JP2008084951A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一対の基板を構成する半導体基板と回路基板との各表面にそれぞれ形成された電極の間に絶縁材料が埋め込まれて、絶縁材料が接着性を発現する第1の温度にて、半導体基板が回路基板に対して傾けられ、仮固定されて、仮固定した複数の一対の基板が真空引きされて、仮固定した複数の一対の基板の表面に均等に圧力を加えて、一対の基板を接合し、圧力を維持するとともに、絶縁材料が硬化する第2の温度にて、接合された絶縁材料が硬化させられて、電極同士が固相拡散を発現もしくは電極同士が融解する第3の温度にて、接合された電極間に金属接合が形成されるようになる。
【選択図】図1
Description
半導体基板と回路基板100は、電極が形成された半導体基板110と電極が形成された回路基板120が対になって構成されている。そして、電極が形成された半導体基板110は、半導体基板101上にバンプ電極102が複数形成されることによって、構成されている。また、同様に、電極が形成された回路基板120は、回路基板111上にバンプ電極112が複数形成されることによって構成されている。
半導体基板と回路基板200は、封止された半導体基板210と封止された回路基板220とが対になって構成されている。そして、封止された半導体基板210は、半導体基板201上にバンプ電極202が複数形成されて、バンプ電極202の間を埋めるようにして封止樹脂203が形成されることによって構成されている。また、同様に、封止された回路基板220は、回路基板211上にバンプ電極212が複数形成されて、バンプ電極212の間を埋めるようにして封止樹脂213が形成されることによって構成されている。
まず、本発明の概要について説明し、その後に、本発明の実施の形態について説明を行う。
本発明では、以下のステップS11からステップS15を経ることによって、半導体基板と回路基板とにフリップチップ実装が実現される。
[ステップS12]電極が露出されるように絶縁樹脂に覆われた半導体基板および回路基板を、それぞれの電極同士および絶縁樹脂同士が対向するように接合する。絶縁樹脂が流動化せずに、接着性を発現する温度にて、回路基板に対し半導体基板を傾けた状態で、半導体基板周辺部4辺のうち何れか1辺のみで回路基板に絶縁樹脂の接着力を利用して仮固定させる。
[ステップS14]仮固定された半導体基板と回路基板との表面を均等に加圧する。加圧して、一定の圧力を維持しながら、絶縁樹脂が硬化する温度にて、仮固定された半導体基板と回路基板との絶縁樹脂を硬化させる。
以上のように、絶縁樹脂が流動性を発現する温度以下で接合された半導体基板と回路基板とを加圧し、絶縁樹脂の接着力により半導体基板と回路基板とが仮固定されるために、露出された電極への絶縁樹脂の流入を防止することができる。さらに半導体基板の外周部のみで仮固定した状態で真空引きすることにより、半導体基板と回路基板との間の残留空気を排出した状態で仮固定された半導体基板と回路基板とを加圧することにより、ボイドの生成を抑制する。引き続き、一定圧力を維持したまま、絶縁樹脂を硬化させることによって、絶縁樹脂の膨張を抑え込むことができ、電極への絶縁樹脂の流入を防止することができる。また、半導体基板と回路基板とを均等圧によって加圧することから、確実に対向する電極同士の接合を実現することが可能となる。さらに、仮固定後、電極が固相拡散を発現もしくは電極が融解する温度にて、対向する電極同士を接合させると、電極間に金属接合が生じるために、確実に電極同士の接合を実現することが可能となる。
次に実施の形態について、図2〜図11を用いて以下に説明する。
図2は、バンプ電極が絶縁樹脂により封止された半導体基板の断面模式図である。
半導体基板11上に、電極材料のCuを用いて複数のバンプ電極12aを形成する。エポキシ系の接着剤である絶縁樹脂13aを印刷法により、複数のバンプ電極12a間に塗布して、バンプ電極12aの間を埋め込む。
また、絶縁樹脂13aによってバンプ電極12aの間を埋め込むとき、図2に示すように、バンプ電極12a全体を覆うように絶縁樹脂13aを形成した場合は、次に説明するように、平坦化処理を行うことによって、バンプ電極12aを露出させることができる。
図3は、平坦化されているバンプ電極が絶縁樹脂により封止された半導体基板の断面模式図であり、図4は、平坦化されたバンプ電極が絶縁樹脂により封止された半導体基板の断面模式図である。
図5は、表面に形成されたバンプ電極の間が絶縁樹脂にて埋め込まれた回路基板の断面模式図である。
封止された半導体基板10と封止された回路基板20とを実装する工程には、大きく分けて「仮固定」処理の工程、「樹脂硬化」処理の工程、「金属接合」処理の工程の3つに分けられる。
フリップチップボンダにより「仮固定」し、バンプ電極12,22同士および絶縁樹脂13,23同士が対向するようにする。ここで、半導体基板11は、回路基板21に対して傾いた状態で仮固定されている。続いて、均等圧力接合装置で、「樹脂硬化」し、さらに連続して均等圧力接合装置を用いるか、もしくは加熱炉またはリフロー炉を用いて電極同士を「金属接合」させる。
半導体基板と回路基板とを接合させるために、「仮固定」処理の工程、「樹脂硬化」処理の工程、「金属接合」処理の工程の3つの工程が、図7に示すような、温度、圧力、気圧に従って行われる。
