WO2004005711A1 - 液体ポンプ - Google Patents

Abstract

本発明は、液体（潤滑油）を必要とする箇所、さらに液体（潤滑油）を供給する経路が真空である場合でも機械装置に潤滑を行うことができる液体（潤滑油循環又は潤滑油供給）ポンプ及びそれを用いた装置を提供することを目的とする。その解決手段としては、液体蓄積部（潤滑油蓄積槽）から少なくとも一ヶ所の所定の位置へ液体（潤滑油）を送り出す液体（潤滑油循環又は潤滑油供給）ポンプであって、内部に少なくとも一つのシリンダ室を形成し、その室の一端よりピストンを駆動手段により往復移動させることができ、シリンダ室には液体（潤滑油）送り出し口が通じており、少なくとも一つの所定の位置に通じた流通路に液体（潤滑油）を送り出すことができるようにし、駆動手段を互いに相対的に運動可能である全部もしくは一部が強磁性物質でできた軸部とソレノイドコイルとを備えたソレノイドとし、全部もしくは一部が強磁性物質でできた軸部とシリンダ室が所定の手段で固定されている。

Description

液体ポンプ

技術分野

本件発明は、 ソ レノィ ドを用いる こ と で潤滑経路外と完全に隔離され た潤滑経路が形成可能な液体ポ明ンプであって、 ピス ト ンポンプが、 軸方 向で単数も し く は複数の互いに相対的に移動可能である ビス ト ンとシリ 田

ンダ室と を有している液体ポンプ及びそれを用いたシステムに関する。

背景技術

従来、 液体をある部分から別のある部分へ送 り 出すため様々なポンプ が開示されてきた。 このよ う なポンプの条件と しては、 液体が漏れない 動作をする こ とである。 また、 液体を適切な流量で、 ある部分から別の ある部分に送り 出すこ とができ る とい う条件も必要になる場合もある。 た と えば液体を供給する潤滑装置と して回転ポンプのメ カニズムを 使用 したタイ プのポンプがある。 回転ポンプと は、 扇風機やモータ ' プ 口ペラのよ う な機能を持つ羽根を回転させて液体を送り 出すポンプであ る。 こ こで 「羽根」 とい う のは、 角度をもった翼状であ り 、 これがボン プ内に詰め込まれている。 この羽根自体が、 液体の中で一定方向に回転 する こ とによ り 、 液体の一定方向への流れを作 り 、 液体が導管内で一定 方向に流れる よ う になる。

別のタイ プの軸回転型液体ポンプと しては、 ス ク リ ユ ー型羽根を使用 したものがある。 また比較的小さな羽根を使う代わり に、 穴を掘る時に 使う長い螺旋形のオーガのよ う なものを使っている ものもある。 スク リ ユ ー型の軸回転ポンプは、 そのス ク リ ューが高速で回転する。 以上記述 した回転ポンプの取り付け方は図 1 2 に示すよ う に液体蓄積タ ンク 1 の外側に軸シール 2 を介して液体ポンプ 3 が装着されている。 図 1 2 は羽根式の液体ポンプであ り 、 羽根 ·4 の回転軸 5 がモータ 6 に回転駆動 さ.れる こ と によ り送出口 7 よ り液体を送 り 出す。

また、 回転式真空ボン'プにおいては軸受ゃギアの潤滑油はギアの配置 されている空間内に充填されてお り 回転軸に潤滑油をギアや軸受へ導く 手段 （例えば、 跳ね上げ板） を設けた り 、 ギアの一部が潤滑油に漬かる よ う に配置してギアの回転によ り潤滑油を軸受ゃギアに供給してきた。 しかし前記構造の液体ポンプを用いた場合、 軸シール 2 が回転運動時 の搢動によ り 、 回転軸と軸シールとの間から液体が漏れて汚染してしま う とい う 問題が発生していた。 さ らに、 シール部の摩耗が進むと漏れの 量が増大し、 電気的に動かしているポンプ駆動部であるモータを破壊し てしま う とい う 問題があった。

また、 潤滑を要する軸受ゃギアが真空内に配置された構造をもつ回転 式真空ポンプの潤滑油循環用に上記の回転部を持つ液体ポンプを用いた 場合、 真空室内に配置されている軸受ゃギア用潤滑油が真空ポンプ外に 漏れない と同時に、 外気がポンプ内に入り込まないよ う にしなければい けないにもかかわらず、 回転駆動によ り軸シールが摩耗していき、 真空 室内への大気の漏れや、 潤滑油の外部への漏れが増大する可能性があつ た。 例えば該真空ポンプを半導体製造装置に用いた場合、 ク リ ーンルー ムを油で汚染してしまい、 半導体工場の生産に大きなダメ ージを与える 可能性があった。 また、 大量の潤滑油が漏れて しま う と十分な量の潤滑 油の供給ができな く な り 、 軸受ゃギア等を破壊してしま う 可能性があつ た。

別の問題と し、 大量の潤滑油を送り込んで軸受部の圧力を増加させて しまった場合、 油で汚染されてはいけない排気室内、 さ らには真空チヤ ンパ内に潤滑油や油分子が漏洩してしま う可能性があった。 また、 真 空中で油循環を行った場合、 外気が潤滑経路内に浸入し、 真空ポンプ の吸引性能に悪影響を及ぼすばか り 力 大気が混入する こ とで、 潤滑油 を送り 出す事ができなく なる とい う 問題を発生していた。 さ らに、 供給 される潤滑油の量が多く なる と、 軸受部ゃギア等で抵抗とな り 、 ポンプ の消費動力が大き く な り 、 軸受部で発熱が増し軸受を壊してしま う可能 性があ り 、 逆に少なすぎる と +分な潤滑機能を果たすこ とができなく な る とレヽ ぅ 問題もあった。

また、 従来の回転式ポンプではある部分から別のある部分へ送り 出す ために高速回転させる必要があ り 、 微量の液体を送り 出すこ と、 送り 出 す量を微調整する こ と、 液体の流れを止めるために停止する こ と、 液体 を送り 出すために回転数を素早く 上げる こ とや間欠的に液体を送り 出す 運転制御できず問題を解決するための微妙な流量の調整が困難であった, 複数の箇所に液体を供給する場合、 一箇所の液体供給経路を分岐する だけでは流れやすい箇所へ液体が流れていって しまい、 各箇所に確実に 液体を供給されないとい う 問題も発生した。 そこで供給された液体を複 数の液体供給箇所へ分配する装置を付加する こ と も考え られるが、 その 場合、 機構が複雑とな り 費用がかかり なおかつ設置場所を必要とする等 の問題が新たに生じた。 また一般的な上記分配装置では、 潤滑経路が真 空になる場合は、 分配が困難である とい う 問題もある。

