JP2008130704A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体基板にサポート材を貼り付けて薄肉化した後に、貫通電極形成などの加工を行なうウエハサポートシステムでは、サポート材貼り付け用の接着剤に要求される仮固定性と剥離性の両方を満足する接着剤がなかった。
【解決手段】本発明の半導体装置の製造方法は、半導体基板の主面上に半導体チップ6をフリップチップ実装する工程と、半導体基板1の主面上に半導体チップ6を覆う状態で樹脂成形により絶縁性支持体8を形成する工程と、半導体基板1の第2面側に所定の処理(裏面研削、裏面配線形成、接続端子形成等)を施す工程と、半導体基板1から絶縁性支持体8と共にチップを切り出して個片化する工程とを含む。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の半導体装置の製造方法は、半導体基板の主面上に半導体チップ6をフリップチップ実装する工程と、半導体基板1の主面上に半導体チップ6を覆う状態で樹脂成形により絶縁性支持体8を形成する工程と、半導体基板1の第2面側に所定の処理(裏面研削、裏面配線形成、接続端子形成等)を施す工程と、半導体基板1から絶縁性支持体8と共にチップを切り出して個片化する工程とを含む。
【選択図】図1
Description
本発明は、貫通電極を用いたチップオンチップ構造の半導体装置を製造する際に適用して好適な半導体装置の製造方法に関する。
LSI(Large Scale Integration:大規模集積回路)チップに代表される半導体チップへの貫通電極を用いたチップオンチップ構造の3次元積層タイプのSIP(System in Package)において、LSIチップへの貫通電極や接続端子形成にはウエハを裏面研削等により薄肉化する必要がある。
一般に、貫通孔が深くなると貫通孔形成のためのSi(シリコン)エッチングやその後の貫通孔への金属埋め込みメッキ等の加工プロセスに時間がかかり、コストアップとなる。また、高アスペクト比の貫通電極形成は、Siエッチング時の加工形状制御が難しいことや、その後の絶縁膜形成時の貫通孔内のカバレジ性が悪くなること、さらには金属埋め込みメッキ時の埋め込み性が悪くなってボイドが発生しやすくなるため、加工プロセスが難しくなる。このため、加工時間の短縮や、微細狭ピッチの貫通電極形成の容易化を目的として、ウエハを薄肉化している。
ただし、ウエハを薄肉化すると、ウエハの反りの発生や割れの危険性が高まるため、そのままの状態で加工するとなるとウエハの取り扱い(ハンドリング等)が困難になる。このため従来では、サポート材をウエハに貼り付けて加工を行なうウエハサポートシステムが提案されている(例えば、特許文献1〜3、非特許文献1を参照)。
図9〜図11は従来の半導体装置の製造方法の一例を示す工程図である。まず、図9(A)に示すように、シリコンウエハ等からなる半導体基板50の主面側にウエハ処理工程にて、回路層51、貫通電極52、接続電極53等を形成する。次に、図9(B)に示すように、接続電極53上にはんだバンプ54を形成した後、図9(C)に示すように、はんだバンプ54を覆うように半導体基板50の主面に接着剤層55を介してサポート材56を貼り付ける。一般に、サポート材56としてはガラスや硬質樹脂などの強度の高い材料からなる板状の部材(サポート板)が用いられるが、ここでは一例として透明なガラス基板を用いるものとする。
次に、図10(A)に示すように、半導体基板50の裏面を研削して半導体基板50を薄肉化することにより、半導体基板50の裏面に貫通電極52の端部を露出させた後、図10(B)に示すように、半導体基板50の裏面に絶縁膜57と接続電極58を形成する。次に、図10(C)に示すように、半導体基板50の裏面にLSIチップ等の半導体チップ59をフリップチップ実装する。
次に、図11(A)に示すように、半導体基板50と半導体チップ59との間(隙間)に液状のアンダーフィル樹脂60を注入(充填)してこれを硬化させる。次に、サポート材56を通して接着剤層55に紫外線(例えば、波長365nmの光)を照射することにより、接着剤層55の接着力を低下させた後、図11(B)に示すように、半導体基板50の主面から接着剤層55とともにサポート材54を剥離する。次に、半導体基板50をダイシング装置等で切断することにより、図11(C)に示すように、半導体チップ59とチップオンチップ構造をなす半導体チップ61を半導体基板50から切り出して個片化する。
