タ１の歯端面、雌ロ−タ２の歯端面とは摺動可能
に密着している。したがって、雄ロータ端面プレート３
ａ、雌ロータ端面プレート３ｂと雄ロ−タ１の歯端面１
ｂ、雌ロ−タ２の歯端面２ｂとによって、作動室１ａ、
２ａの気密性が保たれる。
【００１９】また、前記雄ロ−タ１の端面プレ−ト３ａ
には排出口４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄが形成され、同様に
雌ロータの端面プレート３ｂにも、排出口５ａ、５ｂ、
５ｃ、５ｄ、５ｅが形成されている。そして端面プレ−
ト３ａと端面プレート３ｂとの上部には、端面プレ−ト
３ａと端面プレート３ｂに跨がって、１つの吐出口６が
形成されている。
には排出口４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄが形成され、同様に
雌ロータの端面プレート３ｂにも、排出口５ａ、５ｂ、
５ｃ、５ｄ、５ｅが形成されている。そして端面プレ−
ト３ａと端面プレート３ｂとの上部には、端面プレ−ト
３ａと端面プレート３ｂに跨がって、１つの吐出口６が
形成されている。
【００２０】前記雄ロータ側端面プレート３ａに形成さ
れた排出口４は、雄ロータ歯数（この実施例にあって
は、歯数は５）より１つ少ない４つ設けられ、４つの排
出口４ａ〜４ｄは、雄ロータ１を構成するねじ歯車の歯
ピッチの間隔と同一間隔をもって、前記ねじ歯車のピッ
チ円上に配置されている。尚、排出口は、雄ロータ１を
構成するねじ歯車の歯ピッチの間隔と同一間隔をもって
形成されるため、雄ロータ側端面プレート３ａには、５
つの排出口を設けることができるが、５つ目の排出口は
吐出口６となるように構成されている。したがって、前
記排出口４ａ〜４ｄは吐出口６からの角度で示せば、７
２°、１４４°、２１６°、２８８°の位置に形成され
ている。
れた排出口４は、雄ロータ歯数（この実施例にあって
は、歯数は５）より１つ少ない４つ設けられ、４つの排
出口４ａ〜４ｄは、雄ロータ１を構成するねじ歯車の歯
ピッチの間隔と同一間隔をもって、前記ねじ歯車のピッ
チ円上に配置されている。尚、排出口は、雄ロータ１を
構成するねじ歯車の歯ピッチの間隔と同一間隔をもって
形成されるため、雄ロータ側端面プレート３ａには、５
つの排出口を設けることができるが、５つ目の排出口は
吐出口６となるように構成されている。したがって、前
記排出口４ａ〜４ｄは吐出口６からの角度で示せば、７
２°、１４４°、２１６°、２８８°の位置に形成され
ている。
【００２１】また前記雌ロータ側端面プレート３ｂに形
成された排出口５は、前述の雄ロ−タ側端面プレ−ト３
ａと同様に、雌ロータ歯数（この実施例にあっては、歯
数は６）より１つ少ない５つ設けられ、５つの排出口５
ａ〜５ｅは、雌ロータ２を構成するねじ歯車の歯ピッチ
の間隔と同一間隔をもって、前記ねじ歯車のピッチ円上
に配置されている。尚、排出口は、雌ロータ２を構成す
るねじ歯車の歯ピッチの間隔と同一間隔をもって形成さ
れるため、雌ロータ側端面プレート３ｂには、６つの排
出口を設けることができるが、６つ目の排出口は吐出口
６となるように構成されている。したがって、前記排出
口５ａ〜５ｅは吐出口６からの角度で示せば、６０°、
１２０°、１８０°、２４０°、３００°の位置に形成
されている。
成された排出口５は、前述の雄ロ−タ側端面プレ−ト３
ａと同様に、雌ロータ歯数（この実施例にあっては、歯
数は６）より１つ少ない５つ設けられ、５つの排出口５
ａ〜５ｅは、雌ロータ２を構成するねじ歯車の歯ピッチ
の間隔と同一間隔をもって、前記ねじ歯車のピッチ円上
に配置されている。尚、排出口は、雌ロータ２を構成す
るねじ歯車の歯ピッチの間隔と同一間隔をもって形成さ
れるため、雌ロータ側端面プレート３ｂには、６つの排
出口を設けることができるが、６つ目の排出口は吐出口
６となるように構成されている。したがって、前記排出
口５ａ〜５ｅは吐出口６からの角度で示せば、６０°、
１２０°、１８０°、２４０°、３００°の位置に形成
されている。
【００２２】以上のような位置関係をもって、排出口４
ａ〜４ｄ及び排出口５ａ〜５ｅが形成されているため、
図１（ａ）に示すように前記雄ロータ１のねじ歯車の端
面１ｂが排出口４ａ〜４ｄを閉塞しない状態（雌ロータ
２のねじ歯車の端面２ｂが排出口５ａ〜５ｅを閉塞する