また、 従来の真空ポンプの軸受ゃギアの潤滑手段では、 回転軸やギア が油に浸っているため回転時に抵抗とな り 、 消費動力が多く なる とい う 問題があった。 発明の開示

本発明は、 液体蓄積部から少なく と も一ヶ所の所定の位置へ液体を送 り 出すための液体ポンプであって、 前記液体蓄積部から液体が導入さ れる少な く と も一つのシリ ンダ室を形成し、 該シリ ンダ室にピス ト ン が配置され、 前記シ リ ンダ室に液体送り 出し口が形成されてお り 、 前記 ビス ト ンが前記シリ ンダ室内でシリ ンダを軸方向に駆動するための駆動 手段を有している こ と を特徴とす.る。 前記ピス ト ンとシリ ンダ室は垂直 に配置しても水平に配置してもよい。 また該ピス ト ンと シリ ンダ室は液 体蓄積部内に配置されていてもよい。

本発明は、 前記シリ ンダ室の一端よ り ビス ト ンが挿入されており 、 該 シリ ンダ室の他端部に液体送り 出し口が配置されている こ と を特徴とす る。 該送り 出し口は最端部に配置しても よいが、 前記シリ ンダ室の最端 部付近を少し残したシリ ンダ室側面に開ける こ と によ り 、 前記シリ ンダ 室の送り 出し口がビス ト ンによ り 閉じられた後に該シ リ ンダ室最端部に 溜まっている液体がク ッショ ンの役目 を果たしビス ト ン端部とシ リ ンダ 室が当た り破壊した り ゴミ が発生した り する こ と を防ぐこ とができ る。 本発明は、 前記ピス ト ンの両端に一対のシリ ンダ室が配置され、 各シ リ ンダ室の一端よ り ビス ト ンが挿入され、 該各シ リ ンダ室の他端は液体 送り 出し口が開いている こ と を特徴とする。 該シリ ンダ室は水平に配置 される場合が重力による突出力への影響が出にく いが、 必要に応じて角 度を変えて配置されても よい。

本発明は、 前記ビス ト ン及び前記シ リ ンダ室において、 前記ビス ト ン 及び前記シリ ンダ室の断面形状及び 又は長さ を液体供給量に応じて最 適化したこ と を特徴とする。 また、 シリ ンダ室を軸方向に,沿って複数の 部屋に仕切 り 、 該複数の部屋の配置されたシリ ンダ室の形状に合わせた ビス ト ンと各部屋の突出口を設ける こ と によ り さ らに液体供給量を微調 整する こ と もできる。

本発明は、 前記シリ ンダ室内にピス ト ンが挿入されてお り 、 該シリ ン ダ室に単数も しく は複数の液体送り 出し口が形成されている こ と を特 徴とする。 こ のよ う な構成と しては、 軸方向に一定間隔で複数の軸断 面積が大き く なる部分を設ける こ と によ り達成する こ と もできる。

本発明は、 前記シ リ ンダ室に単数も しく は複数段の段部が形成された 構造と し、 前記ピス ト ンを該シリ ンダ室の形状に略等しく なる よ う に形 成し、 前記シ リ ンダ室に形成された単数も しく は複数の各段部に液体送 り 出し口が配置されている こ と を特徴とする。

本発明は、 前記シリ ンダ室の単数も しく は複数の段部が軸方向で略対 称に形成される よ う にし、 前記ビス ト ンを該略対称の段部の形状にほぼ 等しい形状に形成し、 前記シリ ンダ室に形成された単数も しく は複数の 各段部に液体送 り 出 し口が形成されている こ と を特徴とする。

本発明は、 前記シリ ンダ室に該単数も しく は複数の段部を略対称に形 成するための部材を配設したこ と を特徴とする。

本発明は、 前記シリ ンダ室と前記ビス ト ンの間に形成された液体溜の 形状を、 液体供給量に応じて前記シリ ンダ室と前記ビス ト ンの相対的な 軸方向長さ及び/又は軸直角断面積を最適化したこ と を特徴とする。 ま た、 シリ ンダ室を軸方向に沿って複数の部屋に仕切 り 、 該複数の部屋の 配置されたシリ ンダ室の形状に合わせたビス ト ンと各部屋の突出ロ を設 ける こ とによ り さ らに液体供給量を微調整する こ と もできる。

本発明は、 前記シリ ンダ室に液体抜き穴を設けたこ と を特徴とする。 該液体抜き穴は液体蓄積槽へ繋がっているが、 該液体抜き穴を液体送り 出し穴と しても よい。

本発明は、 前記シリ ンダ室の中空部分が単数も しく は複数段の段部が 形成され各該段部の軸直角断面積が軸方向に沿って徐々に大き く なる構 造が直列に複数配置されている こ と を特徴とする。

本発明は、 1 つの駆動手段に対して前記ビス ト ン及び前記シ リ ンダ室 を複数設けたこ と を特徴とする。

本発明は、 前記駆動手段を、 互いに相対的に運動可能であ 全部も し く は一部が磁性体でできた軸部と ソ レノィ ドコイルと を備えたソ レノ ィ ドと し、 その間を隔壁で隔離し前記軸部と前記ソ レノィ ドコイルが非 接触である よ う にし、 前記軸部と前記ピス ト ンが所定の連結手段によ り 連動する こ と を特徴とする。

本発明は、 前記隔壁を非磁性体でできた隔壁を用いたこ と を特徴とす る。 隔壁の素材と しては真ちゆ う 、 アルミ ニウム、 ステ ンレス、 セラ ミ ッ タス、 プラ スチッ ク樹脂等がある。

本発明は、 真空ポンプに前記ソ レノイ ドを駆動手段と して用い、 さ ら に前記液体ポンプを潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプと して用い、 潤滑 を必要とする部分及び潤滑経路と前記潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプ の潤滑油送り 出し主要部を密封したこ と を特徴とする。 真空ポンプと し ては回転式やビス ト ン式等がある。

本発明は、 潤滑するため潤滑油が必要な回転部を持つ装置において、 前記回転部を持つ装置に該潤滑油が流れ込むよ う に連通した潤滑油を蓄 積するための潤滑油蓄積槽が形成され、 該潤滑油蓄積槽から前記所定の 部分へ油を供給するための潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプ及び供給経 路が配置されている こ とを特徴とする。 該回転部を持つ装置と しては回 転式真空ポンプや減速機等がある。

