JP2002311046A - サーボ型加速度計 - Google Patents

サーボ型加速度計

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JP2002311046A
JP2002311046A JP2001109068A JP2001109068A JP2002311046A JP 2002311046 A JP2002311046 A JP 2002311046A JP 2001109068 A JP2001109068 A JP 2001109068A JP 2001109068 A JP2001109068 A JP 2001109068A JP 2002311046 A JP2002311046 A JP 2002311046A
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JP
Japan
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reinforcing plate
plate
magnetic reinforcing
servo
pendulum
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JP2001109068A
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Hiroyuki Motoki
裕之 本木
Yoshiyuki Ando
芳之 安藤
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Japan Aviation Electronics Industry Ltd
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Japan Aviation Electronics Industry Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 マグネットハウジングの閉塞板に溶着した磁
気補強板が熱膨張時に閉塞板の板面から浮き上がる現象
を解消する。 【解決手段】 筒部と、この筒部の一端側を閉塞する閉
塞板とを具備した一対のマグネットハウジングを筒部の
開口面を対向させて配置し、この開口面の間にペンデュ
ラムを挟み付けて固定し、ペンデュラムの可動部の変位
を検出し、その検出信号によりペンデュアム可動部を中
立点に押し戻す電磁力を発生するトルカーコイルを具備
し、マグネットハウジングの閉塞板の板面に円盤形状の
磁気補強板を積層して構成されるサーボ型加速度計にお
いて、磁気補強板にこの磁気補強板の直径方向に変形可
能な弾性変形可能部を形成し、この弾性変形可能部を閉
塞板に溶着した構造としたサーボ型加速度計。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は永久磁石をそれぞ
れ備えた二つのマグネットハウジングによってペンデュ
ラムの固定部を挟み付けて保持し、そのペンデュラムの
可動部分の変位を検出し、この可動部分を中立点に押し
戻そうとする力を電磁力により発生するトルカーコイル
を備えたサーボ型加速度計に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の加速度計は例えば図5に
示すように、2個のマグネットハウジング100により
ペンデュラム10の固定部11(図6参照)を挟み付け
て2個のマグネットハウジング100の間にペンデュラ
ム10を保持している。ハウジング100はつぼ形の磁
気ヨーク、つまり筒部110と、この筒部110の一端
を閉塞する閉塞板111とが一体に構成され、そのつぼ
形マグネットハウジングにおいて軸芯を一致させて永久
磁石112が閉塞板111に固定される。永久磁石11
2の閉塞板111とは反対側の面にポールピース113
が取付けられている。この場合永久磁石112のポール
ピース113と反対側にも板状ポールピース114を永
久磁石112に接着させ、その板状ポールピース114
が閉塞板111の中心に形成された孔115を通じて閉
塞板111にレーザ溶接されている。筒部110の開口
部分の内側にはポールピース113の周面と対向してリ
ング状突部116が一体に形成され、このリング状突部
116とポールピース113との間に環状磁気空隙11
7を形成する。
【0003】マグネットハウジング100の筒部110
の各開口面の縁により図6に示したペンデュラム10の
固定部11が挟まれて保持される。この状態で、2個の
マグネットハウジング100はその外周面に巡らした帯
状体21によりお互いに連結固定される。なおペンデュ
ラム10は固定部11と可動部12の間に図6に示すよ
うにヒンジ13が形成され、このヒンジ13により可動
部12は加速度の向きに応じて2個のマグネットハウジ
ング100の何れかの方向に変位する。ペンデュラム1
0の両側にトルカーコイル31、32が取り付けられ
る。これらトルカーコイル31、32はそれぞれ環状磁
気空隙117の軸芯と同軸上に位置している。またペン
デュラム10の可動部12には図5及び図6に示すよう
に2個のマグネットハウジング100のそれぞれと対向
して静電容量検出用電極33、34が形成され、可動部
12の変位を検出できるように構成されている。
【0004】マグネットハウジング100は連結された
状態で筒状筐体40内に収容され、筒状筐体40の一端
側の外周に取付用つば41が一体に形成され、他端側の
内周面とマグネットハウジング100の外周面との間に
リング50が介挿されると共にリング50はこれらと接
