JPH10159780A - 真空ポンプの冷却方法および冷却装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ポンプハウジング内を有効に冷却し、ポンプ
ハウジング内部の温度上昇による発熱が原因である、前
記ロータおよびハウジングの熱膨張によるロータロック
や、オイルシールの寿命低下、所要動力の増加等の問題
を防止すること。 【解決手段】 真空ポンプ１において、オイル室１６に
配設されたタイミングギヤ１３によって構成され潤滑油
を循環供給する潤滑油ポンプ２と、前記オイル室に連絡
して潤滑油を供給する第１の循環用配管３１と、該第１
の循環用配管３１を介して供給された潤滑油を冷却する
冷却手段４と、該冷却された潤滑油によって前記ポンプ
ハウジング１０内を冷却するとともに、前記潤滑油を前
記オイル室に圧送する第２の循環用配管３２とから成る
真空ポンプの冷却方法および冷却装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、駆動用および従動
用のロータが内蔵されたポンプハウジング内にタイミン
グギヤが配設されるオイル室を備えた真空ポンプにおい
て、前記オイル室に配設されポンプとして作用するタイ
ミングギヤによって潤滑油を循環供給し、供給された潤
滑油を冷却手段によって冷却し、該冷却された潤滑油に
よって前記ポンプハウジング内を冷却し、該ポンプハウ
ジング内を冷却した前記潤滑油が前記オイル室に圧送す
ることにより、ポンプハウジング内を有効に冷却する真
空ポンプの冷却方法および冷却装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の過給機における潤滑構造（実公平
７−１６０６８）は、図５に示されるように駆動用およ
び従動用のロータＲ１、Ｒ２が縦向きに並列して内蔵さ
れたポンプハウジングＨの上下には、前記両ロータのロ
ータシャフトＳ１、Ｓ２の軸受部分に対するオイル室Ｄ
Ｏ、ＵＯが配設されるとともに、該オイル室のうち下部
のものＤＯには潤滑油の注入口が設けられ、かつ前記両
ロータシャフトＳ１、Ｓ２の軸端に駆動力伝達用のタイ
ミングギヤＴ１、Ｔ２が備えられた過給機において、両
オイル室ＤＯ、ＵＯは潤滑油の循環用バイパス路Ｂ１、
Ｂ２にて接続され、前記タイミングギヤＴ１、Ｔ２を有
する下部のオイル室ＤＯは、内部の潤滑油を上部オイル
室ＵＯへ圧送するためのポンプ室を兼用したものであっ
て、潤滑油を循環させるものであった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の過給機にお
ける潤滑構造は、前記タイミングギヤＴ１、Ｔ２を有す
る下部のオイル室ＤＯを、内部の潤滑油を上部オイル室
ＵＯへ圧送するためのポンプ室とするものであって、潤
滑油を単に循環させるものであるが、過給機を大気圧背
圧とする真空ポンプとして使用する場合、ポンプハウジ
ング内部の温度上昇による発熱が原因となり、前記ロー
タＲ１、Ｒ２およびハウジングＨの熱膨張によるロータ
ロックや、オイルシールの寿命低下、所要動力の増加等
の問題があった。

【０００４】上記問題は、吸入された気体がロータとハ
ウジング間に捕まえられ、吐出側とつながった時の吐出
気体の逆流作用によるもので、特に背圧が大気圧のよう
な分子平均自由行程の小さい粘性流であるため、洩れ量
（逆流量）も多く、圧縮比も高くなり、その分が前記ハ
ウジングＨ内に圧縮熱としてこもってしまうからであ
る。

【０００５】本発明者らは、駆動用および従動用のロー
タが内蔵されたポンプハウジング内にタイミングギヤが
配設されるオイル室を備えた真空ポンプにおいて、前記
オイル室に配設されポンプとして作用するタイミングギ
ヤによって潤滑油を循環供給し、供給された潤滑油を冷
却手段によって冷却し、該冷却された潤滑油によって前
記ポンプハウジング内を冷却して、前記潤滑油が前記オ
イル室に圧送するという本発明の技術的思想に着眼し、
さらに研究開発を重ねた結果、ポンプハウジング内を有
効に冷却し、ポンプハウジング内部の温度上昇による発
熱が原因である、前記ロータおよびハウジングの熱膨張
によるロータロックや、オイルシールの寿命低下、所要
動力の増加等の問題を防止するという目的を達成する本
発明に到達した。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明（請求項１に記載
された第１発明）の真空ポンプの冷却方法は、駆動用お
よび従動用のロータが内蔵されたポンプハウジング内に
タイミングギヤが配設されるオイル室を備えた真空ポン
プにおいて、前記オイル室に配設されポンプとして作用
するタイミングギヤによって潤滑油を循環供給し、該循
環供給された潤滑油を冷却手段によって冷却し、該冷却
された潤滑油によって前記ポンプハウジング内を冷却
し、該ポンプハウジング内を冷却した前記潤滑油が前記
オイル室に圧送されるものである。

