JP2008091420A - 量子ドット光半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】量子ドット光半導体素子の製造方法において、プロセスが簡便で、かつ、結晶品質が低下しないようにする。
【解決手段】量子ドット光半導体素子の製造方法を、V族元素を含む量子ドット3を自己形成する第1の工程と、量子ドット3の組成とは異なり、かつ、V族元素を含むバリア層4で量子ドット3を埋め込む第2の工程と、少なくとも気相エッチング終了時に量子ドット3を構成するV族元素を含む雰囲気になるようにして、バリア層4の一部及び量子ドット3の一部を気相エッチングする第3の工程とを含むものとし、第1の工程から第3の工程までを複数回繰り返して、複数の量子ドットを積層させてなる複合量子ドット5を形成する。
【選択図】図1
【解決手段】量子ドット光半導体素子の製造方法を、V族元素を含む量子ドット3を自己形成する第1の工程と、量子ドット3の組成とは異なり、かつ、V族元素を含むバリア層4で量子ドット3を埋め込む第2の工程と、少なくとも気相エッチング終了時に量子ドット3を構成するV族元素を含む雰囲気になるようにして、バリア層4の一部及び量子ドット3の一部を気相エッチングする第3の工程とを含むものとし、第1の工程から第3の工程までを複数回繰り返して、複数の量子ドットを積層させてなる複合量子ドット5を形成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、自己形成量子ドットを積層して形成されるコラムナ型量子ドットを備える量子ドット光半導体素子の製造方法に関する。
近年、光ファイバ通信の高速化・大容量化に伴い、光信号を電気信号に変換せずに光信号のまま処理する全光信号処理技術が望まれている。
半導体光増幅器(SOA:Semiconductor Optical Amplifier)は、小型で高速応答が可能である等の特長を有するため、全光信号処理を実現するための重要なデバイスとして期待されている。
半導体光増幅器(SOA:Semiconductor Optical Amplifier)は、小型で高速応答が可能である等の特長を有するため、全光信号処理を実現するための重要なデバイスとして期待されている。
特に、自己形成量子ドットを利得媒質に用いたSOAは、利得帯域が広い(広帯域増幅)、光出力が高い(高い飽和光出力)などの優れたデバイス特性を有することが実証されており(非特許文献1)、量子ドットSOAの開発が盛んになりつつある。
一般に、光ファイバ通信では、光ファイバから出力される光信号がランダムな偏光状態を持つため、使用される光素子の動作特性は光の偏光状態に依存しないことが要求される。
一般に、光ファイバ通信では、光ファイバから出力される光信号がランダムな偏光状態を持つため、使用される光素子の動作特性は光の偏光状態に依存しないことが要求される。
しかしながら、大きな格子不整合系へテロエピタキシャル成長の初期において、いわゆるStranski-Krastanov(S−K)成長モードで形成される自己形成量子ドットは、形状が扁平で、2軸性応力による非等方的な歪みをもっている。
このような自己形成量子ドットを活性層に用いた量子ドットSOAは、結晶成長面内に偏向したTE偏光に対しては利得を有するが、結晶成長方向に偏向したTM偏光に対しては利得を有しない、いわゆる偏波依存性の問題がある。
このような自己形成量子ドットを活性層に用いた量子ドットSOAは、結晶成長面内に偏向したTE偏光に対しては利得を有するが、結晶成長方向に偏向したTM偏光に対しては利得を有しない、いわゆる偏波依存性の問題がある。
このような量子ドットSOAの偏波無依存化を実現するためには、量子ドットの形状を扁平な形状から等方的な形状に変えることが有効であると考えられている。
その1つの方法として、複数の量子ドットを結晶成長方向に接合したコラムナ型量子ドットを形成することが提案されている(非特許文献2)。
なお、先行技術調査を行なった結果、以下の特許文献1が得られた。
特開平9−298290号公報
T. Akiyama et al. "An Ultrawide-Band Semiconductor Optical Amplifier Having an Extremely High Penalty-Free Output Power of 23 dBm Achieved With Quantum Dots",IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, VOL.17, NO.8, AUGUST 2005, pp.1614-1616
植竹理人等「MOVPE法による偏波無依存コラムナ型InAs量子ドットの実現」第66回応用物理学会学術講演会,講演予稿集No.1,(2005秋 徳島大学),228頁,9a−ZA−8
その1つの方法として、複数の量子ドットを結晶成長方向に接合したコラムナ型量子ドットを形成することが提案されている(非特許文献2)。
なお、先行技術調査を行なった結果、以下の特許文献1が得られた。
ところで、上記非特許文献2に記載されているようなコラムナ型量子ドットは、以下のようにして形成される。
つまり、まず、例えば有機金属気相成長(MOVPE)法によって、基板(図示せず)上に成長させたInGaAsP下地層(バッファ層)100上に、例えば基板温度460℃でInAs量子ドット101を形成する[図6(a)参照]。ここで、InAs量子ドット101はいわゆるS−Kモードで形成され、その形状は扁平でサイズがばらついている。
つまり、まず、例えば有機金属気相成長(MOVPE)法によって、基板(図示せず)上に成長させたInGaAsP下地層(バッファ層)100上に、例えば基板温度460℃でInAs量子ドット101を形成する[図6(a)参照]。ここで、InAs量子ドット101はいわゆるS−Kモードで形成され、その形状は扁平でサイズがばらついている。
次に、量子ドット101の高さよりも薄い膜厚のInGaAsPバリア層102で量子ドット101を埋め込む[図6(a)参照]。ここで、量子ドット101の高さよりもバリア層102の膜厚が薄いため、量子ドット101の頂部がバリア層102の表面から突出した凸形状になる。
次に、例えば水素雰囲気中で基板温度を500℃に上昇させ、InAsを蒸発又は熱拡散させることによって量子ドット101の頂部を平坦化する[図6(b)参照]。この平坦化工程によって、サイズのばらつきのある量子ドット101の高さが均一化される。