着剤で強固に接着されて2個のマグネットハウジング1
00が筒状筐体40に固定される。このリング50によ
る固定の後、筒状筐体40の一端に端板42がレーザ溶
接されて、気密的に塞がれる。安定性のために、取付用
つば41側の内周面とマグネットハウジング100の外
周面との間にリング52が柔軟性のある接着剤53によ
り接着される。
【0005】筒状筐体40の取付用つば41側の端にこ
れを塞ぐようにサーボ増幅アセンブリ部60が密封して
取り付けられる。このサーボ増幅アセンブリ部60内に
は、電極33、34と磁気ヨーク間の静電容量により検
出されたペンデュラム10の変位と対応する電気信号を
増幅してトルカーコイル31、32に供給し、トルカー
コイル31、32に流れる電流と、環状磁気空隙117
の磁界とにより電磁力によりペンデュラム10の可動部
12をその中立点に押し戻そうとする力が発生するよう
に構成されている。アセンブリ部60内にはそのため電
気回路が配線基板61上に実装されている。
【0006】加速度計において、各構成部品間に熱膨張
係数の比較的大きな差があると環境温度の変化などによ
り熱応力が発生してバイアス誤差が生じ、かつそれが変
化すると、正しい動作をしなくなる。このような点から
従来においてはペンデュラム10と、2個のマグネット
ハウジング100とは熱膨張係数がほぼ等しい材料が用
いられていた。因みに、ペンデュラム10は熱膨張係数
が小さい溶融石英で構成され、マグネットハウジング1
00はインバーで構成されていた。マグネットハウジン
グ100をインバーで構成した場合、閉塞板111が薄
く形成されるので、特に高温時に閉塞板111の磁気特
性が劣化し、例えば加速度の検出感度が低下する等の不
都合が生じる。
【0007】マグネットハウジング100の磁気特性、
特に高温時にマグネットハウジング100の磁気特性の
劣化を補強するために従来より閉塞板111の板面に円
盤状の磁気補強板120を溶着している。図7に磁気補
強板120の溶着の様子を示す。図7に示すSPは磁気
補強板120をマグネットハウジング100の閉塞板1
11の面にスポット溶着した溶着点を示す。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】図7に示した磁気補強
板120の溶着構造によれば、熱的なストレスが与えら
れると、磁気補強板120の熱膨張率とマグネットハウ
ジング100の熱膨張率との違いによって例えば図8に
示すように磁気補強板120の伸びによって磁気補強板
120は閉塞板111の板面から浮き上がってしまう現
象が発生し、この現象によりマグネットハウジング10
0の磁気特性が変動し、これにより例えば加速度の検出
感度が変動するなどの欠点が発生する。
【0009】この発明の目的は、熱的なストレスが与え
られても磁気補強板がマグネットハウジングの閉塞板か
ら浮き上がってしまう現象の発生を回避し、検出感度の
変動などが発生しない、安定して動作するサーボ型加速
度計を提供しようとするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項1で
は、筒部と、この筒部の一端側を閉塞する閉塞板とを具
備した一対のマグネットハウジングを筒部の開口面を互
に対向させて配置し、この開口面の間にペンデュラムの
固定部を挟み付けて2個のマグネットハウジングの間に
固定し、ペンデュラムの可動部の変位を検出し、その検
出信号により可動部を中立点に押し戻す電磁力を発生す
るトルカーコイルを具備し、マグネットハウジングの閉
塞板の板面に円盤状の磁気補強板を積層して構成される
サーボ型加速度計において、磁気補強板にこの磁気補強
板の直径方向に弾性変形可能な弾性変形可能部を形成
し、この弾性変形可能部を閉塞板に溶着した構造とした
サーボ型加速度計を提案する。
【0011】この発明の請求項2では、請求項1記載の
サーボ型加速度計において、磁気補強板の周辺の近傍に
孔を形成し、この孔と磁気補強板の外周との間を弾性変
形可能部分としたサーボ型加速度計を提案する。この発
明の請求項3では、請求項1記載のサーボ型加速度計に
おいて、磁気補強板の周辺近傍に周方向に延長された切
欠を形成し、この切欠によって形成された突片部分を弾
性変形可能部としたサーボ型加速度計を提案する。作用 この発明の構成よれば熱ストレスが印加され磁気補強板
が熱膨張しても、その熱膨張は弾性変形可能部で吸収さ
れる。この結果、磁気補強板がマグネットハウジング1
00の閉塞板111の板面から浮き上がってしまう現象
が発生することはなく、熱ストレスによって検出感度が
低下するような不都合が発生することもない。
【0012】
【発明の実施の形態】図1にこの発明の要部の実施例を
示す。図中111はマグネットハウジング100を構成
する閉塞板、120はこの閉塞板111に溶着した磁気
補強板を示す。この発明ではこの磁気補強板120に弾
性変形可能部121を形成し、この弾性変形可能部12
1を閉塞板111に溶着した構造とした点を特徴とする
ものである。弾性変形可能部121としては図1に示す
実施例では磁気補強板120の周辺の近傍に孔122を
形成し、この孔122と磁気補強板120の周縁との間
の部分を弾性変形可能部121とした例を示す。図1の
実施例では更に、孔122を磁気補強板120の周方向
に延長した長孔とした実施例を示す。孔122を長孔形
状としたことにより、弾性変形可能部121の形状を周
方向に長く形成することができる。このように弾性変形
可能部121を磁気補強板120の周方向に長く形成す
ることにより、この弾性変形可能部120は磁気補強板
120の直径方向に大きく変形することができる。この
結果、磁気補強板120が熱膨張して直径方向に大きく
