KR20050043886A

KR20050043886A - 액체 펌프

Info

Publication number: KR20050043886A
Application number: KR1020057000165A
Authority: KR
Inventors: 에이지 마스시지; 쓰요시이 나아치
Original assignee: 나부테스코 가부시키가이샤
Priority date: 2002-07-04
Filing date: 2003-07-04
Publication date: 2005-05-11
Also published as: TW200407505A; WO2004005711A1; AU2003246275A1; EP1553292A1; CN1685151A; EP1553292A4; JPWO2004005711A1

Abstract

본 발명은, 액체(윤활유)를 필요로 하는 개소, 그리고 액체를 공급하는 경로가 진공인 경우라도 기계장치에 윤활을 수행할 수 있는 액체(윤활유 순환 또는 윤활유 공급) 펌프 및 그것을 이용한 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그 해결 수단으로는 액체 축적부(윤활유 축적조)로부터 적어도 한 곳의 소정의 위치로 액체(윤활유)를 송출하는 액체(윤활유 순환 또는 윤활유 공급) 펌프로서, 내부에 적어도 하나의 실린더실을 형성하고, 그 실의 일단으로부터 피스톤을 구동수단에 의해 왕복 이동시킬 수 있으며, 실린더실에는 액체(윤활유) 송출구가 통하여 있어, 적어도 하나의 소정의 위치로 통하는 유통로에 액체(윤활유)를 송출할 수 있도록 하며, 구동수단을 서로 상대적으로 운동 가능한 전부 혹은 일부가 강자성 물질로 이루어진 축부와 솔레노이드 코일을 구비한 솔레노이드로 하고, 전부 혹은 일부가 강자성 물질로 이루어진 축부와 실린더실이 소정의 수단으로 고정되어 있다.

Description

액체 펌프{Liquid pump}

본 발명은, 솔레노이드를 이용함으로써 윤활 경로 외와 완전하게 격리된 윤활 경로가 형성 가능한 액체 펌프로서, 피스톤 펌프가 축방향으로 단수 혹은 복수의 서로 상대적으로 이동 가능한 피스톤과 실린더실을 가지고 있는 액체 펌프 및 그것을 이용한 시스템에 관한 것이다.

종래, 액체를 어느 부분으로부터 다른 부분으로 송출하기 위하여 여러 가지 펌프가 개시되어 왔다. 이러한 펌프의 조건으로는, 액체가 새지 않는 동작을 하는 것이다. 또한, 액체를 적절한 유량으로, 어느 부분으로부터 다른 부분으로 송출할 수 있는 조건도 필요로 하는 경우도 있다.

예를 들면, 액체를 공급하는 윤활장치로서 회전 펌프의 메카니즘을 사용한 타입의 펌프가 있다. 회전 펌프라 함은, 선풍기나 모터 프로펠라와 같은 기능을 갖는 날개를 회전시켜 액체를 액체를 송출하는 펌프이다. 여기에서 날개라 함은, 각도를 갖는 날개 형상이며, 이것이 펌프 내에 구비되어 있다. 이 날개 자체가 액체 내에서 일정 방향으로 회전함으로써, 액체의 일정방향으로의 흐름을 만들어, 액체가 도관 내에서 일정 방향으로 흐르게 된다.

다른 타입의 축회전형 액체 펌프로는, 스크류형 날개를 사용한 것이 있다. 또한 비교적 작은 날개를 사용하는 대신에, 구멍을 뚫을 때 사용하는 긴 나선형의 오거와 같은 것을 사용하고 있는 것도 있다. 스크류형의 축회전 펌프는 그 스크류가 고속으로 회전한다. 이상 기술한 회전 펌프의 장착 방법은 도 12에 나타낸 바와 같이 액체 축적 탱크(1) 외측에 축실(seal)(2)을 통하여 액체 펌프(3)가 장착되어 있다. 도 12는 날개식의 액체 펌프로서, 날개(4)의 회전축(5)이 모터(6)에 회전 구동됨으로써 송출구(7)로부터 액체를 송출한다.

또한, 회전식 진공 펌프에 있어서는 베어링이나 기어의 윤활유는 기어가 배치되어 있는 공간 내에 충전되어 있으며 회전축에 윤활유를 기어나 베어링으로 도입하는 수단(예를 들면, 튕김판)을 설치하거나, 기어의 일부가 윤활유에 잠기도록 배치하여 기어의 회전에 의해 윤활유를 베어링이나 기어에 공급하여 왔다.

그러나, 상기 구조의 액체 펌프를 이용한 경우, 축실(seal)(2)이 회전 운동시의 접동에 의해, 회전축과 축실(seal) 사이에서 액체가 누출되어 오염되는 문제가 발생하고 있었다. 또한, 실(seal)부의 마모가 진행되면 누출의 양이 증대하여, 전기적으로 움직이고 있고 있는 펌프 구동부인 모터를 파괴하게 되는 문제가 있었다.

또한, 윤활을 요하는 베어링이나 기어가 진공 내에 배치된 구조를 갖는 회전식 진공 펌프의 윤활유 순환용으로 상기의 회전부를 갖는 액체 펌프를 이용한 경우, 진공실 내에 배치되어 있는 베어링이나 기어용 윤활유가 진공 펌프 바깥으로 새지 않음과 동시에 외기가 펌프 내로 들어가지 않도록 해야만 함에도 불구하고, 회전 구동에 의해 축실(seal)의 마모가 진행되어, 진공실 내로의 대기의 누출이나, 윤활유의 외부 누출이 증대할 가능성이 있었다. 예를 들면, 이 진공 펌프를 반도체 제조장치에 이용한 경우, 크린 룸을 기름으로 오염시키게 되어, 반도체 공장의 생산에 큰 타격를 줄 가능성이 있었다. 또한, 대량의 윤활유가 새게 되면 충분한 양의 윤활유의 공급이 불가능하게 되어, 베어링이나 기어 등을 파괴하게 될 가능성이 있었다.

다른 문제로는, 대량의 윤활유를 보내어 베어링부의 압력을 증가시키게 된 경우, 기름으로 오염되어서는 안되는 배기실 내, 심지어는 챔버 내에 윤활유나 기름 분자가 누설되게 될 가능성이 있다. 또한, 진공 중에서 윤활유 순환을 수행한 경우, 외기가 윤활 경로 내로 침입하여, 진공 펌프의 흡인성능에 악영향을 미칠 뿐만 아니라, 대기가 침입함으로써 윤활유를 송출할 수 없게 되는 문제가 발생하고 있었다. 또한, 공급되는 윤활유의 양이 많아지면, 베어링부나 기어 등에서 저항이 되어, 펌프의 소비 동력이 커지고, 베어링부에서 발열이 증가하여 베어링을 손상시키게 될 가능성이 있으며, 반대로 너무 적으면 충분한 윤활 기능을 다할 수 없게 된다는 문제도 있었다.

