JP6207337B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
本実施の形態では、放熱板でなるブレードカバー冷却機構を備えた切削装置について説明する。図1は、本実施の形態に係る切削装置2の構成例を模式的に示す斜視図である。なお、図1には、加工対象のウェーハ(被加工物)11を併せて示している。
本実施の形態では、ブレードカバーを冷却水で冷却するブレードカバー冷却機構を備えた切削装置について説明する。なお、本実施の形態に係る切削装置の基本的な構成は、実施の形態1に係る切削装置2の構成と共通している。よって、実施の形態1と共通する構成については共通の符号を付し、本実施の形態では、主に、実施の形態1とは異なる構成について説明する。
4 基台
4a 開口
4b 支持台
4c 開口
6 カセットエレベータ
8 カセット
10 仮置き機構
12 プッシュプル機構
14 ガイドレール
16 X軸移動テーブル
18 防水カバー
20 チャックテーブル(保持手段)
20a 保持面
22 クランプ
24 第1搬送機構
26 切削ユニット
28 撮像ユニット
30 洗浄機構
32 スピンナテーブル
34 第2搬送機構
38 スピンドル
38a スラストプレート
40 切削ブレード
40a ハブ基台
40b 切り刃
42 マウントフランジ
44 ナット
46 ブレードカバー
46a ブレード収容空間
46b スリット(開口)
46c 吸入路
46d 吸入路
46e 外気吸入路
46f 外気吸入路
48 第1カバー
48a スピンドル挿通部
48b パージエアー排出路
50 第2カバー
52 ブレード検出機構
52a 発光部
52b 受光部
54 排気口
56 吸引源
58 放熱板(フィン)
60 スピンドルユニット
62 スピンドルハウジング
62a エアー供給路
62b エアー排出路
62c 冷却水供給路
62d 冷却水排出路
64 エアー供給源
66 スラストエアーベアリング
68 ラジアルエアーベアリング
70 モータ
72 ステータ
74 ロータ
76 ブレードカバー
76a 冷却水路
78 冷却水供給源
11 ウェーハ(被加工物)
13 ダイシングテープ
15 フレーム
Claims (3)
- 被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段で保持された被加工物を切削する切削ブレードと、
該切削ブレードを回転可能に支持するスピンドルを含むスピンドルユニットと、
該スピンドルユニットに装着され、該切削ブレードを収容するブレード収容空間を内部に有するとともに、該切削ブレードの先端を突出させる開口を底部に有し、該切削ブレードを覆うブレードカバーと、
該ブレードカバーを冷却するブレードカバー冷却手段と、を備え、
該ブレードカバーは、吸引源に接続され該ブレード収容空間内に取り込まれた切削液を外部に排出する排出口と、該ブレード収容空間内にエアーを取り込む吸入路と、を更に有することを特徴とする切削装置。 - 該ブレードカバー冷却手段は、該ブレードカバーの外周に形成されたフィンからなることを特徴とする請求項1に記載の切削装置。
- 該ブレードカバー冷却手段は、該ブレードカバーの内部に形成された冷却水路と、該冷却水路に接続された冷却水供給源と、からなることを特徴とする請求項1に記載の切削装置。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2013214765A JP6207337B2 (ja) | 2013-10-15 | 2013-10-15 | 切削装置 |
Publications (2)
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JP2015079792A JP2015079792A (ja) | 2015-04-23 |
JP6207337B2 true JP6207337B2 (ja) | 2017-10-04 |
Family
ID=53011008
Family Applications (1)
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JP2013214765A Active JP6207337B2 (ja) | 2013-10-15 | 2013-10-15 | 切削装置 |
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- 2013-10-15 JP JP2013214765A patent/JP6207337B2/ja active Active
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