JP3496059B2 - 高真空バルブ - Google Patents
高真空バルブInfo
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- JP3496059B2 JP3496059B2 JP31352395A JP31352395A JP3496059B2 JP 3496059 B2 JP3496059 B2 JP 3496059B2 JP 31352395 A JP31352395 A JP 31352395A JP 31352395 A JP31352395 A JP 31352395A JP 3496059 B2 JP3496059 B2 JP 3496059B2
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- Japan
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- valve
- metal bellows
- valve body
- process chamber
- chamber
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高真空バルブに関
するものである。 【０００２】 【従来の技術】真空ポンプに接続されるポンプポート
と、プロセスチャンバに接続されるチャンバポートと、
これらのポート間の流路に設けた弁座と、該弁座を開閉
する弁体と、該弁体を駆動する弁体駆動部と、上記流路
と弁体駆動部との間を気密にシールするメタルベローズ
とを備えた高真空バルブは、特に例示するまでもなく既
に知られている。上記公知の高真空バルブは、バルブ内
が１０-3〜１０-9トルの高真空となるために、流路と弁
体駆動部との間を合成ゴム等のシール材でシールする
と、外気がシール材を通ってバルブ内にリークするの
で、流路と弁体駆動部との間をメタルベローズによって
気密にシールしている。 【０００３】しかしながら、上記高真空バルブは、プロ
セスチャンバにおいて発生した反応生成物が気体ととも
にバルブ内を流れるために、この反応生成物がメタルベ
ローズに付着して、以下に述べる問題を生じる。即ち、
反応生成物がメタルベローズの表面に不均一付着してそ
の撓みが不均一になるので、メタルベローズの応力が局
部的に大きくなって設計上の寿命が大幅に低下する。ま
た、腐食性の気体や反応生成物の付着によって、メタル
ベローズの耐久性が著しく低下する。特に、メタルベロ
ーズが高応力下で腐食性物質に接触すると、応力腐食割
れを生じて耐久性低下の大きな要因となる。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、プロセスチャンバにおいて発生する反応生
成物がメタルベローズに付着しないようにした高真空バ
ルブを提供することにある。 【０００５】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の高真空バルブは、真空ポンプに接続される
ポンプポートと、プロセスチャンバに接続されるチャン
バポートと、これらのポート間の流路に設けた弁座と、
該弁座を開閉する弁体と、該弁体を駆動する弁体駆動部
と、上記流路と弁体駆動部との間を気密にシールするメ
タルベローズとを備えた高真空バルブにおいて、上記高
真空バルブが、上記メタルベローズの外周の一部を覆っ
て、プロセスチャンバにおいて発生した反応生成物のメ
タルベローズへの付着を防止する付着防止板を備えてお
り、該付着防止板が、少なくともチャンバポートの開口
面を覆う高さを有し上記メタルベローズの反応生成物が
付着し易いチャンバポートに対向する箇所及びその近く
を覆う、下端が弁体の外周に取付けられ上端がバルブ内
に開放され円周方向の一部が切り欠かれている略円筒状
をしていることを特徴としている。 【０００６】 【０００７】 【発明の実施の形態】弁体駆動部によって弁体が弁座を
開口すると、チャンバポートがポンプポートに連通し
て、プロセスチャンバ内の気体がバルブを通って真空ポ
ンプに吸引される。この場合、プロセスチャンバにおい
て発生した反応生成物が気体とともに吸引されるが、こ
の反応生成物はメタルベローズを覆う付着防止板に付着
するので、メタルベローズに付着することを防止でき
る。したがって、メタルベローズの寿命を長くすること
ができ、かつメタルベローズを耐腐食性が低い安価な素
材で形成することができる。また、付着防止板は、メタ
ルベローズに比べて生成物の除去が容易であり、安価な
素材で形成して使い捨てとすることもできる。上記付着
防止板は、必ずしもメタルベローズの全周を覆う必要は
なく、反応生成物が付着し易いチャンバポートに対向す