次に、例えば水素雰囲気中で基板温度を500℃に上昇させ、InAsを蒸発又は熱拡散させることによって量子ドット101の頂部を平坦化する[図6(b)参照]。この平坦化工程によって、サイズのばらつきのある量子ドット101の高さが均一化される。
次いで、例えば基板温度を460℃に下げ、2層目のInAs量子ドット101を形成する[図6(c)参照]。ここで、1層目の量子ドット101の歪場の影響によって、2層目の量子ドット101は1層目の量子ドット101の直上に形成されることになる。
その後、これらの工程を複数回繰り返すことによってInAs量子ドット101が結晶成長方向に接合したコラムナ型InAs量子ドット(コラムナドット)103を形成する[図6(d)参照]。
その後、これらの工程を複数回繰り返すことによってInAs量子ドット101が結晶成長方向に接合したコラムナ型InAs量子ドット(コラムナドット)103を形成する[図6(d)参照]。
このようにして形成されるコラムナ型量子ドット103の高さは積層数により制御される。積層数を増加させるとコラムナドット103の高さが増大し、これに伴ってフォトルミネッセンス(PL)波長(発光波長)の長波長化、TM発光成分の発光強度の増大を実現することができる。
一方、上述の量子ドット頂部の平坦化工程を、水素雰囲気中ではなく、P原料であるホスフィン(PH3)を含む水素雰囲気中で行なうと、上下の量子ドット間にPを含む薄い中間層が形成され、積層数を増やしてもPL波長が長波長化しないこと、即ち、コラムナ型量子ドットの量子力学的結合が弱くなることもわかっている。
一方、上述の量子ドット頂部の平坦化工程を、水素雰囲気中ではなく、P原料であるホスフィン(PH3)を含む水素雰囲気中で行なうと、上下の量子ドット間にPを含む薄い中間層が形成され、積層数を増やしてもPL波長が長波長化しないこと、即ち、コラムナ型量子ドットの量子力学的結合が弱くなることもわかっている。
このため、偏波無依存の量子ドットを実現するためには、上下の量子ドットが、中間層を介さずに、直接物理結合した量子力学的結合の強いコラムナ型量子ドットを形成することが必要になる。
しかしながら、上述の方法によってコラムナ型量子ドットを形成する場合、基板温度を複数回昇降させることが必要であるため、プロセスが複雑になり、また、結晶成長時間が非常に長くなり、プロセスコストが増大するなどの課題がある。
しかしながら、上述の方法によってコラムナ型量子ドットを形成する場合、基板温度を複数回昇降させることが必要であるため、プロセスが複雑になり、また、結晶成長時間が非常に長くなり、プロセスコストが増大するなどの課題がある。
また、上述の方法では、V族元素を含まない水素雰囲気中で基板温度の昇降を行なうため、量子ドットやバリア層などの表面からV族元素(特にP元素)が蒸発してしまい、これによって、結晶品質が低下してしまうおそれがある。
本発明は、このような課題に鑑み創案されたもので、プロセスが簡便で、かつ、結晶品質が低下しないようにした、量子ドット光半導体素子の製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、このような課題に鑑み創案されたもので、プロセスが簡便で、かつ、結晶品質が低下しないようにした、量子ドット光半導体素子の製造方法を提供することを目的とする。
このため、本発明の量子ドット光半導体素子の製造方法は、V族元素を含む量子ドットを自己形成する第1の工程と、量子ドットの組成とは異なり、かつ、V族元素を含むバリア層で量子ドットを埋め込む第2の工程と、少なくとも気相エッチング終了時に量子ドットを構成するV族元素を含む雰囲気になるようにして、バリア層の一部及び量子ドットの一部を気相エッチングする第3の工程とを含む。そして、第1の工程から第3の工程までを複数回繰り返して、複数の量子ドットを積層させてなる複合量子ドットを形成する。
したがって、本発明の量子ドット光半導体素子の製造方法によれば、プロセスが簡便で、かつ、結晶品質が低下しないようにすることができるという利点がある。
以下、図面により、本発明の実施の形態にかかる量子ドット光半導体素子の製造方法について説明する。
[第1実施形態]
まず、本発明の第1実施形態にかかる量子ドット光半導体素子の製造方法について、図1,図2を参照しながら説明する。
[第1実施形態]
まず、本発明の第1実施形態にかかる量子ドット光半導体素子の製造方法について、図1,図2を参照しながら説明する。
本実施形態にかかる量子ドット光半導体素子の製造方法は、量子ドットを活性層に用いた量子ドット光半導体素子の製造方法であって、特に、複数の自己形成量子ドットを近接積層して形成されるコラムナ型量子ドット(複合量子ドット)を活性層に用いた量子ドット光半導体素子の製造方法である。
本量子ドット光半導体素子の製造方法は、以下のようなコラムナ型量子ドットの形成工程を含むものとして構成される[図1(a)〜(d)参照]。
本量子ドット光半導体素子の製造方法は、以下のようなコラムナ型量子ドットの形成工程を含むものとして構成される[図1(a)〜(d)参照]。
つまり、まず、図1(a)に示すように、半導体基板1上にIII−V族化合物半導体材料からなる下地層(半導体下地層)2を形成し、この下地層2上にIII−V族化合物半導体材料からなる量子ドット3を自己形成する(第1の工程)。
次に、図1(a)に示すように、量子ドット3の組成とは異なるIII−V族化合物半導体材料からなるバリア層4で量子ドット3を埋め込む(第2の工程)。
次に、図1(a)に示すように、量子ドット3の組成とは異なるIII−V族化合物半導体材料からなるバリア層4で量子ドット3を埋め込む(第2の工程)。
次いで、図1(b)に示すように、少なくとも気相エッチング終了時に量子ドット3を構成するV族元素を含む雰囲気になるようにして、バリア層4の一部及び量子ドット3の一部を気相エッチングする(第3の工程)。
以後、図1(c),(d)に示すように、第1の工程から第3の工程までを複数回繰り返して、複数の量子ドット3を積層させてなるコラムナ型量子ドット5を形成する。
以後、図1(c),(d)に示すように、第1の工程から第3の工程までを複数回繰り返して、複数の量子ドット3を積層させてなるコラムナ型量子ドット5を形成する。
このようなコラムナ型量子ドット形成工程における各工程は、同じ基板温度で連続して行なうことができる。つまり、「発明が解決しようとする課題」の欄で説明した方法では、量子ドットの頂部を平坦化する平坦化工程において基板温度を上昇させる必要があったのに対し、本コラムナ型量子ドット形成工程では、いずれの工程においても基板温度を上昇させる必要がない。
したがって、作製プロセスを簡便にすることができ、また、結晶成長時間を短縮することができる。この結果、「発明が解決しようとする課題」の欄で説明した方法のように、プロセスコストの増大を招くこともない。