なお、接着剤層55の接着力を低下させる処理としては、紫外線を照射する以外にも、接着剤が可溶性を示す溶剤を塗布する処理などがある。また、溶剤を塗布する場合は、接着剤層55全体に溶剤を効率良く行き渡らせるために、多数の貫通孔のあいたサポート材を用いる手法もある。また、サポート材を貼り付けた状態で半導体基板を薄肉化した後、半導体基板の裏面側から貫通孔をあけて金属埋め込みメッキ等により貫通電極を形成する手法もある。
これまで提案されているウエハサポートシステムでは、貫通電極形成の加工プロセスが完了した後で、ウエハからサポート材を剥がす必要がある。このため、サポート材貼り付け用の接着剤には、加工プロセスに耐えられる仮固定性と剥離性が要求され、この要求への対応として、アクリル系接着剤等の有機系の接着剤を使用している。
しかしながら、アクリル系接着剤等を使用してウエハにサポート材を貼り付けた場合は、その後の貫通電極や接続端子形成の加工プロセスで耐熱以上の温度をかけたり薬液に晒されたりすると、接着剤の変質や性能劣化により接着性が低下したり剥離できなくなったりする問題や、薬品やプラズマに暴露すると接着剤が溶け出して接着性低下や剥離できなくなるなどの問題がある。このため、耐熱性や耐薬品性、プラズマ耐性に制約があり、仮固定性と剥離性の両方を満足する接着剤がないのが現状である。
また、貫通電極を用いたチップオンチップ構造の3次元積層を行なう場合は、実装の高さを低く抑えるために、積層するチップが薄チップ(例えば、厚さが50μm前後)となる。このため、チップボンディング時のハンドリング性が悪く、特殊な装置が必要になるという問題がある。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板の第1面上に半導体チップをフリップチップ実装する工程と、前記半導体基板の第1面上に前記半導体チップを覆う状態で樹脂成形により絶縁性支持体を形成する工程と、前記半導体基板の第2面側に所定の処理を施す工程と、前記半導体基板から前記絶縁性支持体と共にチップを切り出して個片化する工程とを含むものである。
また、本発明に係る半導体装置の製造方法は、前記半導体基板の第2面側に所定の処理を施した後でかつ前記半導体基板を個片化する前に、前記絶縁性支持体と前記半導体チップを薄肉化する工程を有するものである。
本発明に係る半導体装置の製造方法においては、半導体基板の第1面上に形成した絶縁性支持体をサポート材として機能させることにより、半導体基板を絶縁性支持体で支持しつつ半導体基板の第2面側に所定の処理を施すことが可能となる。また、絶縁性支持体を半導体装置の完成品の一部としてチップと共に切り出すことにより、従来の製造方法で必要とされていた、半導体基板からサポート材を剥離する工程が不要になる。
また、本発明に係る半導体装置の製造方法においては、半導体チップをフリップチップ実装した後で、半導体チップを薄肉化して所望のチップ厚に仕上げるため、ハンドリング性が良好な厚チップのままで半導体チップを実装することが可能となる。このため、チップボンディング時に薄チップをハンドリングするための特殊な装置が不要になる。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板の第1面上に第1の半導体チップをフリップチップ実装する工程と、前記半導体基板の第1面上に前記第1の半導体チップを覆う状態で樹脂成形により第1の絶縁性支持体を形成する工程と、前記第1の半導体チップに貫通電極を形成する工程と、前記第1の半導体チップ上に第2の半導体チップをフリップチップ実装する工程と、前記半導体基板の第1面上に前記第2の半導体チップを覆う状態で樹脂成形により第2の絶縁性支持体を形成する工程と、前記半導体基板の第2面側に所定の処理を施す工程と、前記半導体基板から前記第1の絶縁性支持体及び前記第2の絶縁性支持体と共にチップを切り出して個片化する工程とを含むものである。
