JP2008078409A - 基板用ステージ、直動モータの使用方法、及び位置決め治具 - Google Patents

Abstract

【課題】直動モータのシャフト部と移動部との接触を防止し、テーブル又は光学ユニットの移動を直動モータにより高速かつ高精度に行う。
【解決手段】直動モータは、円柱状の磁石を内蔵したシャフト部１４ａと、シャフト部１４ａを取り囲むコイルを内蔵し、シャフト部１４ａの外径より大きな内径の移動部１４ｂとを有する。接触防止機構は、移動部１４ｂの両端に取り付けられ、シャフト部１４ａが振動したとき、シャフト部１４ａと移動部１４ｂとの接触を防止する。接触防止機構は、複数のローラ３１と、各ローラ３１を回転可能に保持する複数のローラ保持部材３２と、各ローラ保持部材を案内する複数の案内溝３３ａを設けたローラ取り付け部材３３とを有し、各ローラ３１の表面がシャフト部１４ａの外径と移動部１４ｂの内径との間に位置する様に、各ローラ保持部材３２をローラ取り付け部材３３の各案内溝３３ａ内で位置決めしている。
【選択図】図３

Description

本発明は、例えば液晶ディスプレイ装置等の表示用パネル基板の処理、検査又は測定において、基板と基板の処理、検査又は測定を行う光学ユニットとを相対的に移動する基板用ステージ、該基板用ステージに好適な直動モータの使用方法、及び該使用方法に用いられる位置決め治具に関する。

表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。そして、パターン形成後、検査装置を用いて、基板の表面に異物や欠陥等が無いか検査が行われる。液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ基板又はカラーフィルタ基板では、さらに、測定装置を用いて、基板の表面に形成されたフォトスペーサの高さの測定が行われる。

この様な基板の処理、検査又は測定において、基板用ステージは、基板を搭載するテーブル、基板の処理、検査又は測定を行う光学ユニット、あるいは両者を移動することにより、基板と光学ユニットとを相対的に移動する。従来、テーブル又は光学ユニットを移動する機構としては、ボールねじ等の送りねじが使用されていた。例えば、特許文献１及び特許文献２には、送りねじを使用した基板の検査装置が開示されている。
特開２００４−２７９１６２号公報 特開２００２−９８６４１号公報

近年、表示用パネルの大画面化に伴って基板が大型化する程、基板の処理、検査又は測定において、テーブル又は光学ユニットの移動を高速かつ高精度に行いたいという要求が強くなって来た。しかしながら、ボールねじ等の送りねじを使用した従来の基板用ステージでは、テーブル又は光学ユニットを移動する速度及び精度の向上に限界があった。

送りねじに代わる新たな機構として、円柱状の磁石を内蔵したシャフト部と、シャフト部を取り囲むコイルを内蔵した移動部とを有する直動モータが開発されている。移動部の内径は、シャフト部の外径よりわずかに大きく、シャフト部と移動部は、わずかな隙間を介して接触しない様に設置される。コイルに電流を流すと、コイルの電流と磁石の磁界とから、フレミングの左手の法則によって、移動部に推力が発生する。シャフト部と移動部が非接触で摩擦が無いため、高速かつ高精度な移動が可能である。

しかしながら、直動モータを用いて、基板用ステージのテーブルや光学ユニットの様に質量の大きなものを急激に加速又は減速させると、シャフト部が振動を起こし、シャフト部と移動部とが接触して塵が発生し、発生した塵がコイルに付着してコイルが短絡するという問題があった。また、直動モータを用いて、質量の大きなものの移動を高速で繰り返すと、コイルが過度に高温となって焼き付く恐れがあった。

本発明の課題は、直動モータのシャフト部と移動部との接触を防止し、テーブル又は光学ユニットの移動を直動モータにより高速かつ高精度に行うことである。さらに、本発明の課題は、簡単な設備で直動モータのコイルを冷却することである。

本発明の基板用ステージは、基板を搭載するテーブルと、テーブルに搭載された基板の処理、検査又は測定を行う光学ユニットと、基板と光学ユニットとを相対的に移動する移動手段とを備えた基板用ステージであって、移動手段が、円柱状の磁石を内蔵したシャフト部と、シャフト部を取り囲むコイルを内蔵し、シャフト部の外径より大きな内径の移動部とを有する直動モータと、移動部の両端に取り付けられ、シャフト部が振動したとき、シャフト部と移動部との接触を防止する接触防止機構とを有するものである。