また、V族元素を含む雰囲気中で気相エッチングを行なうようにしているため、III−V族化合物半導体材料からなるバリア層4や量子ドット3からのV族元素の蒸発を防止することができ、結晶品質が低下してしまうのを防止することができる。
また、V族元素を含む雰囲気中で気相エッチングを行なうようにしているため、III−V族化合物半導体材料からなるバリア層4や量子ドット3からのV族元素の蒸発を防止することができ、結晶品質が低下してしまうのを防止することができる。
以下、コラムナ型量子ドット5の形成工程について、図2(a)〜(d)を参照しながら、より具体的に説明する。
ここでは、InAs/GaAs系コラムナ型量子ドットを形成する場合を例に説明する。
なお、結晶成長は、例えば、原料として、トリメチルインジウム(TMIn)、トリエチルガリウム(TEGa)、アルシン(AsH3)、n型不純物源としてのモノシラン(SiH4)、エッチング原料としての塩化水素(HCl)を用いた減圧MOVPE法により行なえば良い。また、キャリアガスには例えば水素を用い、例えば総流量5L/min、圧力50Torrとすれば良い。
ここでは、InAs/GaAs系コラムナ型量子ドットを形成する場合を例に説明する。
なお、結晶成長は、例えば、原料として、トリメチルインジウム(TMIn)、トリエチルガリウム(TEGa)、アルシン(AsH3)、n型不純物源としてのモノシラン(SiH4)、エッチング原料としての塩化水素(HCl)を用いた減圧MOVPE法により行なえば良い。また、キャリアガスには例えば水素を用い、例えば総流量5L/min、圧力50Torrとすれば良い。
まず、図2(a)に示すように、例えば成長温度(基板温度)650℃で、(100)面方位を有するn型GaAs基板[n型(100)GaAs基板]1A上にSiドープn型GaAs層を成長させて、例えば厚さ300nmのSiドープn型GaAsバッファ層(III−V族化合物半導体バッファ層;下地層)2Aを形成する。
次いで、図2(a)に示すように、成長を中断し、AsH3を含む水素雰囲気中で、基板温度を例えば500℃に下げ、n型GaAsバッファ層2A上に、例えば2分子層(ML)分に相当する原料供給量でInAs層を成長させる。
次いで、図2(a)に示すように、成長を中断し、AsH3を含む水素雰囲気中で、基板温度を例えば500℃に下げ、n型GaAsバッファ層2A上に、例えば2分子層(ML)分に相当する原料供給量でInAs層を成長させる。
この成長初期には2次元成長により濡れ層(ウェッティング層)3Aaが形成されるが、臨界膜厚を越えた時点で、濡れ層3Aa上に3次元島状のInAs量子ドット3A(V族元素としてAsを含む量子ドット)が形成される。
ここで、量子ドット3Aのサイズは成長条件に依存するが、例えば成長温度500℃では、底面の直径が20〜25nm程度、高さが4〜6nm程度の量子ドットが形成される。
ここで、量子ドット3Aのサイズは成長条件に依存するが、例えば成長温度500℃では、底面の直径が20〜25nm程度、高さが4〜6nm程度の量子ドットが形成される。
次に、図2(a)に示すように、同じ基板温度(例えば500℃)で、InAs量子ドット3Aを埋め込むようにGaAs層を成長させて、例えば厚さ8nmのGaAsバリア層4A(V族元素としてAsを含むバリア層)を形成する。ここでは、バリア層4Aの厚さをInAs量子ドット3Aの高さ(ばらつきがあるため、ここでは最も高いもの)よりも大きく設定しているため、GaAsバリア層4Aの表面は平坦になっている。
次いで、図2(b)に示すように、成長を中断し、同じ基板温度(例えば500℃)で、AsH3(例えば流量10cc/min)を含む水素雰囲気[V族元素としてAsを含む雰囲気,量子ドット3A又はバリア層4Aを構成するV族元素(As)を含む雰囲気]にHCl(例えば流量8cc/min)を添加することによって、GaAsバリア層4Aの一部及びInAs量子ドット3Aの一部を気相エッチングする。
ここでは、上記条件(HClの流量8cc/min)でのエッチング速度がGaAs,InAsのいずれも約10nm/min程度であるため、エッチング時間を30秒にして、GaAsバリア層4Aの最表面から厚さ5nm程度が気相エッチングによって除去されるようにしている。これにより、InAs量子ドット3Aの頂部が気相エッチングされ、残留高さは約3nm程度になる。
次いで、このようにしてエッチングされた表面上に、図2(c)に示すように、同じ基板温度(例えば500℃)で、上述と同様に、例えば2ML分に相当する原料供給量でInAs層を成長させてInAs量子ドット3Aを形成し、このInAs量子ドット3Aを埋め込むように例えば厚さ8nmのGaAsバリア層4Aを形成する。
以後、図2(d)に示すように、GaAsバリア層4Aの一部及びInAs量子ドット3Aの一部を気相エッチングする工程、InAs量子ドット3Aを形成する工程及びGaAsバリア層4Aを形成する工程(これらをまとめて積層工程という)を3回繰り返す。ここでは、最上層のInAs量子ドット3Aを形成した後、例えば厚さ100nmのGaAsバリア層4Aを形成するようにしている。
以後、図2(d)に示すように、GaAsバリア層4Aの一部及びInAs量子ドット3Aの一部を気相エッチングする工程、InAs量子ドット3Aを形成する工程及びGaAsバリア層4Aを形成する工程(これらをまとめて積層工程という)を3回繰り返す。ここでは、最上層のInAs量子ドット3Aを形成した後、例えば厚さ100nmのGaAsバリア層4Aを形成するようにしている。
これにより、複数(ここでは5つ)の量子ドット3Aが垂直方向(結晶成長方向)に接合されたコラムナ型InAs量子ドット5Aが形成される。ここでは、例えば、直径20〜25nm、高さ15〜17nmのコラムナ型InAs量子ドットが形成される。
上述のように、AsH3を含む水素雰囲気(V族元素としてAsを含む雰囲気)中で気相エッチングを行なっているため、量子ドット3A間に中間層が形成されることはなく、上下に積層された量子ドット3Aは物理的に直接接合されることになる。
上述のように、AsH3を含む水素雰囲気(V族元素としてAsを含む雰囲気)中で気相エッチングを行なっているため、量子ドット3A間に中間層が形成されることはなく、上下に積層された量子ドット3Aは物理的に直接接合されることになる。
このようにして形成されたコラムナ型InAs量子ドット5AのPL波長(発光波長)は約1.4μmになり、通常のS−K成長モードで自己形成されたInAs量子ドット3AのPL波長1.2μmに対して長波長化し、量子力学的に結合していることが確認できている。