る箇所及びその近くを覆うものとすることができる。 【０００８】プロセスチャンバにおいて発生した反応生
成物は、弁体が弁座を閉鎖している場合においてもメタ
ルベローズに付着する恐れがあるが、付着防止板を弁体
に取付けることによって、弁体が弁座を閉鎖した場合に
おいても、反応生成物がメタルベローズに付着すること
を防止できる。また、弁体が弁座を開放すると、付着防
止板が弁体とともに移動するので、付着防止板がバルブ
を流れる気体等の流れの障害にならない。 【０００９】 【実施例】図は本発明の実施例を示し、この高真空バル
ブ１は、ボディ２と、シール材（図示省略）を介してボ
ディ２に気密に取付けられたボンネット３と、ボンネッ
ト３に組み込まれた弁体駆動部４（図示の例は空気圧シ
リンダ）とを備え、ボディ２は、真空ポンプに接続され
るポンプポート５と、プロセスチャンバに接続されるチ
ャンバポート６と、これらのポートを連通させる流路７
中の弁座８とを備えている。上記ボンネット３は、ボデ
ィ２と反対側が開口するシリンダ１０と、シリンダ１０
の開口に止め輪によって取付けられたエンドプレート１
３と、圧縮空気の給排ポート１２とを備え、給排ポート
１２はシリンダ１０を摺動するピストン１１によって区
画されたシリンダ室１４に開口し、呼吸室１５はエンド
プレート１３に設けた呼吸孔１３ａによって外部に連通
している。 【００１０】上記弁座８を開閉する弁体１６は、弁座８
を気密にシールするシール材１７を有し、ボンネット３
を貫通する弁棒１８の一端に適宜の手段によって取付け
られており、弁棒１８の他端にはピストン１１がナット
によって取付けられている。また弁体１６は、ボンネッ
ト３との間に縮設された復帰ばね１９によって、弁座８
を閉鎖する方向に付勢されている。しかしながら、本発
明の弁体駆動部４は、図示の空気圧シリンダに限定され
るものではなく、弁体１６が弁座８を開閉するものであ
ればよい。流路７と弁体駆動部４との間を気密にシール
するメタルベローズ２１は、一端が弁体１６に、他端が
ボディ２に気密に取付けられた環状のメタルプレート２
０に、溶接等の手段によって気密に取付けられている。 【００１１】上記高真空バルブ１には、プロセスチャン
バにおいて発生した反応生成物がメタルベローズ２１に
付着することを防止するために、円周方向の一部を切り
欠いた略円筒状の付着防止板２２が設けられている（図
２も参照）。ステンレス鋼のような耐食性を有する金属
によって形成された上記付着防止板２２は、図における
下端が弁体１６の外周に適宜の手段によって取付けら
れ、少なくともチャンバポート６の開口面を覆う高さを
有する先端がボンネット２に向いて伸び、これによって
メタルベローズ２１の外周を覆っている。高真空バルブ
１のプロセスチャンバとチャンバポート６の近くにおけ
る気体の流れは、通常分子流（気体同士が互いに一度も
衝突しない間に管壁に当たる流れをいう）のため、図２
に示すように、付着防止板２２は必ずしもメタルベロー
ズ２１の全周を覆わなくてもよい。 【００１２】上記実施例は、給排ポート１２からシリン
ダ室１４に圧縮空気を供給すると、ピストン１１が図に
おいて上動して弁体１６が弁座８を開放するので、プロ
セスチャンバ内の空気等の気体がバルブ１を通って真空
ポンプに吸引される。この場合、プロセスチャンバにお
いて発生した反応生成物が、気体とともにバルブ１に吸
引されるが、この生成物はメタルベローズ２１を覆う付
着防止板２２に付着するので、メタルベローズ２１に付
着することが防止される。また、付着防止板２２の下端
を弁体１６に取付けたことにより、弁体１６が弁座８を
閉鎖しているときでも、プロセスチャンバにおいて発生
した反応生成物がメタルベローズ２１に付着することを
防止することができ、弁体１６が弁座８を開放すると、
付着防止板２２がメタルベローズ２１の外周を覆った状
態で弁体１６とともに移動するので、付着防止板２２が
バルブを流れる気体等の流れの障害にならない。しかし
ながら、付着防止板２２を弁体１６の外周に取付けるこ
となく、適宜の手段によってボディ２に固定して、メタ
ルベローズ２１の外周を覆うようにすることもできる。 【００１３】上記実施例は、付着防止板２２によって、
プロセスチャンバにおいて発生した反応生成物がメタル
ベローズ２１に付着しないために、メタルベローズ２１
が不均一に撓むことがないので、メタルベローズが設計
上の耐久性を得ることができる。また、プロセスチャン
バにおける腐食性の気体や反応生成物に起因するメタル
ベローズ２１の応力腐食割れの恐れがないので、メタル
ベローズ２１にハステロイ等の高価な高耐食性の素材を
使用する必要がなく、これに比べて安価なＳＵＳ３１６
等を使用することができる。さらに、付着防止板２２の
表面が平滑なために、凹凸面が多いメタルベローズ２１
に比べて付着物の除去が簡単であり、必要により使い捨
