JP2008070356A - サーボ型加速度計 - Google Patents

Abstract

【課題】高いバイアス安定性を確保し、かつバイアス変化の非可逆性を引き起こす要因を少なくし、温度特性に優れたサーボ型加速度計を実現する。
【解決手段】サーボ型加速度計において、センシング機構を構成する一対の磁気ヨークのうちの一方の磁気ヨークと磁石との間に設けられたポールピースボトムに支持軸を一体形成する。この支持軸は前記一方の磁気ヨークの閉塞板部に設けられた貫通孔を貫通して外側に突出する。センシング機構は、その支持軸を介してハウジングのプレートに固定支持され、収納される。なお、支持軸は、ポールピースボトムではなく、磁気ヨークの閉塞板部に一体形成してもよい。
【選択図】図１

Description

この発明はトルカコイルが振子に取り付けられ、加速度入力による振子の変位（振れ量）に基づいた電流がトルカコイルに流されて電磁力の作用により振子が中立点で平衡する構成とされたサーボ型加速度計に関する。

図４はこの種のサーボ型加速度計の従来構成例（例えば、特許文献１参照。）を示したものであり、図５はそのサーボ型加速度計が具備する振子部１１の構造を示したものである。

図５に示したように、円形状の振子部１１は、略環状に形成された枠体１１Ａと、切欠１１Ｂ、１１Ｃと、この枠体１１Ａの内径よりも小さい径を有する略円板状及び／又は舌状板体の振子１２と、この振子１２を枠体１１Ａの枠内に位置してその板厚方向に揺動可能に、枠体１１Ａに支持させる一対のヒンジ１３とによって形成される。これら枠体１１Ａ、振子１２及びヒンジ１３は例えばクオーツによって一体形成されて振動部１１を構成する。ヒンジ１３は肉薄とされて弾性変形可能とされている。

振動部１１の枠体１１Ａの両板面には図４に示したように一対の磁気ヨーク１４，１５が対接され、これら磁気ヨーク１４，１５によって振動部１１は挟み込まれている。磁気ヨーク１４，１５は共に一端側が開放され、他端側が閉塞された円筒状カップ形状をなすものとされ、その一端側の開放端面１４ｃ、１５ｃが枠体１１Ａに対接されている。磁気ヨーク１４，１５と振動部１１とは接着によって固定されている。磁気ヨーク１４，１５は例えばインバーなどの熱膨張係数が小さい金属材料によって形成されている。

磁気ヨーク１４，１５の内部にはそれぞれポールピースボトム１６’，１６、永久磁石１７’，１７及びポールピーストップ１８’，１８が収容されている。これらポールピースボトム１６’，１６、永久磁石１７’，１７及びポールピーストップ１８’，１８はそれぞれ円板状をなし、その中心軸が磁気ヨーク１４，１５の中心軸に一致されて、磁気ヨーク１４，１５の他端側を閉塞している閉塞板部１４ａ，１５ａの内面上にそれぞれ順次積層されて配置されている。ポールピーストップ１８’，１８の周縁部は図４に示したように肉厚とされている。

永久磁石１７’，１７には例えばサマリウム系希土類コバルト磁石が用いられる。ポールピースボトム１６’，１６及びポールピーストップ１８’，１８は例えば電磁軟鉄材によって形成される。永久磁石１７’，１７とポールピースボトム１６’，１６及びポールピーストップ１８’，１８との固定はそれぞれ接着固定とされる。ポールピースボトム１６’，１６と磁気ヨーク１４，１５とはレーザ溶接によって接合固定される。図４中、１４ｂ，１５ｂはレーザ溶接のために閉塞板部１４ａ，１５ａにそれぞれ設けられた貫通孔を示す。

永久磁石１７’，１７はその板厚方向に着磁され、磁気ヨーク１４，１５の開放端部の内周面とポールピーストップ１８’，１８の外周面との間に環状磁気空隙１９’，１９がそれぞれ形成される。

磁気ヨーク１４，１５と、磁気ヨーク１４，１５に収容されたポールピースボトム１６’，１６、永久磁石１７’，１７及びポールピーストップ１８’とがそれぞれヨーク部２６’，２６を構成する。

