JP2021067578A - サーボ型加速度計 - Google Patents

Abstract

【課題】 信頼性を向上させることができるサーボ型加速度計を提供する。【解決手段】 サーボ型加速度計は、磁気回路が生成する磁場において可動部の感度軸方向の変位量に応じて電気信号を出力し、少なくとも一部の外形に、前記感度軸方向に軸を有する円周形状部を備えるセンサ部と、前記センサ部を収容するケースと、前記円周形状部の円周方向に沿って所定の間隔で配置された複数の部材を備え、前記複数の部材が接着剤を介して前記センサ部を前記ケースに固定する固定部材と、を備え、前記複数の部材において、前記円周形状部の半径方向の長さが、前記円周形状部に接する箇所の接線方向と平行方向の長さ以上であることを特徴とする。【選択図】 図２

Description

本件は、サーボ型加速度計に関する。

感度軸方向の加速度を測定するサーボ型加速度計が開示されている（例えば、特許文献１，２参照）。

特開２０１１−１７４９０１号公報 特開２０１３−１０４７６４号公報

サーボ型加速度計は、可動極板や磁気回路を備えるセンサ部がケース内に収容された構造を有している。加速度は、ケースを介してセンサ部に入力されることになる。このような構造において、各部材の熱膨張率差による影響を抑制するために、センサ部の周方向に沿ってＣリング等の固定部材を設け、ケースに接着剤で固定することが考えられる。しかしながら、温度変化に起因して固定部材が周方向に伸縮した場合に、固定部材が接着剤から剥がれ、信頼性が低下するおそれがある。

１つの側面では、本発明は、信頼性を向上させることができるサーボ型加速度計を提供することを目的とする。

１つの態様では、本発明に係るサーボ型加速度計は、磁気回路が生成する磁場において可動部の感度軸方向の変位量に応じて電気信号を出力し、少なくとも一部の外形に、前記感度軸方向に軸を有する円周形状部を備えるセンサ部と、前記センサ部を収容するケースと、前記円周形状部の円周方向に沿って所定の間隔で配置された複数の部材を備え、前記複数の部材が接着剤を介して前記センサ部を前記ケースに固定する固定部材と、を備え、前記複数の部材において、前記円周形状部の半径方向の長さが、前記円周形状部に接する箇所の接線方向と平行方向の長さ以上であることを特徴とする。

他の態様では、本発明に係るサーボ型加速度計は、磁気回路が生成する磁場において可動部の感度軸方向の変位量に応じて電気信号を出力し、少なくとも一部の外形に、前記感度軸方向に軸を有する多角形状部を備えるセンサ部と、前記センサ部を収容するケースと、前記多角形状部の周方向に沿って所定の間隔で配置された複数の部材を備え、前記複数の部材が接着剤を介して前記センサ部を前記ケースに固定する固定部材と、を備え、前記センサ部を前記感度軸方向から見た場合に、前記複数の部材において、前記多角形状部の各辺に直交する方向の長さが、前記多角形状部の各辺に対して平行方向の長さ以上であることを特徴とする。

上記サーボ型加速度計において、前記複数の部材の熱膨張率は、前記ケースの熱膨張率よりも大きくてもよい。

上記サーボ型加速度計において、前記磁気回路は、磁石と磁性部材とを含み、前記複数の部材の熱膨張率は、前記磁性部材の熱膨張率よりも大きくてもよい。

上記サーボ型加速度計において、前記複数の部材は、前記感度軸に直交する方向に円形面を有するディスク部材であってもよい。

上記サーボ型加速度計において、前記複数の部材は、前記感度軸に直交する方向に多角形面を有する多角形部材であってもよい。

上記サーボ型加速度計において、前記複数の部材は、前記円周形状部の半径方向に延びる支柱部材であってもよい。

上記サーボ型加速度計において、前記センサ部は、前記磁気回路と、前記磁気回路が生成する磁場において感度軸方向に変位可能な可動極板と、変位した前記可動極板を電磁力によって変位前の位置に戻す作用を有し前記可動極板の両面に設けられたコイルと、を備えていてもよい。

