JP3569039B2 - スクリュー真空ポンプ - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、スクリュー真空ポンプに関し、更に詳しくは、大気圧から10− 4 Torrの低、中真空領域に好適なスクリュー真空ポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より低、中真空領域では油回転ポンプ、ル−ツポンプ、エゼクタポンプ、拡散ポンプなどが用いられている。
しかしながら、これら真空ポンプの作動範囲は狭く、油回転ポンプの作動範囲は760Torrから10− 3 Torrであり、またル−ツポンプの作動範囲は20Torrから10− 4 Torrである。
更に、エゼクタポンプの作動範囲は1Torrから10− 4 Torrであり、拡散ポンプの作動範囲は10− 3 Torrから10− 9 Torrである。
したがって、大気圧(760Torr)から10− 4 Torrまで一台の真空ポンプで排気することができなかった。
【0003】
特に、前述のように背圧が大気圧(760Torr)のもとで作動可能なポンプは油回転ポンプのみであり、その他のポンプを用いることはできなかった。
このため、例えば、半導体製造工程において用いられるCVD装置等で必要とされている10− 1 〜10− 4 Torrの作業圧力を達成するためには、一般的に油回転ポンプとメカニカルブースターなどの他のポンプを組合わせて用いている。
即ち、まず油回転ポンプを駆動し所定圧力(メカニカルブースターなど他のポンプの作動範囲)に達した時に、メカニカルブースターなど他のポンプに切り換え所定の作業圧力を得るようになしている。
しかしながら、このような複数の真空ポンプを組合せて用いた場合、バルブの開閉等、その操作がきわめて煩雑であった。
【0004】
また油回転ポンプでは、使用している潤滑用油が半導体製造過程で用いる各種ガス(例えば、ヒ素、ガリウム、塩素、Poly−Si、フッ素等)と接触して、潤滑油としての寿命を短くするという問題があり、また油分子が半導体製造容器内を汚染するので、半導体製造工程上好ましくなかった。
【0005】
これらの問題を解決するものとして、特開昭60−216089号公報に示されるスクリュ−真空ポンプが提案されている。
このスクリュ−真空ポンプは非接触式で、上記圧力範囲を一台でカバーできるスクリュ−真空ポンプである。
このスクリュ−式真空ポンプは、図10に示されるように互に噛み合いながら回転する一対の雄ロ−タ50及び雌ロ−タ51を、ケ−シング(図示せず)に収納し、前記雄ロ−タ50及び雌ロ−タ51に形成されたねじ歯車50a、51aと前記ケ−シングとにより作動室を形成し、前記作動室に閉じ込められた吸入気体を前記ロ−タ50、51の回転に伴って、吐出口から圧出するようになされている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
この従来のスクリュ−真空ポンプの排気速度の特性を示すと、図11の点線に示すようになる。
この図から明らかなように、この従来のスクリュ−真空ポンプは10−4Torrのレベルの到達圧力を得ることができるが、10−2Torrから高真空側で排気速度が減少する。
したがって、この従来のスクリュ−真空ポンプを用いて10−4Torrの到達圧力を得るためには、かなりの時間を要するという技術的問題があり、この時間を短縮する必要があった。
