JP2008184712A - シート状物およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明の目的は従来の極細繊維による研磨布では達成し得なかった優れた研磨特性を有しつつも、高い加工能率を兼ね備えた高性能研磨布を提供しようとするものである。
【解決手段】 熱可塑性ポリマーからなる極細繊維を有するシート状物であって、任意の面積０．０１ｍｍ^２の範囲における極細繊維が
（Ａ）極細繊維の繊維径ＣＶ％≧４０％
（Ｂ）繊維径１〜３００ｎｍである極細繊維の繊維径ＣＶ％≦３０％
（Ｃ）繊維径１〜３００ｎｍである極細繊維の存在比率が１０〜９０％
であることを特徴とするシート状物。
【選択図】なし

Description

本発明は磁気記録ディスクなどに用いるアルミニウム合金基板やガラス基板を超高精度の仕上げ加工を施すのに好適に用いられるシート状物に関するものである。

近年、磁気ディスク等の磁気記録媒体は、高容量化、高記録密度化に伴い、磁気ヘッドの浮上高さが著しく小さくなる傾向がある。長手記録媒体の場合、磁気ヘッドと磁気ディスク基板上の磁性体を円周方向に揃えるために記録ディスクの基板表面に円状の微細な条痕を形成するテクスチャー加工という表面処理が行われている。

長手記録媒体の研磨加工において、テクスチャリング加工は、高容量化、高記録密度化が著しいハードディスクにおいて、キーポイントとなる技術であり、磁気ディスクのテクスチャリング加工面の表面粗さ（Ｒａ）を細かくすると、空気層流が薄くなり、磁気ヘッドが接近して記録密度を向上させることが可能となる。

また、近年更なる高記録密度化に伴い、磁性体がディスク表面に垂直方向に配列された垂直記録媒体の開発が進められており、これに対応するためには基板の平均表面粗さ（Ｒａ）を極小化し、かつスクラッチ欠点と呼ばれる基板表面の傷を極小化するというような優れた研磨特性が必要となる。

研磨特性と同様に加工能率も必要である。加工能率とは一定条件のもと一定時間にできあがる加工割合であり、一般にテープ研磨加工はスラリーを滴下したテープ状物に磁気ハードディスクを回転させながら数回接触させて表面を研磨する方法をとるが、加工能率が低下すると研磨時間、スラリー量および使用するテープ量が増大するため、高コストとなる他に、テープに接触する回数が増加するためにスクラッチ欠点の増加等の研磨特性の悪化にも大きな影響を与える。

通常、研磨特性向上のためには繊維径を可能な限り細くし、砥粒の坦持状態を均一化することが必要であるが、この場合には押し付け圧が分散することとなるために加工能率が著しく低下することとなる。また、加工能率を向上する目的で砥粒粒子径を拡大したり、テープの押し付け圧等を増加させた場合にはスクラッチ欠点を増加させることとなったり、研磨特性を低下させることとなるためにこの相反する２つの特性を両立させることは困難であり、昨今開発が急速に展開される磁気ハードディスク研磨加工において優れた研磨特性と加工能率を両立したシート状物の開発が切望されていた。

合成繊維からなる不織布を利用した磁気ハードディスク研磨加工用シート状物においては種々の提案が行われている。

例えば０．０３ｄｔｅｘ以下の極細繊維絡合不織布に高分子弾性体を含浸させた研磨布が提案されており、Ｒａが１．０ｎｍ以下を達成している（特許文献１）。しかしながら、実施例に記載される研磨布表面に立毛する極細繊維は繊度０．０００３ｄｔｅｘ以上（繊維径１８３ｎｍ相当）範囲であり、Ｒａの値は高々０．４ｎｍと最近の高記録密度化に対応できるレベルに到達していない。さらに不織布を構成する極細繊維は０．０３ｄｔｅｘ以下という比較的細い繊維のみで構成されているため、押し付け圧が分散することとなり、加工能率が低下するものである。

また、繊維質基材を構成する繊維が極細繊維が収束してなる繊維束により構成されており、繊維中心部には０．３〜１０μｍ、外周部には０．０５〜１μｍと繊維径が異なる極細繊維によってＲａが０．１９〜０．３５ｎｍと優れた研磨特性を達成している（特許文献２）。しかしながら、外周部に存在する極細繊維の繊維径は０．０５μｍ以上であり、研磨特性には限界があることに加え、繊維束の外層部に比較的繊維径の小さい極細繊維が局在化していることから研磨時の摩擦力によって外周部の極細繊維が脱落し、そこに砥粒凝集物や研磨クズが堆積するなどしてスクラッチ（大きな傷）を発生させるばかりか、繊維径の小さい極細繊維による繊維束が変形することによって押し付け圧が分散することとなるため、加工能率が低下することとなる。

さらにいずれの技術においても長手記録媒体のテクスチャー加工用研磨布を目的とした技術であり、極限的な平面平滑性が必要とされる垂直記録媒体の加工には対応できないものである。
特開２００２−７９４７２号公報（特許請求の範囲） 特開２００３−２３６７３９号公報（特許請求の範囲）

本発明の目的は従来の極細繊維による研磨布では達成し得なかった優れた研磨特性を有しつつも、高い加工能率を兼ね備えたシート状物を提供しようとするものである。

本発明のかかる課題を解決するために、次のような手段を採用するものである。
（１）熱可塑性ポリマーからなる極細繊維を有するシート状物であって、任意の面積１００μｍ^２の範囲に存在する極細繊維が
（Ａ）繊維径ＣＶ％≧４０％
（Ｂ）繊維径１〜３００ｎｍである極細繊維の繊維径ＣＶ％≦３０％
（Ｃ）繊維径１〜３００ｎｍである極細繊維の存在比率が１０〜９０％
であることを特徴とするシート状物

本発明によればシート状物の任意の場所において繊維径が大幅に異なる極細繊維が均等に混在していることによって、従来では決して成し得なかった優れた研磨特性を有しつつも、加工能率が高いシート状物を提供することができる。

以下、本発明について、望ましい実施形態とともに詳細に説明する。

熱可塑性ポリマーからなる極細繊維を有するシート状物であって、任意の面積０．０１ｍｍ^２の範囲に存在する極細繊維が
（Ａ）繊維径ＣＶ％≧４０％
（Ｂ）繊維径１〜３００ｎｍである極細繊維の繊維径ＣＶ％≦３０％
（Ｃ）繊維径１〜３００ｎｍである極細繊維の存在比率が１０〜９０％
であることを特徴とするシート状物である。

本発明のシート状物とは実質的な支持体として極細繊維からなる繊維層を有し、その極細繊維間に高分子弾性体が配置されているものであり、表面に極細繊維からなる立毛を有するものである。

