JP2007115957A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置の製造方法は、複数の電極14を有する半導体基板10と、複数の電極14に電気的に接続された複数のテストパッド20と、いずれかのテストパッド20と電気的に接続されたランド30と、ランドに設けられた外部端子40と、を有する半導体モジュール100を用意する工程と、テストパッド20にプローブ35を接触させて、電気特性を検査する工程と、を含む。
【選択図】図2
Description
前記テストパッドにプローブを接触させて、電気特性を検査する工程と、
を含む。本発明によると、電極の外形を小さくした場合でも、電気特性検査を容易に行うことができる。また、本発明によると、外部端子が形成された半導体モジュールに対して、容易に、電気特性検査を行うことができる。すなわち、本発明によると、小型化が可能で、かつ、信頼性の高い半導体装置を製造することが可能な半導体装置の製造方法を提供することができる。なお、この半導体装置の製造方法には、複数の電極を有する半導体基板と、前記複数の電極に電気的に接続された複数のテストパッドと、いずれかの前記テストパッドと電気的に接続されたランドと、前記ランドに設けられた外部端子と、を有する半導体モジュールを利用してもよい。
(2)この半導体装置の製造方法において、
前記テストパッドの外形は、前記電極よりも大きくてもよい。
(3)この半導体装置の製造方法において、
前記半導体モジュールは、前記テストパッドを露出させる開口が形成された樹脂層をさらに有してもよい。
(4)この半導体装置の製造方法において、
前記電気特性検査工程の後に、前記テストパッドにおける前記樹脂層の前記開口からの露出部を覆う被覆部を形成する工程を行ってもよい。
(5)この半導体装置の製造方法において、
前記外部端子の根元を補強する補強層を形成する工程を含んでもよい。
(6)この半導体装置の製造方法において、
前記被覆部を、前記補強層によって形成してもよい。
(7)この半導体装置の製造方法において、
前記電極と前記テストパッドとは、配線によって電気的に接続されてなり、
前記テストパッドは、前記配線よりも幅が広くてもよい。
(8)この半導体装置の製造方法において、
前記ランドと前記テストパッドとは、配線によって電気的に接続されてなり、
前記テストパッドは、前記配線よりも幅が広くてもよい。
(9)本発明に係る半導体装置は、電極を有する半導体基板と、
前記電極に電気的に接続されたテストパッドと、
前記テストパッドと電気的に接続されたランドと、
前記ランドに設けられた外部端子と、
を有する。本発明によると、電極の外形を小さくした場合でも、電気特性検査を容易に行うことができる。また、本発明によると、外部端子が形成された半導体装置に対して、容易に電気特性検査を行うことができる。そのため、本発明によると、小型化が可能で、かつ、信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
(10)この半導体装置において、
前記テストパッドの外形は、前記電極よりも大きくてもよい。
(11)この半導体装置において、
前記テストパッドを露出させる開口が形成された樹脂層をさらに有してもよい。
(12)この半導体装置において、
前記開口を覆う被覆部をさらに有してもよい。
(13)この半導体装置において、
前記電極と前記テストパッドとは、配線によって電気的に接続されてなり、
前記テストパッドは、前記配線よりも幅が広くてもよい。
(14)この半導体装置において、
前記ランドと前記テストパッドとは、配線によって電気的に接続されてなり、
前記テストパッドは、前記配線よりも幅が広くてもよい。
Claims (14)
- 電極を有する半導体基板と、前記電極に電気的に接続されたテストパッドと、前記テストパッドと電気的に接続されたランドと、前記ランドに設けられた外部端子と、を有する半導体モジュールを用意する工程と、
前記テストパッドにプローブを接触させて、電気特性を検査する工程と、
を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記テストパッドの外形は、前記電極よりも大きい半導体装置の製造方法。 - 請求項1又は請求項2記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体モジュールは、前記テストパッドを露出させる開口が形成された樹脂層をさらに有する半導体装置の製造方法。 - 請求項3記載の半導体装置の製造方法において、
前記電気特性検査工程の後に、前記テストパッドにおける前記樹脂層の前記開口からの露出部を覆う被覆部を形成する工程を行う半導体装置の製造方法。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記外部端子の根元を補強する補強層を形成する工程を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項4を引用する請求項5記載の半導体装置の製造方法において、
前記被覆部を、前記補強層によって形成する半導体装置の製造方法。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記電極と前記テストパッドとは、配線によって電気的に接続されてなり、
前記テストパッドは、前記配線よりも幅が広い半導体装置の製造方法。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記ランドと前記テストパッドとは、配線によって電気的に接続されてなり、
前記テストパッドは、前記配線よりも幅が広い半導体装置の製造方法。 - 電極を有する半導体基板と、
前記電極に電気的に接続されたテストパッドと、
前記テストパッドと電気的に接続されたランドと、
前記ランドに設けられた外部端子と、
を有する半導体装置。 - 請求項9記載の半導体装置において、
前記テストパッドの外形は、前記電極よりも大きい半導体装置。 - 請求項9又は請求項10記載の半導体装置において、
前記テストパッドを露出させる開口が形成された樹脂層をさらに有する半導体装置。 - 請求項11記載の半導体装置において、
前記開口を覆う被覆部をさらに有する半導体装置。 - 請求項9から請求項12のいずれかに記載の半導体装置において、
前記電極と前記テストパッドとは、配線によって電気的に接続されてなり、
前記テストパッドは、前記配線よりも幅が広い半導体装置。 - 請求項9から請求項12のいずれかに記載の半導体装置において、
前記ランドと前記テストパッドとは、配線によって電気的に接続されてなり、
前記テストパッドは、前記配線よりも幅が広い半導体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005306952A JP2007115957A (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | 半導体装置及びその製造方法 |
US11/551,487 US7670859B2 (en) | 2005-10-21 | 2006-10-20 | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005306952A JP2007115957A (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | 半導体装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007115957A true JP2007115957A (ja) | 2007-05-10 |
Family
ID=37984751
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005306952A Pending JP2007115957A (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | 半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7670859B2 (ja) |
JP (1) | JP2007115957A (ja) |
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US20070090854A1 (en) | 2007-04-26 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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A02 | Decision of refusal |
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