状態）にあっては、排出口４ａ〜４ｄの内側は開放状態
にあり、排出口５ａ〜５ｅは閉塞状態にある。そして、
ロ−タが回転することにより、前記状態から図１（ｂ）
に示すような前記雄ロータ１のねじ歯車の端面１ｂが排
出口４ａ〜４ｄを閉塞する状態（雌ロータ２のねじ歯車
の端面２ｂが排出口５ａ〜５ｅを閉塞しない状態）に移
行するが、いずれの状態にあって作動室が排出口４、５
を介して、連通することはない。
ａ〜４ｄ及び排出口５ａ〜５ｅが形成されているため、
図１（ａ）に示すように前記雄ロータ１のねじ歯車の端
面１ｂが排出口４ａ〜４ｄを閉塞しない状態（雌ロータ
２のねじ歯車の端面２ｂが排出口５ａ〜５ｅを閉塞する
状態）にあっては、排出口４ａ〜４ｄの内側は開放状態
にあり、排出口５ａ〜５ｅは閉塞状態にある。そして、
ロ−タが回転することにより、前記状態から図１（ｂ）
に示すような前記雄ロータ１のねじ歯車の端面１ｂが排
出口４ａ〜４ｄを閉塞する状態（雌ロータ２のねじ歯車
の端面２ｂが排出口５ａ〜５ｅを閉塞しない状態）に移
行するが、いずれの状態にあって作動室が排出口４、５
を介して、連通することはない。
【００２３】次に、排出口の外側に配される排出弁につ
いて図３に基づいて説明する。尚、この排出弁は基本的
構成は従来の排出弁と同様であるため、図６に示された
部材と同一の部材については同一符号を付する。図にお
いて、排出弁７は前記排出口を開閉する弁棒２９と、前
記弁棒２９の反対面に一体に形成され、排出口４、５に
挿入される突出部２９ａと、前記弁棒２９を排出口４、
５を閉塞する方向に附勢するばね８と、前記弁棒２９と
ばね８とを収納する弁ボックス２８と、前記弁ボックス
２８に形成され、前記排出口４、５から吐出した気体を
外部に放出する大気開放口３２とから構成されている。
ここで、前記ばね８の附勢力は、大気圧以上に作動室内
の圧力が上昇すると弁棒２９が排出口４、５を開くよう
に調整されている。
いて図３に基づいて説明する。尚、この排出弁は基本的
構成は従来の排出弁と同様であるため、図６に示された
部材と同一の部材については同一符号を付する。図にお
いて、排出弁７は前記排出口を開閉する弁棒２９と、前
記弁棒２９の反対面に一体に形成され、排出口４、５に
挿入される突出部２９ａと、前記弁棒２９を排出口４、
５を閉塞する方向に附勢するばね８と、前記弁棒２９と
ばね８とを収納する弁ボックス２８と、前記弁ボックス
２８に形成され、前記排出口４、５から吐出した気体を
外部に放出する大気開放口３２とから構成されている。
ここで、前記ばね８の附勢力は、大気圧以上に作動室内
の圧力が上昇すると弁棒２９が排出口４、５を開くよう
に調整されている。
【００２４】上記のように構成された一実施例の動作作
用について説明する。まず吸入気体の圧力が低く、作動
室１ａの圧力が大気圧より低い場合には、弁ボックス２
８内の弁棒２９は、ばね８によって附勢され、排出口
４、５を塞いでいる。尚、このとき、突出部２９ａは排
出口４、５に挿入されているため、排出口４、５にわず
かな空隙しか形成されていない。そのため、作動室１
ａ、２ａが排出口４、５に位置し連通した際、作動室１
ａ、２ａの圧力は排出口４、５の空隙の圧力の影響を受
けることはない。したがって、吸入ポートより吸入され
た気体は、雄ロータ１、雌ロータ２及びケーシング３に
よって形成される作動室１ａ、２ａ内に入り、両ロータ
の回転により圧縮されて、前記圧力調整装置から外部に
吐出されることなく、吐出ポート６より吐出される。こ
のとき、図３に示すように排出口４、５の内側はロ−タ
を構成するねじ歯車の歯端面１ｂまたは歯端面２ｂで閉
塞するように構成されているため、作動室が隣接する作
動室と連通することはなく、圧力の高い作動室から圧力
の低い作動室に気体が洩れ、作動室の圧力が所定圧以上
に上昇しなかったり、あるいは所定圧以上に上昇するの
に余分な時間を要することもない。
用について説明する。まず吸入気体の圧力が低く、作動
室１ａの圧力が大気圧より低い場合には、弁ボックス２
８内の弁棒２９は、ばね８によって附勢され、排出口
４、５を塞いでいる。尚、このとき、突出部２９ａは排
出口４、５に挿入されているため、排出口４、５にわず
かな空隙しか形成されていない。そのため、作動室１
ａ、２ａが排出口４、５に位置し連通した際、作動室１