したがって、本実施形態にかかる量子ドット光半導体素子の製造方法によれば、プロセスが簡便で、かつ、結晶品質が低下しないようにすることができるという利点がある。
したがって、本実施形態にかかる量子ドット光半導体素子の製造方法によれば、プロセスが簡便で、かつ、結晶品質が低下しないようにすることができるという利点がある。
つまり、「発明が解決しようとする課題」の欄で説明した方法のように、複数回の基板温度の昇降などの複雑な製造プロセスは必要なく、量子ドット3,3Aの成長温度と同じ温度で気相エッチングを行なうことができるため、製造プロセスが簡便になり、また、結晶成長時間も大幅に短縮することができ、プロセスコストを削減することができることになる。
また、量子ドット3,3Aやバリア層4,4Aを構成するV族元素(ここではAs)を含む雰囲気中で気相エッチングを行なうため、量子ドット3,3Aやバリア層4,4Aなどの表面からのV族元素(ここではAs)の蒸発を抑えることができ、高品質なコラムナ型量子ドット5,5Aを作製することが可能となる。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態にかかる量子ドット光半導体素子の製造方法について、図3〜図5を参照しながら説明する。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態にかかる量子ドット光半導体素子の製造方法について、図3〜図5を参照しながら説明する。
本実施形態にかかる量子ドット光半導体素子の製造方法は、上述の第1実施形態のものに対し、コラムナ型量子ドット形成工程の第3の工程(少なくとも気相エッチング終了時に量子ドットを構成するV族元素を含む雰囲気になるようにして、バリア層の一部及び量子ドットの一部を気相エッチングする工程)において、気相エッチングの途中で、V族元素を含む雰囲気を構成するガス種を変化させるようにしている点が異なる。
つまり、本実施形態では、上述の第1実施形態のV族元素を含む量子ドット3を自己形成する工程(第1の工程)において[図1(a)参照]、InAs量子ドット3A(V族元素としてAsを含む量子ドット)を形成する[図3(a)参照]。
また、上述の第1実施形態の量子ドット3Aの組成とは異なるV族元素を含むバリア層4で量子ドット3を埋め込む工程(第2の工程)において、InGaAsPバリア層4B(V族元素としてPを含むバリア層)を形成する。
また、上述の第1実施形態の量子ドット3Aの組成とは異なるV族元素を含むバリア層4で量子ドット3を埋め込む工程(第2の工程)において、InGaAsPバリア層4B(V族元素としてPを含むバリア層)を形成する。
そして、上述の第1実施形態において、バリア層4の一部及び量子ドット3の一部を気相エッチングする工程(第3の工程)において[図1(b)参照]、少なくとも気相エッチングの終了時にV族元素としてAsを含む雰囲気[量子ドット3Aを構成するV族元素(As)を含む雰囲気]になるように、最初にV族元素としてPを含む雰囲気[バリア層4Bを構成するV族元素(P)を含む雰囲気]にし、その後、V族元素としてAsを含む雰囲気[量子ドット3Aを構成するV族元素(As)を含む雰囲気]に変えるようにしている[図3(b),(c)参照]。
なお、図3では、上述の第1実施形態(図1参照)と同一のものには同一の符号を付している。
特に、蒸気圧の高いP元素を含むバリア層4Bの気相エッチングが、P元素を含む雰囲気中で行なわれると、バリア層4BからのP元素の蒸発を効果的に抑制でき、また、As元素を含む量子ドット3Aの気相エッチングが、As元素を含む雰囲気中で行なわれると、量子ドット3AからのAs元素の蒸発を抑制できるため、コラムナ型量子ドット5Aの結晶品質を維持することができる。
特に、蒸気圧の高いP元素を含むバリア層4Bの気相エッチングが、P元素を含む雰囲気中で行なわれると、バリア層4BからのP元素の蒸発を効果的に抑制でき、また、As元素を含む量子ドット3Aの気相エッチングが、As元素を含む雰囲気中で行なわれると、量子ドット3AからのAs元素の蒸発を抑制できるため、コラムナ型量子ドット5Aの結晶品質を維持することができる。
仮に、P元素を含むバリア層4Bの気相エッチングが、As元素を含む雰囲気中で行なわれたり、As元素を含む量子ドット3Aの気相エッチングが、P元素を含む雰囲気中で行なわれたりすると、P元素を含むバリア層4BやAs元素を含む量子ドット3Aの表面でAs/P置換反応が生じ、As/P置換反応層が形成されることが考えられるが、並行してウエハ表面の気相エッチングが進んでいるため、バリア層4Bや量子ドット3Aの表面にAs/P置換反応層が残ることはない。
特に、気相エッチングの終了時の雰囲気がV族元素としてAsを含む雰囲気[量子ドット3Aを構成するV族元素(As)を含む雰囲気]になるようにしているため、複数のAs系量子ドット3Aを積層させてコラムナ型量子ドット5Aを形成する際に、量子ドット3A間に中間層(P元素を含む中間層)が形成されることはなく、物理的に直接接合したコラムナ型量子ドット5Aを形成することができる。
以下、このようなコラムナ型量子ドット形成工程を含む本量子ドット光半導体素子の製造方法について、図3〜図5を参照しながら、より具体的に説明する。
ここでは、InAs/InP系コラムナ型量子ドットを活性層に用いた量子ドットSOAの製造方法を例に説明する。
なお、結晶成長は、例えば、原料として、TMIn、TEGa、AsH3、ホスフィン(PH3)、SiH4、p型不純物源としてのジエチル亜鉛(DEZn)、エッチング原料としてのHClを用いた減圧MOVPE法により行なえば良い。また、キャリアガスには例えば水素を用い、例えば総流量5L/min、圧力50Torrとすれば良い。
ここでは、InAs/InP系コラムナ型量子ドットを活性層に用いた量子ドットSOAの製造方法を例に説明する。
なお、結晶成長は、例えば、原料として、TMIn、TEGa、AsH3、ホスフィン(PH3)、SiH4、p型不純物源としてのジエチル亜鉛(DEZn)、エッチング原料としてのHClを用いた減圧MOVPE法により行なえば良い。また、キャリアガスには例えば水素を用い、例えば総流量5L/min、圧力50Torrとすれば良い。
まず、図4(a)[又は図3(a)]に示すように、例えば成長温度(基板温度)620℃で、(100)面方位を有するn型InP基板[n型(100)InP基板]1B上にSiドープn型InP層を成長させて、例えば厚さ500nmのSiドープn型InPバッファ層2Bを形成し、さらにバッファ層2B上にノンドープInGaAsP層を成長させて、例えば厚さ50nmのノンドープInGaAsP下地層2C(III−V族化合物半導体下地層;組成波長1.1μm)を形成する。