移動部がテーブル又は光学ユニットを急激に加速又は減速させることにより、シャフト部が振動を起こしても、移動部の両端に取り付けられた接触防止機構が、シャフト部と移動部との接触を防止するので、シャフト部と移動部が非接触で摩擦無く保たれ、テーブル又は光学ユニットを高速かつ高精度に移動することができる。

さらに、本発明の基板用ステージは、接触防止機構が、複数のローラと、各ローラを回転可能に保持する複数のローラ保持部材と、各ローラ保持部材を案内する複数の案内溝を設けたローラ取り付け部材とを有し、各ローラの表面がシャフト部の外径と移動部の内径との間に位置する様に、各ローラ保持部材をローラ取り付け部材の各案内溝内で位置決めしたものである。

また、本発明の直動モータの使用方法は、円柱状の磁石を内蔵したシャフト部と、シャフト部を取り囲むコイルを内蔵し、シャフト部の外径より大きな内径の移動部とを有する直動モータの使用方法であって、複数のローラと、各ローラを回転可能に保持する複数のローラ保持部材と、各ローラ保持部材を案内する複数の案内溝を設けたローラ取り付け部材とを有する接触防止機構を、移動部の両端に取り付け、各ローラの表面がシャフト部の外径と移動部の内径との間に位置する様に、各ローラ保持部材をローラ取り付け部材の各案内溝内で位置決めし、シャフト部が振動したとき、ローラがシャフト部に当たって、シャフト部と移動部との接触を防止するものである。

各ローラの表面をシャフト部の外径と移動部の内径との間に位置させるので、シャフト部が振動しない限り、ローラはシャフト部に当たらず、シャフト部とローラとの摩擦で塵が発生しない。シャフト部が振動したとき、ローラがシャフト部に当たって、シャフト部と移動部との接触を防止する。ローラ取り付け部材に各ローラ保持部材を案内する複数の案内溝が設けられているので、各ローラ保持部材の位置決めが容易となる。

さらに、本発明の直動モータの使用方法は、内径がシャフト部の外径とほぼ同じであり、シャフト部の外径より大きく移動部の内径より小さな外径の胴部と、移動部の内径より大きな外径の脚部と、脚部の端に設けられたテーパ部と、脚部の一部を削って設けられたローラ逃げ部とを有する位置決め治具を、シャフト部に装着し、各ローラを位置決め治具の胴部に突き当てて、各ローラ保持部材をローラ取り付け部材の各案内溝内で位置決めするものである。

また、本発明の位置決め治具は、内径がシャフト部の外径とほぼ同じであり、シャフト部の外径より大きく移動部の内径より小さな外径の胴部と、移動部の内径より大きな外径の脚部と、脚部の端に設けられたテーパ部と、脚部の一部を削って設けられたローラ逃げ部とを有し、上記直動モータの使用方法に用いられるものである。

位置決め治具をシャフト部に装着し、各ローラを位置決め治具の胴部に突き当てる簡単な作業で、各ローラの表面をシャフト部の外径と移動部の内径との間に位置させることができる。

さらに、本発明の基板用ステージは、移動部の側面に取り付けられ、移動部からの放熱を促進する放熱部材を備えたものである。放熱部材により、簡単な設備で直動モータのコイルの冷却が行われる。

さらに、本発明の基板用ステージは、放熱部材を覆うカバーと、カバーの一端に設けられ、カバー内へ空気を吸入する吸気口と、カバーの他端に設けられ、カバー内から空気を排出する排気口とを備えたものである。カバー内で吸気口から排気口へ流れる空気により、放熱部材が強制冷却されて放熱効果がさらに促進される。強制冷却のための空気はカバー外へ漏れず、塵が発生して基板に付着することが無い。

本発明の基板用ステージによれば、直動モータのシャフト部と移動部との接触を防止し、テーブル又は光学ユニットの移動を直動モータにより高速かつ高精度に行うことができる。

さらに、本発明の基板用ステージ及び直動モータの使用方法によれば、各ローラの表面をシャフト部の外径と移動部の内径との間に位置させることにより、シャフト部が振動しない限り、シャフト部とローラとの摩擦で塵が発生するのを防止することができる。また、ローラ取り付け部材に各ローラ保持部材を案内する複数の案内溝を設けることにより、各ローラ保持部材の位置決めを容易に行うことができる。