突出変形しても、図2に示すように弾性変形可能部12
1が変形して吸収することができる。従って、溶着点S
Pに大きな力が加わることがなく、磁気補強板120が
閉塞板111の板面から浮き上がる現象が阻止される。
【0013】図3はこの発明の要部の他の実施例を示
す。この実施例では磁気補強板120の周辺の近傍に、
周辺に沿う方向に切欠123を形成し、この切欠123
の形成によって成形される突片部分を弾性変形可能部1
21とした場合を示す。図3では切欠123を1個所に
形成した例を示すが、実際には磁気補強板120の周辺
に複数個形成する。図4はこの発明の要部の更に他の実
施例を示す。この実施例では磁気補強板120の周辺に
凹部124を形成し、この凹部124の内側に楕円形の
リング状部125を形成し、このリング状部125の長
軸方向の中央部分を閉塞板111に溶着した場合を示
す。従って、この場合はリング状部125の長軸方向の
中央部分が弾性変形可能部121となる。
【0014】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
マグネットハウジング100より熱膨張係数が大きい磁
気補強板120をマグネットハウジング100の閉塞板
111に溶着しても、その溶着点SPを磁気補強板12
0に形成した弾性変形可能部121にとることにより、
磁気補強板120が熱膨張しても溶着点SPに掛かる応
力は弾性変形可能部121の弾性変形により吸収され、
磁気補強板120は自由に外向に膨張することができ
る。
【0015】この結果、磁気補強板120は閉塞板11
1から浮き上がる現象が発生することはなく、閉塞板1
11の板面に密着した姿勢を維持することができる。従
って、熱ストレスにより閉塞板111の磁気特性が変動
することはなく、広い温度範囲にわたって安定に動作す
るサーボ型加速度計を提供することができる利点が得ら
れ、その効果は実用に供して頗る大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の要部の一実施例を説明するための端
面図。
【図2】図1の実施例の動作状況を説明するための端面
図。
【図3】この発明の要部の変形実施例を説明するための
端面図。
【図4】この発明の要部の更に他の変形実施例を説明す
るための端面図。
【図5】サーボ型加速度計の構造を説明するための断面
図。
【図6】図5に示したサーボ型加速度計に用いられてい
るペンデュラムの構造を説明するための側面図。
【図7】発明が解決しようとする部分の従来の技術を説
明するための端面図。
【図8】従来の技術の欠点を説明するための側面図。
【符号の説明】
10 ペンデュラム 11 固定部 12 可動部 13 ヒンジ 100 マグネットハウジング 110 筒部 111 閉塞板 120 磁気補強板 121 弾性変形可能部 122 孔 123 切欠 125 リング状部

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 筒部と、この筒部の一端側を閉塞する閉
    塞板とを具備した一対のマグネットハウジングを上記筒
    部の開口面を互に対向させて配置し、この開口面の間に
    ペンデュラムを挟み付けて固定し、ペンデュラムの可動
    部の変位を検出し、その検出信号により上記可動部を中
    立点に押し戻す電磁力を発生するトルカーコイルを具備
    し、上記マグネットハウジングの閉塞板の板面に円盤状
    の磁気補強板を積層して構成されるサーボ型加速度計に
    おいて、 上記磁気補強板にこの磁気補強板の直径方向に弾性変形
    可能な弾性変形可能部を形成し、この弾性変形可能部を
    上記閉塞板に溶着した構造としたことを特徴とするサー
    ボ型加速度計。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のサーボ型加速度計におい
    て、上記磁気補強板の周辺近傍に孔を形成し、この孔と
    上記磁気補強板の周辺との間の部分を弾性変形可能部分
    としたことを特徴とするサーボ型加速度計。
  3. 【請求項3】 請求項1記載のサーボ型加速度計におい
    て、上記磁気補強板の周辺近傍に周方向に延長された切
    欠を形成し、この切欠によって形成された突片部分を弾
    性変形可能部としたことを特徴とするサーボ型加速度
    計。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100192691A1 (en) * 2009-01-30 2010-08-05 Japan Aviation Electronics Industry Limited Servo Accelerometer
US7805996B2 (en) 2006-08-16 2010-10-05 Japan Aviation Electronics Industry Limited Servo accelerometer

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7805996B2 (en) 2006-08-16 2010-10-05 Japan Aviation Electronics Industry Limited Servo accelerometer
US20100192691A1 (en) * 2009-01-30 2010-08-05 Japan Aviation Electronics Industry Limited Servo Accelerometer
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