一方、振子１２の両板面には、円筒状トルカコイル２１’，２１がそれぞれ取り付けられる。トルカコイル２１’，２１はボビン２２’，２２に巻回されている。ボビン２２’，２２はその振子１２側の端面に端板２２ａ’，２２ａを備え、その端板２２ａ’，２２ａの中央には円筒状をなす取り付け部２２ｂ’，２２ｂが形成されている。

トルカコイル２１’，２１が巻回されたボビン２２’，２２の振子１２への取り付けは、振子１２の両板面に円柱状をなすホルダ２３’，２３をそれぞれ接着固定し、それらホルダ２３’，２３にボビン２２’，２２の取り付け部２２ｂ’，２２ｂを嵌合して取り付け部２２ｂ’，２２ｂとホルダ２３’，２３とを接着固定することによって行われる。ボビン２２’，２２の端板２２ａ’，２２ａと振子１２の板面との間には図４に示したようにわずかな隙間Ｇ１’、Ｇ１が設けられている。ホルダ２３’，２３は振子１２と同様、クオーツ製とされる。

一方、振子１２の両板面には、図５に示したように電極２４’，２４が円弧状にそれぞれ、トルカコイル２１’，２１の外周側に位置するように形成されている。磁気ヨーク１４，１５には、これら振子１２に設けられた電極２４’，２４と対向する電極面１４ｅ，１５ｅが設けられる。磁気ヨーク１４，１５の開放端面には、図６に示すように外周側から順次、枠体当接面１４ｃ，１５ｃ、逃げ１４ｄ，１５ｄ、及び、振子１２の電極２４’，２４が形成された領域と対応する部分において、電極面１４ｅ，１５ｅが形成されている。

振動部１１を間に挟むように、磁気ヨーク１４、１５の枠体当接面１４ｃ，１５ｃが、振動部１１の枠体１１Ａの両面に接着されることにより、センシング機構１０が一体化される。すなわち、ヨーク部２６’，２６と振動部１１とが一体化される。このとき、それぞれの磁気ヨーク１４，１５内に形成された環状磁気空隙１９’，１９内に円筒状トルカコイル２１’，２１がそれぞれ位置される。また、電極面１４ｅ，１５ｅは振子１２の電極２４’，２４と所定の間隙Ｇ２’、Ｇ２を介して対向される。

磁気ヨーク１４，１５の外周面には、それらにまたがってアウターリング２５が取り付けられ、このアウターリング２５を介して磁気ヨーク１４と１５とが互いに導通される。アウターリング２５は磁気ヨーク１４，１５と同様、インバー製とされ、導電性接着剤によってそれら磁気ヨーク１４，１５に接着固定されて、これにより一体化構造とされたセンシング機構１０が得られ、ハウジング３０内に収納される。

ハウジング３０は加速度の検出機能を果たすセンシング機構１０を保護し、かつ加速度の被検出体（運動体）に取り付けるための取り付け機構として機能するものである。ハウジング３０は、この例では一端が閉塞された円筒状カップ形状とされている。ハウジング３０の開放端には取り付け用のフランジ３１が形成されており、このフランジ３１の側面（下面）が取り付け面３１ａとされる。ハウジング３０は例えばステンレス材によって形成される。

磁気ヨーク１５の回りにはＣリング４１が装着され、センシング機構１０はこのＣリング４１を介してハウジング３０に固定支持されている。Ｃリング４１は磁気ヨーク１５及びハウジング３０とそれぞれ接着固定されている。

一方、磁気ヨーク１４の回りにもＣリング４２が装着されており、このＣリング４２は磁気ヨーク１４に接着固定されている。なお、Ｃリング４２とハウジング３０との間には例えばシリコーン樹脂などよりなる柔軟性のある接着剤４３が充填されている。Ｃリング４１，４２はセンシング機構１０の安定性のために設けられている。Ｃリング４１，４２は共にアルミニウム製とされる。なお、内部保護のためにこのハウジング３０の開放端に蓋板を被せる事も適宜行われる。