【0007】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、大気圧(760Torr)から10− 4 Torrの作動範囲において、安定した排気速度を得ることができるスクリュ−真空ポンプを提供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明にかかるスクリュー真空ポンプは、互に噛み合いながら回転する一対の雄ロ−タ及び雌ロ−タと、両ロ−タを収納するケ−シングにより作動室を形成し、ケ−シングの吸入口から気体を吸入すると共に前記吸入気体を前記作動室に閉じ込め、前記作動室に閉じ込められた吸入気体を前記ロ−タの回転に伴って、吐出口から圧出するスクリュ−真空ポンプにおいて、前記雄雌ロ−タにはねじ歯車部及びル−ツ部が形成されていることを特徴とする。
【0009】
またスクリュー真空ポンプの雄雌ロ−タには、吸入口側から吐出側に向かって、ル−ツ部、ねじ歯車部、ル−ツ部の順に、ねじ歯車及びル−ツ部が形成されていることが好ましい。
更に、スクリュー真空ポンプの吸引口はケ−シングの中央上部に形成されるとともに、前記吐出口はケ−シングの左右両側下部に形成されるのが好ましい。
【0010】
【作用】
上記のように構成されたスクリュー真空ポンプは、雄雌ロータの回転に伴い気体が吸入口から雄側ル−ツ部、雌側ル−ツ部とケーシングとによって形成される作動室に吸い込まれる。この吸引時にル−ツ部の作動室によって、吸引した気体は圧縮される。
そして、前記作動室と連通しているねじ歯車部とケーシングによって形成される作動室に移送され、吸入気体を更に圧縮する。
更に、圧縮された気体は雄側ル−ツ部、雌側ル−ツ部の作動室に移送され、圧縮されながら吐出口から吐出される。
【0011】
以上のように、本発明にかかるスクリュー真空ポンプはスクリュ−ポンプとル−ツポンプの機能を兼ね備えるため、10−2Torrから10−4Torrの範囲で排気速度が減少することなく、大気圧(760Torr)から10− 4 Torrの作動範囲において、安定した排気速度を得ることができる。
【0012】
【実施例】
本発明の一実施例について、図1乃至図4に基づいて説明する。
尚、図1は本発明の一実施例に用いられる雄雌ロ−タの斜視図であり、図2は雄雌ロ−タの平面図である。また図3は図1、2に図示した雄雌ロ−タを用いたスリュー真空ポンプの断面図であって、図4は図3のA−A断面図である。
【0013】
まず、本発明の特徴について説明すると、従来雄雌ロ−タにはいわゆる単一のねじ歯車が形成されていたのに対し、本発明は雄雌ロ−タに前記ねじ歯車とル−ツとを形成した点に特徴がある。
即ち、図1及び図2に示すように、雄雌ロ−タ1、2はねじ歯車部1a、2aと雄側ル−ツ部3、5、雌側ル−ツ部4、6とにより構成され、前記雄側ル−ツ部3、5、雌側ル−ツ部4、6は前記ねじ歯車部1a、2aの両端に形成されている。
【0014】
また、雄雌ロ−タ1、2のねじ歯車部1a、2aとケーシングによって形成される作動室1b、2bと、雄側ル−ツ部3、雌側ル−ツ部4とケーシングとによって形成される作動室3a、4aとは連通し、同様に作動室1b、2b、雄側ル−ツ部5、雌側ル−ツ部6とケーシングとによって形成される作動室5a、6aとは連通している。
尚、、前記雄雌ロ−タ1、2の一端部には回転軸7、8が形成されている。
【0015】
次に、この雄雌ロ−タ1、2をケ−シングに配置した状態を図3、図4に基づいて説明する。
図に示すように、雄ロータ1と雌ロータ2は、主ケーシング9に収納され、前記主ケーシング9の一端面を密封する端板10に取りつけられた軸受11、12と副ケーシング17に取りつけられた軸受18、19とにより回転自在に支持されている。
前記主ケーシング9の端板10側には雄雌ロ−タ1、2で圧縮された気体を外部に吐出する吐出口9bが設けられている。また各軸受け11、12にはシ−ル材13、14が取りつけられ、前記シール材13、14によって後述するタイミングギヤ15、16による潤滑油が作動室内へ侵入するのを防いでいる。
【0016】
前記雄雌ロータ1、2の回転軸7、8には、副ケーシング17内に収納されたタイミングギヤ15、16が取付られ、雄、雌ロータが互いに接触しないように両ロータ間を調整している。