さらに、本発明の直動モータの使用方法及び位置決め治具によれば、位置決め治具をシャフト部に装着し、各ローラを位置決め治具の胴部に突き当てる簡単な作業で、各ローラの表面をシャフト部の外径と移動部の内径との間に位置させることができる。

さらに、本発明の基板用ステージによれば、放熱部材により、簡単な設備で直動モータのコイルを冷却することができる。

さらに、本発明の基板用ステージによれば、カバー内で吸気口から排気口へ流れる空気により、放熱部材を強制冷却して放熱効果をさらに促進させることができる。また、強制冷却のための空気がカバー外へ漏れないので、塵が発生して基板に付着するのを防止することができる。

図１は、本発明の一実施の形態による基板用ステージの上面図である。また、図２は、本発明の一実施の形態による基板用ステージの側面図である。本実施の形態は、基板用ステージを、基板の表面に形成されたフォトスペーサの高さを測定する高さ測定装置に適用した例を示している。基板用ステージは、テーブル１０、ベース１１、Ｘガイド１２、Ｘ移動ベース１３、Ｘ方向移動用の直動モータ、該直動モータの接触防止機構、Ｙガイド１５、Ｙ移動ベース１６、Ｙ方向移動用の直動モータ、該直動モータの接触防止機構、及び光学ユニット２０を含んで構成されている。

図１及び図２において、表面に測定対象のフォトスペーサが形成された基板１が、ベース１１上のテーブル１０に搭載されている。テーブル１０は、基板１を真空吸着して固定する。ベース１１にはＸガイド１２が設けられ、Ｘガイド１２にはテーブル１０を跨ぐ門型のＸ移動ベース１３が搭載されている。Ｘ移動ベース１３の上面にはＹガイド１５が設けられ、Ｙガイド１５にはＹ移動ベース１６が搭載されている。Ｙ移動ベース１６には、フォトスペーサの高さ測定を行う光学ユニット２０が搭載されている。

Ｘ移動ベース１３には、Ｘ方向移動用の直動モータの移動部１４ｂが連結されている。Ｘ移動ベース１３は、シャフト部１４ａ及び移動部１４ｂから成るＸ方向移動用の直動モータにより、Ｘガイド１２に沿ってＸ方向へ移動する。同様に、Ｙ移動ベース１６には、Ｙ方向移動用の直動モータの移動部１７ｂが連結されている。Ｙ移動ベース１６は、シャフト部１７ａ及び移動部１７ｂから成るＹ方向移動用の直動モータにより、Ｙガイド１５に沿ってＹ方向へ移動する。Ｘ移動ベース１３のＸ方向への移動及びＹ移動ベース１６のＹ方向への移動によって、光学ユニット２０がテーブル１０に搭載された基板１の各測定点の上方へ移動する。

なお、本実施の形態では光学ユニットが１つだけ設けられているが、光学ユニットを複数設けてもよい。

以下、Ｘ方向移動用の直動モータ及び該直動モータの接触防止機構について説明する。Ｙ方向移動用の直動モータ及び該直動モータの接触防止機構も、同様の構成である。

図３（ａ）は本発明の一実施の形態による直動モータ及び接触防止機構の側面図、図３（ｂ）は同正面図である。Ｘ方向移動用の直動モータは、円柱状の磁石を内蔵したシャフト部１４ａと、シャフト部１４ａを取り囲むコイルを内蔵した移動部１４ｂとを有する。移動部１４ｂの内径は、シャフト部１４ａの外径よりわずかに大きく、シャフト部１４ａと移動部１４ｂは、わずかな隙間を介して接触しない様に設置されている。ケーブル１４ｃからコイルに電流を流すと、コイルの電流と磁石の磁界とから、フレミングの左手の法則によって、移動部１４ｂに推力が発生する。シャフト部１４ａと移動部１４ｂが非接触で摩擦が無いため、高速かつ高精度な移動が可能である。

接触防止機構は、移動部１４ｂの両端に取り付けられ、複数のローラ３１と、各ローラ３１を回転可能に保持する複数のローラ保持部材３２と、各ローラ保持部材３２が固定されるローラ取り付け部材３３とを含んで構成されている。