また、本発明に係る半導体装置の製造方法は、前記第1の絶縁性支持体を形成した後でかつ前記第1の半導体チップに前記貫通電極を形成する前に、前記第1の半導体チップと前記第1の絶縁性支持体を薄肉化する工程と、前記第2の絶縁性支持体を形成した後でかつ前記半導体基板を個片化する前に、前記第2の半導体チップと前記第2の絶縁性支持体を薄肉化する工程とを有するものである。
本発明に係る半導体装置の製造方法においては、半導体基板の第1面上に形成した第1の絶縁性支持体と第2の絶縁性支持体をサポート材として機能させることにより、半導体基板を各々の絶縁性支持体で支持しつつ半導体基板の第2面側に所定の処理を施すことが可能となる。また、各々の絶縁性支持体を半導体装置の完成品の一部としてチップと共に切り出すことにより、従来の製造方法で必要とされていた、半導体基板からサポート材を剥離する工程が不要になる。
また、本発明に係る半導体装置の製造方法においては、第1の半導体チップをフリップチップ実装した後で、第1の半導体チップを薄肉化して所望のチップ厚に仕上げるとともに、第2の半導体チップをフリップチップ実装した後で、第2の半導体チップを薄肉化して所望のチップ厚に仕上げるため、ハンドリング性が良好な厚チップのままで各々の半導体チップを実装することが可能となる。このため、チップボンディング時に薄チップをハンドリングするための特殊な装置が不要になる。
本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、貫通電極を用いた3次元構造のSIPを製造するにあたって、半導体基板にサポート材を貼り付けなくても、半導体基板を薄肉化して貫通電極を形成することができる。
また、本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、半導体チップを厚チップのまま半導体基板上に実装可能となるため、ハンドリング時のチップの割れや欠け、さらにはチップの反りによる接合不良などの発生を防止することができる。
以下、本発明の具体的な実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、本発明の実施の形態においては相対応する部分に同じ符号を付して説明することとする。
[第1実施形態]
図1〜図3は本発明に係る半導体装置の製造方法の第1実施形態を示す工程図である。まず、図1(A)に示すように、シリコンウエハ等からなる半導体基板(半導体ウエハ)1の主面(第1面)側にウエハ処理工程にて、回路層2、貫通電極3、接続電極4等を形成する。回路層2は、半導体基板1の表層部分に形成されるLSI等の素子回路や配線などを含むものである。接続電極4は、半導体基板1の主面に形成される配線(再配線を含む)及び電極パッドを含むものである。貫通電極3は、半導体基板1にシリコンエッチング等によって貫通孔を形成した後、この貫通孔の内面を絶縁膜で被覆してから、例えば銅等の金属で貫通孔を埋め込むことにより形成すればよい。ただし、この段階では貫通電極3が半導体基板1の裏面まで貫通していない状態で、所定の深さで形成されている。例えば、半導体基板1の厚さが8インチウエハで725μmであると仮定すると、貫通電極3は半導体基板1の主面側から最大で100μm程度の深さで形成される。
図1〜図3は本発明に係る半導体装置の製造方法の第1実施形態を示す工程図である。まず、図1(A)に示すように、シリコンウエハ等からなる半導体基板(半導体ウエハ)1の主面(第1面)側にウエハ処理工程にて、回路層2、貫通電極3、接続電極4等を形成する。回路層2は、半導体基板1の表層部分に形成されるLSI等の素子回路や配線などを含むものである。接続電極4は、半導体基板1の主面に形成される配線(再配線を含む)及び電極パッドを含むものである。貫通電極3は、半導体基板1にシリコンエッチング等によって貫通孔を形成した後、この貫通孔の内面を絶縁膜で被覆してから、例えば銅等の金属で貫通孔を埋め込むことにより形成すればよい。ただし、この段階では貫通電極3が半導体基板1の裏面まで貫通していない状態で、所定の深さで形成されている。例えば、半導体基板1の厚さが8インチウエハで725μmであると仮定すると、貫通電極3は半導体基板1の主面側から最大で100μm程度の深さで形成される。