本発明の極細繊維とは、難溶解性ポリマーが単繊維直径１〜３０００ｎｍの繊維形状となったものの総称であり、形態的にはその単繊維がバラバラに分散したもの、単繊維が部分的に結合しているもの、あるいは複数の単繊維が凝集した集合体などの全ての総称である。

本発明のシート状物の支持体となる繊維層では、任意の面積１００μｍ^２の範囲で（Ａ）〜（Ｃ）を満たすものである。本発明における任意の面積１００μｍ^２の範囲とはシート状物をエポキシ樹脂等で包埋し、ミクロトーム等でシート状物の表面から数μｍを切削し、任意の切削面を電子走査型顕微鏡（ＳＥＭ）あるいは透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）で観察し、同一横断面内で無作為に抽出した面積１００μｍ^２の範囲であり、（Ａ）〜（Ｃ）は該範囲に存在する極細繊維の径を測定し、求めた値である。シート状物の切削については必要に応じて凍結切削やレーザーによる切削を用いることができる。繊維径測定にはＳＥＭあるいはＴＥＭで撮影した写真を画像処理ソフト（ＷＩＮＲＯＯＦ）で計測することができる。極細繊維の断面が異形の場合にはその断面積から算出した円の相当径をその繊維の繊維径とした。繊維径測定は同一横断面から無作為に抽出した１０ヶ所について行い、（Ａ）〜（Ｃ）は１０ヶ所の平均値とする。

本発明の（Ａ）〜（Ｃ）について詳述します。
（Ａ）繊維径ＣＶ％≧４０％
前述した方法により得られた繊維径の測定結果から繊維径ＣＶ％＝（σ_ＡＬＬ／Ｒ_ＡＬＬ）×１００（％）（σ_ＡＬＬ：標準偏差、Ｒ_ＡＬＬ：平均繊維径））として該範囲内全体について求めた値である。

繊維径ＣＶ％は極細繊維の繊維径のバラツキを意味し、この数値が大きい場合には繊維径が極めて小さなものと大きなものが混在していること表す。該繊維径ＣＶ％が４０％未満の場合には本発明の特徴であるシート状物表面に繊維径が大きいものと小さいものが混在した立毛を形成することが困難となる。該ＣＶ％は５０％以上が好ましい範囲であり、上限値は製糸安定性を考えれば実質的に８０％以下である。
（Ｂ）繊維径１〜３００ｎｍである極細繊維の繊維径ＣＶ％≦３０％
（Ａ）の場合と同様に前述した方法により得られた繊維径の測定結果から繊維径が１〜３００ｎｍである極細繊維を抽出し、繊維径ＣＶ％＝（σ_{１〜３００}／Ｒ_{１〜３００}）×１００（％）（σ_{１〜３００}：繊維径１〜３００ｎｍの極細繊維の標準偏差、Ｒ_{１〜３００}：繊維径１〜３００ｎｍの極細繊維の平均繊維径））として該範囲内全体について求めた値である。
実質的に砥粒を坦持する繊維径１〜３００ｎｍという極めて繊維径が小さい極細繊維群に関しては、バラツキが抑制されている必要がある。すなわち、該繊維径ＣＶ％が３０％を超えると、砥粒の担持状態にムラができ、研磨特性が低下する結果となる。該繊維径ＣＶ％については値が低下するに伴い研磨特性が向上することが期待されるが、本発明の作製可能な下限値は１０％である。
（Ｃ）繊維径１〜３００ｎｍである極細繊維の存在比率が１０〜９０％
本発明における繊維径１〜３００ｎｍである極細繊維の存在比率とは繊維径が１〜３００ｎｍの範囲に入る極細繊維の断面積の合計を全ての極細繊維の断面積の合計で除した値を１００倍することにより求めることができる。

繊維径が１〜３００ｎｍである極細繊維の存在比率が１０％未満の場合には砥粒の坦持状態が不均一になり、研磨特性が低下する。一方、９０％を超える場合には実質的に押し付け圧を担う繊維径の大きい極細繊維が存在しないことを意味し、加工能率の低下を招く。研磨特性と加工能率を両立させるためには該存在比率は３０〜９０％が好ましく、更に好ましくは５０〜９０％の範囲である。

本発明のシート状物は前述した（Ａ）〜（Ｃ）を同時に満足することを特徴とするものであり、シート状物の任意の場所において繊維径が大幅に異なる極細繊維が均等に混在していることによって、立毛処理を施した際あるいは研磨加工時に繊維径が大きい極細繊維に繊維径が小さい極細繊維が絡みついた極細繊維束となる。該極細繊維束には繊維径が小さい極細繊維間に砥粒サイズ（数百ｎｍ）に合致した空隙が形成され、遊離砥粒を用いたスラリーを滴下した際には砥粒を凝集させることなく均一に担持することとなる。更に研磨面に押し付けられた際には繊維径の大きい極細繊維が実質的な押し付け圧を担い、一方で繊維径の小さい極細繊維が過剰な圧を分散させ、自己調整することによって、従来では決して成し得なかった優れた研磨特性を有しつつも、加工能率が高いシート状物を提供することができる。

本発明のシート状物は、極細繊維同士の交差点が、ＳＥＭを用いて２０００倍にて観測した面積０．０１ｍｍ^２の範囲５０ヶ所において、平均で５００個以上存在していることが好ましく、より好ましくは７００個以上である。

本発明における極細繊維同士の交差点の数は、シート状物表面の立毛の分散状態に相当し、極細繊維を含むシート状物の表面をＳＥＭあるいはＴＥＭで撮影し、無作為に面積０．０１ｍｍ^２の範囲を抽出し、シート状物表面に露出した極細繊維同士の交差点をカウントするものである。合計５０枚以上の表面写真を測定し、各写真についてカウントを行い、５０ヶ所の平均を求め小数点第一位で四捨五入するものである。このとき、表面にポリウレタンなどの高分子弾性体が露出し、極細繊維が存在しない部分や、ニードルパンチ等により大きな穴を形成している部分は避け、判定に用いないものとする。ここでいう極細繊維同士の交差点とは、片端がシート状物に入り込んおらず分散して立毛した極細繊維１本１本同士の交差点であり、交差角の鋭角が２０°以上である交差点である。繊維が部分的に合流している箇所や、交差せずに並行している部分、フィブリル化した部分は除くものとする。また、極細繊維が２本以上凝集して形成される束同士の交差点、あるいは束状部分と極細繊維１本の間の交差点もカウントしない。なお、極細繊維が数百本単位で凝集した束の表面で、部分的に分散した極細繊維間の交差点についてはカウントするものとする。