なお、本実施の形態では、移動部１４ｂの外形が四角柱であり、それに合わせてローラ３１を移動部１４ｂの両端にそれぞれ４つ設けているが、ローラ３１を移動部１４ｂの両端にそれぞれ３つ又は５つ以上設けてもよい。

図４（ａ）は接触防止機構を直動モータの正面側から見た図、図４（ｂ）は図４（ａ）に対応して接触防止機構を直動モータの側面側から見た図である。図４（ａ）に示す様に、ローラ保持部材３２には、ボルト３４を挿入する長穴３２ａが設けられている。図４（ｂ）に示す様に、ローラ取り付け部材３３には、各ローラ保持部材３２を案内する複数の案内溝３３ａが設けられている。各ローラ保持部材３２は、各ローラ３１の表面がシャフト部１４ａの外径と移動部１４ｂの内径との間に位置する様に、ローラ取り付け部材３３の各案内溝３３ａ内で位置決めされ、長穴３２ａへ挿入されたボルト３４により、ローラ取り付け部材３３に固定されている。

各ローラ３１の表面をシャフト部１４ａの外径と移動部１４ｂの内径との間に位置させるので、シャフト部１４ａが振動しない限り、ローラ３１はシャフト部１４ａに当たらず、シャフト部１４ａとローラ３１との摩擦で塵が発生しない。シャフト部１４ａが振動したとき、ローラ３１がシャフト部１４ａに当たって、シャフト部１４ａと移動部１４ｂとの接触を防止する。ローラ取り付け部材３３に各ローラ保持部材３２を案内する複数の案内溝３３ａが設けられているので、各ローラ保持部材３２の位置決めが容易となる。

さらに、本実施の形態では、特殊な位置決め治具を用いて、各ローラ保持部材３２の位置決めを行う。図５は、位置決め治具の斜視図である。また、図６（ａ）は位置決め治具の側面図、図６（ｂ）は位置決め治具の底面図である。図５に示す様に、位置決め治具４０は、同じ形状の２つの治具部品４１を組み合わせて構成されている。２つの治具部品４１を組み合わせた状態で、位置決め治具４０は、その内径がシャフト部１４ａの外径とほぼ同じであり、シャフト部１４ａの外径より大きく移動部１４ｂの内径より小さな外径の胴部４０ａと、移動部１４ｂの内径より大きな外径の脚部４０ｂと、脚部４０ｂの端に設けられたテーパ部４０ｃと、脚部４０ｂの一部を削って設けられたローラ逃げ部４０ｄとを有する。

まず、シャフト部１４ａを挟んで２つの治具部品４１を組み合わせることにより、位置決め治具４０をシャフト部１４ａに装着する。図７（ａ）は位置決め治具をシャフト部に装着した状態を示す図である。続いて、移動部１４ｂを図７（ａ）の図面上方向へ移動し、移動部１４ｂの内壁の縁を位置決め治具４０のテーパ部４０ｃに接触させる。そして、ローラ保持部材３２をローラ取り付け部材３３の案内溝３３ａ内でスライドさせて、ローラ３１を位置決め治具４０の胴部４０ａに突き当てる。

図７（ｂ）はローラを位置決め治具の胴部に突き当てた状態を示す図である。位置決め治具４０の胴部４０ａに突き当てられたローラ３１の表面は、シャフト部１４ａの外径と移動部１４ｂの内径との間に位置する。この状態で、ローラ保持部材３２をボルト３４によりローラ取り付け部材３３に固定する。ローラ保持部材３２を固定した後は、ローラ３１が位置決め治具４０のローラ逃げ部４０ｄに沿う様にしながら、移動部１４ｂを図７（ｂ）の図面下方向へ移動する。そして、２つの治具部品４１を離して、位置決め治具４０をシャフト部１４ａから外す。

以上説明した実施の形態によれば、移動部１４ｂが光学ユニット２０を急激に加速又は減速させることにより、シャフト部１４ａが振動を起こしても、移動部１４ｂの両端に取り付けられた接触防止機構が、シャフト部１４ａと移動部１４ｂとの接触を防止するので、シャフト部１４ａと移動部１４ｂが非接触で摩擦無く保たれ、光学ユニット２０を高速かつ高精度に移動することができる。なお、光学ユニット２０を移動する代わりに、直動モータを用いてテーブル１０をＸＹ方向へ移動することにより、基板１と光学ユニット２０とを相対的に移動してもよい。