次いで、図3(a)[又は図4(a)]に示すように、成長を中断し、PH3を含む水素雰囲気中で、基板温度を例えば480℃に下げ、InGaAsP下地層2C上に、例えば2分子層(ML)分に相当する原料供給量でInAs層を成長させる。
この成長初期には2次元成長により濡れ層(ウェッティング層)3Aaが形成されるが、臨界膜厚を越えた時点で、濡れ層3Aa上に3次元島状のInAs量子ドット3A(V族元素としてAsを含む量子ドット)が形成される。
この成長初期には2次元成長により濡れ層(ウェッティング層)3Aaが形成されるが、臨界膜厚を越えた時点で、濡れ層3Aa上に3次元島状のInAs量子ドット3A(V族元素としてAsを含む量子ドット)が形成される。
ここで、量子ドット3Aのサイズは、底面の直径が30〜35nm程度、高さが5〜7nm程度に分布する。
次に、図3(a)[又は図4(a)]に示すように、同じ基板温度(例えば480℃)で、InAs量子ドット3Aを埋め込むようにノンドープ歪InGaAsP層を成長させて、例えば厚さ10nmのノンドープInGaAsP歪バリア層4B(組成波長1.1μm、1%伸張歪;V族元素としてPを含むバリア層)を形成する。
次に、図3(a)[又は図4(a)]に示すように、同じ基板温度(例えば480℃)で、InAs量子ドット3Aを埋め込むようにノンドープ歪InGaAsP層を成長させて、例えば厚さ10nmのノンドープInGaAsP歪バリア層4B(組成波長1.1μm、1%伸張歪;V族元素としてPを含むバリア層)を形成する。
ここでは、バリア層4Bの厚さをInAs量子ドット3Aの高さ(ばらつきがあるため、ここでは最も高いもの)よりも大きく設定しているため、InGaAsP歪バリア層4Bの表面は平坦になっている。
次いで、図3(b)[又は図4(a)]に示すように、成長を中断し、同じ基板温度(例えば480℃)で、PH3(流量30cc/min)を含んだ水素雰囲気[V族元素としてPを含む雰囲気,バリア層4Bを構成するV族元素(P)を含む雰囲気]にHCl(例えば流量8cc/min)を添加することによって、InGaAsP歪バリア層4Bの一部を気相エッチング(第1気相エッチング)する。
次いで、図3(b)[又は図4(a)]に示すように、成長を中断し、同じ基板温度(例えば480℃)で、PH3(流量30cc/min)を含んだ水素雰囲気[V族元素としてPを含む雰囲気,バリア層4Bを構成するV族元素(P)を含む雰囲気]にHCl(例えば流量8cc/min)を添加することによって、InGaAsP歪バリア層4Bの一部を気相エッチング(第1気相エッチング)する。
ここでは、上記条件(HClの流量8cc/minでInGaAsPをエッチングする)でのエッチング速度が約6nm/min程度であるため、エッチング時間を30秒にして、InGaAsP歪バリア層4Bの最表面から厚さ3nm程度が気相エッチングによって除去されるようにしている。これにより、最大サイズのInAs量子ドット3Aの頂部が表面に現れる。
このように、本実施形態では、Pを含む雰囲気中でInGaAsP歪バリア層4Bの気相エッチングが行なわれるため、InGaAsP歪バリア層4BからP元素が、結晶品質が低下してしまうほど過剰に蒸発してしまうことはない。
次いで、図3(c)[又は図4(a)]に示すように、同じ基板温度(例えば480℃)で、エッチング雰囲気を、AsH3(流量10cc/min)を含んだ水素雰囲気[V族元素としてAsを含む雰囲気,量子ドット3Aを構成するV族元素(As)を含む雰囲気]にHCl(流量8cc/min)を添加した雰囲気に変えて[即ち、Pを含む原料ガス(ここではPH3)からAsを含む原料ガス(ここではAsH3)に切り替えて]、さらにInGaAsP歪バリア層4Bの一部及びInAs量子ドット3Aの一部を気相エッチング(第2気相エッチング)する。
次いで、図3(c)[又は図4(a)]に示すように、同じ基板温度(例えば480℃)で、エッチング雰囲気を、AsH3(流量10cc/min)を含んだ水素雰囲気[V族元素としてAsを含む雰囲気,量子ドット3Aを構成するV族元素(As)を含む雰囲気]にHCl(流量8cc/min)を添加した雰囲気に変えて[即ち、Pを含む原料ガス(ここではPH3)からAsを含む原料ガス(ここではAsH3)に切り替えて]、さらにInGaAsP歪バリア層4Bの一部及びInAs量子ドット3Aの一部を気相エッチング(第2気相エッチング)する。
ここでは、上記条件(HClの流量8cc/minでInGaAsPをエッチングする)でのエッチング速度が約6nm/min程度であるため、エッチング時間を30秒にして、InGaAsP歪バリア層4Bがさらに厚さ3nm程度エッチングされるようにしている。この結果、InGaAsP歪バリア層4Bの最表面から厚さ6nm程度が気相エッチングによって除去されることになる。
この場合、最小サイズ以外のInAs量子ドット3Aの一部も気相エッチングによって除去されることになる。例えば、最大サイズのInAs量子ドット3Aは、その頂部から厚さ3nm程度エッチングされることになる。一方、最小サイズのInAs量子ドット3Aの頂部も表面に現れ、その頂部から厚さ1nm程度がエッチングされることになる。
このように、本実施形態では、Asを含む雰囲気中でInAs量子ドット3Aの気相エッチングが行われるため、InAs量子ドット3AからのAs元素が、結晶品質が低下してしまうほど過剰に蒸発してしまうことはない。
このように、本実施形態では、Asを含む雰囲気中でInAs量子ドット3Aの気相エッチングが行われるため、InAs量子ドット3AからのAs元素が、結晶品質が低下してしまうほど過剰に蒸発してしまうことはない。
次いで、このようにしてエッチングされた表面上に、図3(d)[又は図4(a)]に示すように、同じ基板温度(例えば480℃)で、上述と同様に、例えば2ML分に相当する原料供給量でInAs層を成長させてInAs量子ドット3Aを形成し、このInAs量子ドット3Aを埋め込むように例えば厚さ10nmのノンドープInGaAsP歪バリア層4B(組成波長1.1μm、伸張歪1%)を形成する。
以後、図3(e)[又は図4(a)]に示すように、InGaAsP歪バリア層4Bの一部及びInAs量子ドット3Aの一部を気相エッチングする工程、InAs量子ドット3Aを形成する工程及びInGaAsP歪バリア層4Aを形成する工程(これらをまとめて積層工程という)を2回繰り返す。ここでは、最上層のInAs量子ドット3Aを形成した後、例えば厚さ50nmのノンドープInGaAsPスペーサ層4C(組成波長1.1μm)を形成するようにしている。