繊維径が小さい極細繊維と繊維径が大きい極細繊維からなる立毛が表面に分散することにより、スラリーが滴下された場合に砥粒が凝集することなく研磨布表面に付着することが可能である。更に本発明の特有の立毛が分散していることにより、本発明の効果が発揮されやすく、従来にない優れた研磨特性を有しつつも加工能率の高いシート状物となる。従って、繊維径の異なる極細繊維が繊維束内に存在する場合であっても、繊維径の大きい極細繊維と繊維径の小さい極細繊維が層を成し、存在している場合（特許文献２）には本発明の効果は得られないものである。該立毛の交差点の上限は実現可能な範囲として５０００個である。

本発明における熱可塑性ポリマーとは、ポリアミドやポリエステル、ポリオレフィン、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）等がことを言い、ポリアミドやポリエステルに代表される重縮合系ポリマーは融点が高いことも多く、より好ましい。本発明の言う熱可塑性ポリマーには必要に応じて粒子、難燃剤、帯電防止剤等の添加剤を含有させても良いし、ポリマーの性質を損なわない程度に他の成分が共重合されていても良い。

次に本発明のシート状物の製造方法の一例を以下に具体的に示す。
（１）平均分散径が異なるアロイポリマーを２種類以上ブレンド、紡糸して得られたアロイ繊維から成る不織布を作製し、高分子弾性体を該不織布に付与し、立毛処理を施した後、該アロイ繊維から易溶解性ポリマーを溶解除去することにより極細繊維発生加工を行うことを特徴とするシート状物の製造方法。
（２）少なくとも１種類のアロイポリマーの難溶解性ポリマーの平均分散径が１０００ｎｍ以下であることを特徴とする（１）記載のシート状物の製造方法。
（３）平均分散径が異なるアロイポリマーを２種類以上ブレンドするに際し、平均分散径が最大のアロイポリマーと最小のアロイポリマーとの平均分散径比が１．５以上であることを特徴とする（１）または（２）に記載のシート状物の製造方法。

本発明におけるアロイポリマーとは溶剤に対する溶解性の異なる２種類以上のポリマーをエクストルーダーなどの溶融混練機にて混練し、該記のポリマーがアロイ化した樹脂のことを意味し、易溶解性ポリマーが海（マトリックス）、難溶解性ポリマーが球状に分散した形態（ドメイン）をなしているものである。なお、平均分散径とは難溶解性ポリマーの分散径の平均値のことを意味し、アロイポリマーを溶剤処理し、表層の海成分を溶解した後で、ＳＥＭあるいはＴＥＭにより表面を観察し、得られた写真から同観察面に存在する５００個の難溶解性ポリマーの分散物の外周を円あるいは楕円として測定する。これを少なくとも３ヶ所について行い、その平均値を平均分散径とする。

本発明のシート状物の繊維層である不織布を作製する方法は、平均分散径が異なるアロイポリマーを２種類以上ブレンドして、紡糸して得られたアロイ繊維を絡合処理することにより安定して得ることができる。アロイポリマーでない単なるチップ同士のドライブレンドによる紡糸では混練不足により最終的な極細繊維の最小繊維径が限られることに加え、せん断の影響が繊維径の決定に大きく影響するため、極細繊維束の断面を観察した場合には、口金孔内でのせん断が大きい外層に繊維径が小さい繊維が集まり、せん断が小さい内層に繊維径の大きな繊維が集まるというような同程度の繊維径を有した極細繊維が局在化し、存在することとなるため、本発明のシート状物の特徴である繊維径が大幅に異なる極細繊維が任意の場所で混在する状態にはなりにくい。

本発明のシート状物の製造方法では少なくとも１種類のアロイポリマーの難溶解性ポリマーの平均分散径は１０００ｎｍ以下であることが好ましく、８００ｎｍ以下とすることが更に好ましいことである。１０００ｎｍより大きくになると１〜３００ｎｍの極細繊維を発生しにくくなる。

平均分散径が異なるアロイポリマーを２種類以上ブレンドするに際し、平均分散径が最大のアロイポリマーと最小のアロイポリマーとの平均分散径比が１．５以上であることが好ましい。該平均分散径比を１．５以上とすることにより、不織布の任意の場所で繊維径が大きい極細繊維と繊維径が小さい極細繊維が混在した状態を形成し易くなる。平均分散径の異なるアロイポリマーの混合比率は、前述した平均分散径が１０００ｎｍ以下のアロイポリマーの混合比率が、繊維径１〜３００ｎｍの極細繊維の存在比率に大きく影響するため、該アロイポリマーの総ポリマー量に対する混合比率は１０〜９０％の範囲とすることが好ましい。

本発明のシート状物の繊維層である不織布を得る方法としては、短繊維をカード、クロスラッパーを用いて幅方向に配列させた積層ウェブを形成させた後にニードルパンチを施して得られる短繊維不織布や、スパンボンドあるいはメルトブロー法などから得られる長繊維不織布、抄紙法で得られる不織布および、支持体上にナノファイバーを噴霧、浸漬、あるいはコーティングして付着させたもの、織編物が好適に用いられる、中でも得られる研磨布の引張強力や製造コストなどの点からスパンボンド法は好適に用いられる。

スパンボンド法とは、一般には溶融したポリマーをノズルより押出し、これを高速吸引ガスにより２５００〜８０００ｍ／分の速度で吸引延伸した後、移動コンベア上に繊維を捕集して繊維ウェブとする方法を用いることを言う。また、繊維ウェブの捕集に引き続いて熱接着、絡合等を施すことにより一体化させたシートを得る方法が好ましい。繊維ウェブの絡合方法は、ニードルパンチやウォータジェットパンチなどの方法を適宜組み合わせることができる。

ニードルパンチ処理のパンチング本数としては、繊維の高絡合化による緻密な表面状態を達成することを目的とし、５００〜５０００本／ｃｍ^２であることが好ましい。５００本／ｃｍ^２以上であれば、表面繊維の緻密性に優れた、所望の高精度仕上げを得るのに好ましく、５０００本／ｃｍ^２以下とすることにより、加工性が良好であり、良好な強度を付与させることができる。ニードルパンチ後の複合繊維不織布の繊維密度は、表面繊維本数の緻密化の観点から、０．２０ｇ／ｃｍ^３以上であることが好ましい。

ウォータジェットパンチング処理を行う場合には、水は柱状流の状態で行うことが好ましい。柱状流を得るには、通常直径０．０５〜１．０ｍｍのノズルから圧力１〜６０ＭＰａで噴出させる方法により好適に用いられる。

このようにして得られたアロイ繊維不織布は、緻密化の観点から、乾熱あるいは湿熱、あるいはその両者によって収縮させ、さらに高密度化することが好ましい。

本発明のシート状物をテープ状として、研磨加工を施す際に、寸法変化が生じると、基板表面を均一に研磨することができないため、研磨布の形態安定性の点から、本発明に用いられるシート状物の目付は１００〜６００ｇ／ｍ^２であることが好ましく、１５０〜３００ｇ／ｍ^２であることがより好ましい。また、同様の観点から本発明のシート状物は厚みが０．１〜１０ｍｍの範囲が好ましく、０．３〜５ｍｍの範囲がより好ましい。なお、本発明のシート状物の密度については、均一な加工性を得るためには０．１〜１．０ｇ／ｃｍ^３の範囲が好適である。

