JP2008101236A - 蒸着源、蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の蒸着源3は保持装置40を有しており、カソード電極35は保持装置40に着脱可能にされている。所定回数のアーク放電を発生させ、カソード電極35の先端が後退したら、一旦保持装置40と共にカソード電極35を台座32から取り外し、保持装置40を緩め、蒸発によって減少した分だけカソード電極35を保持装置40から繰り出し、その状態でカソード電極35を保持装置40に固定し、再び台座32に取り付けると、再度アーク放電によって、所定量の蒸着材料の蒸気を放出できる状態になる。
【選択図】図2
Description
この蒸着源103は、成膜装置の真空槽内に配置されており、円筒形のアノード電極131を有している。
アノード電極131の内部底面には導電性の台座132が配置されており、台座132の上部には凹部133が形成され、該凹部133内には、蒸着材料が柱状に成形されて成るカソード電極135が挿入されている。
カソード電極135と台座132とは電気的に接続されている。トリガ電極137と台座132との間は絶縁部材139によって絶縁されている。
カソード電極135の先端は、絶縁円筒138先端から突出されており、突出された部分の側面と先端はアノード電極131内部で露出されている。
アーク電流が流れると、アーク放電によって生成された電子は、アーク電流が形成する磁界によってアノード電極131の外部に放出される。
放出された微小荷電粒子の飛行方向には成膜対象物が配置されており、蒸着材料の微小荷電粒子が成膜対象物表面に到達するとそこに付着し、蒸着材料の薄膜が形成される。
しかし、カソード電極135は、露出した側面のうち、一部分しか溶融せず、カソード電極135の極一部しか活用できない。
この場合、カソード電極135を台座132から抜去し、上下入れ替え、消耗した部分を台座132の凹部133に挿入し、消耗していない部分をアノード電極131内に露出させると、再使用できるが、再使用は一回限りであり、カソード電極135の大部分は使用することがでない。
同軸型アーク蒸着源は、例えば下記特許文献に記載されている。
本発明は蒸着源であって、前記保持装置と前記台座を密着させる第一の締結装置と、前記カソード電極と前記保持装置を密着させる第二の締結装置を有する蒸着源である。
本発明は蒸着源であって、前記保持装置は、分離可能な第一、第二の保持部を有し、前記第一、第二の保持部は前記カソード電極の側面に密着され、前記カソード電極を挟んで保持するように構成された蒸着源である。
本発明は蒸着源であって、前記カソード電極は、柱状の蒸発部と、前記蒸発部よりも小径の柱状の支持部を有し、前記第一、第二の保持部は、前記支持部の側面に密着されるように構成された蒸着源である。
本発明は蒸着装置であって、真空槽と、前記蒸着源とを有し、前記蒸着源から前記真空槽内に、前記蒸着材料の蒸気が放出されるように構成された蒸着装置である。
図1の符号1は、本発明の蒸着装置を示している。この蒸着装置1は、真空槽2を有しており、真空槽2内部には、本発明の一例の蒸着源3が配置されている。
図2(b)は、この蒸着源3の平面図であり、同図(a)は、同図(b)のA−A線截断面図に相当する。
アノードベース34のアノード電極31内部側の表面には、絶縁性のベース碍子49が配置されており、該ベース碍子49上には台座32が配置されている。
アノード電極31の内部には、蒸着材料が棒状に成形されて成るカソード電極35が配置されている。
絶縁円筒44の外周には、トリガ電極37が配置されている。ここではトリガ電極37は円筒であり、絶縁円筒44の外周に環装されている。
第一、第二の保持部41、42の、カソード電極35の中心軸線に沿った方向の長さは、蒸発部45の長さと同じか、それよりも長くされており、後述するようにカソード電極35を繰り出したときに、蒸発部45を可及的に使用可能にされている。
第一、第二の保持部41、42をカソード電極35の支持部46に密着させ、第一、第二の保持部41、42のねじ穴51と貫通孔52を連通させた状態で、貫通孔52側からねじ55を挿入し、ねじ頭を貫通孔52の内部の突出部(不図示)に当接させた状態で、ねじ55先端をねじ穴51にねじ込むと、第一、第二の保持部41、42は、互いに逆方向から、カソード電極35の支持部46を圧縮するように押圧し、カソード電極35の支持部46の側面と第一、第二の保持部41、42の側面とが密着する。従って、この蒸着源3では、貫通孔52と、貫通孔52内部の突出部と、ねじ穴51と、ねじ55とで、カソード電極35を保持装置40に密着させる第二の締結装置が構成される。