또한, 종래의 회전식 펌프에서는 어느 부분에서 다른 부분으로 송출하기 위하여 고속 회전시킬 필요가 있으며, 미량의 액체를 송출하는 것, 송출할 양을 미세 조정하는 것, 액체의 흐름을 멈추기 위하여 정지하는 것, 액체를 송출하기 위하여 회전수를 재빨리 올리는 것이나 간헐적으로 액체를 송출하는 운전 제어가 불가능하여 문제를 해결하기 위한 미묘한 유량의 조정이 곤란하였다.

복수의 개소에 액체를 공급하는 경우, 한 곳의 액체 공급 경로를 분기하는 것 만으로는 흐르기 쉬운 개소로 액체가 흘러버리게 되어, 각 개소에 확실하게 액체를 공급할 수 없다는 문제도 발생하였다. 그런 점에서 공급된 액체를 복수의 액체 공급 개소로 분배하는 장치를 부가하는 것도 생각할 수 있지만, 그런 경우, 기구가 복잡하게 되어 비용이 더 들게 되며 또한 설치 장소를 필요로 하는 등의 문제가 새롭게 생겼다. 또한 일반적인 상기 분배 장치에서는, 윤활 경로가 진공이 되는 경우에는 분배가 곤란하다는 문제도 있다.

또한, 종래의 진공 펌프의 베어링이나 기어의 윤활 수단에서는, 회전축이나 기어가 기름에 잠겨 있기 때문에 회전시에 저항이 되어 소비 동력이 많아지는 문제가 있었다.

도 1은 본 발명의 실시예 1에 있어서의 액체 펌프를 진공 펌프의 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프로서 접속한 도면.

도 2는 실시예 1의 피스톤 부분의 다른 실시예를 나타낸 도면.

도 3은 본 발명의 실시예 2에 있어서의 액체 펌프를 진공 펌프의 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프로서 접속한 도면.

도 4는 본 발명의 실시예 3에 있어서의 액체 펌프의 축에 평행한 수평 방향의 단면도.

도 5는 본 발명의 실시예 3에 있어서의 액체 펌프의 축에 평행한 수직 방향의 단면도.

도 6은 본 발명의 실시예 4에 있어서의 액체 펌프의 피스톤 및 실린더실의 단면도.

도 7은 본 발명의 실시예 5에 있어서의 액체 펌프의 피스톤 및 실린더실의 단면도.

도 8은 본 발명의 실시예 6에 있어서의 액체 펌프의 피스톤 및 실린더실의 단면도.

도 9는 실시예 1의 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프를 스크류식 진공 펌프의 윤활유 윤활 순환 시스템에 적용한 도면.

도 10은 종래의 윤활유 순환용 펌프의 예를 나타낸 도면.

본 발명은, 액체 축적부로부터 적어도 한 곳의 소정의 위치로 액체를 송출하기 위한 액체 펌프로서, 상기 액체 축적부로부터 액체가 도입되는 적어도 하나의 실린더실을 형성하며, 이 실린더실에 피스톤이 배치되고, 상기 실린더실에 액체 송출구가 형성되어 있으며, 상기 피스톤이 상기 실린더실 내에서 실린더를 축방향으로 구동하기 위한 구동수단을 가지고 있는 것을 특징으로 한다. 상기 피스톤과 실린더실은 수직으로 배치할 수도 수평으로 배치할 수도 있다. 또한 이 피스톤과 실린더실은 액체 축적부 내에 배치될 수도 있다.

본 발명은, 상기 실린더실의 일단으로부터 피스톤이 삽입되어 있으며, 이 실린더실의 타단부에 액체 송출구가 배치되어 있는 것을 특징으로 한다. 이 송출구는 최단부에 배치하여도 좋지만, 상기 실린더실의 최단부 부근을 조금 남긴 실린더실 측면에 형성함으로써, 상기 실린더실의 송출구가 피스톤에 의해 닫힌 후에 이 실린더실 최단부에 고여 있는 액체가 쿠션의 역할을 하여 피스톤 단부와 실린더실이 닿아 파괴되거나 먼지가 발생하거나 하는 것을 방지할 수 있다.

본 발명은, 상기 피스톤의 양단에 한 쌍의 실린더실이 배치되고, 각 실린더실의 일단으로부터 피스톤이 삽입되며, 이 각 실린더실의 타단은 액체 송출구가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 이 실린더실은 수평으로 배치되는 경우가 중력에 의한 돌출력으로의 영향이 별로 없지만, 필요에 따라 각도를 바꾸어 배치되어도 좋다.

본 발명은, 상기 피스톤 및 상기 실린더실에 있어서, 상기 피스톤 및 상기 실린더실의 단면 형상 및 /또는 길이를 액체 공급량에 따라 최적화한 것을 특징으로 한다. 또한, 실린더실을 축방향을 따라 복수의 룸으로 나누어, 이 복수의 룸이 배치된 실린더실의 형상에 맞춘 피스톤과 각 룸의 돌출구를 설치함으로써 더욱 액체 공급량을 미세 조정할 수 있다.

본 발명은, 상기 실린더실 내에 피스톤이 삽입되어 있으며, 이 실린더실에 단수 혹은 복수의 액체 송출구가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 이러한 구성으로는, 축방향으로 일정 간격으로 복수의 축단면적이 커지는 부분을 설치함으로써 달성할 수도 있다.