ａ、２ａの圧力は排出口４、５の空隙の圧力の影響を受
けることはない。したがって、吸入ポートより吸入され
た気体は、雄ロータ１、雌ロータ２及びケーシング３に
よって形成される作動室１ａ、２ａ内に入り、両ロータ
の回転により圧縮されて、前記圧力調整装置から外部に
吐出されることなく、吐出ポート６より吐出される。こ
のとき、図３に示すように排出口４、５の内側はロ−タ
を構成するねじ歯車の歯端面１ｂまたは歯端面２ｂで閉
塞するように構成されているため、作動室が隣接する作
動室と連通することはなく、圧力の高い作動室から圧力
の低い作動室に気体が洩れ、作動室の圧力が所定圧以上
に上昇しなかったり、あるいは所定圧以上に上昇するの
に余分な時間を要することもない。
【００２５】これに対し、吸入気体の圧力が高く、作動
室の圧力が大気圧より高い場合には（ばね８の附勢力よ
り作動室の気体が弁棒２９に及ぼす力が大きい場合に
は）、弁棒２９は下方に押し下げられ、作動室２６内の
気体は排出口４、５より弁ボックス２８内のすきまを通
り、大気開放口３２より外部へと放出される。そして、
前記圧力調整装置７は吸入圧力が十分に低下し、作動室
が吐出ポートに達する以前に、作動室内圧力が大気圧に
達することがなくなると、排出口４、５はすべて塞が
れ、前記圧力調整装置７から外部に吐出されることな
く、吐出ポート６より圧出される。
室の圧力が大気圧より高い場合には（ばね８の附勢力よ
り作動室の気体が弁棒２９に及ぼす力が大きい場合に
は）、弁棒２９は下方に押し下げられ、作動室２６内の
気体は排出口４、５より弁ボックス２８内のすきまを通
り、大気開放口３２より外部へと放出される。そして、
前記圧力調整装置７は吸入圧力が十分に低下し、作動室
が吐出ポートに達する以前に、作動室内圧力が大気圧に
達することがなくなると、排出口４、５はすべて塞が
れ、前記圧力調整装置７から外部に吐出されることな
く、吐出ポート６より圧出される。
【００２６】以上のように、本発明にかかるスクリュ−
真空ポンプにあっては、スクリュー真空ポンプのロ−タ
の回転にしたがってロ−タの歯端面が排出口に位置する
状態で、ロ−タの歯端面によって排出口の内側を閉塞す
るように構成されているため、排出口によって一の作動
室と隣接する他の作動室と連通することがなく、圧力の
高い一の作動室から圧力の低い他の作動室に気体が洩れ
ないため、作動室は所定の時間内に設定圧まで昇圧す
る。また作動室内の圧力を常に大気圧以下に抑えられる
ため、吸入圧力が大気圧近傍の状態での運転に際して
も、必要以上の圧縮が行われないため、軸トルクの増大
を防ぐことができ、消費電力を抑えることができる。更
に、必要以上の圧縮が行われないため、スクリュー真空
ポンプの温度が異常に上昇することはなく、ケ−シング
とロ−タ−、雄ロ−タ−と雌ロ−タ−のかみ合い間の寸
法精度等を良好なものとすることができる。
真空ポンプにあっては、スクリュー真空ポンプのロ−タ
の回転にしたがってロ−タの歯端面が排出口に位置する
状態で、ロ−タの歯端面によって排出口の内側を閉塞す
るように構成されているため、排出口によって一の作動
室と隣接する他の作動室と連通することがなく、圧力の
高い一の作動室から圧力の低い他の作動室に気体が洩れ
ないため、作動室は所定の時間内に設定圧まで昇圧す
る。また作動室内の圧力を常に大気圧以下に抑えられる
ため、吸入圧力が大気圧近傍の状態での運転に際して
も、必要以上の圧縮が行われないため、軸トルクの増大
を防ぐことができ、消費電力を抑えることができる。更
に、必要以上の圧縮が行われないため、スクリュー真空
ポンプの温度が異常に上昇することはなく、ケ−シング
とロ−タ−、雄ロ−タ−と雌ロ−タ−のかみ合い間の寸
法精度等を良好なものとすることができる。
【００２７】尚、上記実施例にあっては、排出口４個あ
るいは５個設けたものについて説明したが、特にこれに
限定されるものではなく、スクリュー真空ポンプの使用
範囲、性能等を考慮の上適宜選択される。また排出口を
ロ−タを構成するねじ歯車のピッチ円に相当する位置に
形成したが、特にこの位置に限定されるものではなく、
ねじ歯車の歯端面で閉塞できる位置に形成されれば良
い。更に、上記実施例では、ばねの附勢力を大気圧ある
いは大気圧近傍の圧力に対抗できる力として説明した
が、特にこれに限定されるものではなく、スクリュー真