第一、第二の保持部41、42の外周も円形に湾曲しており、第一、第二の保持部41、42によってカソード電極35の支持部46を保持した状態では、外形は円柱形状になっている。
台座32の凹部33が形成された位置には、凹部33の壁面を厚み方向に貫通するねじ穴59が形成されている。ねじ穴59の延長線上には、保持装置40の支持台43が位置しており、ねじ穴59にねじ58の先端部をねじ込むと、ねじ58の先端部は支持台43の側面に当接され、更にねじ込むと、支持台43を押圧するようになっている。
台座32と保持装置40は、金属等の導電性を有する材料で形成されており、互いに密着された状態では、台座32と保持装置40の間は電気的に低抵抗である。
真空槽2の外部には電源装置5が配置されている。
アノード電極31は真空槽2と共に接地電位に接続されており、電源装置5により、カソード電極35にはアノード電極31に対して負の高電圧が印加され、トリガ電極37にはカソード電極35よりも接地電位に近い負電圧が印加されるように構成されている。
このとき、カソード電極35と、保持装置40と、台座32を流れるアノード電流によって磁場が形成され、アノード電極31内の電子は、アーク電流が形成する磁場から力を受け、アノード電極31の開口39から真空槽2内に放出される。蒸着材料の蒸気中に含まれる電荷質量比(電荷質量比=電荷/質量)が大きな正電荷の微小粒子は、電子に引き付けられてアノード電極31の開口39から真空槽2内に放出されるが、電荷質量比が小さな巨大粒子や中性粒子は、アノード電極31の内周面に衝突し、アノード電極31の開口39から放出されない。
コンデンサを再充電した後、トリガ放電を発生させると、アーク電流が再度流れ、薄膜が成長する。
このように、アーク電流を複数回流し、基板7表面に薄膜を成長させると、カソード電極35の先端が蒸発により後退し、絶縁円筒44の先端から離れると、蒸気発生量は次第に減少する。
なお、上記カソード電極35では、蒸発部45に接続された小径の支持部46を保持装置40が保持したが、カソード電極35の全体を径が一定の蒸発部45で構成し、蒸発部45を保持装置40が保持するようにしてもよい。
蒸着材料は円柱形状であったが、それに限定されるものではない。保持装置40、台座32についても、上記実施例で説明した形状に限定されるものではない。
Claims (5)
- 筒状のアノード電極と、
前記アノード電極の内部に配置された棒状のカソード電極と、
前記カソード電極の先端の外周に着脱可能に配置された絶縁部材と、
前記絶縁部材に配置されたトリガ電極とを有し、前記トリガ電極と前記カソード電極の間に生じたトリガ放電によって、前記カソード電極と前記アノード電極の間にアーク放電が誘起され、前記カソード電極から蒸着材料の蒸気が生成され、前記蒸着材料の蒸気が前記アノード電極の開口から放出される蒸着源であって、
前記アノード電極内には台座が配置され、
前記カソード電極は、前記アノード電極内で前記アノード電極の中心軸線と平行に配置され、
前記カソード電極の一端部は、先端が前記開口に向けられ、
他端部は、保持装置に着脱可能に保持され、
前記保持装置は、前記台座に着脱可能に保持され、
前記保持装置と前記台座は密着され、
前記カソード電極と前記保持装置とは、前記中心軸線と平行な方向に、アノード電流が流れるのに必要な最短長さ以上密着された蒸着源。 - 前記保持装置と前記台座を密着させる第一の締結装置と、
前記カソード電極と前記保持装置を密着させる第二の締結装置を有する請求項1記載の蒸着源。 - 前記保持装置は、分離可能な第一、第二の保持部を有し、
前記第一、第二の保持部は前記カソード電極の側面に密着され、前記カソード電極を挟んで保持するように構成された請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の蒸着源。 - 前記カソード電極は、柱状の蒸発部と、前記蒸発部よりも小径の柱状の支持部を有し、前記第一、第二の保持部は、前記支持部の側面に密着されるように構成された請求項3記載の蒸着源。
- 真空槽と、請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の蒸着源とを有し、前記蒸着源から前記真空槽内に、前記蒸着材料の蒸気が放出されるように構成された蒸着装置。
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