本発明のシート状物の製造方法においては、アロイポリマーを紡糸して得たアロイ繊維からなる不織布を極細繊維化処理する前に、ポリウレタンを主成分とする高分子弾性体を付着させることが好ましい。高分子弾性体のバインダー効果により、極細繊維が研磨布から抜け落ちるのを防止し、表面に露出したときに均一に分散することが可能となるためである。

なお、繊維と高分子弾性体との接着を緩和する目的で、高分子弾性体を付与する前にポリビニルアルコールを付与し、繊維を保護してもよい。

本発明に用いる高分子弾性体は、例えばポリウレタン、ポリウレア、ポリウレタン・ポリウレアエラストマー、ポリアクリル酸樹脂、アクロニトリル・ブタジエンエラストマー、スチレン・ブタジエンエラストマーなどを用いることができるが、中でもポリウレタン、ポリウレタン・ポリウレアエラストマーなどのポリウレタン系エラストマーが好ましい。

ポリウレタンは、ポリオール成分にポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系のジオール、もしくはこれらの共重合物を用いることができる。また、ジイソシアネート成分としては、芳香族ジイソシアネート、脂環式イソシアネート、脂肪族イソシアネートなどを使用することができる。

ポリウレタンの重量平均分子量は１００，０００〜３００，０００が好ましく、より好ましくは１５０，０００〜２５０，０００である。重量平均分子量１００，０００以上にすることにより得られるシート状物の強度を保持し、また極細繊維の脱落を防ぐことができる。また、３００，０００以下とすることにより、ポリウレタン溶液の粘度の増大を抑制し不織布への含浸を行いやすくすることができる。

高分子弾性体は、主成分としてポリウレタンを用いることが好ましいが、バインダーとして性能や立毛繊維の均一分散を損なわない範囲で、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリオレフィン系などのエラストマー樹脂、アクリル樹脂、エチレン−酢酸ビニル樹脂などが含まれていても良く、必要に応じて着色剤、酸化防止剤、帯電防止剤、分散剤、柔軟剤、凝固調整剤、難燃剤、抗菌剤、防臭剤などの添加剤が配合されていてもよい。

本発明において、高分子弾性体の含有率は、不織布の繊維の総重量に対し、１０重量％以上６０％重量以上であることが好ましい。含有量によって研磨布の表面状態、クッション性、硬度、強度などを適宜調整することができる。

使用する高分子弾性体については前述の通りであるが、高分子弾性体を付与させる際に用いる溶媒としてはＮ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド等を好ましく用いることができる。また、水中にエマルジョンとして分散させた水系ポリウレタンを用いてもよい。溶媒に溶解した高分子弾性体溶液に不織布を浸漬する等して高分子弾性体を不織布に付与し、その後、乾燥することによって高分子弾性体を実質的に凝固し固化させる。乾燥にあたっては不織布及び高分子弾性体の性能が損なわない程度の温度で加熱してもよい。

本発明のシート状物の製造方法において、極細繊維が研磨布の表面でランダムに分散した状態となるためには、アロイポリマーを紡糸して得たアロイ繊維からなる不織布と高分子弾性体とからなるシート状物の少なくとも片面に、アロイ繊維からなる立毛面を形成させた後に、アロイ繊維に極細繊維発生処理を施すことが重要である。アロイ繊維からなる立毛部分が表面に分散した状態で極細繊維化が起こり、極細化の工程で表面に分散し、これを乾燥せしめることで表面を覆うようにして均一に分散させることができるからである。

本発明のシート状物の製造方法においてシート状物の表面に存在する立毛は、例えばバッフィング処理により得られる。ここでいうバッフィング処理とは、サンドペーパーやロールサンダーなどを用いて表面を研削する方法などにより施すのが一般的である。特に、表面をサンドペーパーにより、立毛処理することにで均一かつ緻密な立毛を形成することができる。さらに、研磨布の表面に均一な立毛を形成させるためには、研削負荷を小さくすることが好ましい。研削負荷を小さくするためには、バフ段数、サンドペーパー番手などを適宜調整することが好ましい。中でも、バフ段数は３段以上の多段バッフィングとし、各段に使用するサンドペーパーの番手をＪＩＳ規定の１５０番〜６００番の範囲とすることがより好ましい。

次に立毛させたアロイ繊維から極細繊維を発現せしめる方法、すなわち、極細繊維発生加工は、除去する成分（易溶解性ポリマーからなる海成分）の種類によって異なるが、ＰＥやポリスチレン等のポリオレフィンであれば、トルエンやトリクロロエチレン等の有機溶媒、ＰＬＡや共重合ポリエステルであれば、水酸化ナトリウム等のアルカリ水溶液で浸漬・窄液を行う方法を好ましく用いることができる。

また、極細繊維発生加工の際に極細繊維を研磨布表面に分散させ、本発明の研磨布表面の緻密化、平滑化を達成するためには、極細繊維発生加工中、もしくは発生加工後、液中にて物理的刺激を加えることが重要である。物理的刺激としては、例えばウオータージェットパンチング処理などの高速流体流処理や、液流染色機、ウィンス染色機、ジッガー染色機、タンブラー、リラクサー等を用いた揉み処理、超音波処理等を適宜組み合わせて実施しても良い。

更に、研磨加工時のテープ伸びによる加工ムラ、スクラッチ欠点の発生を抑える点から、研磨布の極細繊維を有する面の裏面に補強層を接着する方法が好適に用いられる。

本発明のシート状物に補強層を接着する方法としては、熱圧着法、フレームラミ法、補強層とシート状物との間に接着層を設けるいずれの方法を採用してもよく、接着層としては、ポリウレタン、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ニトリルブタジエン（ＮＢＲ）、ポリアミノ酸およびアクリル系接着剤などゴム弾性を有するものが使用可能である。コストや実用性を考えると、ＮＢＲやＳＢＲのような接着剤が好ましい。接着剤の付与方法としては、エマルジョンや、ラテックス状態でシート状物に塗布する方法が好適に用いられる。

補強層としては、織編物や熱接着繊維を用いた不織布、フィルム状物を用いることが好ましい。中でも、高精度の研磨加工を行うには、厚みや物理特性において均一なフィルム状物を使用することがより好ましい。