空ポンプの使用範囲、性能等を考慮の上ばねの附勢力を
変えてもよい。更にまた、上記実施例ではロ−タに１つ
のねじ歯車を形成したものを示したが、特に１つのねじ
歯車に限定されるものではなく、ロ−タに複数のねじ歯
車を形成した多段のロ−タであってもよい。またねじ歯
車とル−ツの両方が形成されたロ−タであっても、本発
明を適用することができる。
るいは５個設けたものについて説明したが、特にこれに
限定されるものではなく、スクリュー真空ポンプの使用
範囲、性能等を考慮の上適宜選択される。また排出口を
ロ−タを構成するねじ歯車のピッチ円に相当する位置に
形成したが、特にこの位置に限定されるものではなく、
ねじ歯車の歯端面で閉塞できる位置に形成されれば良
い。更に、上記実施例では、ばねの附勢力を大気圧ある
いは大気圧近傍の圧力に対抗できる力として説明した
が、特にこれに限定されるものではなく、スクリュー真
空ポンプの使用範囲、性能等を考慮の上ばねの附勢力を
変えてもよい。更にまた、上記実施例ではロ−タに１つ
のねじ歯車を形成したものを示したが、特に１つのねじ
歯車に限定されるものではなく、ロ−タに複数のねじ歯
車を形成した多段のロ−タであってもよい。またねじ歯
車とル−ツの両方が形成されたロ−タであっても、本発
明を適用することができる。
【００２８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、スクリュ
ー真空ポンプのロ−タの回転にしたがってロ−タの歯端
面が排出口に位置する状態で、ロ−タの歯端面によって
排出口の内側を閉塞するように構成されているため、排
出口によって一の作動室と隣接する他の作動室と連通す
ることがない。その結果、所定の吐出圧を必要としてい
る場合に、圧力の高い一の作動室から圧力の低い他の作
動室に気体が洩れることなく、作動室は所定の時間内に
設定圧を得ることができるという効果を奏するものであ
る。
ー真空ポンプのロ−タの回転にしたがってロ−タの歯端
面が排出口に位置する状態で、ロ−タの歯端面によって
排出口の内側を閉塞するように構成されているため、排
出口によって一の作動室と隣接する他の作動室と連通す
ることがない。その結果、所定の吐出圧を必要としてい
る場合に、圧力の高い一の作動室から圧力の低い他の作
動室に気体が洩れることなく、作動室は所定の時間内に
設定圧を得ることができるという効果を奏するものであ
る。
【００２９】また作動室内の圧力を大気圧以下に抑えら
れるため、吸入圧力が大気圧近傍の状態での運転に際し
ても、必要以上の圧縮による軸トルクの増大を防ぐこと
ができ、消費電力を抑えることができ、また必要以上の
圧縮がないため、スクリュー真空ポンプの温度が異常に
上昇することはなく、ケ−シングとロ−タ−、雄ロ−タ
−と雌ロ−タ−のかみ合い間の寸法精度等を良好なもの
とすることができるという効果を奏するものである。
れるため、吸入圧力が大気圧近傍の状態での運転に際し
ても、必要以上の圧縮による軸トルクの増大を防ぐこと
ができ、消費電力を抑えることができ、また必要以上の
圧縮がないため、スクリュー真空ポンプの温度が異常に
上昇することはなく、ケ−シングとロ−タ−、雄ロ−タ
−と雌ロ−タ−のかみ合い間の寸法精度等を良好なもの
とすることができるという効果を奏するものである。
【図１】図１は本発明の一実施例にかかるスクリュー真
空ポンプをケ−シングの吐出側からみた概略図である。
空ポンプをケ−シングの吐出側からみた概略図である。
【図２】図２は本発明の一実施例にかかるスクリュー真
空ポンプをロ−タの周方向を開いて、模式的に表した図
である。
空ポンプをロ−タの周方向を開いて、模式的に表した図
である。
【図３】図３は排出口の要部拡大図である。
【図４】図４はスクリュー真空ポンプの正面断面図であ
る。
る。
【図５】図５は図４におけるＡ−Ａ断面図である。
【図６】図６は圧力調整装置を示す要部断面図である。
１ 雄ロ−タ １ａ 作動室 １ｂ 歯端面 ２ 雌ロ−タ ２ａ 作動室 ２ｂ 歯端面 ３ ケ−シング ３ａ 雄ロ−タ側端面プレ−ト ３ｂ 雌ロ−タ側端面プレ−ト ４ａ〜４ｄ 排出口 ５ａ〜５ｅ 排出口 ６ 吐出口 ７ 排出弁 ８ ばね ２８ 弁ボックス ２９ 弁棒 ３２ 大気開放口
Claims (4)
- 【請求項１】 互に噛み合いながら回転する一対の雄ロ
