JP2995450B2 - Ｃｖｄ装置の真空排気弁 - Google Patents
Ｃｖｄ装置の真空排気弁Info
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- JP2995450B2 JP2995450B2 JP6165945A JP16594594A JP2995450B2 JP 2995450 B2 JP2995450 B2 JP 2995450B2 JP 6165945 A JP6165945 A JP 6165945A JP 16594594 A JP16594594 A JP 16594594A JP 2995450 B2 JP2995450 B2 JP 2995450B2
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- lead wire
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＣＶＤ装置の真空排気
弁に関する。
弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＣＶＤ装置の真空排気系に設けら
れる弁は、図６に示すように右側にガス流入口１を有
し、下側にガス流出口２を有する弁箱３内で、上側のア
クチュエータ４により開閉動作する弁体５の作動連結部
をベローズ６でシールしている。弁体５の弁座７に当接
するシールガスケット８にはフッ素ゴムが用いられてい
る。ところで、排ガス温度が１３０℃以下だと、弁座７
やシートガスケット８の表面及びベローズ６に生成物が
付着し、閉弁時、ガスがリークする。この為、弁を加熱
するのであるが、シートガスケット８にフッ素ゴムを使
用しているので、弁の加熱の限界が１５０℃程度であ
る。しかし、弁箱３の外面に取付けたラバーヒータ９の
加熱では、外部が１５０℃でも内部は８０℃程度であ
り、弁内が真空の場合はさらに低い。このようにラバー
ヒータ９による外部からの加熱では、弁箱３と内部との
温度差が大きく、弁体５やベローズ６を１３０℃以上に
加熱できず、弁体５やベローズ６は生成物の付着を余儀
なくされていた。従って、弁内の洗浄を頻繁に行わなけ
ればならず、ベローズの寿命も短く、弁の耐久性が乏し
かった。
れる弁は、図６に示すように右側にガス流入口１を有
し、下側にガス流出口２を有する弁箱３内で、上側のア
クチュエータ４により開閉動作する弁体５の作動連結部
をベローズ６でシールしている。弁体５の弁座７に当接
するシールガスケット８にはフッ素ゴムが用いられてい
る。ところで、排ガス温度が１３０℃以下だと、弁座７
やシートガスケット８の表面及びベローズ６に生成物が
付着し、閉弁時、ガスがリークする。この為、弁を加熱
するのであるが、シートガスケット８にフッ素ゴムを使
用しているので、弁の加熱の限界が１５０℃程度であ
る。しかし、弁箱３の外面に取付けたラバーヒータ９の
加熱では、外部が１５０℃でも内部は８０℃程度であ
り、弁内が真空の場合はさらに低い。このようにラバー
ヒータ９による外部からの加熱では、弁箱３と内部との
温度差が大きく、弁体５やベローズ６を１３０℃以上に
加熱できず、弁体５やベローズ６は生成物の付着を余儀
なくされていた。従って、弁内の洗浄を頻繁に行わなけ
ればならず、ベローズの寿命も短く、弁の耐久性が乏し
かった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、弁内
を、弁体やベローズ等に生成物が付着しないように安定
した加熱を行うことができるようにしたＣＶＤ装置の真
空排気弁を提供しようとするものである。
を、弁体やベローズ等に生成物が付着しないように安定
した加熱を行うことができるようにしたＣＶＤ装置の真
空排気弁を提供しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のＣＶＤ装置の真空排気弁は、一側にガス流入
口又はガス流出口を有し、下側にガス流出口又はガス流
入口を有する弁箱内で、上側のアクチュエータにより開
閉動作する弁体の作動連結部をベローズでシールしたＣ
ＶＤ装置の真空排気弁に於いて、前記ベローズ内で弁体
