JP2007308787A - アーク蒸着源、成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】蒸着材料25を、冷却電極23上に配置し、支持電極22内の循環パイプ30内に冷媒体を流し、冷却電極23内を循環させ、表面が溶融しないようにする。バッキングプレート24内に磁界形成装置29を設け、プラズマを蒸着材料25の中心に集め、中心から蒸気を放出させるようにする。また、蒸着材料25の周囲に浸食停止体28を設け、周辺部分が浸食されないようにする。以上により、液滴の発生が防止され、また、蒸着材料25の使用効率が向上する。
【選択図】 図2
Description
このアーク蒸着源101は、円筒形のアノード電極121を有している。
アノード電極121の中心軸線上には支持電極122が配置されており、支持電極122の先端には蒸着材料125が取りつけられている。
蒸着材料125は、円筒形の絶縁碍子126に挿通されており、絶縁碍子126の外周には、リング状のトリガ電極127が配置されている。
アーク放電を用いて蒸着材料蒸気を放出させる技術は例えば下記文献に記載されている。
従って、±10%以下程度の均一性で大面積に薄膜を形成しようとすると、薄膜形成領域と同じ大面積の蒸着材料や大口径のアノード電極が必要になる。
投入電力を、電源電圧を変更せずに増大させる場合、コンデンサユニットの容量値を大きくすればよいが、容量値が大きくなるとアーク放電の減衰時間が長くなり、蒸着材料125表面が溶融し、液滴発生の原因となる。
また、大電力を投入した場合も蒸着材料125が溶融し、液滴が発生し易くなる。
本発明は上記従来技術の課題を解決するために創作されたものであり、均一な膜厚分布で薄膜を形成できる領域を拡大すること、液滴を増加させないことにある。
また、本発明は、前記アノード電極内には支持電極が配置され、前記冷却電極は前記支持電極に接続され、前記支持電極は電源に接続され、前記蒸着材料には、前記支持電極と前記冷却電極を介して電圧が印加され、前記支持電極内を、前記アノード電極の中心軸線に沿ってアーク電流が流れるように構成されたアーク蒸着源である。
また、本発明は、前記支持電極内には、前記冷却電極に供給される前記冷媒体が流れる流路と、前記冷却電極から排出された前記冷媒体が流れる流路が形成されたアーク蒸着源である。
また、本発明は、蒸着材料と、前記蒸着材料を取囲むアノード電極と、前記アノード電極内に配置されたトリガ電極とを有し、前記トリガ電極と前記蒸着材料の間に生じたトリガ放電によって、前記トリガ電極と前記蒸着材料の間にアーク放電が誘起され、前記蒸着材料から前記蒸着材料の蒸気が放出され、前記蒸着材料の蒸気のプラズマが噴出されるように構成されたアーク蒸着源であって、前記アノード電極内には電源に接続された支持電極が配置され、前記支持電極を介して前記蒸着材料に電圧が印加されるように構成され、前記支持電極と前記アノード電極の間には、絶縁粒子が配置された領域が設けられたアーク蒸着源である。
また、本発明は、前記支持電極の周囲には絶縁部材が配置され、前記アノード電極と前記絶縁部材の間の領域に前記絶縁粒子が配置されたアーク蒸着源である。
また、本発明は、導電性の蒸着材料と、前記蒸着材料を取囲むアノード電極と、前記アノード電極内に配置されたトリガ電極とを有し、前記アノード電極と前記蒸着材料の間に生じたトリガ放電によって、前記トリガ電極と前記蒸着材料の間にアーク放電が誘起され、前記蒸着材料から前記蒸着材料の蒸気が放出され、前記蒸着材料の蒸気のプラズマが噴出されるように構成されたアーク蒸着源であって、前記蒸着材料は円盤状に形成され、一表面が前記アノード電極の開口に向けられ、前記蒸着材料の周囲には溝が形成され、前記溝内には絶縁物から成る浸食停止体が配置されたアーク蒸着源である。
また、本発明は、前記浸食停止体の前記蒸着材料の表面側の表面は、前記蒸着材料の外周付近よりも前記蒸着材料の中央に近い方が深くなる傾斜が設けられたアーク蒸着源である。