본 발명은, 상기 실린더실에 단수 혹은 복수단의 단부가 형성된 구조로 하고, 상기 피스톤을 이 실린더실의 형상과 거의 비슷하게 되도록 형성하고, 상기 실린더실에 형성된 단수 혹은 복수의 각 단부에 액체 송출구가 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 상기 실린더실의 단수 혹은 복수의 단부가 축방향으로 거의 대칭으로 형성되도록 하고, 상기 피스톤을 이 거의 대칭인 단부의 형상과 거의 비슷한 형상으로 형성하고, 상기 실린더실에 형성된 단수 혹은 복수의 각 단부에 액체 송출구가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 상기 실린더실에 이 단수 혹은 복수의 단부를 거의 대칭으로 형성하기 위한 부재를 배설한 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 상기 실린더실과 상기 피스톤 사이에 형성된 액체류의 형상을, 액체 공급량에 따라 상기 실린더실과 상기 피스톤의 상대적인 축방향 길이 및/또는 축 직각단면적을 최적화한 것을 특징으로 한다. 또한, 실린더실을 축방향을 따라 복수의 룸으로 나누어, 이 복수의 룸이 배치된 실린더실의 형상에 맞춘 피스톤과 각 룸의 돌출구를 설치함으로써 더욱 액체 공급량을 미세 조정할 수 있다.

본 발명은, 상기 실린더실에 액체 배출 구멍을 설치한 것을 특징으로 한다. 이 액체 배출 구멍은 액체 축적조로 이어져 있으나, 이 액체 배출 구멍을 액체 송출 구멍으로 하여도 좋다.

본 발명은, 상기 실린더실에 단수 혹은 복수단의 단부가 형성되고 각 이 단부의 축직각 다면적이 축방향을 따라 서서히 커지는 구조가 직렬로 복수 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 하나의 구동수단에 대하여 상기 피스톤 및 상기 실린더실을 복수 설치한 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 상기 구동수단을, 서로 상대적으로 운동 가능한 전부 혹은 일부가 자성체로 이루어진 축부와 솔레노이드 코일을 구비한 솔레노이드로 하고, 그 사이를 격벽으로 격리하여 상기 축부와 상기 솔레노이드 코일이 비접촉하도록 하고, 상기 축부와 상기 피스톤이 소정의 연결수단에 의해 연동하는 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 상기 격벽을 비자성체로 이루어진 격벽을 이용한 것을 특징으로 한다. 격벽의 소재로는 진주, 알루미늄, 스테인레스, 세라믹, 플라스틱 수지 등이 있다.

본 발명은, 진공 펌프에 상기 솔레노이드를 구동수단으로 이용하고, 또한 상기 액체 펌프를 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프로서 이용하며, 윤활을 필요로 하는 부분 및 윤활 경로와 상기 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프의 윤활유 송출 주요부를 밀봉한 것을 특징으로 한다. 진공 펌프로는 회전식이나 피스톤식 등이 있다.

본 발명은, 윤활하기 위하여 윤활유가 필요한 회전부를 갖는 장치에 있어서, 상기 회전부를 갖는 장치에 이 윤활유가 흘러 들어가도록 연통된 윤활유를 축적하기 위한 윤활유 축적조가 형성되고, 이 윤활유 축적조로부터 소정의 윤활을 필요로 하는 부분으로 윤활유를 공급하기 위한 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프 및 공급 경로가 배치되어 있는 것을 특징으로 한다. 이 회전부를 갖는 장치로는 회전식 진공 펌프나 감속기 등이 있다.

본 발명은, 상기 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프의 윤활유를 송출하기 위한 주요부가 상기 윤활유 축적조 내에 일체 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 상기 윤활유 축적조가 회전부를 갖는 장치의 윤활유가 중력에 의해 흘러 들어가는 위치에 배치된 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 상기 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프로서 액체 펌프를 이용한 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 액체 펌프를 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프로 이용한 경우에 대하여 도면을 이용하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프를 진공 펌프에 접속한 도면이다. 도 1에 있어서 100은 본 발명의 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프의 제 1 실시예이다.

101은 하우징으로서 이 안은 액체(103)로 채워져 있다. 102는 자성체로 이루어진 플랜저이며 플랜저(102)의 하부에는 자성체로 이루어진 기대(104)가 있다. 105는 솔레노이드 코일이다. 자성체로 이루어진 플랜저(102)와 솔레노이드 코일(105) 사이는 하우징(101) 및 비자성체 원통(격벽)(109)을 나뉘어져 있다.

또한 윤활유의 축적 공간은, 케이스(101), 비자성체 원통(109), 기대(104)이며 외부 대기 공간과는 O링에 의한 실(seal)에 의해 완전히 격리되어 있어, 윤활유의 외부로의 유출, 및 외부 대기의 침입을 방지하고 있다. 플랜저(102)와 기대(104) 사이에는 스프링(106)이 있어, 플랜저(102)와 기대(104)에 자력이 작용하지 않을 때에는 플랜저(102)와 기대(104)는 떨어지도록 되어 있다. 솔레노이드 코일(105)에 전류를 흐르게 하면 자성체로 이루어져 있는 플랜저(102)와 기대(104)는 자화(磁化)하고, 서로 흡인력이 작용하여 플랜저(102)를 아랫쪽으로 움직일 수 있다. 따라서 솔레노이드 코일에 흐르는 전류를 온/오프함으로써 플랜저를 상하로 연속 구동할 수 있다. 플랜저(102)의 하단과 기대 상단부의 접합 부분은 플랜저(102)의 위치에 관계없이 큰 흡인력을 얻기 위하여 테이퍼 형상으로 되어 있다. 또한, 플랜저(102)와 기대(104)가 접촉하면 흡인력을 잃기 때문에, 이를 피하기 위하여, 플랜저(102)와 기대(104) 사이에 반드시 작은 틈새가 생기도록 접촉 방지 구조를 설치한다. 본 실시예의 경우에는, 플랜저 상부에 플랜저(102)와 기대(104)가 접촉하기 전에 플랜저(102)의 움직임을 멈추게 하는 걸림 단부(108)를 설치하고 있다. 플랜저(102)와 일체로 되어 있는 플레이트(122)에는 복수의 피스톤(110)이 고정되어 있다.

상기 피스톤(110)은 복수의 각 실린더실(112)에 삽입되도록 배치되어 있다. 또한, 상기 실린더실(112)은 액체 안에 있다. 실린더실(112)에는 액체를 송출하기 위한 배관(114, 115)이 접속되어 있다. 배관(114, 115)은 진공 펌프(130)에 접속되어, 윤활유를 진공 펌프(130)로 보낸다. 진공 펌프(130)로부터는 윤활유실(150)(액체 축적부)로 윤활유가 떨어지게 된다. 따라서, 플랜저(102)와 피스톤(110)은 일체로 움직이기 때문에, 솔레노이드 코일의 전원을 온/오프함으로써, 피스톤(110)은 실린더실(112) 내를 왕복 운동하여, 실린더실(112) 내의 액체를 배관(114, 115)으로부터 연속 배출할 수 있다. 토출된 액체는 역류방지 밸브(116, 117)에 의해 실린더실로 되돌아오는 것을 방지한다. 이로 인해 규정량의 윤활유를 확실하게 공급하는 것도 가능하게 된다.