の作動連結部の外周側に弾性伸縮可能なコイル状のシー
スヒータを配し、その下端を弁体の上側に固定し、上端
を弁箱内天井面で固定の上、弁箱外のリード線に接続し
てなるものである。前記シースヒータのみで弁内を１８
０〜２００℃に連続加熱する場合もあるが、シースヒー
タを温度制御する場合は、弁箱内でシースヒータの内周
側に、同一レベルで、同一コイル数のシース熱電対を同
心に配し、その下端を弁体の上側に固定し、上端を弁箱
内天井面で固定の上、弁箱外のリード線に接続する。上
記はシースヒータを弁箱内から温度制御するものである
が、弁箱外から温度制御するように温度調整器を設け、
この温度調整器にシースヒータのリード線及びシース熱
電対のリード線を接続するようにしても良い。また、弁
内を内部からシースヒータにより加熱するばかりではな
く、弁箱の外面にラバーヒータを取付けて、弁の外部か
らも加熱するようにしても良い。この場合、それらの温
度制御は弁外の温度調整器により行うようにすると良
い。
の本発明のＣＶＤ装置の真空排気弁は、一側にガス流入
口又はガス流出口を有し、下側にガス流出口又はガス流
入口を有する弁箱内で、上側のアクチュエータにより開
閉動作する弁体の作動連結部をベローズでシールしたＣ
ＶＤ装置の真空排気弁に於いて、前記ベローズ内で弁体
の作動連結部の外周側に弾性伸縮可能なコイル状のシー
スヒータを配し、その下端を弁体の上側に固定し、上端
を弁箱内天井面で固定の上、弁箱外のリード線に接続し
てなるものである。前記シースヒータのみで弁内を１８
０〜２００℃に連続加熱する場合もあるが、シースヒー
タを温度制御する場合は、弁箱内でシースヒータの内周
側に、同一レベルで、同一コイル数のシース熱電対を同
心に配し、その下端を弁体の上側に固定し、上端を弁箱
内天井面で固定の上、弁箱外のリード線に接続する。上
記はシースヒータを弁箱内から温度制御するものである
が、弁箱外から温度制御するように温度調整器を設け、
この温度調整器にシースヒータのリード線及びシース熱
電対のリード線を接続するようにしても良い。また、弁
内を内部からシースヒータにより加熱するばかりではな
く、弁箱の外面にラバーヒータを取付けて、弁の外部か
らも加熱するようにしても良い。この場合、それらの温
度制御は弁外の温度調整器により行うようにすると良
い。
【０００５】
【作用】上記のように本発明の真空排気弁は、ベローズ
内で弁体の作動連結部の外周側に弾性伸縮可能なコイル
状のシースヒータを配し、その下端を弁体の上側に固定
し、上端を弁箱内天井面で固定の上、弁箱外のリード線
に接続しているので、弁開及び弁閉時、シースヒータは
弁体の昇降と一体に短縮、伸長して弾性変位するので、
弁体やベローズはくまなく平均的に安定して加熱され、
特にシースヒータの内側にシース熱電対を備えている場
合は、シーヒータによる加熱温度を所要の範囲に設定で
きて、安定した温度制御ができる。従って、弁体やベロ
ーズに生成物が付着しにくくなり、弁内の洗浄の頻度が
激減し、ベローズの寿命が延び、弁の耐久性が向上す
る。また、シースヒータは、弾性伸縮可能に金属パイプ
をコイルスプリング状に成形し、その内部にヒータ線を
通したものであるから、弁の開閉動作時ヒータ線は引張
りや曲げ等の外力を受けずにコイルスプリング状の金属
パイプ内で自由に変位し、摩滅や断線等が生じることが
ない。
内で弁体の作動連結部の外周側に弾性伸縮可能なコイル
状のシースヒータを配し、その下端を弁体の上側に固定
し、上端を弁箱内天井面で固定の上、弁箱外のリード線
に接続しているので、弁開及び弁閉時、シースヒータは
弁体の昇降と一体に短縮、伸長して弾性変位するので、
弁体やベローズはくまなく平均的に安定して加熱され、
特にシースヒータの内側にシース熱電対を備えている場
合は、シーヒータによる加熱温度を所要の範囲に設定で
きて、安定した温度制御ができる。従って、弁体やベロ
ーズに生成物が付着しにくくなり、弁内の洗浄の頻度が
激減し、ベローズの寿命が延び、弁の耐久性が向上す
る。また、シースヒータは、弾性伸縮可能に金属パイプ
をコイルスプリング状に成形し、その内部にヒータ線を
通したものであるから、弁の開閉動作時ヒータ線は引張