そして軸受11、12の潤滑は飛まつ給油より行ない、副ケーシング17内に溜った潤滑油(図示せず)をタイミングギヤ15、16によって跳ねかけるように成されている。
尚、前記主ケーシング9の他端側には副ケーシング20が取り付けられている。また前記主ケーシング9の他端側には吸入口9aが設けられている。
【0017】
このように構成されたスクリュ−真空ポンプは、雄、雌ロータ1、2の回転に伴い気体が吸入口9aから雄側ル−ツ部5、雌側ル−ツ部6とケーシングとによって形成される作動室3a、4aに吸い込まれる。この吸引時にル−ツ部3、4の作動室3a、4aによって、吸引した気体は圧縮される。
そして、前記作動室3a、4aと連通しているねじ歯車部1a、2aとケーシングによって形成される作動室1b、2bに移送される。前記作動室1b、2bはロータ1、2の回転に伴い当初容積一定のまま気体を移送するが、さらにロータが回転するとその容積を減少させ気体を圧縮する。
更に、圧縮された気体は作動室1b、2bと連通している雄側ル−ツ部5、雌側ル−ツ部6の作動室5a、6aに移送され、圧縮されながら吐出口9bから吐出される。
【0018】
尚、主ケーシング9の外側には気体の圧縮により温度が上昇するため、冷却ジャケット21を設け、このジャケット内に冷却水を通しケーシング9や圧縮気体を冷却するように成されている。
【0019】
以上のように、本発明の実施例によればスクリュ−ポンプとル−ツポンプの機能を兼ね備えるため、図11の実線に示すようにスクリュ−真空空ポンプの排気速度が大幅に改善され、1台の真空ポンプで効率良く、大気圧(760Torr)から10− 4 Torrの中真空領域まで、略安定した排気速度を得ることができ、広い作動範囲をカバーすることができる。
また本発明にかかる真空ポンプを使用することにより、従来の油回転ポンプやメカニカルブースターなどを組合せた真空系と比べて構造が簡単で安価な真空系を構成することができる。
さらに真空系の構成が簡単になることにより、バルブの切換えなど煩雑な操作が不要になり制御系を簡単で安価なものにすることができる。
【0020】
次に本発明にかかる第2の実施例について、図5及び図6に基づいて説明する。尚、前述した第1の実施例と同一、相当部材は同一記号を付する。
この実施例では雄雌ロ−タ1、2の両端部に回転軸7、8、22、23が形成され、ケ−シングの所定の位置に配置される。
即ち、雄ロータ1と雌ロータ2は主ケーシング9に収納され、前記雄ロータ1と雌ロータ2の一端側は前記主ケーシング9の一端面を密封する端板10に取りつけられた軸受11、12と副ケーシング17に取りつけられた回転シ−ル部18aにより回転自在に支持されている。また前記雄ロータ1と雌ロータ2の他端側は前記主ケーシング9の他端面に取りつけられた副ケーシング24の軸受25、26により回転自在に支持されている。
前記主ケーシング9の副ケーシング24側には吸入口9aが形成されている。また副ケーシング24の外側はカバ−27によって覆われている。
【0021】
前記軸受25、26の潤滑は飛まつ給油より行ない、副ケーシング24とガバ−27とによって形成される空間内に溜った潤滑油(図示せず)を円板28によって跳ねかけるように構成されている。
第2の実施例の動作作用は基本的には第1の実施例と同様であるため、その説明を省略する。
【0022】
次に本発明にかかる第3の実施例について、図7乃至図9に基づいて説明する。尚、前述した第1、第2の実施例と同一、相当部材は同一記号を付する。
この実施例の特徴について簡単に説明すれば、前述の第2の実施例ではねじ歯車の両端にル−ツを形成したロ−タを用いたスクリュ−真空ポンプに特徴があったのに対し、この実施例では、2つのねじ歯車部と3つのル−ツ部を形成したロ−タを用いたスクリュ−真空ポンプに特徴がある。
【0023】