−タ及び雌ロ−タと、両ロ−タを収納するケ−シングに
より作動室を形成し、前記作動室に閉じ込められた吸入
気体を前記ロ−タの回転に伴って、吐出口から圧出する
とともに、作動室内の圧力が大気圧近傍より上昇しない
ように、圧力を制限する圧力調整装置を設けたスクリュ
−真空ポンプにおいて、 前記圧力調整装置は、前記ケ−シングの一部を構成する
スクリュー端面プレ−トに形成された排出口と、前記排
出口の外側に設けられ前記作動室内圧力が大気圧を越え
たときに開放される排出弁と、前記排出口の内側を開閉
するロ−タの歯端面とを含み、 前記ロ−タの回転にしたがってロ−タの歯端面が前記排
出口に位置する状態で、ロ−タの歯端面が前記排出口の
内側を閉塞するようになしたことを特徴とする特徴とす
るスクリュー真空ポンプ。 - 【請求項２】 前記スクリュー端面プレ−トに形成され
た排出口は、ロ−タを構成するねじ歯車のピッチ円に対
応する位置に、前記ねじ歯車の歯ピッチの間隔をもって
複数形成されていることを特徴とする請求項１に記載の
スクリュー真空ポンプ。 - 【請求項３】 前記スクリュー端面プレ−トに形成され
た排出口はロ−タの歯数より１つ少ない個数、吐出口で
形成されていることを特徴とする請求項１または請求項
２に記載のスクリュー真空ポンプ。 - 【請求項４】 前記排出弁は、排出口の外側に配され前
記排出口を開閉する弁棒と、前記弁棒を排出口を閉塞す
る方向に附勢するばねと、前記弁棒とばねとを収納する
弁ボックスと、前記弁ボックスに形成され、前記排出口
から圧出した気体を外部に放出する大気開放口とを含む
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記
載のスクリュー真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17398395A JPH094580A (ja) | 1995-06-16 | 1995-06-16 | スクリュー真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17398395A JPH094580A (ja) | 1995-06-16 | 1995-06-16 | スクリュー真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH094580A true JPH094580A (ja) | 1997-01-07 |
Family
ID=15970623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17398395A Pending JPH094580A (ja) | 1995-06-16 | 1995-06-16 | スクリュー真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH094580A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004263629A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Tadahiro Omi | スクリュー真空ポンプ |
| CN102884324A (zh) * | 2010-05-04 | 2013-01-16 | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 | 螺杆真空泵 |
| CN103939355A (zh) * | 2014-04-25 | 2014-07-23 | 珠海凌达压缩机有限公司 | 压缩机排气装置及具有其的压缩机 |
| WO2018203152A1 (en) * | 2017-05-04 | 2018-11-08 | Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap | Transmission and compressor or vacuum pump provided with such a transmission |
| CN111577607A (zh) * | 2019-02-19 | 2020-08-25 | 上海海立电器有限公司 | 一种止回阀及转子式压缩机 |
-
1995
