JP2008175265A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101013137B1 (ko) * 2010-11-19 2011-02-10 이동민 진공 공정용 밸브
WO2012105109A1 (ja) * 2011-02-02 2012-08-09 シーケーディ株式会社 真空制御バルブ、真空制御装置、およびコンピュータプログラム
JP2012237426A (ja) 2011-05-13 2012-12-06 Smc Corp 真空弁用ベローズ
JP5993191B2 (ja) 2012-04-23 2016-09-14 Ckd株式会社 リニアアクチュエータ、真空制御装置およびコンピュータプログラム
JP6160926B2 (ja) * 2014-06-05 2017-07-12 Smc株式会社 ゲートバルブ
CN105443778B (zh) * 2014-09-28 2018-01-02 新莱应材科技有限公司 两段式角阀
US20170241563A1 (en) * 2016-02-19 2017-08-24 Caterpillar Global Mining America Llc Valve assembly and method
EP3287681B1 (en) * 2016-08-26 2020-02-19 King Lai Hygienic Materials Co., Ltd. Right angle valve
DE102021102284A1 (de) * 2021-02-01 2022-08-04 Vat Holding Ag Ventilplatte für eine Verschlusseinrichtung zum vakuumdichten Verschließen einer Öffnung in einer Wand
DE102021102283A1 (de) * 2021-02-01 2022-08-04 Vat Holding Ag Verschlussvorrichtung zum vakuumdichten Verschließen einer Öffnung in einer Wand

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55151952U (enExample) * 1979-04-18 1980-11-01
JPS614060U (ja) * 1984-06-15 1986-01-11 イーグル工業株式会社 接合ベロ−ズ
DE3508318C1 (de) * 1985-03-08 1986-07-24 Schertler, Siegfried, Haag Absperrklappe
JPH0544628Y2 (enExample) * 1988-12-05 1993-11-12
JPH044367A (ja) * 1990-04-19 1992-01-08 Fuji Seiki Kk バタフライ開閉弁
JP2866470B2 (ja) * 1990-11-09 1999-03-08 株式会社日立製作所 ベローズ弁用ベローズ
JPH07198063A (ja) 1993-12-28 1995-08-01 Benkan Corp Ｃｖｄ装置の真空排気弁
FR2721085B1 (fr) * 1994-06-10 1996-07-12 Commissariat Energie Atomique Système à joint d'étanchéité comprimé entre deux portées non parallèles.
JP2995450B2 (ja) * 1994-06-24 1999-12-27 株式会社ベンカン Ｃｖｄ装置の真空排気弁
US5749227A (en) * 1995-06-07 1998-05-12 Electric Boat Corporation Steam seal air removal system
JP3496059B2 (ja) 1995-11-07 2004-02-09 Ｓｍｃ株式会社 高真空バルブ
EP0780615B1 (en) * 1995-12-21 1999-08-18 Benkan Corporation Vacuum exhaust valve
JP3556565B2 (ja) * 2000-04-14 2004-08-18 川重冷熱工業株式会社 高精度安全弁
JP2001349468A (ja) * 2000-06-06 2001-12-21 Smc Corp 開閉バルブ
JP3445569B2 (ja) * 2000-09-18 2003-09-08 Ｓｍｃ株式会社 パイロット式２ポート真空バルブ
JP3994117B2 (ja) * 2002-11-07 2007-10-17 Ｓｍｃ株式会社 ヒーター付きポペット弁
JP4143718B2 (ja) * 2002-11-22 2008-09-03 独立行政法人産業技術総合研究所 動作圧可変型圧力リリーフ弁
JP4217965B2 (ja) * 2003-09-02 2009-02-04 Ｓｍｃ株式会社 真空調圧用バルブ
JP2005155835A (ja) * 2003-11-27 2005-06-16 Saginomiya Seisakusho Inc 金属ベローズ、金属ベローズ・金属部材接合品およびその製造方法
JP2006292137A (ja) * 2005-04-14 2006-10-26 Ckd Corp 流量制御弁

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