JP2008147651A - シリコンウエハの最終研磨用スラリー組成物、及びそれを用いたシリコンウエハの最終研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のスラリー組成物は、脱イオン水、研磨粒子、pH調節剤、水溶性増粘剤、アセチレン系界面活性剤および複素環アミンを含むことを特徴とする。本発明は、研磨粒子の粒径を最適化し、最適の組成を有するシリコンウエハの最終研磨用スラリー組成物を提供することによって、ウエハ表面に形成される50nmを超える大きさを有するLLS欠陥の数を減少させ、ヘイズ(HAZE)及び表面ラフネスを大きく減少させることができる。
【選択図】なし
Description
scatter(LLS))欠陥の数を減少させることを可能とするシリコンウエハの最終研磨用スラリー組成物に関する。
cratch)などの物理的な表面欠陥を除去するとともに、シリコンウエハの表面マイ
クロラフネス(microroughness)を減少させ、ウエハの表面を滑らかにするために行われる。このようなCMP工程を経ったウエハにおいては、欠陥の少ない鏡面が具現できる。最近では、ウエハ表面に形成されるマイクロスクラッチおよびその他の欠陥を原因として検出される局所的光散乱(LLS)欠陥の大きさを制限する規制が急激に厳しくなっている。
って、鏡面を有する無欠陥ウエハを製造する工程である。
cratch)を除去するために早い研磨速度を要する1次研磨段階と、該1次研磨段階
で残留しているマイクロスクラッチを除去し、表面マイクロラフネスを数Åのオーダーに下げることで鏡面を具現する2次研磨(鏡面研磨)段階とから構成される。即ち、最終研磨段階は、ウエハ表面のマイクロラフネスを数Åのオーダーに引き下げ、ヘイズを減らし、かつ残留微粒子および残留金属イオンの量を可能な限り最小の水準(数ppm)に減少させるよう行わなければならない。
nized water)とのほかに、軟質または硬質のウレタン研磨パッドおよびスラ
リー組成物が必要となる。
スラリー組成物は、CMP工程の最終研磨を化学的及び機械的に促進するために用いられる。一般的なスラリー組成物は、典型的には、研磨剤、pH調節剤、及び脱イオン水を含んでいる。よりすぐれた研磨品質を発揮させるために、このスラリー組成物は、さらに、有機または無機の添加剤を含むこともある。
てpHを7以上に調節した後、これに、メチルセルロース(MC)、メチルエチルセルロース(MEC)、エチルセルロース(EC)、ヒドロキシエチルセルロース(HEC)およびヒドロキシプロピルセルロース(HPC)から選ばれる水溶性セルロースをスラリー組成物全体の重量に対して0.05〜2.5重量%になるよう添加することにより製造される。
れる陰イオンとからなる塩であって、その濃度が20〜1000ppmになるようにした。このようなスラリーを使用して、表面マイクロラフネスが5nm未満に減少した滑らかな(soft)表面を具現させた。
ース(HEC)を添加することにより、ウエハ表面の親水性が改善したとの言及がある。
本発明は、脱イオン水、研磨粒子、pH調節剤、水溶性増粘剤、アセチレン系界面活性剤および複素環アミンを含むことを特徴とするシリコンウエハの最終研磨用スラリー組成物を提供する。
R1R2(OH)CC≡CH (1)
(但し、R1及びR2は、それぞれ独立に(OCH2CH2)nOCH2CH3であり、ここで
、n=0〜10である。)
本発明のさらに一つの実施態様において、前記アセチレン系界面活性剤は、下記化学式(2)のアセチレングリコール類を含んでもよい。
(但し、R1及びR2は、それぞれ独立に(OCH2CH2)nOCH2CH3であり、ここで、n=0〜10である。)
前記アセチレン系界面活性剤は、シリコンウエハの研磨工程に用いる前に希釈されるス
ラリー組成物全体の重量を基準として、0.00001〜0.008重量%使用されてもよい。
前記複素環アミンは、シリコンウエハの研磨工程に用いる前に希釈されるスラリー組成物全体の重量を基準として0.001〜0.3重量%使用されてもよい。
前記研磨粒子の平均一次粒径は10〜70nmであってもよい。
前記研磨粒子の平均一次粒径は20〜30nmであってもよい。
前記研磨粒子は、シリコンウエハの研磨工程に用いる前に希釈されるスラリー組成物全体の重量を基準として0.05〜7重量%使用されてもよい。
前記pH調節剤は、アンモニアであってもよい。
前記水溶性増粘剤は、親水性基を有する重合体を含んでもよい。
前記水溶性増粘剤は、シリコンウエハの研磨工程に用いる前に希釈されるスラリー組成物全体の重量を基準として0.001〜0.5重量%使用されてもよい。
本発明は、前記スラリー組成物を使用するシリコンウエハの最終研磨方法を提供する。
本発明は、シリコンウエハの最終研磨用スラリー組成物に関するものである。本発明に係るスラリー組成物は、脱イオン水、研磨粒子、pH調節剤、水溶性増粘剤、アセチレン