これにより、複数(ここでは4つ)の量子ドット3Aが垂直方向(結晶成長方向)に接合されたコラムナ型InAs量子ドット5Aが形成される。ここでは、例えば、直径30〜35nm、高さ24〜26nmのコラムナ型InAs量子ドットが形成される。
上述のように、気相エッチングの途中で、V族元素を含む雰囲気を構成するガス種を変化させ、エッチング終了時の雰囲気がV族元素としてAsを含む雰囲気になっているため、InAs量子ドット3A間に中間層(Pを含む中間層)が形成されることはなく、上下に積層された量子ドット3Aは物理的に直接接合されることになる。
上述のように、気相エッチングの途中で、V族元素を含む雰囲気を構成するガス種を変化させ、エッチング終了時の雰囲気がV族元素としてAsを含む雰囲気になっているため、InAs量子ドット3A間に中間層(Pを含む中間層)が形成されることはなく、上下に積層された量子ドット3Aは物理的に直接接合されることになる。
以後、上述したようなコラムナ型量子ドット形成工程を2回繰り返して、図4(a)に示すように、トータルで3層のInAsコラムナ量子ドット5Aを積層する。
次に、図4(a)に示すように、成長を中断し、PH3を含む水素雰囲気中で、例えば基板温度を620℃に上げ、ノンドープInGaAsPスペーサ層4C上にZnドープp型InP層を成長させて、例えば厚さ200nmのZnドープp型InP第1クラッド層6を形成する。
次に、図4(a)に示すように、成長を中断し、PH3を含む水素雰囲気中で、例えば基板温度を620℃に上げ、ノンドープInGaAsPスペーサ層4C上にZnドープp型InP層を成長させて、例えば厚さ200nmのZnドープp型InP第1クラッド層6を形成する。
次いで、p型InP第1クラッド層6上に、例えば幅2μmのSiO2ストライプマスクを[011]方向に形成し、図4(b)に示すように、このマスク10を用いて、n型InPバッファ層2Bの一部にまで到達するストライプ状のメサ構造7を形成する。
その後、図4(c)に示すように、このメサ構造7の両側がp型InP層、n型InP層で埋め込まれるように、p型InP層8、n型InP層9を順次成長させる(埋込成長)。
その後、図4(c)に示すように、このメサ構造7の両側がp型InP層、n型InP層で埋め込まれるように、p型InP層8、n型InP層9を順次成長させる(埋込成長)。
次に、SiO2ストライプマスク10を除去した後、図4(d)に示すように、p型InP第1クラッド層6及びn型InP層9上に、例えば厚さ3μmのp型InP第2クラッド層11、例えば厚さ300nmのp型InGaAsコンタクト層12を順次積層する。
最後に、図5に示すように、n型InP基板1Bの裏面にn側電極13、p型InGaAsコンタクト層の表面にp側電極14を形成して、InAsコラムナ量子ドット5Aを利得媒質(活性層)に用いた量子ドットSOA15が完成する。
最後に、図5に示すように、n型InP基板1Bの裏面にn側電極13、p型InGaAsコンタクト層の表面にp側電極14を形成して、InAsコラムナ量子ドット5Aを利得媒質(活性層)に用いた量子ドットSOA15が完成する。
このようにして、1.55μm通信波長帯でTE−TM偏波間利得差の小さい量子ドットSOA15を作製することができる。
したがって、本実施形態にかかる量子ドット光半導体素子の製造方法によれば、上述の第1実施形態のものと同様に、プロセスが簡便で、かつ、結晶品質が低下しないようにすることができるという利点がある。
したがって、本実施形態にかかる量子ドット光半導体素子の製造方法によれば、上述の第1実施形態のものと同様に、プロセスが簡便で、かつ、結晶品質が低下しないようにすることができるという利点がある。
つまり、「発明が解決しようとする課題」の欄で説明した方法のように、複数回の基板温度の昇降などの複雑な製造プロセスは必要なく、量子ドット3Aの成長温度と同じ温度で気相エッチングを行なうことができるため、製造プロセスが簡便になり、また、結晶成長時間も大幅に短縮することができ、プロセスコストを削減することができることになる。
また、量子ドット3Aやバリア層4Bを構成するV族元素(ここではAs,P)を含む雰囲気中で気相エッチングを行なうため、量子ドット3Aやバリア層4Bなどの表面からのV族元素(ここではAs,P)の蒸発を抑えることができ、高品質なコラムナ型量子ドット5Aを作製することが可能となる。
[その他]
なお、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することができる。
[その他]
なお、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することができる。
例えば、上述の各実施形態では、気相エッチングに用いるエッチングガスとしてHCl(塩素系ガス)を供給しているが、これに限られるものではなく、例えばCBr4、C12、CH3Cl、ターシャルブチルクロライド等のエッチング性を有するハロゲン系ガスを供給するのも好ましい。
また、上述の各実施形態では、キャリアガスとして水素を用いているが、これに限られるものではなく、例えば量子ドット及びバリア層に対して不活性な窒素あるいはHe,Ne,Ar,Kr,Xe等の希ガス、さらにはこれらの混合ガスを用いても良い。
また、上述の各実施形態では、キャリアガスとして水素を用いているが、これに限られるものではなく、例えば量子ドット及びバリア層に対して不活性な窒素あるいはHe,Ne,Ar,Kr,Xe等の希ガス、さらにはこれらの混合ガスを用いても良い。
また、上述の各実施形態では、V族元素としてAsを含む雰囲気を、AsH3を含む雰囲気としているが、これに限られるものではなく、Asを含む雰囲気にするためには、例えば、TBA(ターシャルブチルアルシン)を供給して、Asを含む雰囲気にしても良い。
また、上述の各実施形態では、V族元素としてPを含む雰囲気を、PH3を含む雰囲気としているが、これに限られるものではなく、Pを含む雰囲気にするためには、例えば、TBP(ターシャルブチルホスフィン)を供給して、Pを含む雰囲気にしても良い。
また、上述の各実施形態では、V族元素としてPを含む雰囲気を、PH3を含む雰囲気としているが、これに限られるものではなく、Pを含む雰囲気にするためには、例えば、TBP(ターシャルブチルホスフィン)を供給して、Pを含む雰囲気にしても良い。
また、上述の各実施形態では、InAs量子ドットにしているが、これに限られるものではなく、例えばInGaAs,InAsSb,GaAsSb,InGaAsP,InAsP,GaAs,GaInNAs等の他のIII−V族化合物半導体材料(III−V族化合物半導体混晶)からなる量子ドットにしても良い。