本発明は、 前記潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプの潤滑油を送り 出す ための主要部が前記潤滑油蓄積槽内に一体形成されている こ とを特徴と する。

本発明は、 前記潤滑油蓄積槽が回転部を持つ装置の潤滑油が重力によ り流れ込む位置に配置されたこ と を特徴とする。

本発明は、 前記潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプと して前記液体ボン プを用いたこ と を特徴とする。 図面の簡単な説明

第 1 図は、 本件発明の第 1 実施形態における液体ポンプを真空ポンプ の潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプと して接続した図である。

第 2 図は、 第 1 実施形態のビス ト ン部分の他の実施例である。

第 3 図は、 本件発明の第 2実施形態における液体ポンプを真空ポンプ の潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプと して接続した図である。

第 4 図は、 本件発明の第 3実施形態における液体ポンプの軸に平行な 水平方の断面図である。

第 5 図は、 本件発明の第 3実施形態における液体ポンプの軸に平行な 垂直方の断面図である。

第 6 図は、 本件発明の第 4実施形態における液体ポンプの ビス ト ン及 びシリ ンダ室の断面図である。

第 7 図は、 本件発明の第 5実施形態における液体ポンプのビス ト ン及 びシリ ンダ室の断面図である。

, 第 8 図は、 本件発明の第 6 実施形態における液体ポンプの ビス ト ン及 びシリ ンダ室の断面図である。

第 9 図は、 第 1 実施形態の潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプをスク リ ユ ー式真空ポンプの油潤滑循環システムに適応した図である。

第 1 0 図は、 従来の潤滑油循環用ポンプの例である。 発明を実施するための最良の形態

以下、 本件発明の液体ポンプを潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプと し て用いた場合について図を用いて説明する。

図 1 は本件発明の潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプを真空ポンプへ接 続した図である。 図 1 において 1 0 0 は本件発明の潤滑油循環又は潤 滑油供給ポンプの第 1実施形態である。

1 0 1 はハウジングであ り この中は液体 1 0 3 で満たされている。 1 0 2 は磁性体でできたプランジャーであ り プラ ンジャー 1 0 2 の下部に は磁性体でできた基台 1 0 4 がある。 1 0 5 はソ レノィ ドコイルである。 磁性体でできたプラ ンジャー 1 0 2 と ソ レノィ ドコイル 1 0 5 の間はハ ウジング 1 0 1 および非磁性体円筒 （隔壁） 1 0 9 で仕切 られている。 また潤滑油の蓄積空間は、 ケース 1 0 1 、 非磁性体円筒 1 0 9、 基台 1 0 4で外部大気空間とは 0 リ ングによるシールによ り完全に隔離され てお り 、 潤滑油の外部への流出、 および外部大気の浸入を防いでいる。 プラ ンジャー 1 0 2 と基台 1 0 4の間にはバネ 1 0 6 があ り 、 プラ ンジ ヤー 1 0 2 と基台 1 0 4 に磁力が働いていない時にはプラ ンジャー 1 0 2 と基台 1 0 4 は離れる よ う になつている。 ソ レノ ィ ドコイル 1 0 5 に 電流を流すと磁性体でできているプラ ンジャー 1 0 2 と基台 1 0 4 は磁 化し、 お互いに吸引力が働きプランジャー 1 0 2 を下方に動かすこ とが でき る。 従ってソ レノ ィ ドコイルに流れる電流をオン ' オフする こ とに よ り プラ ンジャーを上下に連続駆動する こ とができ る。 プラ ンジャー 1 0 2 の下端と基台の上端部の接合部分はプラ ンジャー 1 0 2 の位置にか かわらず大きな吸引力を得るためにテーパ形状になっている。 また、 プ ラ ンジャー 1 0 2 と基台 1 0 4が接触する と吸引力を失う ために、 これ を避けるため、 プラ ンジャー 1 0 2 と基台 1 0 4 の間に必ずわずかな隙 間ができるよ う接触防止構造を設ける。 本件実施例の場合には、 プラ ン ジャー上部にプラ ンジャー 1 0 2 と基台 1 0 4 が接触する前にプラ ンジ ヤー 1 0 2 の動きを止める引っ掛け段部 1 0 8 を設けている。 プラ ンジ ャ一 1 0 2 と一体になつているプレー ト 1 2 2 には複数のピス ト ン 1 1 0 が固定されている。 前記ピス ト ン 1 1 0 は複数の各シリ ンダ室 1 1 2 に揷入される よ う に配置されている。 また、 前記シリ ンダ室 1 1 2 は液体中にある。 シ リ ンダ室 1 1 2 には液体を送り 出すための配管 1 1 4， 1 1 5 が接続さ れている。 配管 1 1 4 , 1 1 5 は真空ポンプ 1 3 0 へ接続され、 潤滑油 を真空ポンプ 1 3 0 へ送り込む。 真空ポンプ 1 3 , 0からは潤滑油室 1 5 0 (液体蓄積部） へ潤滑油が落ちてく る。 従って、 プランジャー 1 0 2 と ピス ト ン 1 1 0 は一体で動く ので、 ソ レノィ ドコイルの電源をオン ' オフする こ と によ り 、 ビス ト ン 1 1 0 はシリ ンダ室 1 1 2 内を往復運動 し、 シリ ンダ室 1 1 2 内の液体を、 配管 1 1 4， 1 1 5 から連続排出す る こ とができ る。 吐出された液体は逆止弁 1 1 6， 1 1 7 によ り シ リ ン ダ室へ戻る こ と を防止する。 これによ り 規定量の潤滑油を確実に供給す る こ と も可能となる。

また図 2 のよ う にピス ト ン 1 1 0部にパネ 1 1 8 を配置し、 プランジ ヤー 1 0 2 はピス ト ン 1 1 0 を押すのみと し、 ビス ト ンの戻り はパネ 1 1 8 が行う構造とすれば、 ピス ト ン 1 1 0 をプラ ンジャー 1 0 2 に固着 する必要はない。 ·