信頼性を向上させることができるサーボ型加速度計を提供することができる。

第１実施形態に係るサーボ型加速度計の全体構成を例示する模式的な断面図である。 （ａ）はサーボ型加速度計の各部の詳細を説明するための図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。 比較形態に係るサーボ型加速度計の構成を例示する模式的な断面図である。 固定部材の詳細を表す図である。 （ａ）は第２実施形態に係るサーボ型加速度計の各部の詳細を例示する図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。 （ａ）は第３実施形態に係るサーボ型加速度計の各部の詳細を例示する図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。 第４実施形態に係るサーボ型加速度計の固定部材の詳細を表す図である。

以下、図面を参照しつつ、実施形態について説明する。

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係るサーボ型加速度計１０１の全体構成を例示する模式的な断面図である。図１は、サーボ型加速度計１０１がホルダ２００内に収容されている場合を例示している。図２（ａ）は、サーボ型加速度計１０１の各部の詳細を説明するための図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。なお、図１および図２（ａ）において、感度軸（例えば鉛直方向）をＹ軸とし、感度軸に垂直な方向（例えば水平方向）をＸ軸とする。

図１で例示するように、サーボ型加速度計１０１は、センサ部５０およびケース６０を備える。センサ部５０は、磁気回路が生成する磁場において可動部の感度軸方向の変位量に応じて電気信号を出力することで、加速度を計測するセンサである。センサ部５０は、少なくとも一部の外形に、感度軸方向に軸を有する円周形状部を備える。センサ部５０は、一部に、半径が小さい小径部や半径が大きい大径部を有していてもよいが、これらの異径部は本体部に対して同心円状に形成されている。センサ部５０は、全体として、Ｙ軸に沿って軸を有する略円柱形状を有していてもよい。ケース６０は、ＳＵＳ３０４などの非磁性の金属からなり、有底で、Ｙ軸に沿って軸を有する円筒形状を有している。センサ部５０の外径は、ケース６０の内径よりも小さいため、センサ部５０は、所定の隙間を介してケース６０内に収容されている。

ホルダ２００は、略円柱形状の凹部を有している。当該凹部の内径（第１径）は、ケース６０の外径よりも大きくなっている。それにより、ケース６０は、当該凹部内に収容されている。ケース６０は、外周上端部にフランジ６２を備える。すなわち、ケース６０は、外周上端部において、段差を有して外径が大きくなっている。ホルダ２００の凹部の内周上端部は、段差を有して大きい内径（第２径）を有している。フランジ６２の外径は、第１径よりも大きく、第２径よりも小さくなっている。ホルダ２００の上面には、押え板３００が固定されている。押え板３００は、ホルダ２００の上面からフランジ６２の上面まで延在している。それにより、サーボ型加速度計１０１は、フランジ６２を介してホルダ２００に固定されている。その結果、ホルダ２００に入力される加速度は、フランジ６２を介してサーボ型加速度計１０１に伝達される。

図２（ａ）で例示するように、センサ部５０は、可動極板１０、第１磁気回路、第２磁気回路、連結リング３０などを備える。可動極板１０は、Ｘ軸を含む水平面と平行な板状部材である。当該板状部材の主面は、感度軸（Ｙ軸）と垂直をなしている。可動極板１０は、例えば石英ガラスによって構成されている。可動極板１０は、薄肉のヒンジ１２を介してリング状の枠体１４と結合されている。可動極板１０は、第１磁気回路および第２磁気回路が生成する磁場において、外部振動により感度軸方向に変位可能となっている。可動極板１０の上面には、コイル１６ａが取り付けられている、可動極板１０の下面には、コイル１６ｂが取り付けられている。

第１磁気回路は、可動極板１０よりも上方に配置されている。第１磁気回路は、永久磁石２２ａおよびヨーク２４ａを備える。永久磁石２２ａは、サマリウムコバルト合金などであり、Ｙ軸方向に軸を有する円柱形状を有している。ヨーク２４ａは、磁性材料であり、有蓋で、Ｙ軸に沿って軸を有する円筒形状を有している。ヨーク２４ａは、ケース６０とは異なる熱膨張率を有している。例えば、ヨーク２４ａは、インバー等の低膨張材を材料とする。永久磁石２２ａの外径はヨーク２４ａの内径よりも小さいため、永久磁石２２ａは、所定の隙間を介してヨーク２４ａ内に収容されている。また、永久磁石２２ａの上面は、ヨーク２４ａの蓋の下面に固定されている。この永久磁石２２ａとヨーク２４ａとによって、第１磁気回路が構成されることになる。コイル１６ａは、永久磁石２２ａとヨーク２４ａとの隙間において、永久磁石２２ａの外周を周方向に巻回されている。