このような構成を有するサーボ型加速度計においては、加速度入力による振子１２の板厚方向の変位が電極２４と電極面１４ｅ間の間隙Ｇ２’及び電極２４’と電極面１５ｅ間の間隙Ｇ２の変化に伴う静電容量の変化として検出される（電気信号路は図示せず）。電極面１４ｅ，１５ｅは共通ＧＮＤとされ、振子１２の両板面の電極２４’，２４の検出信号が所要の電気回路（図示せず）により差動増幅され、一対のトルカコイル２１’，２１に静電容量差に基づいた電流が流される。このトルカコイル２１’，２１に流れる電流と永久磁石１７’，１７による磁界との相互作用により、振子１２は元に戻り、中立点で平衡する。この時の電流は振子１２に加わった加速度に比例するため、この電流から加速度が求められる。
特開平１１−２８１６７０号公報

ところで、上述したような構成を有する従来のサーボ型加速度計ではセンシング機構１０は磁気ヨーク１４，１５を取り巻くように装着されて接着固定されたＣリング４１，２４を介してハウジング３０に固定支持されている。

従って、例えば環境温度の変化によりハウジング３０の取り付け面３１ａに相手方構造体（加速度被検出体）から応力が加わると、この応力によって磁気ヨーク１４，１５が変形する。また、ハウジング３０自体に熱応力が発生すると、その応力がＣリング４１，４２を介して磁気ヨーク１４，１５に伝わり、磁気ヨーク１４，１５が変形するといった状況が発生する。

このような磁気ヨーク１４，１５の変形は、振子１２をその本来の中立すべき位置からずらしてしまうことになり、よってバイアスが変動し、バイアス安定性の悪化を招くことになる。

一方、応力がハウジング３０からＣリング４１，４２に伝わり、さらに磁気ヨーク１４，１５に伝わる過程で、ハウジング３０とＣリング４１，４２間の接着層及びＣリング４１，４２と磁気ヨーク１４，１５間の接着層に過大な応力が加わる。また、磁気ヨーク１４，１５の変形により磁気ヨーク１４，１５と振子１２を支持する枠体１１との間の接着層にも過大な応力が加わることになる。これにより、これら接着層にクラックや剥離が発生するといった状況が生じる。

これら接着層におけるクラックや剥離の発生はセンシング機構１０内での応力分布状態の変化につながり、温度環境下におけるバイアス変化の非可逆性を引き起こす大きな要因となる。

この発明の目的はこのような状況に鑑み、高いバイアス安定性を実現すると共に、バイアス変化の非可逆性を引き起こす要因を少なくし、温度特性に優れたサーボ型加速度計を提供することにある。

本発明によるサーボ型加速度計は、一対のヨーク部と振子を備えた振子部とを備えるセンシング機構と、センシング機構を収納するハウジングとを備える。センシング機構は、一対のヨーク部間の中立点から、振子部の振子の揺動した位置により加速度を検出するとともに、その振子の揺動に基づいた電流の電磁的作用によりその振子を中立点に戻す。センシング機構は、それと一体にそこから延伸して形成された支持軸を有する。この支持軸の延伸端をハウジングに固定することによりこの支持軸を介してセンシング機構が、ハウジングに接続されている。

この発明によれば、センシング機構に一体形成した１本の支持軸のみによってセンシング機構がハウジングに固定支持されるため、環境温度等の変化に起因する応力が外部からセンシング機構に伝わるのを阻止することができる。よって、従来のように振子をその本来の中立すべき位置からずらしてしまうような磁気ヨークの変形は発生せず、高いバイアス安定性を実現することができる。

また、従来、センシング機構を固定支持するために使用していたＣリングを不要とし、Ｃリングとセンシング機構及びハウジング間の接着層を排除することができるため、応力が加わることによりクラックや剥離が発生し、バイアス変化の非可逆性を引き起こす要因をその分少なくすることができる。

よって、これらの点でこの発明によれば温度特性に優れたサーボ型加速度計を得ることができる。

従来不具合を生じさせていたのは、磁気ヨーク外周に設けたＣリングを介してハウジングに固定していたことであるから、本発明では、センシング機構に形成された一本の支持軸を介して、センシング機構とハウジングとを固定させる。より具体的には、例えば、ポールピースボトム又は磁気ヨークに支持軸を一体に形成する。望ましくは同一材料で一体に形成する。この支持軸を介してセンシング機構をハウジングに接続することにより、外部からの応力がセンシング機構に伝わりにくくなる。これにより、サーボ型加速度計のバイアスが安定化する。