りや曲げ等の外力を受けずにコイルスプリング状の金属
パイプ内で自由に変位し、摩滅や断線等が生じることが
ない。
【０００６】
【実施例】本発明によるＣＶＤ装置の真空排気弁の一実
施例を図によって説明すると、図１に示すように一側に
ガス流入口１を有し、下側にガス流出口２を有する弁箱
３内で、上側にアクチュエータ、本例の場合エアーシリ
ンダー４により開閉動作する弁体５の作動連結部をベロ
ーズ６でシールし、弁座７に当接する弁体５のシートガ
スケット８にフッ素ゴムを用いた真空排気弁に於いて、
前記ベローズ６の内部にて前記エアーシリンダー４のピ
ストンロッド９及びこれに連結されて前記弁体５の上面
中央のホルダー１０に連結された押し棒１１をスライド
させる弁箱３の上板１２の中央より垂設された筒状体１
３の外周側に、弾性伸縮可能なシースヒータ１４を配し
ている。この弾性伸縮可能なシースヒータ１４は、弾性
伸縮可能に金属パイプをコイルスプリング状に成形し、
その内部にヒータ線を通したものであり、その下端は渦
巻状に内方に巻いて弁体５の上面のホルダー１０上に環
状板１５にて押え、ボルト１６にて締付け固定し、上端
は弁箱３内の天井面で固定の上、弁箱３外のリード線１
７に接続されている。尚、他の実施例として、前記シー
スヒータ１４の内周側に、図３に示すように同一レベ
ル、同一コイル数でシース熱電対１８が同心に配され、
その下端が弁体５の上側に固定され、上端が弁箱３内の
天井面で固定の上、弁箱３外のリード線１９に接続され
ているものもある。
施例を図によって説明すると、図１に示すように一側に
ガス流入口１を有し、下側にガス流出口２を有する弁箱
３内で、上側にアクチュエータ、本例の場合エアーシリ
ンダー４により開閉動作する弁体５の作動連結部をベロ
ーズ６でシールし、弁座７に当接する弁体５のシートガ
スケット８にフッ素ゴムを用いた真空排気弁に於いて、
前記ベローズ６の内部にて前記エアーシリンダー４のピ
ストンロッド９及びこれに連結されて前記弁体５の上面
中央のホルダー１０に連結された押し棒１１をスライド
させる弁箱３の上板１２の中央より垂設された筒状体１
３の外周側に、弾性伸縮可能なシースヒータ１４を配し
ている。この弾性伸縮可能なシースヒータ１４は、弾性
伸縮可能に金属パイプをコイルスプリング状に成形し、
その内部にヒータ線を通したものであり、その下端は渦
巻状に内方に巻いて弁体５の上面のホルダー１０上に環
状板１５にて押え、ボルト１６にて締付け固定し、上端
は弁箱３内の天井面で固定の上、弁箱３外のリード線１
７に接続されている。尚、他の実施例として、前記シー
スヒータ１４の内周側に、図３に示すように同一レベ
ル、同一コイル数でシース熱電対１８が同心に配され、
その下端が弁体５の上側に固定され、上端が弁箱３内の
天井面で固定の上、弁箱３外のリード線１９に接続され
ているものもある。
【０００７】上記のように構成された実施例の図１に示
す真空排気弁は、エアーシリンダー４の上室にエアーを
供給して作動すると、ピストンロッド９に連結された押
し棒１１が押され、弁体５がベローズ６を伸長して下降
し、図２に示すように弁座７に弁体５の下面のシートガ
スケット８が押し付けられてシールされ、弁閉状態とな
る。エアーシリンダー４の上室のエアーを抜き、下室に
エアーを供給して逆に作動すると、ピストンロッド９に
連結された押し棒１１が引き上げられ、弁体５がベロー
ズ６を短縮して上昇し、図１に示すように弁座７から弁
体５のシートガスケット８が離れて弁開状態となる。こ
のような弁閉及び弁開状態でも、図１の実施例の真空排
気弁は、ベローズ６の内部にて弁体５の上面のホルダー
１０に下端が固定され、上端が弁箱３内の天井面に固定
されて弁体５と一体に上下動する弾性伸縮可能なシース
ヒータ１４が設けられているので、ベローズ６は全長に
わたってシースヒータ１４からの輻射熱により平均的に
安定して１８０〜２００℃に連続的に加熱され、弁体５
はシースヒータ１４の下端部からホルダー１０を介して
熱伝導を受けて加熱される。特に図３の実施例の真空排
気弁にあっては、シースヒータ１４による加熱は、シー
ス熱電対１８により予め設定された１４０℃〜１６０℃
の範囲の加熱温度で加熱され、安定した温度制御がなさ