即ち、図7に示すように、雄ロ−タ30はねじ歯車部30a、30bと、前記ねじ歯車部30a、30bの間に配された中間ル−ツ部30cと、前記ねじ歯車部30a、30bの端面に形成されたル−ツ部30d、30eと、回転軸32a、32bとにより構成されている。
同様に雌ロ−タ31はねじ歯車部31a、31bと、前記ねじ歯車部31a、31bの間に配された中間ル−ツ部31cと、前記ねじ歯車部31a、31bの端面に形成されたル−ツ部31d、31eと、回転軸33a、33bとにより構成されている。
【0024】
そして、雄ロ−タ30のねじ歯車部30a、30bと雌ロ−タ31のねじ歯車部31a、31bとが噛合し、また雄ロ−タ30の中間ル−ツ部30cと雌ロ−タ31の中間ル−ツ部31cとが噛合し、更に雄ロ−タ30のル−ツ部30d、30eと雌ロ−タ31のル−ツ部31d、31eとが噛合するように構成されている。
【0025】
また雄雌ロ−タ30、31のねじ歯車部30a、31aとケーシングによって、作動室35a、35bが形成される。同様に、雄雌ロ−タ30、31のねじ歯車部30b、31bとケーシングによって、作動室36a、36bが形成される。
また中間ル−ツ部30c、31cとケーシングによって作動室34a、34bが形成される。
更に、ル−ツ部30d、31dとケーシングとによって複数の作動室37a、37bが形成される。同様にル−ツ部30e、31eとケーシングとによって複数の作動室38a、38bが形成される。
そして、前記作動室34aは、作動室35a、36aと連通し、同様に前記作動室34bは、作動室35b、36bと連通している。そして作動室35aは作動室37aと連通し、作動室35bは作動室37bと連通している。また作動室36aは作動室38aと連通し、作動室36bは作動室38bと連通している。
【0026】
この前記雄雌ロ−タ30、31を用いたスクリュ−真空ポンプの断面図を図8、図9に示す。尚、図9は図8のA−A断面図である。
この実施例では、主ケーシング39の中央上部に吸入口39aが設けられている。そして雄ロータ1と雌ロータ2とを主ケーシング39に収納すると共に、雄ロータ1及び雌ロータ2は前記主ケーシング39の両端面を密封する端板10に取りつけられた軸受11、12、25、26により回転自在に支えられている。また前記端板10には雄雌ロ−タ31、32で圧縮された気体を外部に吐出する吐出口39bがケ−シングの左右両側下部に設けられている。
【0027】
このように構成されたスクリュ−真空ポンプは、雄、雌ロータ1、2の回転に伴い気体が吸入口39aから中間ル−ツ部30c、31cとケーシングとによって形成される作動室34a、34bに吸い込まれる。
ここで、吸い込まれた気体は中間ル−ツ部30c、31cで内部圧縮されるとともに、左右のねじ歯車部30a、30b、31a、31bに分流する。
そして、分流した気体は前記作動室34a、34bと連通しているねじ歯車部30a、31aと、30b、31bとケーシングによって形成される作動室35a、35b、36a、36bに移送される。
ねじ歯車部30a、31a、30b、31bでは、従来のスクリュ−真空ポンプと同様、当初気体を移送するが、さらにロータが回転するとその容積は減少し、気体を圧縮する。
更に、圧縮された気体は作動室35a、35b、36a、36bと連通しているル−ツ部30d、31d、ル−ツ部30e、31eの作動室37a、37b、38a、38bに移送され、圧縮されながら吐出口39bから吐出される。
【0028】
即ち、ケ−シング39の中央部に設けられた吸入口39aから吸入された気体は、ポンプ内部で左右に分かれ、ケ−シングの左右に形成された吐出口39bから外部に圧出される。
しかも、吸入された気体は、中間ル−ツ部30c、31cにより圧縮され、更にねじ歯車部30a、31a、30b、31bで圧縮され、更に、ル−ツ部30d、31d、30e、31eで圧縮されることになる。
【0029】
