JP2008171886A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置1では、上部電極5が容量膜4を挟んで下部電極3の一部と対向配置されている。上部電極5上には、容量膜4と同じ材料からなる保護膜6が積層されている。容量膜4および保護膜6上に層間絶縁膜7が形成される場合、層間絶縁膜7には、容量膜4および保護膜6をそれぞれ部分的に露出させる下部電極コンタクトホール8および上部電極コンタクトホール11が形成される。そして、層間絶縁膜7をマスクとして、容量膜4および保護膜6がエッチングされることにより、容量膜4および保護膜6にそれぞれ下部電極3および上部電極5とのコンタクトのための開口9,12が形成される。
【選択図】図1
Description
MIM構造の容量素子としては、Al(アルミニウム)を含む金属膜で下部電極および上部電極を形成したものが一般的であるが、さらなる抵抗の低減化を図るため、下部電極の材料に、Alに代えて、より導電性の高いCu(銅)を適用することが検討されている。
まず、最表面に層間絶縁膜91を有する半導体基板が用意される。そして、ダマシン法により、層間絶縁膜91の表層部に、Cuからなる下部電極92が形成される。その後、図3(a)に示すように、層間絶縁膜91上に、SiN(窒化シリコン)からなる容量膜93およびTiN(窒化チタン)からなる金属膜94がこの順に積層される。
その後、図3(c)に示すように、容量膜93および上部電極95上に、それらを覆うように層間絶縁膜96が積層される。つづいて、層間絶縁膜96上に、レジストパターンが形成され、このレジストパターンをマスクとして、層間絶縁膜96がエッチングされる。これにより、層間絶縁膜96に、容量膜93および上部電極95をそれぞれ部分的に露出させる貫通孔97,98が形成される。
この後、貫通孔97および開口99を介して下部電極92に接続される下部電極コンタクトプラグ100と、貫通孔98を介して上部電極95に接続される上部電極コンタクトプラグ101とが形成されることにより、図3(e)に示す構造の半導体装置が得られる。
たとえば、容量膜93をドライエッチングする場合、層間絶縁膜96の膜厚が大き過ぎると(膜厚1000nm以上)、イオンやラジカルが容量膜93の表面に上手く到達せず、容量膜93に開口99が形成されない。
容量膜および保護膜上に層間絶縁膜などの絶縁膜が形成される場合、容量膜および保護膜をそれぞれ部分的に露出させる貫通孔を絶縁膜に形成し、各貫通孔を介して容量膜および保護膜をエッチングすることにより、容量膜および保護膜にそれぞれ下部電極および上部電極とのコンタクトのための開口が形成される。
なお、請求項2に記載のように、前記保護膜は、前記平面視で前記上部電極と同じ外形を有していていることが好ましい。これにより、上部電極の表面全域を保護膜で覆うことができ、貫通孔および開口の形成時における上部電極のエッチングの発生を上部電極の表面全域で防止することができる。
容量膜および保護膜上に層間絶縁膜などの絶縁膜が形成される場合、容量膜および保護膜をそれぞれ部分的に露出させる貫通孔を絶縁膜に形成し、各貫通孔を介して容量膜および保護膜をエッチングすることにより、容量膜および保護膜にそれぞれ下部電極および上部電極とのコンタクトのための開口が形成される。
請求項4記載の発明は、金属材料からなる下部電極上に、絶縁材料からなる容量膜を形成する容量膜形成工程と、前記容量膜上の前記下部電極と対向する位置に、金属材料からなり、その対向方向に見る平面視で前記下部電極よりも小さい外形を有する上部電極を形成する上部電極形成工程と、前記上部電極上に、絶縁材料からなる保護膜を形成する保護膜形成工程と、前記容量膜および前記保護膜上に、絶縁材料からなる絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、前記絶縁膜に前記容量膜および前記保護膜をそれぞれ部分的に露出させる貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、前記貫通孔形成工程後、前記絶縁膜をマスクとする前記容量膜および前記保護膜のエッチングにより、前記容量膜および前記保護膜に、それぞれ前記下部電極および前記上部電極を露出させる開口を形成するエッチング工程とを含むことを特徴とする、半導体装置の製造方法である。
図1は、本発明の一実施形態に係る半導体装置の構造を模式的に示す断面図である。
この半導体装置1は、MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)などの機能素子が作り込まれた半導体基板(図示せず)上に、SiO2(酸化シリコン)からなる層間絶縁膜2を備えている。層間絶縁膜2の材料としては、たとえば、SiOC(炭素が添加された酸化シリコン)やSiOF(フッ素が添加された酸化シリコン)などのLow−k膜材料が用いられてもよい。