さらに、以上説明した実施の形態によれば、各ローラ３１の表面をシャフト部１４ａの外径と移動部１４ｂの内径との間に位置させることにより、シャフト部１４ａが振動しない限り、シャフト部１４ａとローラ３１との摩擦で塵が発生するのを防止することができる。また、ローラ取り付け部材３３に各ローラ保持部材３２を案内する複数の案内溝３３ａを設けることにより、各ローラ保持部材３２の位置決めを容易に行うことができる。

さらに、以上説明した実施の形態によれば、位置決め治具４０をシャフト部１４ａに装着し、各ローラ３１を位置決め治具４０の胴部４０ａに突き当てる簡単な作業で、各ローラ３１の表面をシャフト部１４ａの外径と移動部１４ｂの内径との間に位置させることができる。

図８（ａ）は本発明の他の実施の形態による直動モータ及び接触防止機構の側面図、図８（ｂ）は同正面図である。本実施の形態は、図３に示した直動モータの移動部１４ｂの側面に、放熱部材５０を取り付けたものである。放熱部材５０は、アルミニウム等の熱伝導率の良い材料で作られ、複数のフィン５０ａを有する。放熱部材５０は、複数のフィン５０ａから周囲の空気へ熱を放出することにより、移動部１４ｂからの放熱を促進する。放熱部材５０が移動部１４ｂからの放熱を促進することにより、移動部１４ｂの内部のコイルが冷却される。

なお、図８に示した実施の形態では、放熱部材５０が移動部１４ｂの１つの側面だけに取り付けられているが、放熱部材５０を移動部１４ｂの２つ以上の側面に取り付けてもよい。

図９（ａ）は本発明のさらに他の実施の形態による直動モータ及び接触防止機構の側面図、図９（ｂ）は同正面図である。本実施の形態は、図８に示した実施の形態に、さらに、放熱部材５０を覆うカバー５１を取り付け、カバー５１内へ空気を吸入する吸気口５２をカバー５１の一端に設け、カバー５１内から空気を排出する排気口５３をカバー５１の他端に設けたものである。

吸気口５２には、空気供給設備から流量センサー５４を介して、圧縮空気が供給される。吸気口５２に供給された圧縮空気は、カバー５１内を流れて排気口５３から排出され、流量センサー５５を介して、真空ポンプへ吸引される。カバー５１内で吸気口５２から排気口５３へ流れる空気により、放熱部材５１が強制冷却されて放熱効果がさらに促進される。強制冷却のための空気はカバー５１外へ漏れず、塵が発生して基板１に付着することが無い。

流量センサー５４は、吸気口５２へ供給される圧縮空気の流量を測定する。流量センサー５５は、排気口５３から排出される空気の流量を測定する。流量センサー５４，５５の測定結果が所定値未満となった場合は、ケーブル１４ｃへの給電を遮断して、直動モータを停止する。

図８及び図９に示した実施の形態によれば、放熱部材５０により、簡単な設備で直動モータのコイルを冷却することができる。

さらに、図９に示した実施の形態によれば、カバー５１内で吸気口５２から排気口５３へ流れる空気により、放熱部材５０を強制冷却して放熱効果をさらに促進させることができる。また、強制冷却のための空気がカバー外へ漏れないので、塵が発生して基板に付着するのを防止することができる。

本発明の基板用ステージは、基板の測定装置に限らず、基板の露光を行う露光装置や基板の検査を行う検査装置等の様に、基板と光学ユニットとの相対的な移動が必要な装置に適用することができる。

本発明の一実施の形態による基板用ステージの上面図である。 本発明の一実施の形態による基板用ステージの側面図である。 図３（ａ）は本発明の一実施の形態による直動モータ及び接触防止機構の側面図、図３（ｂ）は同正面図である。 図４（ａ）は接触防止機構を直動モータの正面側から見た図、図４（ｂ）は図４（ａ）に対応して接触防止機構を直動モータの側面側から見た図である。 位置決め治具の斜視図である。 図６（ａ）は位置決め治具の側面図、図６（ｂ）は位置決め治具の底面図である。 図７（ａ）は位置決め治具をシャフト部に装着した状態を示す図、図７（ｂ）はローラを位置決め治具の胴部に突き当てた状態を示す図である。 図８（ａ）は本発明の他の実施の形態による直動モータ及び接触防止機構の側面図、図８（ｂ）は同正面図である。 図９（ａ）は本発明のさらに他の実施の形態による直動モータ及び接触防止機構の側面図、図９（ｂ）は同正面図である。