系界面活性剤および複素環アミンを含むことを特徴とする。
ア(CeO2)、ジルコニア(ZrO2)もしくはチタニア(TiO2)、あるいはこれらの混合
物など、発煙法やゾルーゲル(Sol−Gel)法で作られたものであればどれでも使用可能であるが、中でもシリカを使用することが望ましく、コロイダルシリカを使用することが最も望ましい。また、機械的研磨の効果を下げ、表面状態を改善するために、平均一次粒径が10〜70nmであるものを使用することが望ましく、平均一次粒径が20〜30nmであるものを使用することがさらに望ましい。粒径が10nmよりも小さい場合は、機械的研磨の効果が充分に表れないことから研磨速度の点で問題が生ずる場合があり、研磨中にシロキサン誘導体類などの研磨除去物により研磨粒子が凝集し、沈殿する恐れがある。一方、平均一次粒径が70nmよりも大きい場合は、表面下(sub surfac
e)の損傷(Damage)が生じる場合があり、その結果、ヘイズ値が上昇する恐れがあ
る。なお、平均一次粒径は、BET法により測定される比表面積から算出することができる。
を調節するために、各種有機塩基または無機塩基を使用することができる。各種有機塩基または無機塩基の適正な使用量は、所望のpHの範囲内になるよう、各物質の特性によって変えることができる。前記有機塩基または無機塩基としては、弱塩基であるアンモニアを使用することが最も望ましい。
cPを超える場合には、スラリー組成物の研磨速度が減少するとともに、起泡性が増加する場合があり、作業性が低下する恐れがある。
(但し、R1及びR2は、互いに独立に(OCH2CH2)nOCH2CH3であり、ここで、n=0〜10である。)
R1R2(OH)CC≡CC(OH)R1R2 (2)
(但し、R1及びR2は、互いに独立に(OCH2CH2)nOCH2CH3であり、ここで、n=0〜10である。)
前記化学式(1)ないし(2)のアセチレン系界面活性剤において、nが10を超える場合は、その溶解度が減少し、スラリー組成物の起泡性が増加する場合がある。本発明のスラリー組成物に含まれるアセチレン系界面活性剤による効果として、次の二つが考えられる。第一に、前記アセチレン系界面活性剤は、起泡性が大きく消泡性が弱い本発明のスラリー組成物の消泡性を向上させることによって、このスラリー組成物の作業性を改善させる。第二に、前記アセチレン系界面活性剤は、特有の親水性により、親油性のウエハの表面にスラリーが均一に広がるようにする。即ち、親油性のウエハの表面およびウレタン研磨布の親水性を大きく改善することによって、50nmを越えるLLSの数を減少させることができる。
[実施例]
(実施例1)
一次粒径が20nmであるコロイダルシリカを脱イオン水で希釈して粒子含量が5重量%になるようにし、次いで、pHが10.8になるよう0.5重量%のアンモニアを添加した。水溶性増粘剤として、重量平均分子量が40万であるヒドロキシプロピルセルロースを0.5重量%使用した。表1に示すように、この混合物に、アセチレングリコール類を
0.002重量%、および複素環アミンとしてピペラジンを0.2重量%添加し、スラリー組成物を調製した(ただし、各成分の量(重量%)は、該スラリー組成物全体の重量を基準とする。)。
磨に使用した。上記希釈したスラリーを用いて、(100)配向のp型(p−type)200mmフラット(flat)ウエハを、硬質ウレタン研磨布を付けたUNIPLA211研磨機で研磨した。1つのスラリー試料につき30枚のウエハを研磨し、そのウエハの研磨表面を、KLA−TENCOR社のSURFSCAN SP−1で分析した。
ピペラジンの代わりにエチルピペラジンを使用したことを除いて、前記実施例1と同様の方法でスラリー組成物を調製した。そのスラリー組成物の研磨性能についても、前記実施例1と同様の方法で評価した。
ピペラジンの代わりにアミノエチルピペラジンを使用したことを除いて、前記実施例1と同様の方法でスラリー組成物を調製した。そのスラリー組成物の研磨性能についても、前記実施例1と同様の方法で評価した。
一次粒径が20nmであるコロイダルシリカの代わりに一次粒径が50nmであるコロイダルシリカを使用し、アセチレン系界面活性剤を使用せず、ピペラジンの代わりにエタノールアミンを使用したことを除いて、前記実施例1と同様の方法でスラリー組成物を調製し、その研磨性能を評価した。
アセチレン系界面活性剤を使用せず、ピペラジンの代わりにエタノールアミンを使用したことを除いて、前記実施例1と同様の方法でスラリー組成物を調製し、その研磨性能を評価した。
ピペラジンの代わりにエタノールアミンを使用したことを除いて、前記実施例1と同様の方法でスラリー組成物を調製し、その研磨性能を評価した。