また、本発明は、導電性の蒸着材料と、前記蒸着材料を取囲むアノード電極と、前記アノード電極内に配置されたトリガ電極とを有し、前記アノード電極と前記蒸着材料の間に生じたトリガ放電によって、前記トリガ電極と前記蒸着材料の間にアーク放電が誘起され、前記蒸着材料から前記蒸着材料の蒸気が放出され、前記蒸着材料の蒸気のプラズマが噴出されるように構成されたアーク蒸着源であって、前記蒸着材料の裏面側には、前記蒸着材料の表面に磁界を形成する磁界形成装置が配置されたアーク蒸着源である。
また、本発明は、前記蒸着材料の裏面に密着された導電性のバッキングプレートを有し、前記磁界形成装置は前記バッキングプレートの内部に配置されたアーク蒸着源である。
また、本発明は、真空槽と、上記いずれかに記載されたアーク蒸着源とを有し、前記アーク蒸着源から前記真空槽内に前記蒸着材料の蒸気を放出できるように構成された成膜装置である。
蒸着材料の表面に磁界が形成され、プラズマが中央に集められるので、中央付近の浸食量が多くなり、蒸着材料が長寿命、高使用効率になる。
蒸着材料の周囲に絶縁物から成る浸食停止体が嵌入されており、蒸着材料外周付近の浸食が浸食停止体で停止されるから、蒸着材料が長寿命、高使用効率になる。
図1の符号10は、本発明の一例の成膜装置であり、真空槽11を有している。
真空槽11の内部には基板ホルダ12が配置されており、基板ホルダ12と対面する位置の壁面には孔が形成されており、その孔を閉塞する位置には電極取付板41が取り付けられている。
本発明の一例のアーク蒸着源13は、その電極取付板41に取りつけられている。
このアーク蒸着源13は、アノード電極21と、トリガ電極27と、蒸着材料25と、冷却電極23とを有している。
アノード電極21の内部のアノード電極21の中心軸線上には、中心軸線に沿って支持電極22が配置されている。
支持電極22の真空槽11の外部に位置する部分は、電極取付板41に固定された絶縁筒44に挿通され、該絶縁筒44によって電極取付板41にも固定されている。
各液体流路31、33は、一端が冷却電極23まで引き延され、他端が真空槽11の外部に導出されている。
冷却電極23の内部には、冷却電極23内部を引回された液体流路32が配置されている。
循環パイプ30内の二個の液体流路31、33の冷却電極23側の端部は、それぞれ冷却電極23内の液体流路32の一端と他端にそれぞれ接続されている。
バッキングプレート24上には蒸着材料25が取りつけられている。後述するように、バッキングプレート24の内部には、磁界形成装置29が配置されている。
この構成は、例えば反応性ガスを導入して成膜を行う場合、特にアーク放電電圧を高くする場合に、アノード電極21内部での放電を抑制する効果を奏する。
トリガ電極27には、トリガ配線51が接続されている。トリガ配線51は、アノード電極21の外部に引回され、アノード電極21よりも外側の部分で真空槽11の外部に導出され、電源17に接続されている。
アノード電極21は、真空槽11と共に接地電位に接続されており、支持電極22は電源17に接続されている。
蒸着材料25とバッキングプレート24と冷却電極23の中心は、支持電極22の中心軸線の延長線上に位置している。
他方、電荷質量比の大きな正の荷電粒子は、電子に引き付けられ、アノード電極21の開口から真空槽11内に放出される。
トリガ放電によってアーク放電を複数回数誘起させると成膜対象物15の表面に所望膜厚の薄膜を形成することができる。
一方、アーク電流のピーク値は、3000Aから5000Aに増加している。
また、本発明のアーク蒸着源13では、蒸着材料25は板状に成形されており、その周囲には溝38が形成されている。
従って、蒸着材料25の、表面及び裏面と平行な方向の切断断面図は、表面や裏面に近い位置の方が、切断位置が厚み方向中央に近い方よりも大面積になっている。
更に、バッキングプレート24内の磁界形成装置により、蒸着材料25の中央にプラズマが集中されているので、中央付近の浸食量が増加し、蒸着材料25の有効活用を図れる。
13……アーク蒸着源