第２磁気回路は、可動極板１０よりも下方に配置されている。第２磁気回路は、永久磁石２２ｂおよびヨーク２４ｂを備える。永久磁石２２ｂは、サマリウムコバルト合金などであり、Ｙ軸方向に軸を有する円柱形状を有している。永久磁石２２ｂの軸は、永久磁石２２ａの軸と略一致している。ヨーク２４ｂは、磁性材料であり、有底で、Ｙ軸に沿って軸を有する円筒形状を有している。ヨーク２４ｂは、ケース６０とは異なる熱膨張率を有している。例えば、ヨーク２４ｂは、インバー等の低膨張材を材料とする。ヨーク２４ｂの軸は、ヨーク２４ａの軸と略一致している。永久磁石２２ｂの外径はヨーク２４ｂの内径よりも小さいため、永久磁石２２ｂは、所定の隙間を介してヨーク２４ｂ内に収容されている。また、永久磁石２２ｂの下面は、ヨーク２４ｂの底の上面に固定されている。この永久磁石２２ｂとヨーク２４ｂとによって、第２磁気回路が構成されることになる。コイル１６ｂは、永久磁石２２ｂとヨーク２４ｂとの隙間において、永久磁石２２ｂの外周を周方向に巻回されている。

ヨーク２４ａの下端とヨーク２４ｂの上端とによって、枠体１４が上下から挟まれて固定されている。連結リング３０は、ヨーク２４ａの外周下端部とヨーク２４ｂの外周上端部とを強固に連結している。それにより、第１磁気回路と第２磁気回路とが互いに固定されている。永久磁石２２ａと永久磁石２２ｂとの間には、隙間が設けられている。また、ヨーク２４ａとヨーク２４ｂとの間にも、枠体１４によって隙間が設けられている。

可動極板１０の上下面と、対向する位置にあるヨーク２４ａ，２４ｂとの間で静電容量検出部が形成されている。外部振動により第１磁気回路と可動部（可動極板１０およびコイル１６ａ，１６ｂ）とが相対変位して第２磁気回路と当該可動部とが相対変位することにより、上下の静電容量に差が生じる。この静電容量差を「ゼロ」にするようにコイル１６ａ，１６ｂに電流が流れ、可動極板１０を元の位置「ゼロ位置」に戻す。すなわち、コイル１６ａ，１６ｂは、変位した可動極板１０を電磁力によって変位前の位置に戻す。この場合においてコイル１６ａ，１６ｂに流れる電流が、外部振動により発生した加速度に比例した値として出力される。

センサ部５０は、固定部材８０ａおよび固定部材８０ｂによってケース６０に固定されている。固定部材８０ａは、ヨーク２４ａの上端部の外周において円周方向に沿って設けられている。例えば、ヨーク２４ａは、上端部に段差を有して小径部を有している。当該小径部は、ヨーク２４ａの本体と同心円状に形成されている。すなわち、ヨーク２４ａは、上端部の外形に、感度軸方向に軸を有する円周形状部を備えている。固定部材８０ａは、当該小径部の外周において円周方向に沿って設けられている。固定部材８０ｂは、ヨーク２４ｂの下端部の外周において円周方向に沿って設けられている。例えば、ヨーク２４ｂは、下端部に段差を有して小径部を有している。当該小径部は、ヨーク２４ｂの本体と同心円状に形成されている。すなわち、ヨーク２４ｂは、下端部の外形に、感度軸方向に軸を有する円周形状部を備えている。固定部材８０ｂは、当該小径部の外周において円周方向に沿って設けられている。

なお、センサ部５０の重心の揺動を抑制する観点から、固定部材８０ａと固定部材８０ｂとは、感度軸方向において、センサ部５０の重心に対して対象となる位置に配置されていることが好ましい。