この発明の実施形態を図面を参照して実施例により説明する。図１はこの発明によるサーボ型加速度計の一実施例の構成を示したものであり、図４と対応する部分には同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。

この例ではセンシング機構１０は図４に示した従来例のようにＣリング４１を介してハウジングに固定支持されるのではなく、ポールピースボトム１６’に形成された１本の支持軸１６ａを介してハウジングに固定支持される。

センシング機構１０を収容保護し、かつ相手方構造体（加速度被検出体）に取り付けるための取り付け機構として機能するハウジング５０はこの例ではプレート５１とカバー５２とによって構成されている。この例では、センシング機構１０は、プレート５１に取り付けられている。

カバー５２は一端側が開放され、他端側が閉塞板部により閉塞された円筒カップ形状をなし、その一端側開放端に、開放端を蓋するようにプレート５１が配置されて取り付けられている。

これらプレート５１及びカバー５２は例えばステンレス材によって形成される。プレート５１にはリング状の溝５１ｂが形成されており、この溝５１ｂにカバー５２の開放端を差し込み、溶接することによってプレート５１とカバー５２とが固定一体化されている。なお、プレート５１の、カバー５２の外周側にフランジ状に突出している部分の下面が図１中に示したように取り付け面５１ａとされる。したがって、本発明では、センシング機構１０とプレート５１が一体に構成され、それの保護のためカバー５２が蔽っているだけであり、カバー５２はセンシング機構となんらの機械的接合を持たない。

ハウジング５０に対してセンシング機構１０を固定支持するための支持軸１６ａは一方の磁気ヨーク１４内に収容固定されているポールピースボトム１６’に一体形成されている。円柱状をなす支持軸１６ａは磁気ヨーク１４の閉塞板部１４ａに設けられた貫通孔１４ｂを挿通して磁気ヨーク１４の外側に突出されている。支持軸１６ａはその中心軸が円筒状をなす磁気ヨーク１４の中心軸と一致されている。なお、ポールピースボトム１６’と磁気ヨーク１４との固定は従来と同様、レーザ溶接によって行われる。この例では支持軸１６ａの周面と磁気ヨーク１４の貫通孔１４ｂの外側Ｃ面取り部分とが溶接により接合されている。

プレート５１にはこの例ではブッシュ５３が取り付けられている。支持軸１６ａはこのブッシュ５３を介してプレート５１に取り付けられている。図１中、５１ｃはブッシュ５３取り付け用としてプレート５１に形成されている貫通孔を示し、５３ａは支持軸１６ａが挿入されるブッシュ５３の貫通孔を示す。

ブッシュ５３はセンシング機構１０とプレート５１（ハウジング５０）とを電気的に絶縁するために、絶縁材よりなるものとされ、例えばセラミック製とされる。なお、プレート５１に対するブッシュ５３の固定は接着により行われ、また支持軸１６ａとブッシュ５３もこの例では互いに対接する周面が接着されて固定されている。

上記のような構成とされたサーボ型加速度計においては、センシング機構１０はその中心軸上に位置して外部に突出する１本の支持軸１６ａを備え、その支持軸１６ａのみによってハウジング５０に固定支持されているため、センシング機構、特に磁気ヨーク１４、１５は機械構造的にハウジング５０から独立した構成となっている。

従って、例えば環境温度の変化により相手方構造体（加速度被検出体）からハウジング５０のプレート５１の取り付け面５１ａに応力が加わったり、ハウジング５０自体に熱応力が発生したりしても、ハウジング５０のみがそれらの応力の影響を受けて変形するだけで、それらの応力はセンシング機構１０には伝わらない。このため、センシング機構１０には外部からの応力の影響による変形が発生しない構造となっている。

よって、この例によれば、従来のように外部からの応力によって磁気ヨーク１４，１５が変形して振子１２をその本来の中立すべき位置からずらし、バイアスが変化するといったことは発生しないため、高いバイアス安定性を実現することができる。