符号の説明

１ 基板
１０ テーブル
１１ ベース
１２ Ｘガイド
１３ Ｘ移動ベース
１４ａ，１７ａ シャフト部
１４ｂ，１７ｂ 移動部
１４ｃ ケーブル
１５ Ｙガイド
１６ Ｙ移動ベース
２０ 光学ユニット
３１ ローラ
３２ ローラ保持部材
３２ａ 長穴
３３ ローラ取り付け部材
３３ａ 案内溝
３４ ボルト
４０ 位置決め治具
４０ａ 胴部
４０ｂ 脚部
４０ｃ テーパ部
４０ｄ ローラ逃げ部
４１ 治具部品
５０ 放熱部材
５０ａ フィン
５１ カバー
５２ 吸気口
５３ 排気口
５４，５５ 流量センサー

Claims (7)

1. 基板を搭載するテーブルと、
   前記テーブルに搭載された基板の処理、検査又は測定を行う光学ユニットと、
   基板と前記光学ユニットとを相対的に移動する移動手段とを備えた基板用ステージであって、
   前記移動手段は、
   円柱状の磁石を内蔵したシャフト部と、シャフト部を取り囲むコイルを内蔵し、シャフト部の外径より大きな内径の移動部とを有する直動モータと、
   前記移動部の両端に取り付けられ、前記シャフト部が振動したとき、前記シャフト部と前記移動部との接触を防止する接触防止機構とを有することを特徴とする基板用ステージ。
2. 前記接触防止機構は、
   複数のローラと、
   各ローラを回転可能に保持する複数のローラ保持部材と、
   各ローラ保持部材を案内する複数の案内溝を設けたローラ取り付け部材とを有し、
   各ローラの表面が前記シャフト部の外径と前記移動部の内径との間に位置する様に、各ローラ保持部材を前記ローラ取り付け部材の各案内溝内で位置決めしたことを特徴とする請求項１に記載の基板用ステージ。
3. 円柱状の磁石を内蔵したシャフト部と、シャフト部を取り囲むコイルを内蔵し、シャフト部の外径より大きな内径の移動部とを有する直動モータの使用方法であって、
   複数のローラと、各ローラを回転可能に保持する複数のローラ保持部材と、各ローラ保持部材を案内する複数の案内溝を設けたローラ取り付け部材とを有する接触防止機構を、移動部の両端に取り付け、
   各ローラの表面がシャフト部の外径と移動部の内径との間に位置する様に、各ローラ保持部材をローラ取り付け部材の各案内溝内で位置決めし、
   シャフト部が振動したとき、ローラがシャフト部に当たって、シャフト部と移動部との接触を防止することを特徴とする直動モータの使用方法。
4. 内径がシャフト部の外径とほぼ同じであり、シャフト部の外径より大きく移動部の内径より小さな外径の胴部と、移動部の内径より大きな外径の脚部と、脚部の端に設けられたテーパ部と、脚部の一部を削って設けられたローラ逃げ部とを有する位置決め治具を、シャフト部に装着し、
   各ローラを位置決め治具の胴部に突き当てて、各ローラ保持部材をローラ取り付け部材の各案内溝内で位置決めすることを特徴とする請求項３に記載の直動モータの使用方法。
5. 内径がシャフト部の外径とほぼ同じであり、シャフト部の外径より大きく移動部の内径より小さな外径の胴部と、移動部の内径より大きな外径の脚部と、脚部の端に設けられたテーパ部と、脚部の一部を削って設けられたローラ逃げ部とを有し、請求項４に記載の直動モータの使用方法に用いられる位置決め治具。
6. 前記移動部の側面に取り付けられ、前記移動部からの放熱を促進する放熱部材を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板用ステージ。
7. 前記放熱部材を覆うカバーと、
   前記カバーの一端に設けられ、前記カバー内へ空気を吸入する吸気口と、
   前記カバーの他端に設けられ、前記カバー内から空気を排出する排気口とを備えたことを特徴とする請求項６に記載の基板用ステージ。

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