또한 도 2와 같이 피스톤(110)부에 스프링(118)을 배치하여, 플랜저(102)는 피스톤(110)을 누르게만 하고, 피스톤의 복귀는 스프링(118)이 수행하는 구조로 하면, 피스톤(110)을 플랜저(102)에 고착할 필요는 없다.

배관(114, 115)은 윤활유 송출구(111)에 통해 있다.

상기 전부 혹은 일부가 강자성 물질로 이루어진 축부가 분할되어, 분할된 상기 축부 사이에 스프링(106) 등에 의한 탄성수단을 형성한 것을 특징으로 한다. 이러한 구성으로 함으로써 솔레노이드 코일의 전원을 온/오프함으로써 상기 실린더실을 움직일 수 있다. 상기 강자성체로는 철, 코발트, 니켈 등을 들 수 있다. 또한, 스프링을 대신하는 탄성수단으로는 고무 등이 있다. 또한 비자성체로는 진주, 알루미늄, 스테인레스, 세라믹, 플라스틱 수지 등이 있다.

본 예에서는 피스톤이 복수인 경우에 대하여 설명하고 있지만, 피스톤이 단수인 경우라도 실시 가능하다는 것은 말할 것도 없다. 또한, 윤활유 공급 개소에 필요한 윤활유량은, 피스톤 및 실린더실의 축방향 길이 및/또는 축단면적을 변경함으로써 조정할 수 있다. 이 경우, 축방향에 구성 부품이 많은 경우에는, 축방향의 치수 오차나 장착 오차가 커지기 때문에 피스톤의 스트로크를 가능한 한 길게 하는 구성으로 함으로써, 축방향의 장착 오차의 영향을 별로 받지 않게 되어, 보다 필요량에 대하여 정확하게, 그리고 복수의 피스톤에 대하여 윤활유의 송출량의 편차를 억제할 수 *있다. 또한 본 예에서는 케이스와 비자성체 원통(109) 및 기대(104)는 O링에 의해 실(seal)되어 있지만, 용접, 접착 등, 완전 밀폐할 수 있는 접합수단이라면 실시 가능하다는 것은 말할 것도 없다. 또한, 플랜저와 플랜저에 접촉하는 하우징부도 자성체이면 자력으로 영구 자석화되어 떨어지지 않게 되는 경우도 있기 때문에, 적어도 0.2㎜ 이상의 비자성체를 이 접촉 부분에 끼우는 구성으로 하는 것이 바람직하다.

다음으로 도 3을 이용하여 본 발명의 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프의 제 2 실시예를 설명한다.

도 3은 본 발명의 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프를 진공 펌프에 접속한 다른 도면이다.

300은 본 발명의 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프의 제 2 실시예이다.

본 실시예 2의 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프는, 복수의 피스톤(310)이 진공 펌프(320)측으로 향해 있는 것이 다를 뿐, 다른 구성은 실시예 1과 같다. 또한 실시예 1과 실시예 2를 조합하여, 피스톤의 양단에 실린더실을 배치하고 플랜저가 어느 쪽 방향으로 움직여도 윤활유를 돌출할 수 있는 구조로 할 수 있다. 이 경우 실린더실과 피스톤이 중력에 대하여 수직으로 움직이는 배치로 하는 것도 가능하며 그 경우, 각 실린더실마다의 돌출력의 중력에 의한 영향을 없앨 수 있다.

다음으로 도 4 및 도 5를 이용하여 본 발명의 실시예 3을 설명한다.

도 4는 본 발명의 실시예 3에 있어서의 액체 펌프(윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프)의 축에 평행한 수평 방향의 단면도이다. 도 4에 있어서는 솔레노이드 코일(405)에 전류가 통전되고 있어, 플랜저(402) 및 그것에 고정되어 있는 피스톤(410)이 자력에 의해 가장 기대측으로 이동하고 있는 상태를 나타내고 있다. 도 5는 본 발명의 실시예 3에 있어서의 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프(액체 펌프)의 솔레노이드 축에 평행한 수직 방향의 단면도이다. 도 5에 있어서는 솔레노이드 코일(405)에 전류가 흐르고 있지 않아, 플랜저(402) 및 그에 고정되어 있는 피스톤(410)이 가장 기대(404)로부터 떨어져 있는 상태를 나타내고 있다.

402는 하우징(401) 내에 배치된 자성체로 이루어진 플랜저로서, 플랜저(402)의 단부에는 자성체로 이루어진 기대(404)가 있다. 405는 솔레노이드 코일이다. 자성체로 이루어진 플랜저(402)와 솔레노이드 코일(405) 사이는 비자성체 원통(격벽)(419) 및 기대(404)로 나뉘어져 있다. 비자성체 원통(419) 및 기대(404) 사이는 O링(403)에 의해, 비자성체 원통(419) 및 하우징(401)에 고정된 부재(409) 사이는 O링(418)에 의해 완전히 격리되어 있다. 또한, 솔레노이드 코일(405)에 전류가 통전되는 플랜저(402)와 기대(404) 사이에 고이는 윤활유는 플랜저(402) 요동의 저항이 되지 않도록 배출구(407)로부터 도시하고 있지 않은 드레인으로 되돌아가도록 되어 있다. 이 배출구(407)로부터 분출되는 윤활유는, 역류방지 밸브와 윤활유 도입구를 부여함으로써 윤활유를 필요로 하는 부분에 공급할 수도 있다.