【０００７】本発明（請求項２に記載された第２発明）
の真空ポンプの冷却装置は、駆動用および従動用のロー
タが内蔵されたポンプハウジング内にタイミングギヤが
配設されるとともに、ギヤ、軸受およびオイルシールの
潤滑用のオイル室を備えた真空ポンプにおいて、前記オ
イル室に配設された前記タイミングギヤによって構成さ
れ、潤滑油を循環供給するポンプと、前記オイル室に連
絡して潤滑油を供給する第１の循環用配管と、該第１の
循環用配管を介して供給された潤滑油を冷却する冷却手
段と、該冷却された潤滑油によって前記ポンプハウジン
グ内を冷却するとともに、前記潤滑油を前記オイル室に
圧送する第２の循環用配管とから成るものである。

【０００８】本発明（請求項３に記載された第３発明）
の真空ポンプの冷却装置は、前記第２発明において、前
記真空ポンプが、前記駆動用および従動用のロータが並
列に内蔵されたポンプハウジング内にタイミングギヤが
配設されるとともに、ギヤ、軸受およびオイルシールの
潤滑用のオイル室を備えるとともに、モータによって回
転駆動される容積移送型真空ポンプによって構成されて
いるものである。

【０００９】本発明（請求項４に記載された第４発明）
の真空ポンプの冷却装置は、前記第３発明において、前
記ポンプの吐出口に配設され、前記冷却手段によって冷
却された潤滑油によって、前記ポンプハウジング内を冷
却する吐出口配管を備えているものである。

【００１０】本発明（請求項５に記載された第５発明）
の真空ポンプの冷却装置は、前記第４発明において、前
記冷却手段が、前記ポンプの吐出口に配設され、循環す
る冷却水によって前記供給された潤滑油を冷却する水冷
ラジエータによって構成されているものである。

【００１１】本発明（請求項６に記載された第６発明）
の真空ポンプの冷却装置は、前記第４発明において、前
記冷却手段が、前記ポンプの吐出口に配設され、循環す
る冷却空気によって前記供給された潤滑油を冷却する空
冷ラジエータによって構成されているものである。

【００１２】本発明（請求項７に記載された第７発明）
の真空ポンプの冷却装置は、前記第４発明において、前
記冷却手段が、モータによって回転駆動される電動ファ
ンによって冷却されるとともに、前記供給された潤滑油
を冷却する空冷ラジエータによって構成されているもの
である。

【００１３】本発明（請求項８に記載された第８発明）
の真空ポンプの冷却装置は、前記第７発明において、前
記空冷ラジエータによって冷却された潤滑油によって、
前記吐出口配管を介して前記ポンプハウジング内を冷却
するように構成されているものである。

【００１４】本発明（請求項９に記載された第９発明）
の真空ポンプの冷却装置は、前記第５発明において、前
記水冷ラジエータが、前記ポンプの前記吐出口の外周壁
に配設されたフィンの回りにスパイラルに巻装された水
配管によって構成されているものである。

【００１５】

【発明の作用および効果】上記構成より成る第１発明の
真空ポンプの冷却方法は、駆動用および従動用のロータ
が内蔵されたポンプハウジング内にタイミングギヤが配
設されるオイル室を備えた真空ポンプにおいて、前記オ
イル室に配設されポンプとして作用するタイミングギヤ
によって潤滑油を循環供給し、該循環供給された潤滑油
を冷却手段によって冷却し、該冷却された潤滑油によっ
て前記ポンプハウジング内を冷却し、該ポンプハウジン
グ内を冷却した前記潤滑油が前記オイル室に圧送される
ので、前記ポンプハウジング内が有効に冷却されるとい
う効果を奏する。

