JP2008192816A - 半導体チップ及びその位置合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板2上に、トランジスタ等の素子から成る集積回路3と、当該集積回路3と電気的に接続されたパッド電極4が形成されている。各集積回路3同士、あるいは集積回路3とパッド電極4とを電気的に接続する配線層5が形成されている。配線層5は、半導体基板2の各辺に対して傾斜した傾斜部6を有する。傾斜部6は、位置合わせの際に半導体チップ1の位置を認識するためのアライメントマークとして機能する。このような半導体チップ1は、例えば以下に示すようにして目的の位置に実装される。まず、半導体チップ1を保持し傾斜部6の位置を認識装置を用いて光学的に検出する。そして、当該検出結果に基づいて、半導体チップ1を目的の位置に合わせる。
【選択図】図1
Description
5 配線層 6 傾斜部 7 三角形状部 8 傾斜部
10 半導体チップ 11 配線層 12 第1のパッド電極
13 第2のパッド電極 15 絶縁膜 16a,16b 開口部
17 保護膜 100 半導体チップ 101 半導体基板
102 集積回路 103 アライメントマーク
Claims (8)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の表面上に形成された集積回路と、
前記半導体基板の表面上であって、前記集積回路と電気的に接続された導電層とを備え、
前記導電層は、目的の位置に実装する際の位置を認識するためであって、前記半導体基板の辺に対して傾斜した傾斜部を有することを特徴とする半導体チップ。 - 前記傾斜部は、前記半導体基板の4つの角部に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体チップ。
- 前記導電層は、前記傾斜部を少なくとも一辺に含めて三角形状に形成された部分を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体チップ。
- 前記導電層は、パッド電極であることを特徴とする請求項1に記載の半導体チップ。
- 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の半導体チップの前記傾斜部を認識装置を用いて検出して、当該検出結果に基づいて前記半導体チップを目的の位置に合わせることを特徴とする位置合わせ方法。
- 半導体基板と、
前記半導体基板の表面上に形成された集積回路と、
前記集積回路と電気的に接続されたパッド電極とを備え、
前記パッド電極は、第1のパッド電極と、
認識装置を用いて観察した時に、前記第1のパッド電極よりもサイズが大きく検出される第2のパッド電極とを有することを特徴とする半導体チップ。 - 前記第1及び第2のパッド電極上の一部上を被覆する保護膜を備え、
前記保護膜は、前記第1のパッド電極上に第1の開口部を有し、かつ前記第2のパッド電極上に前記前記第1の開口部よりも開口径が広い第2の開口部を有することを特徴とする請求項6に記載の半導体チップ。 - 請求項6または請求項7に記載の半導体チップの前記第1及び第2のパッド電極を認識装置を用いて検出して、当該検出結果に基づいて前記半導体チップを目的の位置に合わせることを特徴とする位置合わせ方法。
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