플랜저(402)의 반대측 단부에는 원판 형상의 돌출부(413)가 있다. 이 돌출부(413)와 부재(409) 사이에는 스프링(406)이 있어, 플랜저(402)와 기대(404)에 자력이 작용하고 있지 않을 때에는, 플랜저(402)와 기대(404)가 떨어지도록 되어 있다. 또한, 이 돌출부(413)에 자성체를 이용한 경우, 플랜저(402)와 접촉하는 하우징부도 자성체이면 자력으로 영구 자석화되어 떨어지지 않게 되는 경우도 있기 때문에, 적어도 0.2㎜ 이상의 비자성체로 구성하는 것이 바람직하다. 솔레노이드 코일(405)에 전류를 흐르게 하면 자성체로 이루어져 있는 플랜저(402)와 기대(404)는 자화하여, 서로 흡인력이 작용하여 플랜저(402)를 기대(404) 방향으로 움직일 수 있다. 따라서 솔레노이드 코일(405)에 흐르는 전류를 온/오프함으로써 플랜저(402)를 연속 구동할 수 있다. 플랜저(402) 단부와 기대(404) 단부의 접합 부분은 플랜저(402)의 위치에 관계없이 충분한 흡인력을 얻기 위하여 테이퍼 형상으로 되어 있다. 또한, 플랜저(402)와 기대(404)가 접촉하면 흡인력을 잃기 때문에, 이를 피하기 위하여, 플랜저(402)와 기대(404) 사이에 반드시 작은 틈새가 생길 수 있도록 접촉 방지 구조를 설치한다. 본 실시예의 경우에는, 원판 형상의 돌출부(413)가 부재(409)와 접촉함으로써 플랜저(402)와 기대(404)가 접촉하기 전에 플랜저(402)의 움직임을 멈추게 하고 있다.

피스톤(410)은 플랜저(402)와 일체로 되어 있다. 상기 피스톤(410)은 중간부에 축 직각 단면적이 커지고 있는 부분(426)(굵은 부분) 및 단부에 축 직각 단면적이 작아지고 있는 부분(427)이 있다. 이 피스톤(410)은 실린더실 부재(423)에 형성된 실린더실부(424)에 삽입되어 있다. 이 실린더실부(424)는 단부에 상기 피스톤의 축 직각 단면적이 작아지고 있는 부분(427)(가는 부분)과 거의 비슷한 단면적의 부분(428)(좁은 부분), 상기 피스톤(410)의 축 직각 단면적이 커지고 있는 부분(426)과 거의 비슷한 단면적의 부분(429)(넓은 부분) 및 공급 윤활유 축적공간 구성부재(공급액체 축척공간 구성부재)(430) 삽입부(431)에 의해 구성되어 있다. 또한, 넓은 부분(429)의 축 방향 길이는 두꺼운 부분(426)의 축방향 길이보다도 길게 구성되어 있으며, 피스톤(410)과 이 넓은 부분(429) 사이의 공간(434, 440)에 저장된 윤활유를 윤활유 공급구(432, 433)로부터 돌출한다. 441은 공급한 윤활유가 역류하지 않기 위한 역류 방지 밸브이다. 이러한 구성으로 함으로써, 피스톤이 축방향 어느 쪽으로 움직여도 윤활유를 공급할 수 있다. 또한 윤활유의 공급량은 이 공간(434)의 크기를 축방향의 길이 또는/및 실린더실부(424)와 피스톤(410)의 상대적인 축단면 공간의 넓이를 변경함으로써 조정할 수 있다.

또한, 실린더실부(424)의 단부에는 피스톤(410)이 기대(404)측으로 이동함으로써 좁은 부분(428)에 축적된 윤활유가, 피스톤(410)이 기대(404)로부터 멀어지는 방향으로 이동할 때에 저항이 되지 않도록 드레인으로의 윤활유 배출 구멍(435)이 뚫려 있다. 또한 드레인으로부터의 이 액체 펌프로의 윤활유의 공급은 공급구(436)로부터 수행된다.

본 실시예의 액체 펌프는, O링(403, 418, 437, 438) 등에 의해 윤활유로 채워지는 부분과 외기를 완전하게 밀봉할 수 있어, 외기를 윤활유로 오염시킬 가능성을 억제할 수 있다. 또한, 플랜저(402)나 피스톤(410) 등의 요동 부분이 완전히 윤활유로 채워져 있기 때문에 마찰에 의한 마모로 인한 금속 가루 등의 불순물의 발생을 억제할 수 있어 금속 마모 가루 등에 의한 고장을 줄일 수 있다. 따라서 요동부에 축실(seal)을 이용할 필요가 없어 축실의 마모에 따른 고장도 없앨 수 있다. 예를 들어, 진공 펌프의 베어링이나 기어부를 위한 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프로서 사용한 경우, 종래 윤활유 누출 등의 문제가 발생한 상기 펌프의 구동 부분을 포함하여, 진공 하에서 윤활유가 순환하는 부분을 완전히 밀봉할 수 있기 때문에, 윤활유 누출이나 진공 부분으로의 대기 누설을 막을 수 있게 된다.

또한 하나의 솔레노이드에 대하여 복수의 실린더실부와 피스톤을 직렬, 혹은 병렬로 배치함으로서 보다 많은 부분에 윤활유를 공급할 수 있다.

다음으로 본 발명의 실시예 4를 도 6을 이용하여 간단하게 설명한다. 도 6은 실시예 3에 있어서 실린더실 및 피스톤에 2단의 축 직각 단면으로 광폭(廣幅)부를 설치하고 있는 것에 비하여 3단으로 한 것이다. 또한, 실시예 3에서 윤활유의 드레인으로의 윤활유 배출 구멍도 윤활유 공급구로 할 수도 있다. 601은 실린더실부, 602는 피스톤, 603은 공급 윤활유 축적공간 구성부재 및 604는 공급한 윤활유가 역류하지 않기 위한 역류 방지 밸브이다. 이러한 구성으로 함으로써 윤활유 공급구(605)를 여섯 곳에 설치할 수 있다.

또한 단수를 늘임으로써 하나의 솔레노이드에 대하여 많은 부분에 윤활유를 공급할 수 있다. 또한, 하나의 솔레노이드에 대하여 복수의 실린더실부와 피스톤을 병렬로 배치함으로써도 보다 많은 부분에 윤활유를 공급할 수 있다.

도 7은 본 발명의 실시예 5를 나타낸다. 도 7은 실시예 3에 있어서 실린더실 및 피스톤에 2단의 축 직각 단면으로 광폭부를 설치하고 있었던 것을 직렬로 복수 늘어놓은 타입의 것이다. 701은 실린더실부, 702는 피스톤, 703은 공급 윤활유 축적공간 구성부재 및 704는 공급한 윤활유가 역류하지 않기 위한 역류 방지 밸브이다. 이러한 구성으로 함으로써 윤활유 공급구(705)를 여섯 곳에 설치할 수 있다.

또한, 단수를 늘임으로써 하나의 솔레노이드에 대하여 많은 부분에 윤활유를 공급할 수 있다. 또한, 하나의 솔레노이드에 대하여 복수의 실린더실부와 피스톤을 병렬로 배치함으로써도 보다 많은 부분에 윤활유를 공급할 수 있다.