【００１６】上記構成より成る第２発明の真空ポンプの
冷却装置は、駆動用および従動用の前記ロータが内蔵さ
れた前記ポンプハウジング内に前記タイミングギヤが配
設されるとともに、前記ギヤ、軸受およびオイルシール
の潤滑用の前記オイル室を備えた真空ポンプにおいて、
前記オイル室に配設され前記ポンプを構成する前記タイ
ミングギヤによって潤滑油が循環供給され、前記オイル
室に連絡した前記第１の循環用配管が潤滑油を供給し、
前記冷却手段が該第１の循環用配管を介して供給された
潤滑油を冷却し、前記第２の循環用配管が該冷却された
潤滑油によって前記ポンプハウジング内を冷却するとと
もに、前記潤滑油を前記オイル室に圧送するので、前記
ポンプハウジング内が有効に冷却されるという効果を奏
する。

【００１７】上記構成より成る第３発明の真空ポンプの
冷却装置は、前記第２発明において、前記真空ポンプを
構成する前記容積移送型真空ポンプが、前記駆動用およ
び従動用のロータが並列に内蔵されたポンプハウジング
内にタイミングギヤが配設されるとともに、ギヤ、軸受
およびオイルシールの潤滑用のオイル室を備えるととも
に、モータによって回転駆動されるので、冷却された潤
滑油が循環されるため、前記ポンプハウジング内が有効
に冷却されるとともに、従来におけるポンプハウジング
内部の温度上昇による発熱が原因である、前記ロータお
よびハウジングの熱膨張によるロータロックや、オイル
シールの寿命低下、所要動力の増加等の問題を防止する
という効果を奏する。

【００１８】上記構成より成る第４発明の真空ポンプの
冷却装置は、前記第３発明において、前記ポンプの吐出
口に配設された前記吐出口配管を介して、前記冷却手段
によって冷却された潤滑油によって、前記ポンプハウジ
ング内が効率的に冷却されるので、前記ポンプハウジン
グ内が有効に冷却されるという効果を奏する。

【００１９】上記構成より成る第５発明の真空ポンプの
冷却装置は、前記第４発明において、前記冷却手段を構
成する前記ポンプの吐出口に配設された前記水冷ラジエ
ータが、循環する温度が低い冷却水によって前記供給さ
れた潤滑油を冷却するので、潤滑油を有効且つ一様に冷
却するため、有効且つ一様に冷却された潤滑油によって
前記ポンプハウジング内が冷却されるので、前記ポンプ
ハウジング内が一層有効に冷却されるという効果を奏す
る。

【００２０】上記構成より成る第６発明の真空ポンプの
冷却装置は、前記第４発明において、前記冷却手段を構
成する前記ポンプの吐出口に配設された前記空冷ラジエ
ータにより空冷され、潤滑油が冷却される。この場合、
潤滑油を安定且つ一様に冷却するため、安定且つ一様に
冷却された潤滑油によって前記ポンプハウジング内が冷
却されるので、外部からの冷却水（例えば、水道水）か
らの配管が不要となり、冷却水を供給できるような設置
場所を選ばなくてよいので設置場所の自由度が広くな
り、空冷ラジエータにより、前記ポンプハウジング内が
有効に冷却されるという効果を奏する。

【００２１】上記構成より成る第７発明の真空ポンプの
冷却装置は、前記第４発明において、前記冷却手段を構
成する状況に応じてモータによって回転駆動される電動
ファンによって冷却される空冷ラジエータによって、前
記供給された潤滑油を冷却するので、状況に応じて冷却
された潤滑油によって前記ポンプハウジング内が状況に
応じて冷却されるという効果を奏する。

【００２２】上記構成より成る第８発明の真空ポンプの
冷却装置は、前記第７発明において、前記空冷ラジエー
タによって冷却された潤滑油によって、前記吐出口配管
を介して前記ポンプハウジング内を冷却するので、前記
ポンプハウジング内が有効に冷却されるという効果を奏
する。

【００２３】上記構成より成る第９発明の真空ポンプの
冷却装置は、前記第５発明において、前記水冷ラジエー
タを構成する前記ポンプの前記吐出口の外周壁に配設さ
れたフィンの回りにスパイラルに巻装された全長の長い
水配管によって、前記吐出口配管を介して前記ポンプハ
ウジング内を有効に冷却するので、前記ポンプハウジン
グ内が有効に冷却されるため、従来におけるポンプハウ
ジング内部の温度上昇による発熱が原因である、前記ロ
ータおよびハウジングの熱膨張によるロータロックや、
オイルシールの寿命低下、所要動力の増加等の問題を防
止するという効果を奏する。