また、上述の各実施形態では、量子ドットの形成の際にウェッティング層も形成される場合を例に説明しているが、ウェッティング層が形成されないような成長条件で量子ドットを形成するようにしても良い。
また、上述の各実施形態では、量子ドットの形成の際にウェッティング層も形成される場合を例に説明しているが、ウェッティング層が形成されないような成長条件で量子ドットを形成するようにしても良い。
また、上述の各実施形態では、GaAsバリア層又はInGaAsPバリア層にしているが、これらに限られるものではなく、量子ドットの組成と異なる材料、例えば、InGaAs,InAlGaAs,InAlGaP,GaInNAs,InGaAsSb等のIII−V族化合物半導体材料(III−V族化合物半導体混晶)からなるバリア層にしても良い。
また、上述の各実施形態では、(100)面方位を有するn型GaAs基板又はn型InP基板(第1の導電型の半導体基板)上に形成した量子ドットSOAを例に説明しているが、これに限られるものはない。例えばp型GaAs基板又はp型InP基板(第2の導電型の半導体基板)上に形成しても良いし、高抵抗InP基板(SI−InP基板)上に形成しても良い。
また、上述の第2実施形態では、本発明を埋込型量子ドットSOAに適用した場合を例に説明しているが、これに限られるものではなく、本発明はリッジ型量子ドットSOAに適用することもできる。
また、上述の第2実施形態では、光半導体素子として量子ドットSOAを例に説明しているが、これに限られるものではなく、本発明は、半導体レーザなどの量子ドットを用いる光半導体素子(量子ドット光半導体素子)に広く適用できるものである。
また、上述の第2実施形態では、光半導体素子として量子ドットSOAを例に説明しているが、これに限られるものではなく、本発明は、半導体レーザなどの量子ドットを用いる光半導体素子(量子ドット光半導体素子)に広く適用できるものである。
また、上述の第2実施形態では、埋込層をp型InP層及びn型InP層としているが、これに限られるものではなく、例えば、Fe−InP層などの半絶縁性InP埋込層(高抵抗半導体層)としても良い[SI−PBH(semi-insulating blocked planar buried heterostructure)構造又はSI−BH(Semi-Insulating Buried Heterostructure)構造]。
また、上述の第2実施形態では、コラムナ型量子ドットを含む層を3周期繰り返して積層した構造にしているが、これに限られるものではなく、周期数は任意に設定すれば良い。
以下、上述の各実施形態に関し、更に、付記を開示する。
(付記1)
V族元素を含む量子ドットを自己形成する第1の工程と、
前記量子ドットの組成とは異なり、かつ、V族元素を含むバリア層で前記量子ドットを埋め込む第2の工程と、
少なくとも気相エッチング終了時に前記量子ドットを構成するV族元素を含む雰囲気になるようにして、前記バリア層の一部及び前記量子ドットの一部を気相エッチングする第3の工程とを含み、
前記第1の工程から前記第3の工程までを複数回繰り返して、複数の量子ドットを積層させてなる複合量子ドットを形成することを特徴とする量子ドット光半導体素子の製造方法。
以下、上述の各実施形態に関し、更に、付記を開示する。
(付記1)
V族元素を含む量子ドットを自己形成する第1の工程と、
前記量子ドットの組成とは異なり、かつ、V族元素を含むバリア層で前記量子ドットを埋め込む第2の工程と、
少なくとも気相エッチング終了時に前記量子ドットを構成するV族元素を含む雰囲気になるようにして、前記バリア層の一部及び前記量子ドットの一部を気相エッチングする第3の工程とを含み、
前記第1の工程から前記第3の工程までを複数回繰り返して、複数の量子ドットを積層させてなる複合量子ドットを形成することを特徴とする量子ドット光半導体素子の製造方法。
(付記2)
前記第3の工程において、気相エッチングの途中で、前記V族元素を含む雰囲気を構成するガス種を変化させることを特徴とする、付記1記載の量子ドット光半導体素子の製造方法。
(付記3)
前記第3の工程において、最初に前記バリア層を構成するV族元素を含む雰囲気にし、その後、前記量子ドットを構成するV族元素を含む雰囲気に変えることを特徴とする、付記1又は2記載の量子ドット光半導体素子の製造方法。
前記第3の工程において、気相エッチングの途中で、前記V族元素を含む雰囲気を構成するガス種を変化させることを特徴とする、付記1記載の量子ドット光半導体素子の製造方法。
(付記3)
前記第3の工程において、最初に前記バリア層を構成するV族元素を含む雰囲気にし、その後、前記量子ドットを構成するV族元素を含む雰囲気に変えることを特徴とする、付記1又は2記載の量子ドット光半導体素子の製造方法。
(付記4)
前記第1の工程において、V族元素としてAsを含む量子ドットを形成し、
前記第2の工程において、V族元素としてPを含むバリア層を形成し、
前記第3の工程において、最初にV族元素としてPを含む雰囲気にし、その後、V族元素としてAsを含む雰囲気に変えることを特徴とする、付記1〜3のいずれか1項に記載の量子ドット光半導体素子の製造方法。
前記第1の工程において、V族元素としてAsを含む量子ドットを形成し、
前記第2の工程において、V族元素としてPを含むバリア層を形成し、
前記第3の工程において、最初にV族元素としてPを含む雰囲気にし、その後、V族元素としてAsを含む雰囲気に変えることを特徴とする、付記1〜3のいずれか1項に記載の量子ドット光半導体素子の製造方法。
(付記5)
前記第1の工程、前記第2の工程及び前記第3の工程が同じ温度で行なわれることを特徴とする、付記1〜4のいずれか1項に記載の量子ドット光半導体素子の製造方法。
(付記6)
前記第3の工程において、V族元素を含む雰囲気中にハロゲン系ガスを供給して気相エッチングを行なうことを特徴とする、付記1〜5のいずれか1項に記載の量子ドット光半導体素子の製造方法。
前記第1の工程、前記第2の工程及び前記第3の工程が同じ温度で行なわれることを特徴とする、付記1〜4のいずれか1項に記載の量子ドット光半導体素子の製造方法。
(付記6)
前記第3の工程において、V族元素を含む雰囲気中にハロゲン系ガスを供給して気相エッチングを行なうことを特徴とする、付記1〜5のいずれか1項に記載の量子ドット光半導体素子の製造方法。
1 半導体基板
1A n型GaAs基板
1B n型InP基板
2 下地層
2A n型GaAsバッファ層
2B n型InPバッファ層
2C InGaAaP下地層
3 量子ドット
3A InAs量子ドット
3Aa 濡れ層