れる。かくして、図３の真空排気弁では、ベローズ６や
弁体５に生成物が付着しにくくなり、従って、弁内の洗
浄の頻度が激減し、ベローズ６の寿命が延び、弁の耐久
性が向上する。
す真空排気弁は、エアーシリンダー４の上室にエアーを
供給して作動すると、ピストンロッド９に連結された押
し棒１１が押され、弁体５がベローズ６を伸長して下降
し、図２に示すように弁座７に弁体５の下面のシートガ
スケット８が押し付けられてシールされ、弁閉状態とな
る。エアーシリンダー４の上室のエアーを抜き、下室に
エアーを供給して逆に作動すると、ピストンロッド９に
連結された押し棒１１が引き上げられ、弁体５がベロー
ズ６を短縮して上昇し、図１に示すように弁座７から弁
体５のシートガスケット８が離れて弁開状態となる。こ
のような弁閉及び弁開状態でも、図１の実施例の真空排
気弁は、ベローズ６の内部にて弁体５の上面のホルダー
１０に下端が固定され、上端が弁箱３内の天井面に固定
されて弁体５と一体に上下動する弾性伸縮可能なシース
ヒータ１４が設けられているので、ベローズ６は全長に
わたってシースヒータ１４からの輻射熱により平均的に
安定して１８０〜２００℃に連続的に加熱され、弁体５
はシースヒータ１４の下端部からホルダー１０を介して
熱伝導を受けて加熱される。特に図３の実施例の真空排
気弁にあっては、シースヒータ１４による加熱は、シー
ス熱電対１８により予め設定された１４０℃〜１６０℃
の範囲の加熱温度で加熱され、安定した温度制御がなさ
れる。かくして、図３の真空排気弁では、ベローズ６や
弁体５に生成物が付着しにくくなり、従って、弁内の洗
浄の頻度が激減し、ベローズ６の寿命が延び、弁の耐久
性が向上する。
【０００８】また、シースヒータ１４は、弾性伸縮可能
に金属パイプをコイルスプリング状に成形し、その内部
にヒータ線を通したものであるから、弁の開閉動作時ヒ
ータ線は引張りや曲げ等の外力を受けずにコイルスプリ
ング状の金属パイプ内で自由に変位し、摩滅や断線等が
生じることがない。尚、上記図３の実施例はシースヒー
タ１４を弁箱３内から温度制御するものであるが、弁箱
３外から温度制御する為に、図４に示すように弁箱３外
に温度調整器２０を設け、この温度調整器２０にシース
ヒータ１４のリード線１７及びシース熱電対１８のリー
ド線１９を接続すると良い。また弁内を内部からシース
ヒータ１４により加熱するばかりではなく、図５に示す
ように弁箱３の外面にラバーヒータ２１を取付けて、弁
の外部からも加熱するようにしても良い。この場合、ラ
バーヒータ２１の温度制御は、図示のようにシースヒー
タ１４の場合と同様弁外の温度調整器２０により行う為
に、それらのラバーヒータ２１のリード線２２、ラバー
ヒータ用シース熱電対のリード線２３を、温度調整器２
０に接続すると良い。
に金属パイプをコイルスプリング状に成形し、その内部
にヒータ線を通したものであるから、弁の開閉動作時ヒ
ータ線は引張りや曲げ等の外力を受けずにコイルスプリ
ング状の金属パイプ内で自由に変位し、摩滅や断線等が
生じることがない。尚、上記図３の実施例はシースヒー
タ１４を弁箱３内から温度制御するものであるが、弁箱
３外から温度制御する為に、図４に示すように弁箱３外
に温度調整器２０を設け、この温度調整器２０にシース
ヒータ１４のリード線１７及びシース熱電対１８のリー
ド線１９を接続すると良い。また弁内を内部からシース
ヒータ１４により加熱するばかりではなく、図５に示す
ように弁箱３の外面にラバーヒータ２１を取付けて、弁
の外部からも加熱するようにしても良い。この場合、ラ
バーヒータ２１の温度制御は、図示のようにシースヒー
タ１４の場合と同様弁外の温度調整器２０により行う為
に、それらのラバーヒータ２１のリード線２２、ラバー
ヒータ用シース熱電対のリード線２３を、温度調整器２
０に接続すると良い。
【０００９】
【発明の効果】以上の通り本発明の真空排気弁は、アク
チュエータにより開閉動作する弁体の作動連結部をシー
ルしたベローズの内部に、弁体と一体に作動可能にシー
スヒータを設けているので、弁開及び弁閉状態でも弁体
やベローズを平均的に安定して加熱することができ、特
にシースヒータの内側にシース熱電対を配したものにあ