【００２４】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、以
下図面に基づいて説明する。

【００２５】（第１実施形態）第１実施形態の真空ポン
プの冷却装置および冷却方法は、図１ないし図３に示さ
れるように真空ポンプ１において、前記オイル室１６に
配設された前記タイミングギヤ１３によって構成され潤
滑油を循環供給する潤滑油ポンプ２と、前記オイル室に
連絡して潤滑油を供給する第１の循環用配管３１と、該
第１の循環用配管３１を介して供給された潤滑油を冷却
する冷却手段４と、該冷却された潤滑油によって前記ポ
ンプハウジング１０内を冷却するとともに、前記潤滑油
を前記オイル室に圧送する第２の循環用配管３２とから
成るものである。

【００２６】前記真空ポンプ１は、過給機によって構成
され、図１および図２に示されるように前記駆動用およ
び従動用のロータ１１、１２が並列に内蔵されたポンプ
ハウジング１０内にタイミングギヤ１３が配設されると
ともに、ギヤ、軸受１４およびオイルシール１５の潤滑
用のオイル室１６を備えるとともに、一体的に回転する
ファン１７１を備えたモータ１７によって回転駆動され
る容積移送型真空ポンプによって構成されている。

【００２７】前記ポンプ１は、図１に示されるようにそ
の吸入口には吸入配管１８が配設され、吐出口には前記
冷却手段４によって冷却された潤滑油によって、前記ポ
ンプハウジング内を冷却する吐出口配管１９が配設され
ている。

【００２８】前記潤滑油ポンプ２は、図２に示されるよ
うに前記オイル室１６に配設された前記タイミングギヤ
１３によって構成され、該オイル室１６内の潤滑油を前
記第１の循環用配管３１を介して圧送し循環供給するよ
うに構成されている。

【００２９】前記冷却手段４は、図１および図３に示さ
れるように前記ポンプ１の吐出口に配設され、冷却水供
給源４３から供給循環される冷却水によって、前記第１
の循環用配管３１を介して前記供給された潤滑油を冷却
する水冷ラジエータ４０によって構成されているもので
ある。

【００３０】前記水冷ラジエータ４０は、図１および図
３に示されるように前記ポンプ１の前記吐出口の外周壁
に配設された中空筒状の冷却フィン４１の内周面にスパ
イラルに潤滑油配管３３が配設されるとともに、該冷却
フィン４１の外周壁の回りに水配管４２がスパイラルに
巻装され、前記潤滑油配管３３内の潤滑油を前記冷却フ
ィン４１を介して前記水配管４２内を循環する冷却水に
よって冷却するように構成されているものである。

【００３１】上記構成より成る第１実施形態真空ポンプ
の冷却装置による冷却方法は、駆動用および従動用のロ
ータ１１、１２が内蔵されたポンプハウジング１０内に
前記タイミングギヤ１３が配設される前記オイル室１６
を備えた真空ポンプ１において、前記オイル室１６に配
設され前記潤滑油ポンプ２として作用する前記タイミン
グギヤ１３によって前記第１の循環用配管３１を介して
潤滑油を循環供給する。

【００３２】前記第１の循環用配管３１を介して循環供
給された潤滑油を前記冷却手段４を構成する前記水冷ラ
ジエータ４０によって冷却される。すなわち、前記ポン
プ１の前記吐出口の外周壁に配設された中空筒状の前記
冷却フィン４１の内周面にスパイラルに配設された前記
潤滑油配管３３内を循環する潤滑油が、該冷却フィン４
１の外周壁の回りにスパイラルに巻装された前記水配管
４２内を循環する冷却水によって、前記冷却フィン４１
を介して冷却される。

【００３３】前記水冷ラジエータ４０によって冷却され
た潤滑油によって前記ポンプハウジング１０内を冷却し
て、前記ギヤ、軸受１４およびオイルシール１５その他
が冷却される。

【００３４】前記ポンプハウジング１０内を冷却した前
記潤滑油が前記オイル室１６内に圧送還流されるもので
ある。

【００３５】上記第１実施形態の真空ポンプの冷却方法
および冷却装置は、前記オイル室１６に配設され潤滑油
ポンプ２として作用する前記タイミングギヤ１３によっ
て潤滑油を循環供給し、該循環供給された潤滑油を前記
冷却手段４としての前記水冷ラジエータ４０によって冷
却し、該冷却された潤滑油によって常時前記ポンプハウ
ジング１０内を冷却するので、前記ポンプハウジング内
が有効且つ安定に冷却されるという効果を奏する。