なお、均等圧力接合装置40には、ヒータ41a,41b、ポンプ42、フリップチップボンダ43および側壁44a,44bにより構成されている。
まず、「仮固定」処理の工程について説明する。
図8に示したように、均等圧力接合装置40内にフリップチップボンダ43によって仮固定された封止された半導体基板10と封止された回路基板20とが複数搭載される。
なお、「樹脂硬化」処理では、さらに2段階の工程を有する。
「樹脂硬化」処理とともに、図9に示したように、バンプ電極12,22間では、Cu電極とSn電極とで固相拡散が生じて、CuとSnとの金属間化合物(Cu6Sn6およびCu3Sn)が生成される。
図10に示すように、均等圧力接合装置40から取り出された、接合された封止された半導体基板10と封止された回路基板20とをオーブンなどによって、250℃〜300℃の温度によって加熱する。接合された封止された半導体基板10と封止された回路基板20とが、再び加熱されることによって、バンプ電極12,22間の固相拡散がさらに進展する。固相拡散がさらに進展すると、リン青銅において、Cu6Sn6からCu3Snへの変化が促進され応力集中の少ない電極構造となり、バンプ電極12,22の接合が強化されて、フリップチップ構造を有する半導体装置が完成する。
図11は、樹脂と電極との組み合わせによる接合条件の表である。
一対の基板を構成する半導体基板と回路基板との各表面にそれぞれ形成された電極の間を絶縁材料にて埋め込む工程と、
前記絶縁材料が接着性を発現する第1の温度にて、前記半導体基板を前記回路基板に対して傾けて、仮固定する工程と、
仮固定した複数の前記一対の基板を真空引きする工程と、
仮固定した複数の前記一対の基板の表面に均等に圧力を加えて、前記一対の基板を接合し、前記圧力を維持するとともに、前記絶縁材料が硬化する第2の温度にて、接合された前記絶縁材料を硬化させる工程と、
前記電極同士が固相拡散を発現もしくは前記電極同士が融解する第3の温度にて、接合された前記電極間に金属接合を形成させる工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記4) 前記平坦化する工程の前に、前記絶縁材料を半硬化する工程をさらに有することを特徴とする付記2又は3記載の半導体装置の製造方法。
(付記6) 前記電極に、金、銅、錫または錫合金のうちいずれか1種もしくは2種を用いることを特徴とする付記1乃至5のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
(付記8) 真空中において、前記絶縁材料を硬化させる工程を行うことを特徴とする付記1乃至7のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
(付記10) 0.01MPaから1MPaの圧力下において、前記仮固定する工程を行うことを特徴とする付記1乃至9のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
(付記13) 前記均等な圧力は、0.3MPaから10MPaであることを特徴とする付記1乃至12のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
11 半導体基板
12 バンプ電極
13 絶縁樹脂
20 封止された回路基板
21 回路基板
22 バンプ電極
23 絶縁樹脂
40 均等圧力接合装置
41a,41b ヒータ
42 ポンプ
43 フリップチップボンダ
44a,44b 側壁
Claims (5)
- フリップチップ構造を有する半導体装置の製造方法において、
一対の基板を構成する半導体基板と回路基板との各表面にそれぞれ形成された電極の間を絶縁材料にて埋め込む工程と、
前記絶縁材料が接着性を発現する第1の温度にて、前記半導体基板を前記回路基板に対して傾けて、仮固定する工程と、
仮固定した複数の前記一対の基板を真空引きする工程と、
仮固定した複数の前記一対の基板の表面に均等に圧力を加えて、前記一対の基板を接合し、前記圧力を維持するとともに、前記絶縁材料が硬化する第2の温度にて、接合された前記絶縁材料を硬化させる工程と、
前記電極同士が固相拡散を発現もしくは前記電極同士が融解する第3の温度にて、接合された前記電極間に金属接合を形成させる工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記電極の間を前記絶縁材料にて埋め込む工程の後に、前記絶縁材料の表面および前記電極の表面を平坦化する工程をさらに有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記絶縁材料にエポキシ系接着剤もしくはベンゾシクロブテン系接着剤を用いることを特徴とする請求項1乃至2のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記電極に、金、銅、錫または錫合金のうちいずれか1種もしくは2種を用いることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記電極が前記基板上に、電解メッキ法、無電解メッキ法、印刷法またはワイヤバンプを用いて形成されることを特徴とする請求項4記載の半導体装置の製造方法。
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