尚、主ケーシング39の外側には気体の圧縮により温度が上昇するため、冷却ジャケット21を左右に設け、このジャケット内に冷却水を通しケーシング39や圧縮気体を冷却するように構成されている。
【0030】
以上のように、この実施例によっても、図11の実線に示すのと同様に、スクリュ−真空ポンプの排気速度が大幅に改善され、1台の真空ポンプで効率良く大気圧(760Torr)から10− 4 Torrの中真空領域までの広い作動範囲をカバーすることができる。
尚、上記いずれの実施例においても、ねじ歯車部の吸入口側及び吐出口側の両側にル−ツ部を形成したが、必要に応じていずれか一方のみル−ツ部を形成しても良い。
【0031】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、図11の実線に示すようにスクリュ−真空空ポンプの排気速度が大幅に改善され、1台の真空ポンプで効率良く大気圧から10− 4 Torrの中真空領域まで、安定した排気速度を得ることができ、広い作動範囲をカバーすることができるという効果を奏する。
また本発明にかかる真空ポンプを使用することにより、従来の油回転ポンプやメカニカルブースターなどを組合せた真空系と比べて構造が簡単で安価な真空系を構成することができるという効果を奏する。
更に、真空系の構成が簡単になることにより、バルブの切換えなど煩雑な操作が不要になり、制御系を簡単で安価なものにすることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の一実施例に用いられる雄雌ロ−タの斜視図である。
【図2】図2は図1の雄雌ロ−タの平面図である。
【図3】図3は図1、2に図示した雄雌ロ−タを用いたスリュー真空ポンプの断面図である。
【図4】図4は図3のA−A断面図である。
【図5】図5は本発明の第2の実施例を示す断面図である。
【図6】図6は図5のA−A断面図である。
【図7】図7は本発明の第3実施例に用いられる雄雌ロ−タの斜視図である。
【図8】図8は、図7に図示した雄雌ロ−タを用いたスリュー真空ポンプの断面図である。
【図9】図6は図5のA−A断面図である。
【図10】図10は、従来のスクリュー真空ポンプに用いられているロ−タの斜視図である。
【図11】図11は排気速度の特性を示す図である。
【符号の説明】
1 雄ロ−タ
1a ねじ歯車部
2 雌ロ−タ
2a ねじ歯車部
3 ル−ツ部
4 ル−ツ部
5 ル−ツ部
6 ル−ツ部
9 ケ−シング
9a 吸入口
9b 吐出口
30 雄ロ−タ
30a ねじ歯車部
30b ねじ歯車部
30c ル−ツ部
30d ル−ツ部
30e ル−ツ部
31 雌ロ−タ
31a ねじ歯車部
31b ねじ歯車部
31c ル−ツ部
31d ル−ツ部
31e ル−ツ部
39 ケ−シング
39a 吸入口
39b 吐出口
Claims (3)
- 互に噛み合いながら回転する一対の雄ロ−タ及び雌ロ−タと、両ロ−タを収納するケ−シングにより作動室を形成し、ケ−シングの吸入口から気体を吸入すると共に前記吸入気体を前記作動室に閉じ込め、前記作動室に閉じ込められた吸入気体を前記ロ−タの回転に伴って、吐出口から圧出するスクリュ−真空ポンプにおいて、
前記雄雌ロ−タにはねじ歯車部及びル−ツ部が形成されていることを特徴とするスクリュー真空ポンプ。 - 前記雄雌ロ−タには、吸入口側から吐出側に向かって、ル−ツ部、ねじ歯車部、ル−ツ部の順に、ねじ歯車及びル−ツ部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のスクリュー真空ポンプ。
- 前記吸入口はケ−シングの中央上部に形成されるとともに、前記吐出口はケ−シングの左右両側下部に形成されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のスクリュー真空ポンプ。
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