【００３６】また第１実施形態の真空ポンプの冷却装置
は、前記真空ポンプ１を構成する前記容積移送型真空ポ
ンプが、前記駆動用および従動用のロータ１１、１２が
並列に内蔵された前記ポンプハウジング１０内に配設さ
れた前記ギヤ、軸受１４およびオイルシール１５に対し
て前記冷却された潤滑油を循環させ、前記ポンプハウジ
ング１０内を有効に冷却するため、従来におけるポンプ
ハウジング内部の温度上昇による発熱が原因である、前
記ロータおよびハウジングの熱膨張によるロータロック
や、オイルシールの寿命低下、所要動力の増加等の問題
を防止するという効果を奏する。

【００３７】さらに第１実施形態の真空ポンプの冷却装
置は、前記ポンプ１の吐出口に配設された前記吐出口配
管１９を介して、前記冷却手段４によって冷却された潤
滑油により前記ポンプハウジング１０内が冷却されるの
で、前記ポンプハウジング１０内が有効に冷却されると
いう効果を奏する。

【００３８】また第１実施形態の真空ポンプの冷却装置
は、前記冷却手段４を構成する前記ポンプ１の吐出口に
配設された前記水冷ラジエータ４０が、循環する比熱の
高い冷却水によって前記供給された潤滑油を冷却するの
で、潤滑油を有効且つ一様に冷却するため、有効且つ一
様に冷却された潤滑油によって前記ポンプハウジング内
が冷却されるので、前記ポンプハウジング内が有効に冷
却されるという効果を奏する。

【００３９】さらに第１実施形態の真空ポンプの冷却装
置は、前記水冷ラジエータを構成する前記ポンプの前記
吐出口の外周壁に配設された前記冷却フィン４１の回り
にスパイラルに巻装された全長の長い前記水配管４２に
よって、前記冷却フィン４１の内周壁にスパイラルに配
設された潤滑油配管３３内の潤滑油を冷却するので、前
記ポンプハウジング内が有効に冷却されるため、従来に
おけるポンプハウジング内部の温度上昇による発熱が原
因である、前記ロータおよびハウジングの熱膨張による
ロータロックや、オイルシールの寿命低下、所要動力の
増加等の問題を防止性能が高いという効果を奏する。

【００４０】（第２実施形態）第２実施形態の真空ポン
プの冷却装置は、図４に示されるように前記冷却手段４
が、前記ポンプの吐出口に配設され、循環する冷却空気
によって前記供給された潤滑油を冷却する空冷ラジエー
タ４４によって構成されている点が、前記第１実施形態
との相違点であり、以下相違点を中心に説明する。

【００４１】前記冷却手段４が、前記モータによって回
転駆動される電動ファン１７１によって冷却されるとと
もに、前記供給された潤滑油を冷却する空冷ラジエータ
４４によって構成されているものである。

【００４２】本第２実施形態においては、前記空冷ラジ
エータ４４によって冷却された潤滑油によって、前記ポ
ンプ１の吐出口に配設された前記吐出口配管１９を介し
て前記ポンプハウジング内を冷却するように構成されて
いるものである。

【００４３】上記構成より成る第２実施形態の真空ポン
プの冷却装置は、前記冷却手段４を構成する前記ポンプ
の吐出口に配設された前記空冷ラジエータが、循環する
冷却空気によって前記供給された潤滑油を冷却するの
で、潤滑油を安定且つ一様に冷却するため、安定且つ一
様に冷却された潤滑油によって前記ポンプハウジング内
が冷却されるので、前記ポンプハウジング内が有効に冷
却されるという効果を奏する。

【００４４】また第２実施形態の真空ポンプの冷却装置
は、前記冷却手段４を構成する前記モータ１７によって
回転駆動される電動ファン１７１によって冷却される空
冷ラジエータ４４によって、前記供給された潤滑油を冷
却するので、前記真空ポンプ１の稼働状況に応じて冷却
された潤滑油によって前記ポンプハウジング１０内が前
記真空ポンプ１の稼働状況に応じて冷却されるという効
果を奏する。

【００４５】さらに第２実施形態の真空ポンプの冷却装
置は、前記空冷ラジエータ４４によって冷却された潤滑
油によって、前記吐出口配管１９を介して前記ポンプハ
ウジング１０内を冷却するので、前記ポンプハウジング
１０内が有効に冷却されるという効果を奏する。

【００４６】また第２実施形態の真空ポンプの冷却装置
は、ドライ真空ポンプにおいては圧縮比をかせぐために
多段構成とする方法が採用されるが、この場合に最も発
熱量の多い最終段（大気圧背圧の段）において、本冷却
装置を適用すれば、冷却水が不要でありドライ真空ポン
プを提供し、クリーンローム内での使用を可能にすると
いう効果を奏する。