ってはシース熱電対により所要の温度に安定した温度制
御ができる。従って、弁体やベローズに生成物が付着し
にくくなり、その結果、弁内の洗浄の頻度が激減し、ベ
ローズの寿命が延び、弁の耐久性が向上する。
チュエータにより開閉動作する弁体の作動連結部をシー
ルしたベローズの内部に、弁体と一体に作動可能にシー
スヒータを設けているので、弁開及び弁閉状態でも弁体
やベローズを平均的に安定して加熱することができ、特
にシースヒータの内側にシース熱電対を配したものにあ
ってはシース熱電対により所要の温度に安定した温度制
御ができる。従って、弁体やベローズに生成物が付着し
にくくなり、その結果、弁内の洗浄の頻度が激減し、ベ
ローズの寿命が延び、弁の耐久性が向上する。
【図１】本発明の真空排気弁の一実施例を示す弁開状態
の縦断面図である。
の縦断面図である。
【図２】図１の真空排気弁の弁閉状態を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図３】本発明の真空排気弁の他の実施例を示す弁閉状
態の縦断面図である。
態の縦断面図である。
【図４】本発明の真空排気弁を弁外から温度制御する場
合の実施例の概略図である。
合の実施例の概略図である。
【図５】本発明の真空排気弁を弁内と弁外から加熱し、
弁外から温度制御する場合の実施例を示す概略図であ
る。
弁外から温度制御する場合の実施例を示す概略図であ
る。
【図６】従来の真空排気弁を示す一部破断正面図であ
る。
る。
１ ガス流入口 ２ ガス流出口 ３ 弁箱 ４ アクチュエータ ５ 弁体 ６ ベローズ ９ ピストンロッド（弁体の作動連結部） １０ ホルダー １１ 押し棒（弁体の作動連結部） １４ シースヒータ １７ リード線 １８ シース熱電対 １９ リード線 ２０ 温度調整器 ２１ ラバーヒータ ２２ ラバーヒータのリード線 ２３ ラバーヒータ用シース熱電対のリード線
Claims (4)
- 【請求項１】 一側にガス流入口又はガス流出口を有
し、下側にガス流出口又はガス流入口を有する弁箱内
で、上側のアクチュエータにより開閉動作する弁体の作
動連結部をベローズでシールしたＣＶＤ装置の真空排気
弁に於いて、前記ベローズ内で弁体の作動連結部の外周
側に弾性伸縮可能なコイル状のシースヒータを配し、そ
の下端を弁体の上側に固定し、上端を弁箱内天井面で固
定の上、弁箱外のリード線に接続してなるＣＶＤ装置の
真空排気弁。 - 【請求項２】 請求項１記載のＣＶＤ装置の真空排気弁
に於いて、シースヒータを温度制御するシース熱電対
を、シースヒータの内周側に同一レベル同一コイル数で
同心に配し、その下端を弁体の上側に固定し、上端を弁
箱内天井面で固定の上、弁箱外のリード線に接続してな
るＣＶＤ装置の真空排気弁。 - 【請求項３】 請求項２記載のＣＶＤ装置の真空排気弁
に於いて、弁箱外に於けるシースヒータのリード線及び
シース熱電対のリード線を弁箱外に設置した温度調整器
に接続してなるＣＶＤ装置の真空排気弁。 - 【請求項４】 請求項３記載のＣＶＤ装置の真空排気弁
に於いて、弁箱外面にラバーヒータを取付け、ラバーヒ
ータのリード線及びシース熱電対のリード線を温度調整
器に接続してなるＣＶＤ装置の真空排気弁。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6165945A JP2995450B2 (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | Ｃｖｄ装置の真空排気弁 |
| TW84113389A TW319815B (ja) | 1994-06-24 | 1995-12-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6165945A JP2995450B2 (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | Ｃｖｄ装置の真空排気弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0813149A JPH0813149A (ja) | 1996-01-16 |