ここでいうフィルムとなる素材としては、ポリオレフィン系、ポリエステル系およびポリフェニルサルファイド系などのフィルム形状を有するものであれば使用可能である。汎用性を考えた場合、ポリエステルフィルムを使用することが好ましい。フィルムからなる補強層を設ける場合には、研磨加工時の研磨布の形態安定性、クッション性および基板表面へのフィット性を全て満足させる必要があるため、不織布からなるシート状物との厚みバランスをとることが重要である。不織布からなるシート状物の仕上がり厚みとしては０．４ｍｍ以上であることが好ましく、生産性の点からより好ましくは０．４〜１．５ｍｍの範囲である。そのため、フィルムの厚みは２０〜１００μｍとすることが好ましい。不織布からなるシート状物の厚みが０．４ｍｍ未満の場合、テクスチャー加工時の寸法変化を抑えるため補強層が必要である。一方、フィルム層の厚みが２０μｍ未満であると、テクスチャー加工時の寸法変化を抑えられず、１００μｍを超えると、シート状物全体の剛性が高くなりすぎ、結果としてスクラッチなどの発生を抑えることができないため好ましくない。

本発明のシート状物は記録媒体用磁気ディスクの研磨加工に用いる研磨布あるいはクリーニング布として用いると効果的である。

本発明のシート状物を用いて、ハードディスク研磨加工を行う方法としては、かかるシート状物をを加工効率と安定性の観点から、３０〜５０ｍｍ幅のテープ状にカットして、研磨加工用テープとして用いる。

該研磨テープと遊離砥粒を含むスラリーとを用いて、アルミニウム合金磁気記録ディスクの研磨加工を行う方法が好適な方法である。研磨条件として、スラリーは、ダイヤモンド微粒子などの高硬度砥粒を水系分散媒に分散したものが好ましく用いられる。

砥粒の保持性と分散性の観点から、本発明の研磨布を構成する極細繊維に適合した砥粒径としては０．２μｍ以下が好ましいものである。

以下、実施例により、本発明をさらに具体的に説明する。また実施例で用いた評価法とその測定条件について以下に説明する。
（１）アロイポリマー中の難溶解性ポリマーの平均分散径
ペレット状のアロイポリマーを溶剤（易溶解性ポリマーがＰＬＡの場合、ＮａＯＨ水溶液。易溶解ポリマーがＰＥの場合、熱トルエン）中で抽出除去し、水洗後（株）キーエンス社製 ＶＥ−７８００型ＳＥＭで観察、加速電圧２０ｋＶ、ワーキングディスタンス８ｍｍ、倍率５０００倍で撮影し、表面に露出した難溶解性ポリマーを画像処理ソフト（ＷＩＮＲＯＯＦ）を用いて円あるいは楕円として５００個の平均直径を求めるものであり、これを３ヶ所以上で行い、少なくとも合計１５００個以上の難溶解性ポリマーの分散径を測定することで求められるものである。
（２）シート状物評価
シート状物をエポキシ樹脂で包埋し、Ｒｅｉｃｈｅｒｔ社製ＦＣ ４Ｅ型クライオセクショニングシステムで凍結し、ダイヤモンドナイフを具備したＲｅｉｃｈｅｒｔ−Ｎｉｓｓｅｉ ｕｌｔｒａｃｕｔ Ｎ（ウルトラミクロトーム）で研磨布表面から１μｍ程度を切削した後、その切削面を（株）キーエンス製 ＶＥ−７８００型走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）にて倍率５０００倍で撮影した。また、必要に応じて金属染色を施した。得られた写真から無作為に面積１００μｍ^２の範囲を１０ヶ所抽出し、各場所の写真を画像処理ソフト（ＷＩＮＲＯＯＦ）を用いて全ての単繊維直径を求め、最小繊維径、最大繊維径、繊維径標準偏差、全範囲内の繊維径ＣＶ％、１〜３００ｎｍの極細繊維の繊維径ＣＶ％および１〜３００ｎｍの極細繊維の存在比率を求めた。これらの値は全て１０ヶ所の各写真について測定を行い、１０ヶ所の平均値とした。

全範囲の繊維径ＣＶ％、１〜３００ｎｍの極細繊維の繊維径ＣＶ％は下記式に従い求めた。
ＣＶ％＝（標準偏差／平均値）×１００
１〜３００ｎｍの極細繊維の存在比率は下記式に従い求めた。
存在比率＝（１〜３００ｎｍの極細繊維の断面積の合計）／（全ての極細繊維の断面積の合計）
（３）極細繊維の分散性（交差点数）
極細繊維を含むシート状物の表面を（株）キーエンス社製 ＶＥ−７８００型ＳＥＭで倍率２０００倍で撮影し、無作為に面積０．０１ｍｍ^２の範囲を抽出し、シート状物表面に露出した極細繊維同士の交差点をカウントする。合計５０枚以上の表面写真を測定し、各写真についてカウントを行い、５０ヶ所の平均を求め小数点第一位で四捨五入するものである。このとき、表面にポリウレタンなどの高分子弾性体が露出し、極細繊維が存在しない部分や、ニードルパンチ等により大きな穴を形成している部分は避け、判定に用いないものとする。ここでいう極細繊維間の交差点とは、片端がシート状物に入り込んでいない極細繊維１本１本間の交差角の鋭角が２０°以上である交差点である。繊維が部分的に合流している箇所や、交差せずに並行している部分、フィブリル化した部分は除くものとする。また、極細繊維が２本以上凝集して形成される束同士の交差点、あるいは束状部分と極細繊維１本の間の交差点もカウントしない。なお、極細繊維が数百本単位で凝集した束の表面で、部分的に分散した極細繊維間の交差点についてはカウントするものとする。シート状物の面積０．０１ｍｍ^２中に平均で５００個以上存在した場合を、分散性良好とした。
（４）シート状物の加工能率（研磨量）
アルミニウム基板にＮｉ−Ｐメッキ処理し、ポリッシング加工したディスクの重量を予め測定しておく。４０ｍｍ幅のテープとしたシート状物を用い、同条件で研磨し、水洗して十分過剰スラリーや研磨クズ等を除去した後、風乾させ、その重量を測定する。研磨前と研磨後の重量差を求める測定を３回行い、その平均値を研磨量とした。同条件で研磨した場合、この研磨量が多い方が加工能率が良いこととなる。
（５）シート状物の研磨特性（基板表面粗さ）
ＪＩＳ Ｂ０６０１（２００１年度版）に準拠して、シュミットメジャーメントシステム社（Ｓｃｈｍｉｔｔ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ Ｓｙｓｔｅｍｓ，Ｉｎｃ）製ＴＭＳ−２０００表面粗さ測定器を用いて、研磨加工後のディスク基板サンプル表面の任意の１０カ所について平均粗さを測定し、１０カ所の測定値を平均することにより基板表面粗さを算出した。数値が低いほど研磨特性が高いことを示す。
（６）スクラッチ点数
研磨加工後の基板５枚の両面、すなわち計１０表面の全領域を測定対象として、Ｃａｎｄｅｌａ５１００光学表面分析計を用いて、深さ３ｎｍ以上の溝をスクラッチとし、スクラッチ点数を測定し、１０表面の測定値の平均値で評価した。数値が低いほど高性能であることを示す。