【００４７】上述の実施形態は、説明のために例示した
もので、本発明としてはそれらに限定されるものでは無
く、特許請求の範囲、発明の詳細な説明および図面の記
載から当業者が認識することができる本発明の技術的思
想に反しない限り、変更および付加が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態の真空ポンプの冷却装置
を示す側面図である。

【図２】本第１実施形態における真空ポンプを示す断面
図である。

【図３】本第１実施形態における水冷ラジエータを示す
斜視図である。

【図４】本発明の第２実施形態の真空ポンプの冷却装置
を示す側面図である。

【図５】従来の過給機における潤滑構造を示す断面図で
ある。

【符号の説明】

１ 真空ポンプ ２ 潤滑油ポンプ ４ 冷却手段 １０ ポンプハウジング １３ タイミングキヤ １６ オイル室 ３１ 第１の循環用配管 ３２ 第２の循環用配管

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 駆動用および従動用のロータが内蔵され
   たポンプハウジング内にタイミングギヤが配設されるオ
   イル室を備えた真空ポンプにおいて、 前記オイル室に配設されポンプとして作用するタイミン
   グギヤによって潤滑油を循環供給し、 該循環供給された潤滑油を冷却手段によって冷却し、 該冷却された潤滑油によって前記ポンプハウジング内を
   冷却し、 該ポンプハウジング内を冷却した前記潤滑油が前記オイ
   ル室に圧送されることを特徴とする真空ポンプの冷却方
   法。
2. 【請求項２】 駆動用および従動用のロータが内蔵され
   たポンプハウジング内にタイミングギヤが配設されると
   ともに、ギヤ、軸受およびオイルシールの潤滑用のオイ
   ル室を備えた真空ポンプにおいて、 前記オイル室に配設された前記タイミングギヤによって
   構成され、潤滑油を循環供給するポンプと、 前記オイル室に連絡して潤滑油を供給する第１の循環用
   配管と、 該第１の循環用配管を介して供給された潤滑油を冷却す
   る冷却手段と、 該冷却された潤滑油によって前記ポンプハウジング内を
   冷却するとともに、前記潤滑油を前記オイル室に圧送す
   る第２の循環用配管とから成ることを特徴とする真空ポ
   ンプの冷却装置。
3. 【請求項３】 請求項２において、 前記真空ポンプが、前記駆動用および従動用のロータが
   並列に内蔵されたポンプハウジング内にタイミングギヤ
   が配設されるとともに、ギヤ、軸受およびオイルシール
   の潤滑用のオイル室を備えるとともに、モータによって
   回転駆動される容積移送型真空ポンプによって構成され
   ていることを特徴とする真空ポンプの冷却装置。
4. 【請求項４】 請求項３において、 前記ポンプの吐出口に配設され、前記冷却手段によって
   冷却された潤滑油によって、前記ポンプハウジング内を
   冷却する吐出口配管を備えていることを特徴とする真空
   ポンプの冷却装置。
5. 【請求項５】 請求項４において、 前記冷却手段が、前記ポンプの吐出口に配設され、循環
   する冷却水によって前記供給された潤滑油を冷却する水
   冷ラジエータによって構成されていることを特徴とする
   真空ポンプの冷却装置。
6. 【請求項６】 請求項４において、 前記冷却手段が、前記ポンプの吐出口に配設され、循環
   する冷却空気によって前記供給された潤滑油を冷却する
   空冷ラジエータによって構成されていることを特徴とす
   る真空ポンプの冷却装置。
7. 【請求項７】 請求項４において、 前記冷却手段が、モータによって回転駆動される電動フ
   ァンによって冷却されるとともに、前記供給された潤滑
   油を冷却する空冷ラジエータによって構成されているこ
   とを特徴とする真空ポンプの冷却装置。
8. 【請求項８】 請求項７において、 前記空冷ラジエータによって冷却された潤滑油によっ
   て、前記吐出口配管を介して前記ポンプハウジング内を
   冷却するように構成されていることを特徴とする真空ポ
   ンプの冷却装置。
9. 【請求項９】 請求項５において、 前記水冷ラジエータが、前記ポンプの前記吐出口の外周
   壁に配設されたフィンの回りにスパイラルに巻装された
   水配管によって構成されていることを特徴とする真空ポ
   ンプの冷却装置。