配管 1 1 4 , 1 1 5 は潤滑油送り 出し口 1 1 1 に通じている。

前記全部も しく は一部が強磁性物質でできた軸部が分割され、 分割さ れた前記軸部の間にパネ 1 0 6等による弾性手段を形成したこ と を特徴 とする。 このよ う な構成にする こ と によ り ソ レノイ ドコイルの電源をォ ン · オフする こ とによ り前記シリ ンダ室を動かすこ とができる。 前記強 磁性体と しては鉄 ' コバル ト ' ニッケル等が挙げられる。 また、 パネの 代わ り の弾性手段と してはゴム等がある。 また非磁性体と しては真ちゆ う、 アルミ ニウム、 ステ ンレス、 セラ ミ ックス、 プラスチック樹脂など がある。

本例ではビス ト ンが複数の場合について説明しているが、 ビス ト ンが 単数の場合でも実施可能であるこ とは言う までもない。 また： 潤滑油 供給箇所に必要な潤滑油量は、 ピス ト ン及びシリ ンダ室の軸方向長さ 及び/又は軸断面積を変える こ とによ り調整する こ とができ る。 こ の場 合、 軸方向に構成部品が多い場合には、 軸方向の寸法誤差や取り 付け誤 差が大き く なるためピス ト ンのス ト ローク をでき る限 り長く する構成と する こ とで、 軸方向の取り付け誤差の影響を受けにく く な り 、 よ り必要 量に対し正確に、 かつ複数のビス ト ンに対し潤滑油の送り 出す量のパラ ツキを押さ える こ とができる。 また本例ではケース と非磁性体円筒 1 0 9および非磁性体円筒 1 0 9 および基台 1 0 4 と は 0 リ ングによ り シー ルしているが、 溶接、 接着等、 完全密閉できる接合手段な ら実施可能で ある こ と はい う までもない。 また、 プラ ンジャー とプラ ンジャーに接触 するハウジング部も磁性体だと磁力で永久磁石化し離れな く なるの場合 もあるので、 少な く と も 0 . 2 m m以上の非磁性体を該接触部分に挟む 構成にする こ とが好ま しい。

次に図 3 を用いて本件発明の潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプの第 2実施形態を説明する。

図 3 は本件発明の潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプを真空ポンプへ 接続した別図である。

3 0 0 は本件発明の潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプの第 2 実施形 態である。

本第 2実施形態の潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプは、 複数のピス ト ン 3 1 0 が真空ポンプ 3 2 0側へ向いている こ と が異なるだけであ り 、 他の構成は第 1 実施形態と同じである。 また第 1 実施形態と第 2実施形 態を組合わせて、 ビス ト ンの両端にシリ ンダ室を配置しプラ ンジャーが どち らの方向に動いても潤滑油を突出できる よ う な構造にするこ とがで きる。 この場合シリ ンダ室と ビス ト ンが重力に対して垂直に動く配置に する こ と も可能であ り その場合、 各シリ ンダ室毎の突出力の重力によ る影響を無くすこ とができ る。

次に図 4及び図 5 を用いて本件発明の第 3実施形態を説明する。

図 4 は本件発明の第 3実施形態における液体ポンプ （潤滑油循環又は 潤滑油供給ポンプ） の軸に平行な水平方向の断面図である。 図 4 におい てはソ レノィ ドコイル 4 0 5 に電流が通電されてお り 、 プラ ンジャー 4 0 2及びそれに固定されている ビス ト ン 4 1 0 が磁力によ り 最も基台側 に移動している状態を示している。 図 5 は本件発明の第 3実施形態にお ける潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプ （液体ポンプ） の ソ レノィ ドの軸 に平行な垂直方の断面図である。 図 5 においてはソ レノイ ドコイル 4 0 5 に電流が流れておらず、 プラ ンジャー 4 0 2及びそれに固定されてい る ビス ト ン 4 1 0 が最も基台 4 0 4から離れている状態を示している。

4 0 2 はハウ ジング 4 0 1 内に配置された磁性体でできたプラ ンジ ヤーであ り プランジャー 4 0 2 の端部には磁性体でできた基台 4 0 4が ある。 4 0 5 はソ レノィ ドコイルである。 磁性体でできたプランジャ一 4 0 2 と ソ レノイ ドコイル 4 0 5 の間は非磁性体円筒 （隔壁） 4 1 9及 び基台 4 0 4 で仕切られている。 非磁性体円筒 4 1 9及び基台 4 0 4間 は O リ ング 4 0 3 によ り 、 非磁性体円筒 4 1 9及びハウジング 4 0 1 に 固定された部材 4 0 9 間は O リ ング 4 1 8 によ り完全に隔離されている , また、 ソ レノイ ドソ レノイ ドコイル 4 0 5 に電流が通電されるプラ ンジ ヤー 4 0 2 と基台 4 0 4の間に溜まる潤滑油はプラ ンジャー 4 0 2 の摇 動の抵抗にな らないよ う に排出口 4 0 7 から図示していなレヽ ドレイ ンへ 戻る よ う になつている。 該排出口 4 0 7 から噴出される潤滑油は、 逆止 弁と油導入口を付与する こ と によ り潤滑油を必要とする部分に供給する こ と もできる。

プラ ンジャー 4 0 2 の反対側端部には円盤状の突出部 4 1 3 がある。 該突出部 4 1 3 と部材 4 0 . 9 の間にはパネ 4 0 6 があ り 、 プランジャ — 4 0 2 と基台 4 0 4 に磁力が働いていない時には、 プラ ンジャー 4 0 2 と基台 4 0 4が離れる よ う になつている。 また、 該突出部 4 1 3 に 磁性体を用いた場合、 プラ ンジャー 4 0 2 と接触するハウ ジング部も磁 性体だと磁力で永久磁石化し離れなく なるの場合もあるので、 少なく と も 0 . 2 m m以上の非磁性体で構成する こ とが好ましい。 ソ レノイ ドコ ィル 4 0 5 に電流を流すと磁性体でできているプラ ンジャー 4 0 2 と基 台 4 0 4は磁化し、 お互いに吸引力が働きプラ ンジャー 4 0 2 を基台 4 0 4方向に動かすこ とができ る。 従って、 ソ レノイ ドコイル 4 0 5 に流 れる電流をオン · オフする こ とによ り ブラ ンジャー 4 0 2 を連続駆動す る こ と ができる。 プランジャー 4 0 2 の端部と基台 4 0 4 の端部の接合 部分はプラ ンジャー 4 0 2 の位置に関わらず十分な吸引力を得るために テーパ形状になっている。 また、 プラ ンジャー 4 0 2 と基台 4 0 4が接 触する と吸引力を失う ために、 これを避けるため、 プランジャー 4 0 2 と基台 4 0 4 の間に必ずわずかな隙間ができる よ う接触防止構造を設け る。 本件実施形態の場合には、 円盤状の突出部 4 1 3 が部材 4 0 9 と接 触する こ と によ り プラ ンジャー 4 0 2 と基台 4 0 4が接触する前にブラ ンジャー 4 0 2 の動きを止めている。