また、この例では上記のような構成を採用したことにより、従来センシング機構１０を固定支持するために使用していたＣリング４１，４２を不要とすることができる。つまり、Ｃリング４１，４２とセンシング機構１０間及びＣリング４１，４２とハウジング３０間の接着層を排除することができるため、応力が加わることによりクラックや剥離が発生してバイアス変化の非可逆性を引き起こす要因となっていた接着層をその分少なくすることができる。

加えて、振子１２を支持する枠体１１と磁気ヨーク１４，１５間の接着層には上記のようなセンシング機構１０の支持構造により大きな応力は加わらないため、この部分の接着層にクラックや剥離が発生するといった状況は生じないこの点でも非可逆なバイアス変化の発生を抑制することができる。

以下にバイアス安定性とバイアス変化の非可逆性について、図４に示した従来例の構成と図１に示したこの発明の実施例の構成に対して解析を行った結果を示す。なお、バイアス安定性は加速度入力０で温度変化によって擬似的に生じる出力＝バイアス温度係数によって評価し、バイアス変化の非可逆性については温度変化によって振子１２を支持する枠体１１の接着面にかかる（生じる）せん断応力を求めることによって、非可逆なバイアス変化が起きうる可能性を推定することとした。
<解析結果>
（１）バイアス温度係数
従来例：１７μＧ／℃ → 実施例：３μＧ／℃
（２）接着面にかかるせん断応力…温度変化１７５℃（２５℃→２００℃）
・枠体１１上面（磁気ヨーク１４側）
従来例： ５Ｍｐａ → 実施例：１Ｍｐａ
・枠体１１下面（磁気ヨーク１５側）
従来例： ９Ｍｐａ → 実施例：０．５Ｍｐａ
上記のように実施例では従来例と比べて良好な結果が得られた。なお、（２）項において、特に従来例で枠体１１上面と下面とでせん断応力に大きな差があるのは上下のリング（リング４１，４２）の固定具合の差によるものと考えられる。

また、（２）項で得られたせん断応力と接着剤の強度との関係について言えば、例えば高温対応のエポキシ系接着剤のせん断強度は２００℃で７Ｍｐａ程度であり、実施例では接着剤のせん断強度に対し、接着剤（接着層）にかかるせん断応力が十分小さいのに対し、従来例では接着剤にかかるせん断応力がその強度を越えるような値となっている。よって、バイアス変化の非可逆性を引き起こす要因となるクラックや剥離が接着層に発生する可能性があった。

支持軸１６ａのブッシュ５３に対する固定は接着固定に限らず、カシメ固定としてもよく、カシメ固定を採用すれば作業性の向上を図ることができる。なお、接着とカシメを併用するようにしてもよい。

図２はこの発明によるサーボ型加速度計の他の実施例の構成を示したものである。図１と同じ部分は同じ符号を付けて示し、詳細な説明は省略する。この例では支持軸１６ａはブッシュ５３に対してカシメによって固定される構造となっている。なお、図２はカシメ前の状態を示している。支持軸１６ａの先端面にはカシメ用のポンチを挿入する穴１６ｂが形成される。また、支持軸１６ａはブッシュ５３より若干突出するような寸法（長さ）とされている。

図３はこの発明によるサーボ型加速度計の他の実施例の構成を示したものである。図１と同じ部分は同じ符号を付けて示し、詳細な説明は省略する。この例では、支持軸１４ｆは、磁気ヨーク１４と一体形成される。具体的には、支持軸１４ｆの中心軸が磁気ヨーク１４の中心軸と一致するように、磁気ヨーク１４の閉塞板部１４ａに支持軸１４ｆが一体形成される。この例では、支持軸１４ｆは、円筒形状をしており、中空となっており、磁気ヨーク１４と、ポールピースボトム１６’とを溶接するためのビームを通す貫通孔１４ｇを有する。

図３に示したサーボ型加速度計は、支持軸１４ｆが磁気ヨーク１４と一体形成されている点で、図１，２に示した第１，２の実施例のサーボ型加速度計と異なり、他の点については図１，２に示したサーボ型加速度計と同様である。例えば、支持軸１４ｆとブッシュ５３とは、上述したのと同様に、接着固定及び／又はカシメ固定される。