一次粒径が20nmであるコロイダルシリカの代わりに一次粒径が50nmであるコロイダルシリカを使用し、ピペラジンの代わりにエタノールアミンを使用したことを除いて、前記実施例1と同様の方法でスラリー組成物を調製し、その研磨性能を評価した。
アセチレン系界面活性剤を使用していないことを除いて、前記実施例1と同様の方法でスラリー組成物を調製し、その研磨性能を評価した。
Claims (21)
- 脱イオン水、研磨粒子、pH調節剤、水溶性増粘剤、アセチレン系界面活性剤及び複素環アミンを含むことを特徴とする、シリコンウエハの最終研磨用スラリー組成物。
- 前記アセチレン系界面活性剤が、下記化学式(1)に示されるアセチレンアルコール類を含むことを特徴とする請求項1に記載のスラリー組成物。
R1R2(OH)CC≡CH (1)
(但し、R1及びR2は、それぞれ独立に(OCH2CH2)nOCH2CH3であり、ここで
、n=0〜10である。) - 前記アセチレン系界面活性剤が、下記化学式(2)に示されるアセチレングリコール類を含むことを特徴とする請求項1に記載のスラリー組成物。
R1R2(OH)CC≡CC(OH)R1R2 (2)
(但し、R1及びR2は、それぞれ独立に(OCH2CH2)nOCH2CH3であり、ここで
、n=0〜10である。) - 請求項1に記載のスラリー組成物であって、前記アセチレン系界面活性剤が、希釈されてシリコンウエハの研磨工程に用いられる前を基準として、該スラリー組成物全体の重量を基準として0.00001〜0.008重量%使用されることを特徴とするスラリー組成物。
- 請求項1に記載のスラリー組成物であって、前記アセチレン系界面活性剤が、希釈されてシリコンウエハの研磨工程に用いられる前を基準として、該スラリー組成物全体の重量を基準として0.00003〜0.003重量%使用されることを特徴とするスラリー組成物。
- 前記複素環アミンが、ピペリジン、1−エチルピペリジン、1−(2−アミノエチル)ピペリジン、ピペラジン、1−エチルピペラジン、1−アミノエチルピペラジン、1−ヒドロキシエチルピペラジン、2−ピロリジノン、及びこれらの混合物から選択されることを特徴とする請求項1に記載のスラリー組成物。
- 請求項1に記載のスラリー組成物であって、前記複素環アミンが、希釈されてシリコンウエハの研磨工程に用いられる前を基準として、該スラリー組成物全体の重量を基準として0.0001〜0.5重量%使用されることを特徴とするスラリー組成物。
- 請求項1に記載のスラリー組成物であって、前記複素環アミンが、希釈されてシリコンウエハの研磨工程に用いられる前を基準として、該スラリー組成物全体の重量を基準として0.001〜0.3重量%使用されることを特徴とするスラリー組成物。
- 前記研磨粒子がコロイダルシリカ粒子を含むことを特徴とする請求項1に記載のスラリー組成物。
- 前記研磨粒子の平均一次粒径が10〜70nmであることを特徴とする請求項1に記載のスラリー組成物。
- 前記研磨粒子の平均一次粒径が20〜30nmであることを特徴とする請求項1に記載のスラリー組成物。
- 請求項1に記載のスラリー組成物であって、前記研磨粒子が、希釈されてシリコンウエ
ハの研磨工程に用いられる前を基準として、該スラリー組成物全体の重量を基準として0.01〜10重量%使用されることを特徴とするスラリー組成物。 - 請求項1に記載のスラリー組成物であって、前記研磨粒子が、希釈されてシリコンウエハの研磨工程に用いられる前を基準として、該スラリー組成物全体の重量を基準として0.05〜7重量%使用されることを特徴とするスラリー組成物。
- pHが9.5〜11であることを特徴とする請求項1に記載のスラリー組成物。
- 前記pH調節剤がアンモニアであることを特徴とする請求項1に記載のスラリー組成物。
- 前記水溶性増粘剤が、親水性基を有する重合体を含むことを特徴とする請求項1に記載のスラリー組成物。
- 前記水溶性増粘剤が、ポリビニルアルコール、ポリビニルポリピロリドン、ポリオキシエチレン、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、及びこれらの混合物から選択されることを特徴とする、請求項1に記載のスラリー組成物。
- 前記セルロース化合物の重量平均分子量が30万〜800万であることを特徴とする請求項17に記載のスラリー組成物。
- 請求項1に記載のスラリー組成物であって、前記水溶性増粘剤が、希釈されてシリコンウエハの研磨工程に用いられる前を基準として、該スラリー組成物全体の重量を基準として0.001〜0.5重量%で使用されることを特徴とするスラリー組成物。
- 粘度が0.1〜50cPであることを特徴とする請求項1に記載のスラリー組成物。
- 請求項1〜20に記載のスラリー組成物を用いるシリコンウエハの最終研磨方法。
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