JP2008153261A - レーザアニール装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザアニール装置は、ガラス基板3bおよび該ガラス基板3b上に形成されたシリコン膜3aを含むワーク基板3に対して、レーザ光2を照射するものであって、シリコン膜3a側に配置され、シリコン膜3aに向けて不活性ガスを吹き付けるためのガスノズル4と、ガラス基板3b側に配置され、該ガラス基板3bを介してシリコン膜3aにレーザ光2を照射するための伝送光学系101などで構成される。
【選択図】図1
Description
材料層側に配置され、材料層面に向けて不活性ガスを吹き付けるためのガスノズルと、
透明基板側に配置され、該透明基板を介して材料層にレーザ光を照射するための伝送光学系とを備えることを特徴とする。
図1は、本発明の第1実施形態を示す構成図である。レーザアニール装置は、レーザ発振器100と、伝送光学系101と、折り返しミラー102と、加工搬送系103などで構成される。加工搬送系103には、ワーク基板3に対して不活性ガスを吹き付けるためのガスノズル4と、ワーク基板3を搬送するための搬送機構(不図示)などが設けられる。ワーク基板3は、透明基板としてのガラス基板3bと、透明基板上に形成された材料層としてのシリコン膜3aなどで構成され、例えば、TFT(薄膜トランジスタ)やマトリクス駆動電極を有するLCD基板などである。
図2は、本発明の第2実施形態を示す構成図である。レーザアニール装置は、レーザ発振器100と、伝送光学系101と、折り返しミラー102と、加工搬送系103などで構成される。加工搬送系103には、ワーク基板3に対して不活性ガスを吹き付けるためのガスノズル4と、ワーク基板3を搬送するための搬送機構(不図示)などが設けられる。ワーク基板3は、透明基板としてのガラス基板3bと、透明基板上に形成された材料層としてのシリコン膜3aなどで構成される。
図3は、本発明の第3実施形態を示す構成図である。レーザアニール装置は、レーザ発振器100と、伝送光学系101と、折り返しミラー102と、加工搬送系103などで構成される。加工搬送系103には、ワーク基板3に対して不活性ガスを吹き付けるためのガスノズル4と、ワーク基板3を搬送するための搬送機構(不図示)などが設けられる。ワーク基板3は、透明基板としてのガラス基板3bと、透明基板上に形成された材料層としてのシリコン膜3aなどで構成される。
図4は、本発明の第4実施形態を示す構成図である。レーザアニール装置は、レーザ発振器100と、伝送光学系101と、折り返しミラー102と、加工搬送系103などで構成される。加工搬送系103には、ワーク基板3に対して不活性ガスを吹き付けるためのガスノズル4と、ワーク基板3を搬送するための搬送機構(不図示)などが設けられる。ワーク基板3は、透明基板としてのガラス基板3bと、透明基板上に形成された材料層としてのシリコン膜3aなどで構成される。
図5は、本発明の第5実施形態を示す構成図である。レーザアニール装置は、レーザ発振器100と、伝送光学系101と、折り返しミラー102と、加工搬送系103などで構成される。加工搬送系103には、ワーク基板3に対して不活性ガスを吹き付けるためのガスノズル4と、ワーク基板3を搬送するための搬送機構(不図示)などが設けられる。ワーク基板3は、透明基板としてのガラス基板3bと、透明基板上に形成された材料層としてのシリコン膜3aなどで構成される。
図6は、本発明の第6実施形態を示す構成図である。レーザアニール装置は、レーザ発振器100と、伝送光学系101と、折り返しミラー102と、加工搬送系103などで構成される。加工搬送系103には、ワーク基板3に対して不活性ガスを吹き付けるためのガスノズル4と、ワーク基板3を搬送するための搬送機構(不図示)などが設けられる。ワーク基板3は、透明基板としてのガラス基板3bと、透明基板上に形成された材料層としてのシリコン膜3aなどで構成される。
図7は、本発明の第7実施形態を示す構成図である。レーザアニール装置は、レーザ発振器100と、伝送光学系101と、折り返しミラー102と、加工搬送系103などで構成される。加工搬送系103には、ワーク基板3に対して不活性ガスを吹き付けるためのガスノズル4と、ワーク基板3を搬送するための搬送機構(不図示)などが設けられる。ワーク基板3は、透明基板としてのガラス基板3bと、透明基板上に形成された材料層としてのシリコン膜3aなどで構成される。
3a シリコン膜、 3b ガラス基板、 4 ガスノズル、 5 液体層、
6 スライド枠、 7 浮上ノズル、 100 レーザ発振器、
101 伝送光学系、 102 折り返しミラー、 103 加工搬送系。
Claims (8)
- 透明基板および該透明基板上に形成された材料層を含むワーク基板に対して、レーザ光を照射するためのレーザアニール装置であって、
材料層側に配置され、材料層面に向けて不活性ガスを吹き付けるためのガスノズルと、
透明基板側に配置され、該透明基板を介して材料層にレーザ光を照射するための伝送光学系と、を備えることを特徴とするレーザアニール装置。 - レーザ光に対して透明な材料で形成され、ワーク基板を透明基板側で支持するための支持体をさらに備えることを特徴とする請求項1記載のレーザアニール装置。
- ワーク基板と前記支持体との間に液体層が設けられることを特徴とする請求項2記載のレーザアニール装置。
- ワーク基板を伝送光学系に対して相対移動させるためのワーク搬送系をさらに備え、
該ワーク搬送系は、ワーク基板の搬送面に沿って配置された複数のローラを含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のレーザアニール装置。 - ワーク基板の透明基板および伝送光学系が鉛直上側に配置され、
ワーク基板の材料層およびガスノズルが鉛直下側に配置され、
ワーク基板をガス圧力により浮上させて支持するための浮上支持機構と、
ワーク基板を伝送光学系に対して相対移動させるためのワーク搬送系とをさらに備えるを特徴とする請求項1記載のレーザアニール装置。 - ワーク基板の透明基板および伝送光学系が鉛直上側に配置され、
ワーク基板の材料層およびガスノズルが鉛直下側に配置され、
ワーク基板をガス圧力により浮上させて支持するための浮上支持機構と、
ワーク基板を伝送光学系に対して相対移動させるためのワーク搬送系とをさらに備え、
該ワーク搬送系は、ワーク基板の搬送面に沿って配置された複数のローラを含むことを特徴とする請求項1記載のレーザアニール装置。 - 該ワーク搬送系は、ワーク基板を搬送するための駆動ローラを含むことを特徴とする請求項4〜6のいずれかに記載のレーザアニール装置。
- Nd:YAGレーザの第2もしくは第3高調波、Nd:ガラスレーザの第2もしくは第3高調波、Nd:YVO4レーザの第2もしくは第3高調波、Nd:YLFレーザの第2もしくは第3高調波、Yb:YAGレーザの第2もしくは第3高調波、Yb:ガラスレーザの第2もしくは第3高調波、または、Ti:Al2O3レーザの基本波もしくは第2高調波を発生するレーザ発振器を備えることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のレーザアニール装置。
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