図２（ｂ）で例示するように、固定部材８０ｂは、複数の丸型のディスク８１が、ヨーク２４ｂの外周において円周方向に略等間隔に並んで配置された構造を有する。また、固定部材８０ａも同様に、複数のディスク８１が、ヨーク２４ａの外周において円周方向に略等間隔に並んで配置された構造を有する。各ディスク８１とヨーク２４ｂとの間、および各ディスク８１とケース６０との間には、接着剤８２が設けられている。それにより、各ディスク８１がヨーク２４ｂとケース６０とを固定している。また、各ディスク８１とヨーク２４ａとの間、および各ディスク８１とケース６０との間には、接着剤８２が設けられている。それにより、各ディスク８１がヨーク２４ａとケース６０とを固定している。各ディスク８１の円形面は、感度軸に直交している。各ディスク８１は、ケース６０との電気的絶縁性を確保するために、例えば、アルマイト処理が施されたアルミニウムなど、絶縁性表面処理が施された金属や、導電性が無い樹脂やセラミックスで構成されている。

ここで、本実施形態に係るサーボ型加速度計１０１の効果について説明するため、比較形態に係るサーボ型加速度計１５０について説明する。図３は、サーボ型加速度計１５０の構成を例示する模式的な断面図である。

図３で例示するように、サーボ型加速度計１５０がサーボ型加速度計１０１と異なる点は、Ｃリング７０ａとＣリング７０ｂとによって、センサ部５０がケース６０内に固定されている点である。サーボ型加速度計１５０においては、ヨーク２４ａの外周面の上部が、Ｃリング７０ａを介してケース６０に固定されている。ヨーク２４ｂの外周面の下部は、Ｃリング７０ｂを介してケース６０に固定されている。Ｃリング７０ｂとケース６０とは、強固に接着されている。一方、Ｃリング７０ａは、重心の揺動低減、センサ部５０とケース６０との間の熱膨張率差の影響低減、などのため、ケース６０とは柔軟性が有る状態で接着されている。すなわち、Ｃリング７０ａは、柔軟性を有する接着剤等を介してセンサ部５０とケース６０とを固定している。また、Ｃリング７０ａとＣリング７０ｂとは、センサ部５０の重心を挟み、上下対称位置でケース６０に接着されている。

このような構造においては、Ｃリング７０ａおよびＣリング７０ｂの熱膨張率と、磁気回路およびケースの熱膨張率とが同じであれば、温度変化による影響が抑制される。しかしながら、通常、ケース６０は、腐食防止や、サーボ型加速度計１５０を固定するための部品との熱膨張率差を抑える目的で、磁気回路とは熱膨張率の違う素材が用いられている。使用温度が製造時の温度と同じであれば問題ないが、製造時と違う温度で使用する場合（例えば高温や低温環境）は素材の熱膨張率差により、Ｃリング７０ａと、他の部品との接着を維持することが難しくなる。一例の場合、ケース６０は、ＳＵＳ３０４等であり、Ｃリング７０ａおよびＣリング７０ｂはアルミニウム、磁気回路は低膨張材といったものである。リングに割を入れたＣリングを用いることで、熱膨張の方向を径方向から円周方向に変更し、温度変化による膨張や収縮といった変形で低膨張材の磁気回路とアルミ等のＣリングが剥がれない様にコントロールすることが望まれる。

しかしながら、上記の方法では温度変化による変形の方向が変わることで低膨張材とＣリング７０ａ，７０ｂとの間の剥離はコントロールできるが、ケース６０とＣリング７０ａとの間の剥離は、Ｃリング７０ａ自身の伸縮、および接着剤の伸縮に頼ることになり、接着剤が剥離するリスクは回避できない。

これに対して、第１実施形態に係るサーボ型加速度計１０１では、固定部材８０ａ，８０ｂの各ディスク８１において、図４で例示するように、センサ部５０の半径方向の長さＬ１が、センサ部５０に接する箇所の接線方向と平行方向の長さＬ２以上となっている。センサ部５０は略円柱形状を有しているため、センサ部５０の半径方向とは、当該円柱の半径方向のことである。また、センサ部５０に対する接線方向とは、ディスク８１がセンサ部５０の外周に対して接する箇所において、センサ部５０を平面視した場合の円形上の接線方向のことである。各ディスク８１が円形状を有していれば、長さＬ１と長さＬ２とは等しい。したがって、温度上昇が生じた場合に、各ディスク８１において、半径方向の膨張と接線方向の膨張とが同一となる。または、各ディスク８１は、長さＬ１が長さＬ２と比較して大きくなるような楕円形状を有していてもよい。この場合においては、温度上昇が生じた場合に、各ディスク８１において、半径方向の膨張が接線方向の膨張を上回る。