- 1995-06-16 JP JP17398395A patent/JPH094580A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004263629A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Tadahiro Omi | スクリュー真空ポンプ |
| US7744356B2 (en) | 2003-03-03 | 2010-06-29 | Foundation For Advancement Of International Science | Screw vacuum pump with male and female screw rotors having unequal leads |
| CN102884324A (zh) * | 2010-05-04 | 2013-01-16 | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 | 螺杆真空泵 |
| JP2013525690A (ja) * | 2010-05-04 | 2013-06-20 | オーリコン レイボルド バキューム ゲーエムベーハー | スクリュー式真空ポンプ |
| CN103939355A (zh) * | 2014-04-25 | 2014-07-23 | 珠海凌达压缩机有限公司 | 压缩机排气装置及具有其的压缩机 |
| WO2018203152A1 (en) * | 2017-05-04 | 2018-11-08 | Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap | Transmission and compressor or vacuum pump provided with such a transmission |
| BE1025222B1 (nl) * | 2017-05-04 | 2018-12-13 | Atlas Copco Airpower Naamloze Vennootschap | Overbrenging en compressor of vacuümpomp voorzien van dergelijke overbrenging |
| CN110582645A (zh) * | 2017-05-04 | 2019-12-17 | 阿特拉斯·科普柯空气动力股份有限公司 | 传动装置和设有该传动装置的压缩机或真空泵 |
| CN110582645B (zh) * | 2017-05-04 | 2021-11-16 | 阿特拉斯·科普柯空气动力股份有限公司 | 传动装置和设有该传动装置的压缩机或真空泵 |
| US11629716B2 (en) | 2017-05-04 | 2023-04-18 | Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap | Compressor or vacuum pump provided with a transmission |
| US11867183B2 (en) | 2017-05-04 | 2024-01-09 | Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap | Transmission and compressor or vacuum pump provided with such a transmission |
| CN111577607A (zh) * | 2019-02-19 | 2020-08-25 | 上海海立电器有限公司 | 一种止回阀及转子式压缩机 |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040610 |
|
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|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040826 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |
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