4 バリア層
4A GaAsバリア層
4B InGaAsP歪バリア層
4C InGaAsPスペーサ層
5,5A コラムナ型量子ドット
6 p型InP第1クラッド層
7 メサ構造
8 p型InP層
9 n型InP層
10 SiO2マスク
11 p型InP第2クラッド層
12 p型InGaAsコンタクト層
13 n側電極
14 p側電極
15 量子ドットSOA
1A n型GaAs基板
1B n型InP基板
2 下地層
2A n型GaAsバッファ層
2B n型InPバッファ層
2C InGaAaP下地層
3 量子ドット
3A InAs量子ドット
3Aa 濡れ層
4 バリア層
4A GaAsバリア層
4B InGaAsP歪バリア層
4C InGaAsPスペーサ層
5,5A コラムナ型量子ドット
6 p型InP第1クラッド層
7 メサ構造
8 p型InP層
9 n型InP層
10 SiO2マスク
11 p型InP第2クラッド層
12 p型InGaAsコンタクト層
13 n側電極
14 p側電極
15 量子ドットSOA
Claims (5)
- V族元素を含む量子ドットを自己形成する第1の工程と、
前記量子ドットの組成とは異なり、かつ、V族元素を含むバリア層で前記量子ドットを埋め込む第2の工程と、
少なくとも気相エッチング終了時に前記量子ドットを構成するV族元素を含む雰囲気になるようにして、前記バリア層の一部及び前記量子ドットの一部を気相エッチングする第3の工程とを含み、
前記第1の工程から前記第3の工程までを複数回繰り返して、複数の量子ドットを積層させてなる複合量子ドットを形成することを特徴とする量子ドット光半導体素子の製造方法。 - 前記第3の工程において、気相エッチングの途中で、前記V族元素を含む雰囲気を構成するガス種を変化させることを特徴とする、請求項1記載の量子ドット光半導体素子の製造方法。
- 前記第3の工程において、最初に前記バリア層を構成するV族元素を含む雰囲気にし、その後、前記量子ドットを構成するV族元素を含む雰囲気に変えることを特徴とする、請求項1又は2記載の量子ドット光半導体素子の製造方法。
- 前記第1の工程、前記第2の工程及び前記第3の工程が同じ温度で行なわれることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の量子ドット光半導体素子の製造方法。
- 前記第3の工程において、V族元素を含む雰囲気中にハロゲン系ガスを供給して気相エッチングを行なうことを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の量子ドット光半導体素子の製造方法。
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WO2011010389A1 (ja) * | 2009-07-24 | 2011-01-27 | パイオニア株式会社 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2011124479A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置及びその製造方法、中継装置、受信装置、光通信システム |
WO2015198377A1 (ja) * | 2014-06-23 | 2015-12-30 | 富士通株式会社 | 半導体レーザ光源及び半導体レーザ光源の製造方法 |
WO2017101898A1 (de) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | Universität Kassel | Verfahren zum herstellen eines quantenpunkt-lasermaterials und quantenpunktlaser |
CN112154535A (zh) * | 2018-05-24 | 2020-12-29 | 三菱电机株式会社 | Iii-v族化合物半导体装置的制造方法 |
-
2006
- 2006-09-29 JP JP2006267975A patent/JP2008091420A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011010389A1 (ja) * | 2009-07-24 | 2011-01-27 | パイオニア株式会社 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2011124479A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置及びその製造方法、中継装置、受信装置、光通信システム |
US8729526B2 (en) | 2009-12-14 | 2014-05-20 | Fujitsu Limited | Optical semiconductor device and method of manufacturing optical semiconductor device |
WO2015198377A1 (ja) * | 2014-06-23 | 2015-12-30 | 富士通株式会社 | 半導体レーザ光源及び半導体レーザ光源の製造方法 |
JPWO2015198377A1 (ja) * | 2014-06-23 | 2017-05-25 | 富士通株式会社 | 半導体レーザ光源及び半導体レーザ光源の製造方法 |
US9948059B2 (en) | 2014-06-23 | 2018-04-17 | Fujitsu Limited | Semiconductor laser light source and fabrication method |
WO2017101898A1 (de) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | Universität Kassel | Verfahren zum herstellen eines quantenpunkt-lasermaterials und quantenpunktlaser |
CN112154535A (zh) * | 2018-05-24 | 2020-12-29 | 三菱电机株式会社 | Iii-v族化合物半导体装置的制造方法 |
CN112154535B (zh) * | 2018-05-24 | 2024-04-30 | 三菱电机株式会社 | Iii-v族化合物半导体装置的制造方法 |
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