てとすることもできる。 【００１４】 【発明の効果】本発明の高真空バルブは、付着防止板に
よって、プロセスチャンバにおいて発生する反応生成物
がメタルベローズに付着しないので、メタルベローズの
撓みが均一となって設計上の耐久性を得ることができ
る。また、腐食性の気体や腐食性の生成物によるメタル
ベローズの応力腐食割れの恐れがないので、メタルベロ
ーズを安価な素材で形成することができ、これによって
高真空バルブを全体として安価なものとすることができ
る。さらに、付着防止板に付着した付着物は除去が簡単
であり、使い捨てとすることもできる。また、付着防止
板を弁体と一体移動可能としたことにより、付着防止板
がバルブ内の流れの障害にならない。
するものである。 【０００２】 【従来の技術】真空ポンプに接続されるポンプポート
と、プロセスチャンバに接続されるチャンバポートと、
これらのポート間の流路に設けた弁座と、該弁座を開閉
する弁体と、該弁体を駆動する弁体駆動部と、上記流路
と弁体駆動部との間を気密にシールするメタルベローズ
とを備えた高真空バルブは、特に例示するまでもなく既
に知られている。上記公知の高真空バルブは、バルブ内
が１０-3〜１０-9トルの高真空となるために、流路と弁
体駆動部との間を合成ゴム等のシール材でシールする
と、外気がシール材を通ってバルブ内にリークするの
で、流路と弁体駆動部との間をメタルベローズによって
気密にシールしている。 【０００３】しかしながら、上記高真空バルブは、プロ
セスチャンバにおいて発生した反応生成物が気体ととも
にバルブ内を流れるために、この反応生成物がメタルベ
ローズに付着して、以下に述べる問題を生じる。即ち、
反応生成物がメタルベローズの表面に不均一付着してそ
の撓みが不均一になるので、メタルベローズの応力が局
部的に大きくなって設計上の寿命が大幅に低下する。ま
た、腐食性の気体や反応生成物の付着によって、メタル
ベローズの耐久性が著しく低下する。特に、メタルベロ
ーズが高応力下で腐食性物質に接触すると、応力腐食割
れを生じて耐久性低下の大きな要因となる。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、プロセスチャンバにおいて発生する反応生
成物がメタルベローズに付着しないようにした高真空バ
ルブを提供することにある。 【０００５】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の高真空バルブは、真空ポンプに接続される
ポンプポートと、プロセスチャンバに接続されるチャン
バポートと、これらのポート間の流路に設けた弁座と、
該弁座を開閉する弁体と、該弁体を駆動する弁体駆動部
と、上記流路と弁体駆動部との間を気密にシールするメ
タルベローズとを備えた高真空バルブにおいて、上記高
真空バルブが、上記メタルベローズの外周の一部を覆っ
て、プロセスチャンバにおいて発生した反応生成物のメ
タルベローズへの付着を防止する付着防止板を備えてお
り、該付着防止板が、少なくともチャンバポートの開口
面を覆う高さを有し上記メタルベローズの反応生成物が
付着し易いチャンバポートに対向する箇所及びその近く
を覆う、下端が弁体の外周に取付けられ上端がバルブ内
に開放され円周方向の一部が切り欠かれている略円筒状
をしていることを特徴としている。 【０００６】 【０００７】 【発明の実施の形態】弁体駆動部によって弁体が弁座を
開口すると、チャンバポートがポンプポートに連通し
て、プロセスチャンバ内の気体がバルブを通って真空ポ
ンプに吸引される。この場合、プロセスチャンバにおい
て発生した反応生成物が気体とともに吸引されるが、こ
の反応生成物はメタルベローズを覆う付着防止板に付着
するので、メタルベローズに付着することを防止でき
る。したがって、メタルベローズの寿命を長くすること
ができ、かつメタルベローズを耐腐食性が低い安価な素
材で形成することができる。また、付着防止板は、メタ
ルベローズに比べて生成物の除去が容易であり、安価な
素材で形成して使い捨てとすることもできる。上記付着
防止板は、必ずしもメタルベローズの全周を覆う必要は
なく、反応生成物が付着し易いチャンバポートに対向す
る箇所及びその近くを覆うものとすることができる。 【０００８】プロセスチャンバにおいて発生した反応生
成物は、弁体が弁座を閉鎖している場合においてもメタ
ルベローズに付着する恐れがあるが、付着防止板を弁体
に取付けることによって、弁体が弁座を閉鎖した場合に
おいても、反応生成物がメタルベローズに付着すること
を防止できる。また、弁体が弁座を開放すると、付着防
止板が弁体とともに移動するので、付着防止板がバルブ
を流れる気体等の流れの障害にならない。 【０００９】 【実施例】図は本発明の実施例を示し、この高真空バル