도 8은 본 발명의 실시예 6을 나타낸다. 도 7은 실시예 4와 반대로 중심부가 가는 타입의 것이다. 801은 실린더실부, 802는 피스톤, 804는 공급한 윤활유가 역류하지 않기 위한 역류 방지 밸브이다. 이러한 구성으로 함으로써 윤활유 공급구(805)를 여섯 곳에 설치할 수 있다. 또한 이러한 구조로 함으로써 피스톤의 실린더실로의 배치 및 플랜저로의 장착이 용이하게 되고, 단부의 밀봉도 플랜지(803)로 덮기만 하면 되어 간이한 구조로 할 수 있다.

도 9는 본 발명의 실시예 1에 있어서의 액체 펌프를 진공 펌프의 윤활유 순환 시스템에 적용한 실시예이다.

200은 스크류식 진공 펌프이고, 250은 본 발명의 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프이다. 스크류식 진공 펌프(200)는, 한 쌍의 스크류 로우터(201, 202)를 구비하고 있다. 스크류 로우터(201, 202)는 하우징(203) 내부에 형성된 배기측 로우터 수납실에 수납되어 있다. 상세하게 설명하면, 스크류 로우터(201)는 베어링(204, 206)에 의해 하우징(203)에 회전 가능하게 지지되며, 스크류 로우터(202)는 베어링(205, 207)에 의해 하우징(203)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 또한, 실(seal)(208, 209, 210, 211)은 베어링(204, 205, 206, 207)과 하우징(203) 내의 배기실(210e)을 격리하여, 베어링(204, 205, 206, 207)의 윤활유가 하우징(203) 내로 누설되는 것을 방지함과 동시에, 하우징(203)의 배기실(210e)로부터 베어링(204, 205, 206 및 207)에 이물질이 침입하는 것을 방지하고 있다.

또한, 스크류 로우터(201) 및 스크류 로우터(202)의 일단부에는, 스크류 로우터(201) 및 스크류 로우터(202) 중 한 쪽의 회전에 수반되어 스크류 로우터(201) 및 스크류 로우터(202)의 다른 쪽을 회전시키는 타이밍 기어(212, 213)가 각각 서로 맞물리도록 고정되어 있다. 또한, 스크류 로우터(202)의 일단부에는, 모터(214)가 일체적으로 연결되어 있다.

상기 타이밍 기어(212, 213)가 수납되어 있는 기어실(215)에 인접하는 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프(218) 내의 윤활유 축적조(216)는 저부에 윤활유(217)가 고여 있다. 상기 윤활유 축적조(216)에는 본 발명의 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프(218)가 배치되어 있어, 윤활유 공급 경로(221, 222, 223, 224)로 윤활유를 송출함으로써 4개소의 베어링(204, 205, 206, 207)에 윤활유를 공급하고 있다. 또한, 기어실이나 베어링부가 진공 상태로 되는 구조를 갖는 진공 펌프에서는, 본 발명과 같은 펌프부도 포함한 윤활유의 순환 경로를 완전히 밀폐 공간으로 할 수 있는 윤활유 공급 시스템을 이용함으로써, 윤활유 순환용 펌프 구동부로부터의 외부로의 윤활유 누출이나 진공 펌프 내로의 대기 누출을 방지할 수 있게 된다. 또한, 본 발명의 윤활유 순환용 펌프를 이용함으로써 용이하게 액체의 공급량을 미량부터 제어할 수 있다. 또한, 상기 윤활유 축적조(216)를 윤활유가 고이는 상기 기어실(215)보다도 중력 방향 하측으로 배치하여 이 기어실(215)로부터의 윤활유가 이 윤활유 축적조(216)에 중력에 의해 자연히 흘러 들어 오는 구조로 하여, 회전축이나 기어를 윤활유에 잠기지 않는 배치로 함으로써, 윤활유에 의한 저항을 없앨 수 있어 에너지 절약을 할 수 있다.

또한, 본 예에서는 스크류식 진공 펌프에 대하여 설명하였으나, 진공 배기 기구에 상관없이, 베어링이나 기어 등 윤활을 필요로 하는 어떠한 형식의 진공 펌프에도 적용 가능하다는 것은 말할 것도 없다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 있어서의 액체 펌프는, 액체 축적부로부터 적어도 한 곳의 소정의 위치로 액체를 송출하기 위한 액체 펌프로서, 상기 액체 축적부로부터 액체가 도입되는 적어도 하나의 실린더실을 형성하며, 이 실린더실에 피스톤이 배치되고, 상기 실린더실에 액체 송출구가 형성되어 있으며, 상기 피스톤이 상기 실린더실 내에서 실린더를 축방향으로 구동하기 위한 구동수단을 가지고 있는 구성으로 하고 있다. 이로 인해 예를 들면, 베어링이나 기어 등에 필요한 정량이며 미소한 윤활유를 확실하게 공급할 수 있으며, 공급 개소의 발열을 억제하여, 장치의 소비 동력을 낮게 억제할 수 있게 되었다.

본 발명에 있어서의 액체 펌프는, 상기 실린더실의 일단으로부터 피스톤이 삽입되어 있으며, 이 실린더실의 타단부에 액체 송출구가 배치되어 있다. 이러한 구성으로 함으로써, 미량의 액체를 송출하는 것, 송출하는 양을 미세 조정하는 것, 액체의 흐름을 멈추기 위하여 짧은 수간에 정지하는 것, 간헐적으로 액체를 송출하는 운전 제어를 할 수 있게 된다.

본 발명에 있어서의 액체 펌프는, 상기 피스톤의 양단에 한 쌍의 실린더실이 배치되고, 각 실린더실의 일단으로부터 피스톤이 삽입되며, 이 각 실린더실의 타단은 액체 송출구가 형성되어 있다. 이러한 구성으로 함으로써, 하나의 피스톤당 2개소에 액체를 공급할 수 있다.

본 발명에 있어서의 액체 펌프는, 상기 피스톤 및 상기 실린더실에 있어서, 상기 피스톤 및 상기 실린더실의 단면 형상 및 /또는 길이를 액체 공급량에 따라 최적화하였다. 이러한 구성으로 함으로써, 피스톤의 작용 주파수가 같더라도 공급유량을 조정할 수 있다. 또한, 복수의 실린더실과 피스톤을 동일한 주파수로 작동시켜도 실린더실마다 윤활유의 공급량을 변경할 수 있다.