実施例１
ナイロン６（Ｎ６）４０重量％とポリ乳酸（ＰＬＡ）を６０重量％を独立にフィードし、温度２２０℃に設定した２軸押出混練機にて、スクリュー回転数３００ｒｐｍ、吐出量１５ｋｇ／ｈｒ．として得たアロイポリマーＡおよびスクリュー回転数１００ｒｐｍ、吐出量２０ｋｇ／ｈｒ．として得たポリマーＢの２種類のアロイポリマーを得た。それぞれのポリマー中の難溶解性ポリマーの平均分散径を測定したところ、アロイポリマーＡは５９０ｎｍ、アロイポリマーＢは９１５ｎｍであった（平均分散径比：１．６）。

前述したアロイポリマーＡを９０重量％、アロイポリマーＢを１０重量％でブレンドし、スパンボンド法により、紡糸温度２４０℃で口金孔より紡出した後、エジェクターにより紡糸速度３５００ｍ／ｍｉｎで紡糸し、移動するネットコンベアー上に捕集し、圧着率１６％のエンボスロールで、温度８０℃、線圧２０ｋｇ／ｃｍの条件で熱圧着し、単繊維繊度２．０ｄｔｅｘ、目付１５０ｇ／ｍ^２とし、油剤（ＳＭ７０６０：東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社製）を繊維重量に対し２重量％付与し、４枚積層し、バーブ数１、バーブ深さ０．０６ｍｍのニードルを用いて、ニードルパンチを２０００本／ｃｍ^２施すことで、目付６００ｇ／ｍ^２のアロイ繊維からなる不織布を得た。

この不織布を液温約８５℃、濃度約１２％のポリビニルアルコール溶液に含浸させ、ニップロールで窄液し、ポリマーアロイ繊維重量に対して固形分で２０重量％のポリビニルアルコールを付与した後、乾燥した。次に、濃度約１２％のポリエステル・ポリエーテル系のポリウレタンのＤＭＦ溶液に含浸、ニップロールで窄液し、繊維重量に対して固形分で３０重量％のポリウレタンを付与し、液温３５℃の３０％ＤＭＦ水溶液でポリウレタンを凝固させ、約８５℃の熱水でＤＭＦおよびポリビニルアルコールを除去した。その後、表面をＪＩＳ＃１８０番のサンドペーパーにて研削しアロイ繊維を立毛を形成させた。

最後に、８０℃の４％水酸化ナトリウム水溶液にて３０分処理し、乾燥させることで、海成分であるＰＬＡを溶出させ、Ｎ６からなる極細繊維を発生させた。該溶出工程を液流染色機中にて揉み処理を行うことにより、シート状物に物理的刺激を付与し、研磨布表面に立毛を均一に分散させた。

このシート状物から面積１００ｃｍ^２の試験片を切り出し、前述した測定方法により任意の面積１００μｍ^２範囲を１０ヶ所観測したところ、１０ヶ所の平均値でＮ６極細繊維の最小径１１ｎｍ、最大径１５５６ｎｍであり、範囲全体の繊維径ＣＶ％は５０．７％であった。一方、１〜３００ｎｍの繊維径ＣＶ％および存在比率を観測したところ、１０ヶ所の平均値でそれぞれ１６．７％、８６％であった。極細繊維間の交差点を数えたところ、面積０．０１ｍｍ^２中に平均で９３９個であり、分散性良好であった。

該シート状物を４０ｍｍ幅のテープとし、以下の条件で研磨加工を行った。

アルミニウム基板にＮｉ−Ｐメッキ処理した後、ポリッシング加工し平均表面粗さ０．２ｎｍに制御したディスクを用い、研磨布表面に１次粒子径１〜１０ｎｍのダイヤモンド結晶からなる遊離砥粒スラリーを滴下し、テープ走行速度を５ｃｍ／分、荷重２．０ｋｇｆの条件で２０秒間研磨を実施した。研磨量は１．５１ｍｇであった。

研磨加工後のディスクは、表面粗さが０．１２ｎｍ、スクラッチ点数は１７であり、加工性も良好であった。物性値および加工テスト結果は表１に示す。

実施例２
アロイポリマーＡとアロイポリマーＢを共に５０重量％としたこと以外は全て実施例１に従って実施した。

このシート状物の任意の面積１００μｍ^２範囲を１０ヶ所観測したところ、１０ヶ所の平均値でＮ６極細繊維の最小径１７ｎｍ、最大径１７８８ｎｍであり、範囲全体の繊維径ＣＶ％は５４．５％であった。一方、１〜３００ｎｍの繊維径ＣＶ％および存在比率を観測したところ、１０ヶ所の平均値でそれぞれ２４．０％、５８．０％であった。極細繊維間の交差点を数えたところ、表面０．０１ｍｍ^２中に平均で８０９個であり、分散性良好であった。

研磨特性および加工能率については、研磨量は２．８８ｍｇ、ディスクの表面粗さが０．１６ｎｍ、スクラッチ点数は３２であり、良好であった。物性値および加工テスト結果は表１に示す。

実施例３
アロイポリマーＡを２０重量％とアロイポリマーＢを８０重量％としてブレンドしたこと以外は全て実施例１に従って実施した。

このシート状物の任意の面積１００μｍ^２範囲を１０ヶ所観測したところ、１０ヶ所の平均値でＮ６極細繊維の最小径２０ｎｍ、最大径２２６８ｎｍであり、範囲全体の繊維径ＣＶ％は６２．７％であった。一方、１〜３００ｎｍの繊維径ＣＶ％および存在比率を観測したところ、１０ヶ所の平均値でそれぞれ３０．０％、３７．８％であった。極細繊維間の交差点を数えたところ、面積０．０１ｍｍ^２中に平均で７７１個であり、分散性良好であった。

研磨特性および加工能率については、研磨量は４．２７ｍｇ、ディスクの表面粗さが０．１９ｎｍ、スクラッチ点数は４９であり、良好であった。物性値および加工テスト結果は表１に示す。

実施例４
実施例１記載の方法でスクリュー回転数１００ｒｐｍ、吐出量２５ｋｇ／ｈｒ．としてアロイポリマーＣを得た。ポリマー中の難溶解性ポリマーの平均分散径を測定したところ、１３５７ｎｍであった（実施例１記載のアロイポリマーＡとの平均分散径比：２．３）。