次に、図1(B)に示すように、半導体基板1の主面上にバンプ5を介してLSIチップ等の半導体チップ6をフリップチップ実装した後、半導体基板1と半導体チップ6の間(隙間)に液状のアンダーフィル樹脂(例えば、エポキシ樹脂)7を注入(充填)してこれを硬化させる。フリップチップ実装とは、実装対象となる半導体チップ(ベアチップ)を、はんだバンプに代表される金属製の突起電極を用いて、被実装体(本例では半導体基板)の電極にフェースダウンで直接接続するワイヤレスでの実装方式をいう。
半導体チップ6の実装は、半導体基板1の面内で図示しない直線状の境界線(ストリート)により区画されるチップ単位で行なう。その際、フリップチップボンダー等で半導体チップ6のハンドリングを容易に行なえるように、半導体チップ6の厚みをハンドリング性の良い厚み(例えば130μm以上)としておくのが望ましい。フリップチップ接合のためのバンプ5は、半導体チップ6及び半導体基板1のうち少なくとも一方に形成しておけばよい。アンダーフィル樹脂7の硬化は、自然乾燥や熱処理などによって行えばよい。
次に、図1(C)に示すように、半導体チップ6を完全に覆う状態で半導体基板1の主面上に樹脂成形によって絶縁性支持体8を形成する。絶縁性支持体8は、例えばウエハレベルCSP(Chip Size Package)等でウエハの樹脂封止に使用されているモールド樹脂(例えば、エポキシ樹脂)を用いて、上下一対の成型金型によるウエハモールドによって形成すればよい。また、半導体基板1と絶縁性支持体8との線膨張係数差を小さくするために、フィラー入りのモールド樹脂を用いてもよい。
絶縁性支持体8は、半導体基板1の主面側の全面にわたって所定の厚みで形成される。絶縁性支持体8の厚みは、少なくとも半導体チップ6を完全に被覆し得る厚み以上(半導体基板1の主面を基準にした半導体チップ6の実装高さ以上)であって、かつ後述する裏面加工プロセスを流すうえで、サポート材として十分な剛性を有する厚み(例えば8インチウエハで500μm以上)とする。これにより、絶縁性支持体8を形成した後の半導体基板1は、当該半導体基板1と絶縁性支持体8との一体化により疑似ウエハ化されたものとなる。
次に、裏面加工プロセスの第1段階として、図2(A)に示すように、半導体基板1の裏面(第2面)を研削して半導体基板1を薄肉化(薄板化)することにより、半導体基板1の裏面に貫通電極3の端部を露出させる。半導体基板1の裏面は、半導体基板1の主面と表裏の関係にある。したがって、ここでは回路層2が形成されている主面と反対側の面を研削することになる。
次に、裏面加工プロセスの第2段階として、図2(B)に示すように、半導体基板1の裏面に絶縁膜9と接続電極10を形成する。これにより、半導体基板1の回路層2に形成された素子回路や半導体基板1の主面側に実装された半導体チップ6との電気的な接続に使用される接続電極10が、半導体基板1の裏面側に形成されることになる。
半導体基板1の薄肉化は、半導体基板1の裏面をグラインダー等で研削して半導体基板1全体を所望の厚さまで薄くしてから、半導体基板1の裏面(被研削面)をCMP(Chemical Mechanical Polishing;化学的機械研磨)等で研磨して平坦化することやウェットエッチング又はドライエッチングでシリコンエッチングすることで行なう。
また、接続電極10の形成は、例えばウエハレベルCSPで使われている再配線技術や半導体プロセスの配線技術を適用して行なう。接続電極10は、半導体基板1の裏面に露出させた貫通電極3の上に形成してもよいし、半導体基板1の裏面に図示しない配線(裏面配線)を形成し、この配線の上に形成してもよい。
また、接続電極10の形成は、例えばウエハレベルCSPで使われている再配線技術や半導体プロセスの配線技術を適用して行なう。接続電極10は、半導体基板1の裏面に露出させた貫通電極3の上に形成してもよいし、半導体基板1の裏面に図示しない配線(裏面配線)を形成し、この配線の上に形成してもよい。