본 발명에 있어서의 액체 펌프는, 상기 실린더실 내에 피스톤이 삽입되어 있으며, 이 실린더실에 단수 혹은 복수의 액체 송출구가 형성되어 있다. 이러한 구성으로 함으로써, 하나의 피스톤당 2개소 이상의 복수의 개소에 액체를 공급할 수 있다.

본 발명에 있어서의 액체 펌프는, 상기 실린더실에 단수 혹은 복수단의 단부가 형성된 구조로 하고, 상기 피스톤을 이 실린더실의 형상과 거의 비슷하게 되도록 형성하고, 상기 실린더실에 형성된 단수 혹은 복수의 각 단부에 액체 송출구가 배치되어 있다. 이러한 구성으로 함으로써, 간이한 구조로 하나의 피스톤당 2개소 이상의 복수의 개소에 액체를 공급할 수 있게 된다.

본 발명에 있어서의 액체 펌프는, 상기 실린더실의 단수 혹은 복수의 단부가 축방향으로 거의 대칭으로 형성되도록 하고, 상기 피스톤을 이 거의 대칭인 단부의 형상과 거의 비슷한 형상으로 형성하고, 상기 실린더실에 형성된 단수 혹은 복수의 각 단부에 액체 송출구가 형성되어 있다. 이러한 구성으로 함으로써, 간이한 구조로 하나의 피스톤당 2개소 이상의 복수의 개소에 액체를 공급할 수 있게 된다.

본 발명에 있어서의 액체 펌프는, 상기 실린더실에 이 단수 혹은 복수의 단부를 거의 대칭으로 형성하기 위한 부재를 배설하였다. 이러한 구성으로 함으로써, 대칭인 단부를 갖는 피스톤을 실린더실에 삽입한 후에, 이 거의 대칭으로 형성하기 위한 부재를 배설함으로써 용이하게 조립할 수 있다.

본 발명에 있어서의 액체 펌프는, 상기 실린더실과 상기 피스톤 사이에 형성된 액체류의 형상을, 액체 공급량에 따라 상기 실린더실과 상기 피스톤의 상대적인 축방향 길이 및/또는 축 직각단면적을 최적화하였다. 이러한 구성으로 함으로써, 피스톤의 작용 주파수가 같더라도 공급유량을 조정할 수 있다. 또한, 복수의 실린더실과 피스톤을 동일한 주파수로 작동시켜도 실린더실마다 윤활유의 공급량을 변경할 수 있다.

본 발명에 있어서의 액체 펌프는, 상기 실린더실에 액체 배출 구멍을 설치하였다. 이러한 구성으로 함으로써, 피스톤 단부와 실린더실 사이에 축적된 액체를 피스톤 구동시에, 피스톤의 운동을 방해하지 않도록 제거할 수 있다.

본 발명에 있어서의 액체 펌프는, 상기 실린더실에 단수 혹은 복수단의 단부가 형성되고 각 이 단부의 축직각 다면적이 축방향을 따라 서서히 커지는 구조가 직렬로 복수 배치되어 있다. 이러한 구조로 함으로써, 간이한 구조로 하나의 피스톤당 2개소 이상의 복수의 개소에 액체를 공급할 수 있게 된다.

본 발명에 있어서의 액체 펌프는, 하나의 구동수단에 대하여 상기 피스톤 및 상기 실린더실을 복수 설치하였다. 이러한 구성으로 함으로써, 복수의 피스톤 및 실린더실을 움직이기 위한 구동수단을 복수 설치할 필요가 없어 부품수를 줄일 수 있다.

본 발명에 있어서의 액체 펌프는, 상기 구동수단을, 서로 상대적으로 운동 가능한 전부 혹은 일부가 자성체로 이루어진 축부와 솔레노이드 코일을 구비한 솔레노이드로 하고, 그 사이를 격벽으로 격리하여 상기 축부와 상기 솔레노이드 코일이 비접촉하도록 하고, 상기 축부와 상기 피스톤이 소정의 연결수단에 의해 연동한다. 이러한 구성으로 함으로써, 액체 펌프의 구동부인 축부와 피스톤이 완전히 밀봉된 공간 내에서 액체 중에 잠겨도 외부로부터 비접촉으로 솔레노이드 코일에 의해 조작할 수 있기 때문에, 액체 피스톤 펌프로부터 액의 누출을 방지할 수 있다. 즉, 본 발명에 의해 회전 펌프와 같은 회전축이 없어져 외부의 대기와 액체를 격리하기 위한 O링이나 축실(seal)부에서의 회전, 접동이 필요없어지기 때문에 축부로부터 액체 누출이나 윤활 경로가 진공인 경우의 윤활 경로로의 대기 침입 가능성이 없어진다.

본 발명에 있어서의 액체 펌프는, 상기 격벽을 비자성체로 이루어진 격벽을 이용하였다. 이러한 구성으로 함으로써 솔레노이드 코일에서 발생한 자계를 자성체로 이루어진 플랜저만을 지나도록 할 수 있어, 플랜저와 기대 사이의 인력을 늘일 수 있다.

본 발명에 있어서의 액체 펌프는, 진공 펌프에 상기 솔레노이드를 구동수단으로 이용하고, 또한 상기 액체 펌프를 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프로서 이용하며, 윤활을 필요로 하는 부분 및 윤활 경로와 상기 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프의 윤활유 송출 주요부를 밀봉하였다. 이러한 구성으로 함으로써, 윤활유가 순환하는 부분과 윤활유 순환 펌프의 요동부인 피스톤 및 그 구동부를 밀봉할 수 있게 되어, 요동 또는/및 회전하는 부분에 실(seal)이 필요없게 되고, 윤활유가 누출될 가능성을 줄일 수 있다. 특히 이 윤활유 순환부분이 진공중에 있는 경우, 외기가 요동 또는/및 회전부의 실(seal)로부터 침입하여 진공도를 악화시킬 우려를 상당히 없앨 수 있다.

본 발명에 있어서의 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프는, 베어링 등을 윤활하기 위하여 윤활유가 필요한 회전부를 갖는 장치에 있어서, 상기 회전부를 갖는 장치에 이 윤활유가 흘러 들어가도록 연통된 윤활유를 축적하기 위한 윤활유 축적조가 형성되고, 이 윤활유 축적조로부터 소정의 윤활을 필요로 하는 부분으로 윤활유를 공급하기 위한 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프 및 공급 경로가 배치되어 있다. 이러한 구성으로 함으로써, 회전축이나 기어 등이 윤활유에 잠기는 일이 없어져 구동시의 저항을 줄일 수 있으므로, 에너지 절약을 달성할 수 있다. 이러한 구성을 갖는 것으로는 회전식 진공 펌프나 감속기 등이 있다.