ブ１は、ボディ２と、シール材（図示省略）を介してボ
ディ２に気密に取付けられたボンネット３と、ボンネッ
ト３に組み込まれた弁体駆動部４（図示の例は空気圧シ
リンダ）とを備え、ボディ２は、真空ポンプに接続され
るポンプポート５と、プロセスチャンバに接続されるチ
ャンバポート６と、これらのポートを連通させる流路７
中の弁座８とを備えている。上記ボンネット３は、ボデ
ィ２と反対側が開口するシリンダ１０と、シリンダ１０
の開口に止め輪によって取付けられたエンドプレート１
３と、圧縮空気の給排ポート１２とを備え、給排ポート
１２はシリンダ１０を摺動するピストン１１によって区
画されたシリンダ室１４に開口し、呼吸室１５はエンド
プレート１３に設けた呼吸孔１３ａによって外部に連通
している。 【００１０】上記弁座８を開閉する弁体１６は、弁座８
を気密にシールするシール材１７を有し、ボンネット３
を貫通する弁棒１８の一端に適宜の手段によって取付け
られており、弁棒１８の他端にはピストン１１がナット
によって取付けられている。また弁体１６は、ボンネッ
ト３との間に縮設された復帰ばね１９によって、弁座８
を閉鎖する方向に付勢されている。しかしながら、本発
明の弁体駆動部４は、図示の空気圧シリンダに限定され
るものではなく、弁体１６が弁座８を開閉するものであ
ればよい。流路７と弁体駆動部４との間を気密にシール
するメタルベローズ２１は、一端が弁体１６に、他端が
ボディ２に気密に取付けられた環状のメタルプレート２
０に、溶接等の手段によって気密に取付けられている。 【００１１】上記高真空バルブ１には、プロセスチャン
バにおいて発生した反応生成物がメタルベローズ２１に
付着することを防止するために、円周方向の一部を切り
欠いた略円筒状の付着防止板２２が設けられている（図
２も参照）。ステンレス鋼のような耐食性を有する金属
によって形成された上記付着防止板２２は、図における
下端が弁体１６の外周に適宜の手段によって取付けら
れ、少なくともチャンバポート６の開口面を覆う高さを
有する先端がボンネット２に向いて伸び、これによって
メタルベローズ２１の外周を覆っている。高真空バルブ
１のプロセスチャンバとチャンバポート６の近くにおけ
る気体の流れは、通常分子流（気体同士が互いに一度も
衝突しない間に管壁に当たる流れをいう）のため、図２
に示すように、付着防止板２２は必ずしもメタルベロー
ズ２１の全周を覆わなくてもよい。 【００１２】上記実施例は、給排ポート１２からシリン
ダ室１４に圧縮空気を供給すると、ピストン１１が図に
おいて上動して弁体１６が弁座８を開放するので、プロ
セスチャンバ内の空気等の気体がバルブ１を通って真空
ポンプに吸引される。この場合、プロセスチャンバにお
いて発生した反応生成物が、気体とともにバルブ１に吸
引されるが、この生成物はメタルベローズ２１を覆う付
着防止板２２に付着するので、メタルベローズ２１に付
着することが防止される。また、付着防止板２２の下端
を弁体１６に取付けたことにより、弁体１６が弁座８を
閉鎖しているときでも、プロセスチャンバにおいて発生
した反応生成物がメタルベローズ２１に付着することを
防止することができ、弁体１６が弁座８を開放すると、
付着防止板２２がメタルベローズ２１の外周を覆った状
態で弁体１６とともに移動するので、付着防止板２２が
バルブを流れる気体等の流れの障害にならない。しかし
ながら、付着防止板２２を弁体１６の外周に取付けるこ
となく、適宜の手段によってボディ２に固定して、メタ
ルベローズ２１の外周を覆うようにすることもできる。 【００１３】上記実施例は、付着防止板２２によって、
プロセスチャンバにおいて発生した反応生成物がメタル
ベローズ２１に付着しないために、メタルベローズ２１
が不均一に撓むことがないので、メタルベローズが設計
上の耐久性を得ることができる。また、プロセスチャン
バにおける腐食性の気体や反応生成物に起因するメタル
ベローズ２１の応力腐食割れの恐れがないので、メタル
ベローズ２１にハステロイ等の高価な高耐食性の素材を
使用する必要がなく、これに比べて安価なＳＵＳ３１６
等を使用することができる。さらに、付着防止板２２の
表面が平滑なために、凹凸面が多いメタルベローズ２１
に比べて付着物の除去が簡単であり、必要により使い捨
てとすることもできる。 【００１４】 【発明の効果】本発明の高真空バルブは、付着防止板に
よって、プロセスチャンバにおいて発生する反応生成物
がメタルベローズに付着しないので、メタルベローズの
撓みが均一となって設計上の耐久性を得ることができ
る。また、腐食性の気体や腐食性の生成物によるメタル
ベローズの応力腐食割れの恐れがないので、メタルベロ
ーズを安価な素材で形成することができ、これによって
高真空バルブを全体として安価なものとすることができ