支持軸１４ｆと磁気ヨーク１４とを一体形成する場合、上記では支持軸１４ｆを中空構造とする旨を述べたが必ずしもそうしなくてもよい。すなわち、図１に示した支持軸１６ａのように、支持軸１４ｆの先端面を平らに形成してもよく、また、図２に示した支持軸１６ａのように、支持軸１４ｆの先端面にカシメ用のポンチを挿入する穴１６ｂを形成してもよい。この場合、溶接ビームを通す貫通孔１４ｇがないため、磁気ヨーク１４とポールピースボトム１６’とを溶接することはできない。したがって、磁気ヨーク１４とポールピースボトム１６’は接着固定される。支持軸１４ｆを中空構造としなかった場合にも、支持軸１４ｆとブッシュ５３とは、上述したのと同様に、接着固定及び／又はカシメ固定される。

上述した実施例では、支持軸１６ａ，１４ｆと、ポールピースボトム１６’又は磁気ヨーク１４とを同一の材料により一体形成したが、支持軸１６ａ，１４ｆを、ポールピースボトム１６’又は磁気ヨーク１４とを異なる材料から作り、ポールピースボトム１６’又は磁気ヨーク１４に、接着固定又は溶接固定して一体化してもよい。

このように、例えば、ポールピースボトム１６’又は磁気ヨーク１４に支持軸１６ａ，１４ｆを形成することにより、センシング機構１０に支持軸１６ａを形成する。

上述した実施例では絶縁材よりなるブッシュ５３をプレート５１に取り付けてセンシング機構１０とプレート５１（ハウジング５０）との絶縁を確保しているが、ブッシュ５３を用いることなく、絶縁を確保することも可能である。この場合、例えば支持軸１６ａ，１４ｆの回りに絶縁層（絶縁膜）を形成するようにすればよい。

上述した実施例では、支持軸１６ａ，１４ｆの中心軸が、円筒カップ形状の磁気ヨーク１４の中心軸と一致するように支持軸１６ａ，１４ｆが形成された。支持軸１６ａ，１４ｆを磁気ヨーク１４の中心に形成することにより、磁気ヨーク１４の熱応力により発生する可能性がある非可逆なバイアス変化を最も小さくすることができるためである。しかし、支持軸１６ａ，１４ｆの中心軸が、円筒カップ形状の磁気ヨーク１４の中心軸と一致しなくてもよい。

本発明は、円柱状ではないサーボ型加速度計にも適用することができる。すなわち、例えば、ハウジング５０、磁気ヨーク１４，１５がそれぞれ円筒カップ形状ではなく、振子部１１、振子１２が円形状ではなく、トルカコイル２１が円筒状ではないサーボ型加速度計、例えば直方体状のサーボ型加速度計についても、センシング機構１０を一本の支持軸１６ａ，１４ｆを介してハウジング５０に固定支持することにより、上記と同様の効果を得ることができる。

支持軸１６ａ，１４ｆを介してセンシング機構１０を固定支持する貫通孔５３ａは、ハウジング５０の任意の箇所に設けることができる。例えば、ハウジング５０のカバー５２の底面、すなわち、ハウジング５０のカバー５２の面のうち、プレート５１に対向する面に貫通孔５３ａを設けて、その貫通孔５３ａに支持軸１６ａ，１４ｆを取り付けてもよい。この際、上述と同様に、ブッシュ５３や、支持軸１６ａ，１４ｆの周面に形成した絶縁層を介することにより、センシング機構１０とハウジング５０との間を絶縁する。

この発明によるサーボ型加速度計の一実施例の構成を示す断面図。 この発明によるサーボ型加速度計の他の実施例の構成を示す断面図。 この発明によるサーボ型加速度計の他の実施例の構成を示す断面図の部分図。 従来のサーボ型加速度計の構成を示す断面図。 図５Ａは、図４における振子部の平面図、図５Ｂは図５ＡにおいてＢ−Ｂ’線で切断した断面図。 従来のサーボ型加速度計の構成を示す断面図の部分図。

Claims (8)