ビス ト ン 4 1 0 はプラ ンジャー 4 0 2 と一体になつている。 前記ビス ト ン 4 1 0 は中間部に軸直角断面積が大き く なつている部分 4 2 6 (太 い部分） び端部に軸直角断面積が小さ く なつている部分 4 2 7 がある。 該ピス ト ン 4 1 0 はシリ ンダ室部材 4 2 3 に形成されたシ リ ンダ室部 4 2 4 に挿入されている。 該シリ ンダ室部 4 2 4 は端部に前記ビス ト ンの 軸直角断面積が小さ く なつている部分 4 2 7 (細い部分） と略等しい断 面積の部分 4 2 8 (狭い部分）、 前記ビス ト ン 4 1 0 の軸直角断面積が大 き く なつている部分 4 2 6 に略等しい断面積の部分 4 2 9 (広い部分） 及び供給潤滑油蓄積空間構成部材 （供給液体蓄積空間構成部材） 4 3 0挿入部 4 3 1 によ り構成されている。 また、 広い部分 4 2 9 の軸方 向長さは太い部分 4 2 6 の軸方法長さ よ り も長く 構成されており 、 ビス ト ン 4 1 0 と該広い部分 4 2 9 との間の空間 4 3 4及び 4 4 0 に蓄えら れた潤滑油を潤滑油供給口 4 3 2及び 4 3 3 から突出する。 4 4 1 は供 給した潤滑油が逆流しないための逆止弁である。 このよ う な構成にする こ と によ り 、 ビス ト ンが軸方向どち らに動いても潤滑油を供給する こ と ができ る。 また潤滑油の供給量は該空間 4 3 4の大き さを軸方向の長さ 又は及びシリ ンダ室部 4 2 4 と ビス ト ン 4 1 0 の相対的な軸断面の空間 の広さ を変える こ と によ り調整する こ とができる。

また、 シリ ンダ室部 4 2 4の端部にはビス ト ン 4 1 0 が基台 4 0 4側 に移動するこ と によ り狭い部分 4 2 8 に蓄積した潤滑油が、 ビス ト ン 4 1 0 が基台 4 0 4から離れる方向に移動する際に抵抗にな らないよ う に ドレイ ンへの潤滑油抜穴 4 3 5 があいている。 また ドレイ ンからの該液 体ポンプへの潤滑油の供給は供給口 4 3 6 から行われる。

本件実施形態の液体ポンプは、 O リ ング 4 0 3 、 4 1 8 、 4 3 7及び 4 3 8等によ り潤滑油で満たされる部分と外気を完全に密封する こ とが でき、 外気を潤滑油で汚染する可能性を抑えるこ とができ る。 また、 プ ラ ンジャー 4 0 2やビス ト ン 4 1 0等の揺動部分が完全に潤滑油で満た されているので摩擦によ る摩耗で金属粉等の不純物の発生を抑える こ と ができ金属摩耗粉等によ る故障を減らすこ とができる。 従って揺動部に 軸シールを用いる必要が無く軸シールの摩耗による故障も無くすこ とが でき る。 例と して、 真空ポンプの軸受ゃギア部のための潤滑油循環又は 潤滑油供給ポンプと して使用した場合、 従来潤滑油漏れ等の問題が発生 した該ポンプの駆動部分を含めて、 真空下で潤滑油が循環する部分を完 全に密封できるので、 潤滑油漏れや真空部分への大気の漏洩を防ぐこ と ができる よ う になる。

さ らに一つのソ レノ ィ ドに対して複数のシリ ンダ室部と ビス ト ンを 直列、 も しく は並列に配置する こ と によ り よ り 多く の部分に潤滑油を供 給する こ とができ る。

次に本件発明の第 4実施形態を図 6 を用いて簡単に説明する。 図 6 は 第 3実施形態においてシリ ンダ室及びビス ト ンに 2段の軸直角断面で幅 広部を設けていたのに対して 3段にしたものである。 また、 第 3 実施形 態で潤滑油の ドレイ ンへの潤滑油抜穴も潤滑油供給口 とする こ と もでき る。 6 0 1 はシリ ンダ室部、 6 0 2 はピス ト ン、 6 0 3 は供給潤滑油蓄 積空間構成部材及び 6 0 4 は供給した潤滑油が逆流しないための逆止弁 である。 このよ う な構成にする こ と によ り潤滑油供給口 6 0 5 を 6 ケ所 設ける こ とができる。

さ らに段数を増やすこ と によ り 一つの ソ レ ノ ィ ドに対して多 く の部 分に潤滑油を供給する こ とができる。 また、 一つのソ レノイ ドに対して 複数のシリ ンダ室部と ビス ト ンを並列に配置する こ と によ り でも よ り多 く の部分に潤滑油を供給する こ とができる。

図 7 は本件発明の第 5実施形態を示す。 図 7 は第 3実施形態において シリ ンダ室及びビス ト ンに 2段の軸直角断面で幅広部を設けていたもの ,を直列に複数並べたタイ プのものである。 7 0 1 はシリ ンダ室部、 7 0 2 はピス ト ン、 7 0 3 は供給潤滑油蓄積空間構成部材及び 7 0 4 は供給 した潤滑油が逆流しないための逆止弁である。 このよ う な構成にするこ とによ り潤滑油供給口 7 0 5 を 6 ケ所設ける こ とができる。

さ らに段数を増やすこ と によ り 一つの ソ レ ノ ィ ドに対して多く の部 分に潤滑油を供給する こ とができる。 また、 一つのソ レノイ ドに対して 複数のシリ ンダ室部と ビス ト ンを並列に配置する こ と によ り でも よ り多 く の部分に潤滑油を供給する こ とができる。 図 8 は本件発明の第 6実施形態を示す。 図 7 は第 4実施形態の逆に 中心部が細いタイ プのものである。 8 0 1 はシリ ンダ室部、 8 0 2 は ビス ト ン、 8 0 4 は供給した潤滑油が逆流しないための逆止弁である。 このよ う な構成にする こ と によ り潤滑油供給口 8 0 5 を 6 ケ所設ける こ とができる。 またこのよ う な構造にする こ とによ り ピス ト ンのシリ ンダ 室への配置及びプラ ンジャーへの装着が容易にな り 、 端部の封止も フラ ンジ 8 0 3 で蓋をするだけでよ く 、 簡易な構造とする こ とができる。 図 9 は本件発明の第 1 実施形態における液体ポンプを真空ポンプの 潤滑油循環システムに適応した実施例である。