次に、裏面加工プロセスの第3段階として、図2(C)に示すように、半導体基板1の裏面側の接続電極10上に外部接続用の接続端子となるはんだバンプ11を形成する。はんだバンプ11の形成は、例えばメッキ法や印刷法などを用いて行なう。はんだバンプ11は、バンプ形成工程で行なわれるリフローによって半球状に形成される。ただし、バンプ形成材料としては、はんだ以外の金属であってもかまわない。なお、ここでは最終的な半導体装置の形態としてBGA(Ball Grid Array)を想定しているが、例えばLGA(Land Grid Array)の形態とする場合は、バンプ形成工程が不要となる。
次に、図3(A)に示すように、半導体基板1の主面上に実装されている半導体チップ6の厚みが、最終的に所望する所定の厚み(例えば、50μm)となるように、半導体基板1の主面全体を覆っている絶縁性支持体8の表面と当該絶縁性支持体8で覆われている半導体チップ6の裏面を研削して薄肉化する。ここで記述する絶縁性支持体8の表面とは、はんだバンプ11が形成された半導体基板1の裏面とは反対側(裏側)に位置する面をいう。
薄肉化のための加工方法としては、上記同様にグラインダー等による研磨とCMP等による研磨を併用すればよい。具体的には、グラインダー等で絶縁性支持体8を研削して半導体チップ6の裏面を露出させ、それ以降は絶縁性支持体8と半導体チップ6を同時に研削することで、半導体チップ6を所望の厚みまで薄くする。その後、被研削面となる半導体チップ6の裏面と絶縁性支持体8の表面をCMP等による研磨で平坦化する。この場合、半導体チップ6は絶縁性支持体8で保護された状態で研削されるため、チッピング等を発生することなく半導体チップ6を薄肉化することができる。
次に、半導体基板1をダイシング装置等で切断することにより、図3(B)に示すように、半導体チップ6とチップオンチップ構造をなす半導体チップ12を半導体基板1から切り出して個片化する。ダイシング装置を用いた半導体基板1の切断は、前述した直線状の境界線(ストリート)に沿って半導体基板1をブレードでダイシングすることにより行なう。
以上の製造方法により、半導体チップ12と半導体チップ6を2段に積層した、チップオンチップ構造をなす3次元積層タイプのSIP(半導体装置)が完成する。このSIPは、次のような構造上の特徴を有するものとなる。
第1に、半導体チップ6は、それよりも外形寸法が大きい半導体チップ12の主面(回路層2の形成部位)上にフリップチップ実装されたものとなる。第2に、半導体チップ6の周囲は、絶縁性支持体8により封止(樹脂封止)されたものとなる。第3に、半導体チップ6の裏面は外部に露出し、半導体チップ6を囲む絶縁性支持体8の表面(上面)は半導体チップ6の裏面と同一平面を形成するものとなる。第4に、絶縁性支持体8は、平面的に見て、半導体チップ12と同じ外形及び寸法を有するものとなる。
[第2実施形態]
図4及び図5は本発明に係る半導体装置の製造方法の第2実施形態を示す工程図である。まず、図4(A)に示すように、シリコンウエハ等からなる半導体基板1の主面側にウエハ処理工程にて、回路層2、接続電極4等を形成する。
図4及び図5は本発明に係る半導体装置の製造方法の第2実施形態を示す工程図である。まず、図4(A)に示すように、シリコンウエハ等からなる半導体基板1の主面側にウエハ処理工程にて、回路層2、接続電極4等を形成する。
次に、図4(B)に示すように、半導体基板1の主面上にバンプ5を介して半導体チップ6をフリップチップ実装した後、半導体基板1と半導体チップ6の間(隙間)に液状のアンダーフィル樹脂7を注入してこれを硬化させる。
次に、図4(C)に示すように、半導体チップ6を完全に覆う状態で半導体基板1の主面に樹脂成形によって絶縁性支持体8を形成する。半導体チップ6の実装、アンダーフィル樹脂7の形成及び絶縁性支持体8の形成は、上記第1実施形態と同様に行えばよい。
次に、図5(A)に示すように、半導体基板1の裏面を研削して半導体基板1を薄肉化した後、図5(B),(C)に示すように、半導体基板1の裏面側から貫通電極3を形成するとともに、半導体基板1の裏面に絶縁膜9と接続電極10を形成する。半導体基板1の薄肉化は、上記第1実施形態と同様に行えばよい。貫通電極3の形成は、例えば、半導体基板1にシリコンエッチング等によって貫通孔を形成した後、この貫通孔の内面を絶縁膜で被覆してから、例えば銅等の金属で貫通孔を埋め込むことにより行えばよい。