본 발명에 있어서의 회전부를 갖는 장치는, 상기 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프의 윤활유를 송출하기 위한 주요부가 상기 윤활유 축적조 내에 일체 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 이러한 구성으로 함으로써, 윤활유 순환 또는 윤활유 펌프에 기름을 공급하기 위한 수단을 설치할 필요가 없으며, 또한 윤활유 순환 또는 윤활수 공급 펌프의 배치 스페이스도 줄일 수 있다.

본 발명에 있어서의 회전부를 갖는 장치는, 상기 윤활유 축적조가 회전부를 갖는 장치의 윤활유가 중력에 의해 흘러 들어가는 위치에 배치었다. 이러한 구성으로 함으로써, 상기 윤활유 축적조에 윤활유를 되돌리기 위한 복잡한 수단을 설치할 필요가 없어진다.

본 발명에 있어서의 회전부를 갖는 장치는, 상기 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프로서 청구항 1 내지 15항 중 어느 한 항에 기재된 액체 펌프를 이용하였다. 이러한 구성으로 함으로써, 간이한 구조로 할 수 있다.

Claims

액체 축적부로부터 적어도 한 곳의 소정의 위치로 액체를 송출하기 위한 액체 펌프로서, 상기 액체 축적부로부터 액체가 도입되는 적어도 하나의 실린더실을 형성하며, 이 실린더실에 피스톤이 배치되고, 상기 실린더실에 액체 송출구가 형성되어 있으며, 상기 피스톤이 상기 실린더실 내에서 실린더를 축방향으로 구동하기 위한 구동수단을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 액체 펌프.
제 1항에 있어서,

상기 실린더실의 일단으로부터 피스톤이 삽입되어 있으며, 이 실린더실의 타단부에 액체 송출구가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 펌프.
제 1항 또는 2항에 있어서,

상기 피스톤의 양단에 한 쌍의 실린더실이 배치되고, 각 실린더실의 일단으로부터 피스톤이 삽입되며, 이 각 실린더실의 타단은 액체 송출구가 뚫려 있는 것을 특징으로 하는 액체 펌프.
제 2항 또는 3항에 있어서,

상기 피스톤 및 상기 실린더실에 있어서, 상기 피스톤 및 상기 실린더실의 단면 형상 및 /또는 길이를 액체 공급량에 따라 최적화한 것을 특징으로 하는 액체 펌프.
제 1항에 있어서,

상기 실린더실 내에 피스톤이 삽입되어 있으며, 이 실린더실에 단수 혹은 복수의 액체 송출구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 펌프.
제 5항에 있어서,

상기 실린더실에 단수 혹은 복수단의 단부가 형성된 구조로 하고, 상기 피스톤을 이 실린더실의 형상과 거의 비슷하게 되도록 형성하고, 상기 실린더실에 형성된 단수 혹은 복수의 각 단부에 액체 송출구가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 펌프.
제 6항에 있어서,

상기 실린더실의 단수 혹은 복수의 단부가 축방향으로 거의 대칭으로 형성되도록 하고, 상기 피스톤을 이 거의 대칭인 단부의 형상과 거의 비슷한 형상으로 형성하고, 상기 실린더실에 형성된 단수 혹은 복수의 각 단부에 액체 송출구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 펌프.
제 7항에 있어서,

상기 실린더실에 이 단수 혹은 복수의 단부를 거의 대칭으로 형성하기 위한 부재를 배설한 것을 특징으로 하는 액체 펌프.
제 5항 내지 8항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 실린더실과 상기 피스톤 사이에 형성된 액체류의 형상을, 액체 공급량에 따라 상기 실린더실과 상기 피스톤의 상대적인 축방향 길이 및/또는 축 직각단면적을 최적화한 것을 특징으로 하는 액체 펌프.
제 5항 내지 9항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 실린더실에 액체 배출 구멍을 설치한 것을 특징으로 하는 액체 펌프.
제 5항 내지 10항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 실린더실에 단수 혹은 복수단의 단부가 형성되는 구조가 직렬로 복수 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 펌프.
제 1항 내지 11항 중 어느 한 항에 있어서,

하나의 구동수단에 대하여 상기 피스톤 및 상기 실린더실을 복수 설치한 것을 특징으로 하는 액체 펌프.
제 1항 내지 12항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 구동수단을, 서로 상대적으로 운동 가능한 전부 혹은 일부가 자성체로 이루어진 축부와 솔레노이드 코일을 구비한 솔레노이드로 하고, 그 사이를 격벽으로 격리하여 상기 축부와 상기 솔레노이드 코일이 비접촉하도록 하고, 상기 축부와 상기 피스톤이 소정의 연결수단에 의해 연동하는 것을 특징으로 하는 액체 펌프.
제 13항에 있어서,

상기 격벽을 비자성체로 이루어진 격벽을 이용한 것을 특징으로 하는 액체 펌프.
제 13항 또는 14항에 기재된 상기 액체 펌프를 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프로서 이용하고, 윤활을 필요로 하는 부분 및 윤활 경로와 상기 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프의 윤활유 송출 주요부를 밀봉한 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
윤활하기 위하여 윤활유가 필요한 회전부를 갖는 장치에 있어서, 상기 회전부를 갖는 장치에 이 윤활유가 흘러 들어가도록 연통된 윤활유를 축적하기 위한 윤활유 축적조가 형성되고, 이 윤활유 축적조로부터 소정의 윤활을 필요로 하는 부분으로 윤활유를 공급하기 위한 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프 및 공급 경로가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 회전부를 갖는 장치.
제 16항에 있어서,

상기 윤활유 순환 또는 윤활유 공급 펌프의 윤활유를 송출하기 위한 주요부가 상기 윤활유 축적조 내에 일체 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회전부를 갖는 장치.
제 16항 또는 17항에 있어서,

상기 윤활유 축적조가 회전부를 갖는 장치의 윤활유가 중력에 의해 흘러 들어가는 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 회전부를 갖는 장치.
제 16항 내지 18항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 펌프로서 제 1항 내지 14항 중 어느 한 항에 기재된 액체 펌프를 이용한 것을 특징으로 하는 회전부를 갖는 장치.