2 0 0 はスク リ ュー式真空ポンプであ り 、 2 5 0 は本件発明の潤滑油 糖環又は潤滑油供給ポンプである。 ス ク リ ユ ー式真空ポンプ 2 0 0 は、 一対のスク リ ューロータ 2 0 1及び 2 0 2 を備えている。 スク リ ュー口 ータ 2 0 1 、 2 0 2 は、 ハウ ジング 2 0 3 の内部に形成された排気側口 ータ収納室に収納されている。 詳述する と、 ス ク リ ュー ロ ータ 2 0 1 は 軸受 2 0 4及び 2 0 6 によってハウジング 2 0 3 に回転可能に支持され ス ク リ ユ ーロータ 2 0 2 は軸受 2 0 5及び 2 0 7 によってハウジング 2 0 3 に回転可能に支持されている。 また、 シール 2 0 8 , 2 0 9、 2 1 0及び 2 1 1 は軸受 2 0 4、 2 0 5、 2 0 6及び 2 0 7 とハウジング 2 0 3 内の排気室 2 1 0 e と を隔離し、 軸受 2 0 4、 2 0 5 、 2 0 6及び 2 0 7 の潤滑油がハウジング 2 0 3 内に漏洩する こ と を防止する と と も に、 ハウ ジング 2 0 3 の排気室 2 1 0 e から軸受 2 0 4、 2 0 5、 2 0 6及び 2 0 7 に異物が侵入する こ と を防止している。

また、 ス ク リ ューロータ 2 0 1及びスク リ ューロータ 2 0 2の一端部 には、 スク リ ュ ウ ロータ 2 0 1及びスク リ ューロータ 2 0 2 の一方の回 転に伴ってス ク リ ユ ーロ ータ 2 0 1及びス ク リ ユ ーロータ 2 0 2 の他方 を回転させる タイ ミ ングギア 2 1 2及ぴ 2 1 3 が、 それぞれ互いに嚙み 合う よ う に固定されている。 更に、 ス ク リ ューロータ 2 0 2の一端部 には、 モータ 2 1 4がー体的に連結している。

前記タイ ミ ングギア 2 1 2及び 2 1 3 が収納されているギア室 2 1 5 に隣接する潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプ 2 1 8 内の潤滑油蓄積槽 2 1 6 は底部に潤滑油 2 1 7 が溜まっている。 前記潤滑油蓄積槽 2 1 6 には本件発明の潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプ 2 1 8 が配置されてお り 、 潤滑油供給経路 2 2 1 , 2 2 2 , 2 2 3及び 2 2 4へ潤滑油を送り 出すこ と によ り 4箇所の軸受 2 0 4 , 2 0 5 , 2 0 6及び 2 0 7 に潤滑 油を供給している。 また、 ギア室ゃ軸受部が真空状態となる構造をもつ も真空ポンプでは、 本件発明のよ う なポンプ部も含めた潤滑油の循環経 路を完全に密閉空間にできる潤滑油供給システムを用いる こ とによ り 、 潤滑油循環用ポンプ駆動部からの外部への潤滑油漏れや真空ポンプ内へ の大気漏れを防ぐこ とができるよ う になる。 また本件発明の潤滑油循環 用ポンプを用いる こ とによ り容易に液体の供給量を微量から制御する こ とができ る。 さ らに、 前記潤滑油蓄積槽 2 1 6 を潤滑油が溜まる前記ギ ァ室 2 1 5 よ り も重力方向下側に配置し該ギア室 2 1 5 からの潤滑油が 該潤滑油蓄積槽 2 1 6 に重力によ り 自然に流れ込むよ う な構造にする こ とによ り 、 回転軸やギアを潤滑油につからない配置にする こ とによ り 、 潤滑油による抵抗を無くすこ とができ省エネになる。

なお本例ではス ク リ ュー式真空ポンプについて説明したが、 真空排気の 機構にかかわらず、 軸受ゃギアなどの潤滑を必要とする、 どの形式の真 空ポンプにも適用可能なこ と は言 う までもない。 産業上の利用可能性

以上説明したよ う に、 本件発明にかかる液体ポンプは、 液体蓄積部か ら少なく と も一ヶ所の所定の位置へ液体を送り 出すための液体ポンプで あって、 前記液体蓄積部から液体が導入される少なく と も一つのシ リ ンダ室を形成し、 該シリ ンダ室にピス ト ンが配置され、 前記シリ ンダ 室に液体送り 出 し口が形成されてお り 、 前記ビス ト ンが前記シリ ンダ室 内でシリ ンダを軸方向に駆動するための駆動手段を有している構成にし ている。 これによ り例えば、 軸受ゃ歯車などに必要な定量かつ微小の潤 滑油を確実に供給する こ と ができ、 供給個所の発熱を押さ え、 装置の消 費動力を低く 抑える こ とができる よ う になつた。

本件発明にかかる液体ポンプは、 前記シリ ンダ室の一端よ り ビス ト ン が揷入されてお り 、 該シリ ンダ室の他端部に液体送り 出し口が配置され ている。このよ う な構成にする こ とによ り 、微量の液体を送り 出すこ と、 送り 出す量を微調整するこ と、 液体の流れを止めるために瞬時に停止す る こ と、 間欠的に液体を送り 出す運転制御をする こ とができるよ う にな る。

本件発明にかかる液体ポンプは、 前記ビス ト ンの両端に一対のシリ ン ダ室が配置され、 各シリ ンダ室の一端よ り ビス ト ンが揷入され、 該各シ リ ンダ室の他端は液体送り 出し口が開いている。

このよ う な構成にする こ と によ り 、 1 つのピス ト ン当た り 2箇所へ液体 を供給する こ とができる。

本件発明にかかる液体ポンプは、 前記ピス ト ン及び前記シリ ンダ室に おいて、 前記ビス ト ン及び前記シリ ンダ室の断面形状及び Z又は長さ を 液体供給量に応じて最適化した。 このよ う な構成にする こ とによ り 、 ピ ス ト ンの作動周波数が同じでも供給油量を調整するこ とができる。 また 複数のシリ ンダ室と ビス ト ンを同一の周波数で作動させてもシリ ンダ室 毎の油の供給量を変えるこ とができる。