層間絶縁膜2および下部電極3上には、SiNからなる容量膜4が積層されている。この容量膜4は、下部電極3の一部に対向する部分がその他の部分よりも相対的に大きな膜厚を有している。たとえば、容量膜4の下部電極3の一部に対向する部分は、35〜40nmの膜厚を有し、その他の部分は、35nmよりも小さい膜厚を有している。
そして、容量膜4および保護膜6上には、SiO2からなる層間絶縁膜7が積層されている。この層間絶縁膜7により、容量膜4、上部電極5および保護膜6が覆われている。層間絶縁膜7の材料としては、層間絶縁膜2と同様、たとえば、SiOCやSiOFなどのLow−k膜材料が用いられてもよい。
まず、最表面に層間絶縁膜2を有する半導体基板が用意される。そして、ダマシン法により、層間絶縁膜2の表層部に埋め込まれた下部電極3が形成される。その後、図2(a)に示すように、層間絶縁膜2上に、容量膜4の材料からなる容量膜材料堆積層21、上部電極5の材料からなる金属材料堆積層22、および保護膜6の材料からなる保護膜材料堆積層23がこの順に積層して形成される。容量膜材料堆積層21および保護膜材料堆積層23は、たとえば、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法により形成することができる。金属材料堆積層22は、たとえば、スパッタ法により形成することができる。
そして、レジストパターン24をマスクとして、層間絶縁膜7がエッチングされる。これにより、図2(d)に示すように、層間絶縁膜7に、下部電極コンタクトホール8および上部電極コンタクトホール11が貫通して形成される。
その後は、下部電極コンタクトプラグ10および上部電極コンタクトプラグ13が形成される。これにより、図1に示す構造の半導体装置1が得られる。
なお、この実施形態では、保護膜6が容量膜4と同じ材料を用いて形成されるとしたが、保護膜6の材料は、絶縁材料であれば、容量膜4の材料と異なる材料であってもよい。たとえば、容量膜4の材料としてSiNが採用され、保護膜6の材料としてSiO2が採用されてもよい。容量膜4の材料と保護膜6の材料とが異なる場合、保護膜6に開口12が形成されるよりも先に容量膜4に開口9が形成されるように、保護膜6の材料および容量膜4における開口9が形成される部分の膜厚を決定し、容量膜4および保護膜6のエッチングのための時間を保護膜6における開口12の形成に必要かつ十分な時間に設定することにより、上部電極5のエッチングを生じることなく、容量膜4および保護膜6にそれぞれ開口9,12を確実に形成することができる。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
2 層間絶縁膜
3 下部電極
4 容量膜
5 上部電極
6 保護膜
7 層間絶縁膜(絶縁膜)
8 下部電極コンタクトホール
9 開口
11 上部電極コンタクトホール
12 開口
Claims (4)
- 金属材料からなる下部電極と、
絶縁材料からなり、前記下部電極上に積層される容量膜と、
金属材料からなり、前記容量膜を挟んで前記下部電極に対向し、その対向方向に見る平面視で前記下部電極よりも小さい外形を有する上部電極と、
前記容量膜と同じ材料からなり、前記上部電極上に積層される保護膜とを含むことを特徴とする、半導体装置。 - 前記保護膜は、前記平面視で前記上部電極と同じ外形を有していることを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置。
- 金属材料からなる下部電極と、
絶縁材料からなり、前記下部電極上に積層される容量膜と、
金属材料からなり、前記容量膜を挟んで前記下部電極に対向し、その対向方向に見る平面視で前記下部電極よりも小さい外形を有する上部電極と、
絶縁材料からなり、前記上部電極上に積層され、前記平面視で前記上部電極と同じ外形を有する保護膜とを含むことを特徴とする、半導体装置。 - 金属材料からなる下部電極上に、絶縁材料からなる容量膜を形成する容量膜形成工程と、
前記容量膜上の前記下部電極と対向する位置に、金属材料からなり、その対向方向に見る平面視で前記下部電極よりも小さい外形を有する上部電極を形成する上部電極形成工程と、
前記上部電極上に、絶縁材料からなる保護膜を形成する保護膜形成工程と、
前記容量膜および前記保護膜上に、絶縁材料からなる絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
前記絶縁膜に前記容量膜および前記保護膜をそれぞれ部分的に露出させる貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、
前記貫通孔形成工程後、前記絶縁膜をマスクとする前記容量膜および前記保護膜のエッチングにより、前記容量膜および前記保護膜に、それぞれ前記下部電極および前記上部電極を露出させる開口を形成するエッチング工程とを含むことを特徴とする、半導体装置の製造方法。
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