このような構成では、温度上昇が生じても、固定部材８０ａ，８０ｂの全体について、センサ部５０の円周方向における膨張が抑制される。それにより、接着剤８２からの各ディスク８１の剥がれが抑制される。その結果、サーボ型加速度計１０１の信頼性が向上する。また、コストがかかる柔軟な接着剤を用いる必要がなくなるため、コストを抑制することができる。

なお、複数のディスク８１は、円柱部材を所定の厚みずつスライスすることで形成することができる。同一の円柱部材を用いることで、スライスする際の厚みにバラツキが生じても、各ディスク８１の直径や円周形状などのバラツキは抑制される。すなわち、各ディスク８１の寸法管理が容易となる。

ディスク８１は、ケース６０およびヨーク２４ａ，２４ｂの熱膨張率よりも大きい熱膨張率を有していることが好ましい。例えば、ディスク８１は、ポリアリレート樹脂（ＰＡＲ）やポリスルホン樹脂（ＰＳＵ）といった熱膨張率が大きく高強度な樹脂、または金属を材料とする。なお、ディスク８１には、一部に切欠きが形成されていてもよい。

（第２実施形態）
図５（ａ）は、第２実施形態に係るサーボ型加速度計１０２の各部の詳細を例示している。図５（ｂ）は、図５（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。サーボ型加速度計１０２においては、固定部材８０ａ，８０ｂが、ディスク８１の代わりに多角形部材８３を備えている。多角形部材８３は、多角形状であってもよく、六角形などであってもよい。多角形部材８３は、長方形である場合には、半径方向に長手方向を有している。

図５（ｂ）で例示するように、固定部材８０ｂは、複数の多角形部材８３が、ヨーク２４ｂの外周において円周方向に略等間隔に並んで配置された構造を有する。また、固定部材８０ａも同様に、複数の多角形部材８３が、ヨーク２４ａの外周において円周方向に略等間隔に並んで配置された構造を有する。各多角形部材８３とヨーク２４ｂとの間、および各多角形部材８３とケース６０との間には、接着剤８２が設けられている。それにより、各多角形部材８３がヨーク２４ｂとケース６０とを固定している。また、各多角形部材８３とヨーク２４ａとの間、および各多角形部材８３とケース６０との間には、接着剤８２が設けられている。それにより、各多角形部材８３がヨーク２４ａとケース６０とを固定している。各多角形部材８３の多角形面は、感度軸に直交している。各多角形部材８３は、ケース６０との電気的絶縁性を確保するために、例えば、アルマイト処理が施されたアルミニウムなど、絶縁性表面処理が施された金属や、導電性が無い樹脂やセラミックスで構成されている。

第２実施形態に係るサーボ型加速度計１０２では、固定部材８０ａ，８０ｂの各多角形部材８３において、センサ部５０の半径方向の長さＬ１が、センサ部５０に接する箇所の接線方向と平行方向の長さＬ２以上となっている。各多角形部材８３が正方形状を有していれば、長さＬ１と長さＬ２とは等しい。したがって、温度上昇が生じた場合に、各多角形部材８３において、半径方向の膨張と接線方向の伸縮とが同一となる。または、各多角形部材８３は、長さＬ１が長さＬ２と比較して大きくなるような長方形状を有していてもよい。この場合においては、温度上昇が生じた場合に、各多角形部材８３において、半径方向の膨張が接線方向の膨張を上回る。

このような構成では、温度上昇が生じても、固定部材８０ａ，８０ｂの全体について、センサ部５０の円周方向における膨張が抑制される。それにより、接着剤８２からの各多角形部材８３の剥がれが抑制される。その結果、サーボ型加速度計１０２の信頼性が向上する。また、コストがかかる柔軟な接着剤を用いる必要がなくなるため、コストを抑制することができる。