本件発明にかかる液体ポンプは、 前記シリ ンダ室内にピス ト ンが挿入 されており 、 該シリ ンダ室に単数も しく は複数の液体送り 出し口が形成 されている。 このよ う な構成にする こ と によ り 、 1 つのピス ト ン当た り 2箇所以上の複数の箇所に液体を供給する こ とができ る。

本件発明にかかる液体ポンプは、 前記シリ ンダ室に単数も しく は複数 段の段部が形成された構造と し、 前記ビス ト ンを該シリ ンダ室の形状に 略等しく なる よ う に形成し、 前記シリ ンダ室に形成された単数も しく は 複数の各段部に液体送り 出し口が配置されている。 こ のよ う な構成にす る こ と によ り 、 簡易な構造で 1 つのピス ト ン当た り 2箇所以上の複数の 箇所に液体を供給する こ とができ る よ う になる。

本件発明にかかる液体ポンプは、 前記シリ ンダ室の単数も しく は複数 の段部が軸方向で略対称に形成される よ う にし、 前記ビス ト ンを該略対 称の段部の形状にほぼ等しい形状に形成し、 前記シリ ンダ室に形成され た単数も しく は複数の各段部に液体送り 出し口が形成されている。 この よ う な構成にする こ と によ り 、 簡易な構造で 1 つの ビス ト ン当た り '2箇 所以上の複数の箇所に液体を供給する こ とができる よ う になる。

本件発明にかかる液体ポンプは、 前記シリ ンダ室に該単数も しく は複 数の段部を略対称に形成するための部材を配設した。 こ のよ う な構成に する こ と によ り対称な段部を持つビス ト ンをシ リ ンダ室に挿入した後に 該略対称に形成するための部材を配設する こ と によ り容易に組み立てる こ とができる。

本件発明にかかる液体ポンプは、 前記シリ ンダ室と前記ピス ト ンの間 に形成された液体溜の形状を、 液体供給量に応じて前記シリ ンダ室と前 記ピス ト ンの相対的な軸方向長さ及び/又は軸直角断面積を最適化した, このよ う な構成にする こ と によ り 、 ビス ト ンの作動周波数が同じでも供 給油量を調整する こ とができる。 また複数のシ リ ンダ室と ビス ト ンを同 一の周波数で作動させてもシリ ンダ室毎の油の供給量を変える こ とがで きる。 本件発明にかかる液体ポンプは、 前記シリ ンダ室に液体抜き穴を設 けた。 このよ う な構成にする こ とによ り 、 ピス ト ン端部とシリ ンダ室 間に蓄積された液体をビス ト ン駆動時に、 ビス ト ンの運動を妨げないよ う に除去する こ と ができる。

本件発明にかかる液体ポンプは、 前記シリ ンダ室の中空部分が単数も しく は複数段の段部が形成され各該段部の軸直角断面積が軸方向に沿つ て徐々 に大き く なる構造が直列に複数配置されている。 このよ う な構造 にする こ と によ り 、 簡易な構造で 1 つのピス ト ン当た り 2箇所以上の複 数の箇所に液体を供給する こ とができる よ う になる。

本件発明にかかる液体ポンプは、 1 つの駆動手段に対して前記ピス ト ン及び前記シ リ ンダ室を複数設けた。 このよ う な構成にする こ と によ り 複数のビス ト ン及びシ リ ンダ室を動かすための駆動手段を複数設ける必 要が無く部品点数を減らすこ とができ る。

本件発明にかかる液体ポンプは、 前記駆動手段を、 互いに相対的に運 動可能である全部も しく は一部が磁性体でできた軸部と ソ レノィ ドコィ ルと を備えたソ レノ ィ ドと し、 その間を隔壁で隔離し前記軸部と前記ソ レノイ ドコイルが非接触である よ う に し、 前記軸部と前記ビス ト ンが所 定の連結手段によ り連動する。 このよ う な構成にする こ と によ り 、 液体 ポンプの駆動部である軸部と ビス ト ンが完全に密封された空間内で液体 中に漬しても外部から非接触でソ レノ ィ ドコイルによ り操作でき るので 液体ビス ト ンポンプから液漏れする こ と を防ぐこ とができ る。 つま り 、 本件発明よ り 回転ポンプよ う な回転軸が無く な り 外部の大気と液体を隔 離するための 0 リ ングゃ軸シール部での回転、 摺動の必要なく なるので 軸部から液体漏れや潤滑経路が真空で有る場合の潤滑経路への大気の浸 入の可能性がな く なる。

本件発明にかかる液体ポンプは、 前記隔壁を非磁性体でできた隔壁を 用いた。 このよ う な構成にする こ と によ り ソ レノィ ドコイルで発生し た磁界を磁性体でできたプラ ンジャーだけを通る よ う にでき、 プラン ジャーと基台間の引力を増すこ とができる。

本件発明にかかる真空ポンプは、 駆動手段と して前記ソ レノィ ドを用 い、 更に記載の前記液体ポンプを潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプボン プと して用い、 潤滑油を必要とする部分及び潤滑経路と前記潤滑油循環 用ポンプの潤滑油送り 出 し主要部を密封した。 こ のよ う な構成にするこ とによ り潤滑油が循環する部分と潤滑油循環ポンプの摇動部である ビス ト ン及びその駆動部を密封する こ とができる よ う にな り 、 揺動又は/及 び回転する部分にシールが必要なく な り 、 潤滑油が漏れる可能性を減ら すこ とができる。 特に該潤滑油循環部分が真空中にある場合、 外気が揺 動又は 及び回転部のシールから侵入し真空度を悪く する心配を極力な くすこ とあでき る。

本件発明にかかる潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプは、 軸受等を潤滑 するため潤滑油が必要な回転部を持つ装置において、 前記回転部を持つ 装置に該潤滑油が流れ込むよ う に連通した潤滑油を蓄積するための潤滑 油蓄積槽が形成され、 該潤滑油蓄積槽から前記軸受ゃギア等の所定の部 分へ油を供給するための潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプ及び供給経路 が配置されている。 このよ う な構成にする こ と によ り 、 回転軸やギア等 が潤滑油に漬かる こ とが無く な り駆動時の抵抗を減らすこ と ができ、 省 エネを達成でき る。 このよ う な構成を持つもの と しては回転式真空ボン プゃ減速機等がある。