アロイポリマーＢの代わりに、このアロイポリマーＣを用いたこと以外は全て実施例１に従って実施した。

このシート状物の任意の面積１００μｍ^２範囲を１０ヶ所観測したところ、１０ヶ所の平均値でＮ６極細繊維の最小径１２ｎｍ、最大径２３８１ｎｍであり、範囲全体の繊維径ＣＶ％は７３．２％であった。一方、１〜３００ｎｍの繊維径ＣＶ％および存在比率を観測したところ、１０ヶ所の平均値でそれぞれ１８．３％、８３．０％であった。極細繊維間の交差点を数えたところ、面積０．０１ｍｍ^２中に平均で９１３個であり、分散性良好であった。

研磨特性および加工能率については、研磨量は３．０２ｍｇ、ディスクの表面粗さが０．１４ｎｍ、スクラッチ点数は１８であり、良好であった。物性値および加工テスト結果は表１に示す。

実施例５
イソフタル酸を１０ｍｏｌ％共重合されたＰＢＴポリマー（ＰＢＴ−Ｉ）を２０重量％とポリ乳酸（ＰＬＡ）を８０重量％を独立にフィードし、温度２３０℃に設定した２軸押出混練機にて、スクリュー回転数４２０ｒｐｍ、吐出量１５ｋｇ／ｈｒ．として得たアロイポリマーＤおよびＰＢＴ−Ｉを４０重量％とＰＬＡ６０重量％とをスクリュー回転数３００ｒｐｍ、吐出量１５ｋｇ／ｈｒ．として得たアロイポリマーＥの２種類のアロイポリマーを得た。それぞれのポリマー中の難溶解性ポリマーの平均分散径を測定したところ、アロイポリマーＤは９９０ｎｍ、アロイポリマーＥは１８６３ｎｍであった（平均分散径比：１．７）。アロイポリマーＤおよびアロイポリマーＥを用いて複合繊維からなる不織布を作製した以外は全て実施例１に従って実施した。

得られたシート状物の任意の面積１００μｍ^２範囲を１０ヶ所観測したところ、１０ヶ所の平均値でＰＢＴ−Ｉの極細繊維の最小径６９ｎｍ、最大径１１７６ｎｍであり、範囲全体の繊維径ＣＶ％は５０．２％であった。一方、１〜３００ｎｍの繊維径ＣＶ％および存在比率を観測したところ、１０ヶ所の平均値でそれぞれ１４．６％、８３．６％であった。極細繊維間の交差点を数えたところ、面積０．０１ｍｍ^２中に平均で９０３個であり、分散性良好であった。

研磨特性および加工能率については、研磨量は３．６８ｍｇ、ディスクの表面粗さが０．１５ｎｍ、スクラッチ点数は２３であり、加工性も良好であった。物性値および加工テスト結果は表２に示す。

実施例６
実施例５記載の方法でスクリュー回転数２００ｒｐｍ、吐出量１５ｋｇ／ｈｒ．としてアロイポリマーＦを得た。アロイポリマーＦ中の難溶解性ポリマーの平均分散径を測定したところ、２８６３ｎｍであった（実施例５記載のアロイポリマーＤとの平均分散径比：２．９）。アロイポリマーＥの代わってアロイポリマーＦを用いたこと以外は全て実施例５に従って実施した。

得られたシート状物の任意の１００μｍ^２範囲を１０ヶ所観測したところ、１０ヶ所の平均値でＰＢＴ−Ｉの極細繊維の最小径７３ｎｍ、最大径１８７６ｎｍであり、範囲全体の繊維径ＣＶ％は５５．１％であった。一方、１〜３００ｎｍの繊維径ＣＶ％および存在比率を観測したところ、１０ヶ所の平均値でそれぞれ２０．０％、７６．０％であった。極細繊維間の交差点を数えたところ、表面０．０１ｍｍ^２中に平均で７１６個であり、分散性良好であった。

研磨特性および加工能率については、研磨量は５．３４ｍｇ、ディスクの表面粗さが０．２６ｎｍ、スクラッチ点数は３３であり、加工性も良好であった。物性値および加工テスト結果は表２に示す。

比較例１
実施例１におけるアロイポリマーＡのみで不織布を得ること以外は全て実施例１に従い実施した（難溶解性ポリマーの平均分散径は５９０ｎｍ）。

得られたシート状物の任意の面積１００μｍ^２範囲を１０ヶ所観測したところ、１０ヶ所の平均値でＮ６極細繊維の最小径１０ｎｍ、最大径３４６ｎｍであり、範囲全体の繊維径ＣＶ％は２７．５％であった。一方、１〜３００ｎｍの繊維径ＣＶ％および存在比率を観測したところ、１０ヶ所の平均値でそれぞれ１５．５％、９８．０％とという本発明の研磨布がえら得た。極細繊維間の交差点を数えたところ、面積０．０１ｍｍ^２中に平均で１２９０個であり、分散性良好であった。

研磨特性および加工能率については、研磨量は０．７８ｍｇ、ディスクの表面粗さが０．１２ｎｍ、スクラッチ点数は１５であり、研磨特性としては優れるものの、加工効率が本発明の研磨布と比較して低下する結果となった。物性値および加工テスト結果は表３に示す。

比較例２
実施例１と同様の方法でアロイ繊維からなる不織布とした後、ポリビニルアルコールを付与した後、ポリウレタンを付与し、熱水でＤＭＦおよびポリビニルアルコールを除去した。
次に、８０℃の４％水酸化ナトリウム水溶液にて３０分処理し、乾燥させることで、海成分であるＰＬＡを溶出させ、Ｎ６からなる極細繊維を発生させた。最後に、表面を実施例１と同様にサンドペーパーにて研削し、立毛処理を施した。

得られたシート状物の任意の面積１００μｍ^２範囲を１０ヶ所観測したところ、１０ヶ所の平均値でＮ６極細繊維の最小径１０ｎｍ、最大径３３２ｎｍであり、範囲全体の繊維径ＣＶ％は２６．３％であった。一方、１〜３００ｎｍの繊維径ＣＶ％および存在比率を観測したところ、１０ヶ所の平均値でそれぞれ１６．７％、９８．０％であった。また、表面の極細繊維はランダムに分散せず、荒れた表面であり、極細繊維間の交差点は、面積０．０１ｍｍ^２中に平均で１３０個であり、分散性は不良であった。

研磨特性および加工能率については、ディスクの表面粗さが０．２２ｎｍ、スクラッチ点数は１０５、研磨量は１．０２ｍｇであり、研磨特性、加工能率共に本発明の研磨布と比較して低下する結果となった。また、研磨加工面全体を観察すると、表面のうねりが大きく、均一性に欠けるものであった。物性値および加工テスト結果は表３に示す。