21……アノード電極
22……支持電極
23……冷却電極
25……蒸着材料
24……バッキングプレート
27……トリガ電極
28……浸食停止体
29……磁界形成装置
47……絶縁粒子
45……絶縁部材
Claims (10)
- 蒸着材料と、
前記蒸着材料を取囲むアノード電極と、
前記アノード電極内に配置されたトリガ電極とを有し、
前記トリガ電極と前記蒸着材料の間に生じたトリガ放電によって、前記アノード電極と前記蒸着材料の間にアーク放電が誘起され、前記蒸着材料から前記蒸着材料の蒸気が放出され、前記蒸着材料の蒸気のプラズマが噴出されるように構成されたアーク蒸着源であって、
冷媒体が循環可能な冷却電極を有し、前記蒸着材料は前記冷却電極上に配置され、前記冷媒体によって冷却されながら前記プラズマが噴出されるように構成されたアーク蒸着源。 - 前記アノード電極内には支持電極が配置され、
前記冷却電極は前記支持電極に接続され、
前記支持電極は電源に接続され、前記蒸着材料には、前記支持電極と前記冷却電極を介して電圧が印加され、
前記支持電極内を、前記アノード電極の中心軸線に沿ってアーク電流が流れるように構成された請求項1記載のアーク蒸着源。 - 前記支持電極内には、前記冷却電極に供給される前記冷媒体が流れる流路と、前記冷却電極から排出された前記冷媒体が流れる流路が形成された請求項2記載のアーク蒸着源。
- 蒸着材料と、
前記蒸着材料を取囲むアノード電極と、
前記アノード電極内に配置されたトリガ電極とを有し、
前記トリガ電極と前記蒸着材料の間に生じたトリガ放電によって、前記アノード電極と前記蒸着材料の間にアーク放電が誘起され、前記蒸着材料から前記蒸着材料の蒸気が放出され、前記蒸着材料の蒸気のプラズマが噴出されるように構成されたアーク蒸着源であって、
前記アノード電極内には電源に接続された支持電極が配置され、
前記支持電極を介して前記蒸着材料に電圧が印加されるように構成され、
前記支持電極と前記アノード電極の間には、絶縁粒子が配置された領域が設けられたアーク蒸着源。 - 前記支持電極の周囲には絶縁部材が配置され、前記アノード電極と前記絶縁部材の間の領域に前記絶縁粒子が配置された請求項4記載のアーク蒸着源。
- 導電性の蒸着材料と、
前記蒸着材料を取囲むアノード電極と、
前記アノード電極内に配置されたトリガ電極とを有し、
前記トリガ電極と前記蒸着材料の間に生じたトリガ放電によって、前記アノード電極と前記蒸着材料の間にアーク放電が誘起され、前記蒸着材料から前記蒸着材料の蒸気が放出され、前記蒸着材料の蒸気のプラズマが噴出されるように構成されたアーク蒸着源であって、
前記蒸着材料は円盤状に形成され、一表面が前記アノード電極の開口に向けられ、
前記蒸着材料の周囲には溝が形成され、前記溝内には絶縁物から成る浸食停止体が配置されたアーク蒸着源。 - 前記浸食停止体の前記蒸着材料の表面側の表面は、前記蒸着材料の外周付近よりも前記蒸着材料の中央に近い方が深くなる傾斜が設けられた請求項6記載のアーク蒸着源。
- 導電性の蒸着材料と、
前記蒸着材料を取囲むアノード電極と、
前記アノード電極内に配置されたトリガ電極とを有し、
前記トリガ電極と前記蒸着材料の間に生じたトリガ放電によって、前記アノード電極と前記蒸着材料の間にアーク放電が誘起され、前記蒸着材料から前記蒸着材料の蒸気が放出され、前記蒸着材料の蒸気のプラズマが噴出されるように構成されたアーク蒸着源であって、
前記蒸着材料の裏面側には、前記蒸着材料の表面に磁界を形成する磁界形成装置が配置されたアーク蒸着源。 - 前記蒸着材料の裏面に密着された導電性のバッキングプレートを有し、
前記磁界形成装置は前記バッキングプレートの内部に配置された請求項8記載のアーク蒸着源。 - 真空槽と、請求項1乃至請求項9のいずれか1項記載のアーク蒸着源とを有し、前記アーク蒸着源から前記真空槽内に前記蒸着材料の蒸気を放出できるように構成された成膜装置。
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