以降は、上記第1実施形態と同様に、はんばバンプ11の形成(図2(C)を参照)、半導体チップ6の薄肉化(図3(A)を参照)、半導体チップ12の切り出し(図3(B)を参照)を行なうことにより、上記第1実施形態と同様のSIP(半導体装置)が得られる。
[第3実施形態]
図6〜図8は本発明に係る半導体装置の製造方法の第3実施形態を示す工程図である。まず、上記第1実施形態と同様の手順で、図6(A)に示すように、半導体基板1の主面上にバンプ5を介して半導体チップ6をフリップチップ実装した後、半導体基板1と半導体チップ6の間(隙間)に液状のアンダーフィル樹脂7を注入してこれを硬化させ、次いで、図6(B)に示すように、半導体チップ6を完全に覆う状態で半導体基板1の主面上に樹脂成形によって絶縁性支持体8を形成する。
図6〜図8は本発明に係る半導体装置の製造方法の第3実施形態を示す工程図である。まず、上記第1実施形態と同様の手順で、図6(A)に示すように、半導体基板1の主面上にバンプ5を介して半導体チップ6をフリップチップ実装した後、半導体基板1と半導体チップ6の間(隙間)に液状のアンダーフィル樹脂7を注入してこれを硬化させ、次いで、図6(B)に示すように、半導体チップ6を完全に覆う状態で半導体基板1の主面上に樹脂成形によって絶縁性支持体8を形成する。
次に、図6(C)に示すように、半導体基板1の主面上に実装されている半導体チップ6の厚みが所定の厚み(例えば、50μm)となるように、半導体基板1の主面全体を覆っている絶縁性支持体8の表面と当該絶縁性支持体8で覆われている半導体チップ6の裏面を研削して薄肉化する。ここで記述する絶縁性支持体8の表面とは、半導体基板1の裏面とは反対側(裏側)に位置する面をいう。薄肉化のための加工方法としては、上記第1実施形態と同様にグラインダー等による研磨とCMP等による研磨を併用すればよい。
次に、図7(A)に示すように、半導体チップ6の裏面側から半導体チップ6を貫通する状態で貫通電極13を形成する。貫通電極13の形成は、例えば、半導体チップ6にシリコンエッチング等によって貫通孔を形成した後、この貫通孔の内面を絶縁膜で被覆してから、例えば銅等の金属で貫通孔を埋め込むことにより行えばよい。
次に、図7(B)に示すように、半導体チップ6の裏面側に、当該半導体チップ6とは別の半導体チップ14をバンプ15を介してフリップチップ実装した後、半導体チップ6と半導体チップ14との間(隙間)に液状のアンダーフィル樹脂16を注入(充填)してこれを硬化させる。これにより、半導体基板1の上に半導体チップ6がフリップチップ実装され、さらに半導体チップ6の上に半導体チップ14がフリップチップ実装された状態となる。
次に、図7(C)に示すように、半導体チップ14を完全に覆う状態で絶縁性支持体8の上に絶縁性支持体17を樹脂成形によって積層状態に形成する。絶縁性支持体17の形成は、絶縁性支持体8の場合と同様の手法で行えばよい。
次に、図8(A)に示すように、半導体チップ14の厚みが所定の厚み(例えば、50μm)となるように、半導体チップ14を覆っている絶縁性支持体17の表面と当該絶縁性支持体17で覆われている半導体チップ14の裏面を研削して薄肉化する。ここで記述する絶縁性支持体17の表面とは、半導体基板1の裏面とは反対側(裏側)に位置する面をいう。薄肉化のための加工方法としては、上記第1実施形態と同様にグラインダー等による研磨とCMP等による研磨を併用すればよい。
次に、図8(B)に示すように、半導体基板1の裏面を研削して半導体基板1を薄肉化することにより、半導体基板1の裏面に貫通電極3の端部を露出させるとともに、半導体基板1の裏面に絶縁膜9と接続電極10を形成した後、接続電極10上に外部接続用の接続端子となるはんだバンプ11を形成する。半導体基板1の薄肉化やはんだバンプ11の形成は、上記第1実施形態と同様に行えばよい。
次に、半導体基板1をダイシング装置等で切断することにより、図8(C)に示すように、半導体チップ6及び半導体チップ14とチップオンチップ構造をなす半導体チップ12を半導体基板1から切り出して個片化する。
以上の製造方法により、半導体チップ12、半導体チップ6及び半導体チップ14を3段に積層した、チップオンチップ構造をなす3次元積層タイプのSIP(半導体装置)が完成する。このSIPは、次のような構造上の特徴を有するものとなる。