比較例３
Ｎ６を２０重量％とポリエチレン（ＰＥ）を８０重量％とをそれぞれのポリマーを独立にフィードし、２軸押出混練機にて２６０℃にて混練して紡糸口金温度２８５℃で口金孔より紡出した後、エジェクターにより紡糸速度３０００ｍ／分で紡糸し、移動するネットコンベアー上に捕集し、圧着率１６％のエンボスロールで温度９０℃、線圧２０ｋｇ／ｃｍの条件で熱圧着し、単繊維繊度２．０ｄｔｅｘ、目付２００ｇ／ｍ^２の不織布を得た。
該アロイ繊維からなる不織布に油剤（ＳＭ７０６０：東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社製）を繊維重量に対し２重量％付与し、３枚積層し、バーブ数１、バーブ深さ０．０６ｍｍのニードルを用いて、ニードルパンチを２０００本／ｃｍ^２施すことで目付６００ｇ／ｍ^２のアロイ繊維からなる不織布を得た。

この不織布を液温約８５℃、濃度約１２％のポリビニルアルコール溶液に含浸させ、ニップロールで窄液し、アロイ繊維重量に対して固形分で２０重量％のポリビニルアルコールを付与した後、乾燥した。次に、濃度約１２％のポリエステル・ポリエーテル系のポリウレタンのＤＭＦ溶液に含浸、ニップロールで窄液し、繊維重量に対して固形分で３０重量％のポリウレタンを付与し、液温３５℃の３０％ＤＭＦ水溶液でポリウレタンを凝固させ、約８５℃の熱水でＤＭＦおよびポリビニルアルコールを除去した。表面を実施例１と同様にサンドペーパーにて研削しアロイ繊維からなる立毛を形成させた。

最後に８５℃のトルエンにて１時間処理し、乾燥させることで、海成分であるＰＥを溶出させ、Ｎ６からなる極細繊維を発生させた。該溶出工程を液流染色機中にて揉み処理を行うことにより、シート状物に物理的刺激を付与し、研磨布表面に立毛を均一に分散させた。

得られたシート状物の任意の面積１００μｍ^２範囲を１０ヶ所観測したところ、１０ヶ所の平均値でＮ６極細繊維の最小径１１０ｎｍ、最大径１１３０ｎｍであり、範囲全体の繊維径ＣＶ％は３２．３％であった。一方、１〜３００ｎｍの繊維径ＣＶ％および存在比率を観測したところ、１０ヶ所の平均値でそれぞれ４４．５％、８．３％というシート状物が得られた。極細繊維間の交差点を数えたところ、面積０．０１ｍｍ^２中に平均で４４０個あり、分散性不良であった。

加工能率および研磨特性については、研磨量は４．４３ｍｇ、ディスクの表面粗さが０．３５ｎｍ、スクラッチ点数は１６０であり、研磨特性が本発明の研磨布と比較して低下する結果となった。また、テクスチャー加工面全体を観察すると、表面のうねりが大きく、テクスチャー痕の均一性に欠けるものであった。物性値および加工テスト結果は表３に示す。

比較例４
Ｎ６を５０重量％、ポリエチレン（ＰＥ）を４９．１重量％とポリエチレングリコールを０．９重量％とを混合し、２軸押出混練機にて２６０℃にて混練して紡糸口金温度２９０℃、紡糸速度３４００ｍ／分で紡糸し、未延伸糸を得た。得られた未延伸糸に油剤（ＳＭ７０６０：東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社製）を繊維重量に対し２重量％付与し、５１ｍｍにカットし、カード、クロスラッパー、ニードルロッカーを通し、圧着率１６％のエンボスロールで温度１４０℃、線圧２０ｋｇ／ｃｍの条件で熱圧着し、目付６７０ｇ／ｍ^２の不織布を得た。

この不織布を濃度約１２％のポリエステル・ポリエーテル系のポリウレタンのＤＭＦ溶液に含浸、ニップロールで窄液し、繊維重量に対して固形分で３５重量％のポリウレタンを付与し、液温３５℃の３０％ＤＭＦ水溶液でポリウレタンを凝固させた。最後に、８５℃のトルエンにて１時間処理し、乾燥させることで、海成分であるＰＥを溶出させ、Ｎ６からなる極細繊維を発生させた。

その後、表面を実施例１と同様にサンドペーパーにて研削し立毛を形成させた。得られたシート状物の任意の面積１００μｍ^２範囲を１０ヶ所観測したところ、１０ヶ所の平均値でＮ６極細繊維の最小径９５ｎｍ、最大径９９８ｎｍであり、範囲全体の繊維径ＣＶ％は３２．３％であった。一方、１〜３００ｎｍの繊維径ＣＶ％および存在比率を観測したところ、１０ヶ所の平均値でそれぞれ３９．８％、１０．４％であった。また、極細繊維束間の交差点を数えたところ、面積０．０１ｍｍ^２中に平均で４０ヶ所あり、分散性不良であった。

加工能率および研磨特性については、研磨量は２．２４ｍｇ、ディスクの表面粗さが０．３５ｎｍ、スクラッチ点数は１６０であり、研磨特性が本発明の研磨布と比較して低下する結果となった。また、テクスチャー加工面全体を観察すると、表面のうねりが大きく、テクスチャー痕の均一性に欠けるものであった。物性値および加工テスト結果は表３に示す。

Claims (7)

1. 熱可塑性ポリマーからなる極細繊維を有するシート状物であって、任意の面積１００μｍ^２の範囲に存在する極細繊維が
   （Ａ）繊維径ＣＶ％≧４０％
   （Ｂ）繊維径１〜３００ｎｍである極細繊維の繊維径ＣＶ％≦３０％
   （Ｃ）繊維径１〜３００ｎｍである極細繊維の存在比率が１０〜９０％
   であることを特徴とするシート状物。
2. シート状物の任意の面積０．０１ｍｍ^２の範囲、５０ヶ所において、極細繊維の交差点が平均５００個以上存在することを特徴とする請求項１記載のシート状物。
3. シート状物が研磨布であることを特徴とする請求項１または２記載のシート状物。
4. シート状物がクリーニング布であることを特徴とする請求項１または２記載のシート状物。
5. 平均分散径が異なるアロイポリマーを２種類以上ブレンド、紡糸して得られるアロイ繊維から成る不織布を作製し、該不織布に高分子弾性体を付与し、立毛処理を施した後、該アロイ繊維から易溶解性ポリマーを溶解除去することを特徴とするシート状物の製造方法。
6. 少なくとも１種類のアロイポリマーの難溶解性ポリマーの平均分散径が１０００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項５記載のシート状物の製造方法。
7. 平均分散径が異なるアロイポリマーを２種類以上ブレンドするに際し、平均分散径が最大のアロイポリマーと最小のアロイポリマーとの平均分散径比が１．５以上であることを特徴とする請求項５または６に記載のシート状物の製造方法。