| JP2995450B2 true JP2995450B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=15822010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6165945A Expired - Lifetime JP2995450B2 (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | Ｃｖｄ装置の真空排気弁 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2995450B2 (ja) |
| TW (1) | TW319815B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7798467B2 (en) | 2007-01-17 | 2010-09-21 | Smc Corporation | High vacuum valve |
| KR20200111619A (ko) | 2019-03-19 | 2020-09-29 | 가부시키가이샤 깃츠 에스시티 | 진공 벨로우즈 핫 밸브 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11183366A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-09 | Nippon Sanso Kk | 分光分析用測定セル |
| JP2001004062A (ja) * | 1999-06-17 | 2001-01-09 | Benkan Corp | 流量制御用バルブ |
| KR100445341B1 (ko) * | 2001-11-16 | 2004-08-25 | 주성엔지니어링(주) | 반도체소자 제조장치 |
| JP5806827B2 (ja) * | 2011-03-18 | 2015-11-10 | 東京エレクトロン株式会社 | ゲートバルブ装置及び基板処理装置並びにその基板処理方法 |
| JP6556802B2 (ja) * | 2017-10-13 | 2019-08-07 | キヤノントッキ株式会社 | 真空装置、蒸着装置及びゲートバルブ |
| JP7148443B2 (ja) * | 2019-03-12 | 2022-10-05 | リンナイ株式会社 | ガス電磁弁 |
| CN112779717A (zh) * | 2019-11-07 | 2021-05-11 | 青岛海尔滚筒洗衣机有限公司 | 一种洗衣机用衣物提升装置及滚筒洗衣机 |
-
1994
- 1994-06-24 JP JP6165945A patent/JP2995450B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-12-15 TW TW84113389A patent/TW319815B/zh active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7798467B2 (en) | 2007-01-17 | 2010-09-21 | Smc Corporation | High vacuum valve |
| KR20200111619A (ko) | 2019-03-19 | 2020-09-29 | 가부시키가이샤 깃츠 에스시티 | 진공 벨로우즈 핫 밸브 |
| US11098823B2 (en) | 2019-03-19 | 2021-08-24 | Kitz Sct Corporation | Vacuum bellows hot valve |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW319815B (ja) | 1997-11-11 |
| JPH0813149A (ja) | 1996-01-16 |
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