なお、複数の多角形部材８３は、多角形状の特徴から、高い慣性モーメントを有し、高い剛性を有する。それにより、サーボ型加速度計１０２の信頼性がさらに向上する。

多角形部材８３は、ケース６０およびヨーク２４ａ，２４ｂの熱膨張率よりも大きい熱膨張率を有していることが好ましい。例えば、多角形部材８３は、ポリアリレート樹脂（ＰＡＲ）やポリスルホン樹脂（ＰＳＵ）といった熱膨張率が大きく高強度な樹脂、または金属を材料とする。なお、多角形部材８３には、一部に切欠きが形成されていてもよい。

（第３実施形態）
図６（ａ）は、第３実施形態に係るサーボ型加速度計１０３の各部の詳細を例示している。図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。サーボ型加速度計１０３においては、固定部材８０ａ，８０ｂが、ディスク８１の代わりに支柱部材８４を備えている。支柱部材８４は、多角柱であってもよく、円柱などであってもよい。

図６（ｂ）で例示するように、固定部材８０ｂは、複数の支柱部材８４が、ヨーク２４ｂの外周において円周方向に略等間隔に並んで配置された構造を有する。また、固定部材８０ａも同様に、複数の支柱部材８４が、ヨーク２４ａの外周において円周方向に略等間隔に並んで配置された構造を有する。各支柱部材８４とヨーク２４ｂとの間、および各支柱部材８４とケース６０との間には、接着剤８２が設けられている。それにより、各支柱部材８４がヨーク２４ｂとケース６０とを固定している。また、各支柱部材８４とヨーク２４ａとの間、および各支柱部材８４とケース６０との間には、接着剤８２が設けられている。それにより、各支柱部材８４がヨーク２４ａとケース６０とを固定している。各支柱部材８４が支柱として延びる方向は、感度軸に直交している。各支柱部材８４は、ケース６０との電気的絶縁性を確保するために、例えば、アルマイト処理が施されたアルミニウムなど、絶縁性表面処理が施された金属や、導電性が無い樹脂やセラミックスで構成されている。

第３実施形態に係るサーボ型加速度計１０３では、固定部材８０ａ，８０ｂの各支柱部材８４において、センサ部５０の半径方向の長さＬ１が、センサ部５０に接する箇所の接線方向と平行方向の長さＬ２以上となっている。したがって、温度上昇が生じた場合に、各支柱部材８４において、半径方向の膨張が接線方向の膨張以上となる。

このような構成では、温度上昇が生じても、固定部材８０ａ，８０ｂの全体について、センサ部５０の円周方向における膨張が抑制される。それにより、接着剤８２からの各支柱部材８４の剥がれが抑制される。その結果、サーボ型加速度計１０３の信頼性が向上する。また、コストがかかる柔軟な接着剤を用いる必要がなくなるため、コストを抑制することができる。

なお、複数の支柱部材８４は、支柱部材を所定の長さずつ切断することで形成することができる。同一の支柱部材から容易に切り出すことができるため、製造コストを抑制することができる。

支柱部材８４は、ケース６０およびヨーク２４ａ，２４ｂの熱膨張率よりも大きい熱膨張率を有していることが好ましい。例えば、支柱部材８４は、ポリアリレート樹脂（ＰＡＲ）やポリスルホン樹脂（ＰＳＵ）といった熱膨張率が大きく高強度な樹脂、または金属を材料とする。なお、支柱部材８４には、一部に切欠きが形成されていてもよい。

上記各例において、センサ部５０が略円柱形状を有している例について説明したが、それに限られない。例えば、センサ部５０は、楕円柱形状を有していてもよい。この場合において、ディスク８１、多角形部材８３および支柱部材８４において、センサ部５０の半径方向の長さＬ１が、センサ部５０に接する箇所の接線方向と平行方向の長さＬ２以上となっていればよい。

上記各例において、センサ部５０が、磁気回路が生成する磁場において可動部の感度軸方向の変位量に応じて電気信号を出力し、少なくとも一部の外形に、前記感度軸方向に軸を有する円周形状部を備えるセンサ部の一例である。固定部材８０ａ，８０ｂが、前記円周形状部の円周方向に沿って所定の間隔で配置された複数の部材を備え、前記複数の部材が接着剤を介して前記センサ部を前記ケースに固定する固定部材の一例である。