1. 一対のヨーク部と、振子を備えた振子部と、を備えるセンシング機構と、
   前記センシング機構を収納するハウジングと、
   を備え、
   前記センシング機構は、前記一対のヨーク部間の中立点から、振子部の振子の揺動した位置により加速度を検出するとともに、その振子の揺動に基づいた電流の電磁的作用によりその振子を中立点に戻すサーボ型加速度計において、
   前記センシング機構は、それと一体にそこから延伸して形成された支持軸を有し、この支持軸の延伸端をハウジングに固定することによりこの支持軸を介して前記センシング機構が、前記ハウジングに接続されていることを特徴とするサーボ型加速度計。
2. 請求項１に記載のサーボ型加速度計において、
   前記各ヨーク部は
   一端側が開放され、他端側がその閉塞板部で閉塞されたカップ状の磁気ヨークと、
   磁気ヨークの閉塞板部の内側面上に順次積層されて固定されたポールピースボトムと、永久磁石と、ポールピーストップとを備え、
   前記ポールピーストップとヨークの開放端部とは、その間に磁気空隙を有して互いに対向して配置され、
   前記振子部は
   枠体と、
   対向する両板面に一対の電極を有し、ヒンジを介してその一端が枠体に揺動可能に支持された板形状を持つ前記振子と、
   前記振子の両板面にそれぞれ取り付けられている一対のトルカコイルと、を備え、
   前記センシング機構は、
   前記枠体が、前記一対のヨーク部の磁気ヨークの開放端間に挟まれて一体化されて構成され、前記一対のトルカコイルがそれぞれの磁気ヨークの磁気空隙内に位置し、前記一対の電極がそれぞれの磁気ヨークの開放端の電極面部と対向するように位置するものにおいて、
   前記支持軸は、前記一対のヨーク部の一方の、ポールピースボトムに一体形成されており、かつ、前記一方のヨーク部の磁気ヨークの前記他端側の閉塞板部に設けられた貫通孔を貫通して外側に突出していることを特徴とするサーボ型加速度計。
3. 請求項１に記載のサーボ型加速度計において、
   前記各ヨーク部は
   一端側が開放され、他端側がその閉塞板部で閉塞されたカップ状の磁気ヨークと、
   磁気ヨークの閉塞板部の内側面上に順次積層されて固定されたポールピースボトムと、永久磁石と、ポールピーストップとを備え、
   前記ポールピーストップとヨークの開放端部とは、その間に磁気空隙を有して互いに対向して配置され、
   前記振子部は
   枠体と、
   対向する両板面に一対の電極を有し、ヒンジを介してその一端が枠体に揺動可能に支持された板形状を持つ前記振子と、
   前記振子の両板面にそれぞれ取り付けられている一対のトルカコイルと、を備え、
   前記センシング機構は、
   前記枠体が、前記一対のヨーク部の磁気ヨークの開放端間に挟まれて一体化されて構成され、前記一対のトルカコイルがそれぞれの磁気ヨークの磁気空隙内に位置し、前記一対の電極がそれぞれの磁気ヨークの開放端の電極面部と対向するように位置するものにおいて、
   前記支持軸は、前記一対のヨーク部の一方の、磁気ヨークの閉塞板部に一体形成されていることを特徴とするサーボ型加速度計。
4. 請求項１から３の何れかに記載のサーボ型加速度計において、
   前記各磁気ヨークは、円筒カップ状であり、
   前記支持軸が前記磁気ヨークの中心軸上に位置していることを特徴とするサーボ型加速度計。
5. 請求項１から３の何れかに記載のサーボ型加速度計において、
   前記ハウジングは貫通孔を有し、その貫通孔に前記支持軸が挿入されて接着固定されていることを特徴とするサーボ型加速度計。
6. 請求項１から３の何れかに記載のサーボ型加速度計において、
   前記ハウジングは貫通孔を有し、その貫通孔に前記支持軸が挿入されてカシメ固定されていることを特徴とするサーボ型加速度計。
7. 請求項５又は６に記載のサーボ型加速度計において、
   前記ハウジングと前記支持軸とが絶縁材よりなるブッシュで絶縁されていることを特徴とするサーボ型加速度計。
8. 請求項７に記載のサーボ型加速度計において、
   上記ブッシュがセラミック製であることを特徴とするサーボ型加速度計。

Images