第1に、半導体チップ6は、それよりも外形寸法が大きい半導体チップ12の主面(回路層2の形成部位)上にフリップチップ実装されたものとなり、半導体チップ14は、半導体チップ6上にフリップチップ実装されたものとなる。第2に、半導体チップ6の周囲は、絶縁性支持体8により封止(樹脂封止)されたものとなり、半導体チップ14の周囲は、絶縁性支持体17により封止(樹脂封止)されたものとなる。
第3に、半導体チップ14の裏面は外部に露出し、半導体チップ14を囲む絶縁性支持体17の表面(上面)は半導体チップ14の裏面と同一平面を形成するものとなる。第4に、絶縁性支持体8及び絶縁支持体17は、平面的に見て、半導体チップ12と同じ外形及び寸法を有するものとなる。
なお、上記第3実施形態においては、予めウエハ処理プロセスで貫通電極3を形成済みの半導体基板1を用いるものとしたが、これに限らず、絶縁性支持体17の形成及び半導体基板1の薄肉化を行なった後で、半導体基板1に貫通電極3を形成することも可能である。
また、上記第3実施形態においては、半導体チップ14と絶縁性支持体17を薄肉化した後で、半導体基板1の裏面加工プロセス(裏面研削、裏面配線形成、接続端子形成など)を行なうものとしたが、これに限らず、半導体基板1の裏面加工プロセスを行なった後で、半導体チップ14と絶縁性支持体17を薄肉化することも可能である。
1…半導体基板、3,13…貫通電極、6,12,14…半導体チップ、8,17…絶縁性支持体
Claims (4)
- 半導体基板の第1面上に半導体チップをフリップチップ実装する工程と、
前記半導体基板の第1面上に前記半導体チップを覆う状態で樹脂成形により絶縁性支持体を形成する工程と、
前記半導体基板の第2面側に所定の処理を施す工程と、
前記半導体基板から前記絶縁性支持体と共にチップを切り出して個片化する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記半導体基板の第2面側に所定の処理を施した後でかつ前記半導体基板を個片化する前に、前記絶縁性支持体と前記半導体チップを薄肉化する工程を有する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 半導体基板の第1面上に第1の半導体チップをフリップチップ実装する工程と、
前記半導体基板の第1面上に前記第1の半導体チップを覆う状態で樹脂成形により第1の絶縁性支持体を形成する工程と、
前記第1の半導体チップに貫通電極を形成する工程と、
前記第1の半導体チップ上に第2の半導体チップをフリップチップ実装する工程と、
前記半導体基板の第1面上に前記第2の半導体チップを覆う状態で樹脂成形により第2の絶縁性支持体を形成する工程と、
前記半導体基板の第2面側に所定の処理を施す工程と、
前記半導体基板から前記第1の絶縁性支持体及び前記第2の絶縁性支持体と共にチップを切り出して個片化する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1の絶縁性支持体を形成した後でかつ前記第1の半導体チップに前記貫通電極を形成する前に、前記第1の半導体チップと前記第1の絶縁性支持体を薄肉化する工程と、
前記第2の絶縁性支持体を形成した後でかつ前記半導体基板を個片化する前に、前記第2の半導体チップと前記第2の絶縁性支持体を薄肉化する工程と
を有することを特徴とする請求項3記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
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ID=39556256
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JP2006312388A Pending JP2008130704A (ja) | 2006-11-20 | 2006-11-20 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2008130704A (ja) |
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