る。さらに、付着防止板に付着した付着物は除去が簡単
であり、使い捨てとすることもできる。また、付着防止
板を弁体と一体移動可能としたことにより、付着防止板
がバルブ内の流れの障害にならない。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例の半部縦断面図である。
【図２】一部を省略した図１のＡ−Ａ断面図である。
【符号の説明】
１ 高真空ポンプ
４ 弁体駆動部
５ ポンプポート
６ チャンバポート
７ 流路
８ 弁座
１６ 弁体
２１ メタルベローズ
２２ 付着防止板
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平２−296087（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−42872（ＪＰ，Ａ)
実開 平３−107587（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭58−4874（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭55−90868（ＪＰ，Ｕ)
実開 平６−37673（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F16K 41/10
F16K 51/00
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】真空ポンプに接続されるポンプポートと、
プロセスチャンバに接続されるチャンバポートと、これ
らのポート間の流路に設けた弁座と、該弁座を開閉する
弁体と、該弁体を駆動する弁体駆動部と、上記流路と弁
体駆動部との間を気密にシールするメタルベローズとを
備えた高真空バルブにおいて、 上記高真空バルブが、上記メタルベローズの外周の一部
を覆って、プロセスチャンバにおいて発生した反応生成
物のメタルベローズへの付着を防止する付着防止板を備
えており、 該付着防止板が、少なくともチャンバポートの開口面を
覆う高さを有し上記メタルベローズの反応生成物が付着
し易いチャンバポートに対向する箇所及びその近くを覆
う、下端が弁体の外周に取付けられ上端がバルブ内に開
放され円周方向の一部が切り欠かれている略円筒状をし
ている、 ことを特徴とする高真空バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31352395A JP3496059B2 (ja) | 1995-11-07 | 1995-11-07 | 高真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31352395A JP3496059B2 (ja) | 1995-11-07 | 1995-11-07 | 高真空バルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09133238A JPH09133238A (ja) | 1997-05-20 |
| JP3496059B2 true JP3496059B2 (ja) | 2004-02-09 |
Family
ID=18042344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31352395A Expired - Lifetime JP3496059B2 (ja) | 1995-11-07 | 1995-11-07 | 高真空バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3496059B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4217965B2 (ja) | 2003-09-02 | 2009-02-04 | Ｓｍｃ株式会社 | 真空調圧用バルブ |
| JP4247576B2 (ja) * | 2004-05-14 | 2009-04-02 | Ｓｍｃ株式会社 | 排気弁 |
| JP5066724B2 (ja) | 2007-01-17 | 2012-11-07 | Ｓｍｃ株式会社 | 高真空バルブ |
-
1995
- 1995-11-07 JP JP31352395A patent/JP3496059B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09133238A (ja) | 1997-05-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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