本件発明にかかる回転部を持つ装置は、 前記潤滑油循環又は潤滑油供 給ポンプの潤滑油を送り 出すための主要部が前記潤滑油蓄積槽内に一体 形成されている こ と を特徴とする。 このよ う な構成にする こ とによ り、 潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプに油を供給するための手段を設け必要 が無く 、 さ らに潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプの配置スペースも減 らすこ とができ る。

本件発明にかかる回転部を持つ装置は、 前記潤滑油蓄積槽が回転部を 持つ装置の潤滑油が重力によ り流れ込む位置に配置された。 このよ う な 構成にするこ と によ り 、 前記潤滑油蓄積槽に潤滑油を戻すための複雑な 手段を設ける必要が無く なる。

本件発明にかかる回転部を持つ装置は、 前記潤滑油循環又は潤滑油 供給ポンプと して請求項 1 〜 1 5 に記載の液体ポンプを用いた。 このよ う な構成にする こ と によ り 、 簡易な構造とする こ とができ る。

Claims

請 求 の 範 囲

1 . 液体蓄積部から少な く と も一ヶ所の所定の位置へ液体を送り 出す ための液体ポンプであって、 前記液体蓄積部から液体が導入される少な く と も一つのシ リ ンダ室を形成し、該シリ ンダ室にビス ト ンが配置され、 前記シリ ンダ室に液体送り 出し口が形成されてお り 、 前記ビス ト ンが前 記シ リ ンダ室内でシ リ ンダを軸方向に駆動するための駆動手段を有して いる こ と を特徴とする液体ポンプ。

2 . 前記シリ ンダ室の一端よ り ビス ト ンが揷入されてお り 、 該シリ ン ダ室の他端部に液体送り 出 し口が配置されている こ と を特徴とする請求 項 1 に記載の液体ポンプ。

3 . 前記ビス ト ンの両端に一対のシリ ンダ室が配置され、 各シリ ンダ 室の一端よ り ビス ト ンが揷入され、 該各シリ ンダ室の他端は液体送り 出 し口が開いている こ と を特徴とする請求項 1 又は 2 に記載の液体ポンプ。

4 . 前記ピス ト ン及び前記シリ ンダ室において、 前記ピス ト ン及び前 記シリ ンダ室の断面形状及び/又は長さを液体供給量に応じて最適化し たこ と を特徴とする請求項 2又は 3 に記載の液体ポンプ。

5 . 前記シリ ンダ室内に ビス ト ンが揷入されてお り 、 該シリ シダ室に 単数も しく は複数の液体送り 出し口が形成されている こ と を特徴とする 請求項 1 に記載の液体ポンプ。

6 . 前記シリ ンダ室に単数も しく は複数段の段部が形成された構造と し、 前記ビス ト ンを該シリ ンダ室の形状に略等しく なる よ う に形成し、 前記シリ ンダ室に形成された単数も しく は複数の各段部に液体送り 出し 口が配置されている こ と を特徴とする請求項 5 に記載の液体ポンプ。

7 . 前記シリ ンダ室の単数も しく は複数の段部が軸方向で略対称に形 成される よ う に し、 前記ビス ト ンを該略対称の段部の形状にほぼ等しい 形状に形成し、 前記シリ ンダ室に形成された単数も しく は複数の各段 部に液体送り 出し口が形成されている こ と を特徴とする請求項 6 に記 載の液体ポンプ。

8 . 前記シリ ンダ室に該単数も しく は複数の段部を略対称に形成する ための部材を配設したこ と を特徴とする請求項 7 に記載の液体ポンプ。

9 . 前記シ リ ンダ室と前記ビス ト ンの間に形成された液体溜の形状を、 液体供給量に応じて前記シリ ンダ室と前記ビス ト ンの相対的な軸方向長 さ及びノ又は軸直角断面積を最適化したこ と を特徴とする請求項 5 〜 8 に記載の液体ポンプ。

1 0 . 前記シリ ンダ室に液体抜き穴を設けたこ と を特徴とする請求項 5〜 9 に記載の液体ポンプ。

1 1 . 前記シリ ンダ室に単数も しく は複数段の段部が形成される構造 が直列に複数配置されている こ と を特徴とする請求項 5 〜 1 0 に記載の 液体ポンプ。

1 2 . 1 つの駆動手段に対して前記ピス ト ン及び前記シリ ンダ室を複 数設けたこ と を特徴とする請求項 1 〜 1 1 に記載の液体ポンプ。

1 3 . 前記駆動手段を、 互いに相対的に運動可能である全部も しく は 一部が磁性体でできた軸部と ソ レノィ ドコイルと を備えたソ レノィ ドと し、 その間を隔壁で隔離し前記軸部と前記ソ レノィ ドコイルが非接触で ある よ う にし、 前記軸部と前記ピス ト ンが所定の連結手段によ り連動す る こ と を特徴とする.請求項 1 〜 1 2 に記載の液体ポンプ。

1 4 . 前記隔壁を非磁性体でできた隔壁を用いたこ と を特徴とする請 求項 1 3 に記載の液体ポンプ。

1 5 . 請求項 1 3又は 1 4 に記載の前記液体ポンプを潤滑油循環又は 潤滑油供給ポンプと して用い、 潤滑を必要とする部分及び潤滑経路と前 記潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプの潤滑油送り 出し主要部を密封した こ と を特徴とする真空ポンプ。

1 6 . 潤滑するため潤滑油が必要な回転部を持つ装置において、 前 記回転部を持つ装置に該潤滑油が流れ込むよ う に連通した潤滑油を蓄積 するための潤滑油蓄積槽が形成され、 該潤滑油蓄積槽から所定の潤滑を 必要とする部分へ油を供給するための潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプ 及び供給経路が配置されている こ と を特徴とする回転部を持つ装置。

1 7 . 前記潤滑油循環又は潤滑油供給ポンプの潤滑油を送り 出すため の主要部が前記潤滑油蓄積槽内に一体形成されている こ と を特徴とする 請求項 1 6 に記載の回転部を持つ装置。

1 8 . 前記潤滑油蓄積槽が回転部を持つ装置の潤滑油が重力によ り流 れ込む位置に配置されたこ と を特徴とする請求項 1 6又は 1 7 に記載の 回転部を持つ装置。

1 9 . 前記ポンプと して請求項 1 〜 1 4 に記載の液体ポンプを用いた こ と を特徴とする請求項 1 6 〜 1 8 に記載の回転部を持つ装置。