（第４実施形態）
図７は、第４実施形態に係るサーボ型加速度計１０４の固定部材８０の詳細について表す図である。図７は、第１実施形態の図４に対応し、センサ部を感度軸方向に沿って下方から見た平面視図である。図７で例示するように、センサ部についてはヨーク２４ｂが図示されている。図７で例示するように、本実施形態に係るセンサ部が第１実施形態と異なる点は、センサ部の少なくとも一部の外形が、感度軸方向に軸を有する多角形状を有している点である。センサ部は、全体として、Ｙ軸に沿って軸を有する略多角形状を有していてもよい。多角形状は、例えば、４角形状、５角形状、６角形状などである。本実施形態では、センサ部は、一例として正８角形状を有し、図７で例示するヨーク２４ｂも正８角形状を有している。

本実施形態においては、センサ部を感度軸方向から見た場合に、固定部材８０ａ，８０ｂの各ディスク８１において、上記多角形状の各辺に直交する方向の長さＬ１が、当該多角形状の各辺に対して平行方向の長さＬ２以上となっている。この場合においては、温度上昇が生じた場合に、各ディスク８１において、半径方向の膨張が接線方向の膨張を上回る。なお、ディスク８１の代わりに第２実施形態に係る多角形部材８３が備わっていてもよく、第３実施形態に係る支柱部材８４が備わっていてもよい。

以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

１０ 可動極板
１２ ヒンジ
１４ 枠体
１６ コイル
２２ 永久磁石
２４ ヨーク
３０ 連結リング
５０ センサ部
６０ ケース
６２ フランジ
７０ Ｃリング
８０ 固定部材
８１ ディスク
８２ 接着剤
８３ 多角形部材
８４ 支柱部材
１０１〜１０４ サーボ型加速度計
１５０ サーボ型加速度計
２００ ホルダ
３００ 押え板

Claims (8)

1. 磁気回路が生成する磁場において可動部の感度軸方向の変位量に応じて電気信号を出力し、少なくとも一部の外形に、前記感度軸方向に軸を有する円周形状部を備えるセンサ部と、
   前記センサ部を収容するケースと、
   前記円周形状部の円周方向に沿って所定の間隔で配置された複数の部材を備え、前記複数の部材が接着剤を介して前記センサ部を前記ケースに固定する固定部材と、を備え、
   前記複数の部材において、前記円周形状部の半径方向の長さが、前記円周形状部に接する箇所の接線方向と平行方向の長さ以上であることを特徴とするサーボ型加速度計。
2. 磁気回路が生成する磁場において可動部の感度軸方向の変位量に応じて電気信号を出力し、少なくとも一部の外形に、前記感度軸方向に軸を有する多角形状部を備えるセンサ部と、
   前記センサ部を収容するケースと、
   前記多角形状部の周方向に沿って所定の間隔で配置された複数の部材を備え、前記複数の部材が接着剤を介して前記センサ部を前記ケースに固定する固定部材と、を備え、
   前記センサ部を前記感度軸方向から見た場合に、前記複数の部材において、前記多角形状部の各辺に直交する方向の長さが、前記多角形状部の各辺に対して平行方向の長さ以上であることを特徴とするサーボ型加速度計。
3. 前記複数の部材の熱膨張率は、前記ケースの熱膨張率よりも大きいことを特徴とする請求項１または２に記載のサーボ型加速度計。
4. 前記磁気回路は、磁石と磁性部材とを含み、
   前記複数の部材の熱膨張率は、前記磁性部材の熱膨張率よりも大きいことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のサーボ型加速度計。
5. 前記複数の部材は、前記感度軸に直交する方向に円形面を有するディスク部材であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のサーボ型加速度計。
6. 前記複数の部材は、前記感度軸に直交する方向に多角形面を有する多角形部材であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のサーボ型加速度計。
7. 前記複数の部材は、前記円周形状部の半径方向に延びる支柱部材であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のサーボ型加速度計。
8. 前記センサ部は、前記磁気回路と、前記磁気回路が生成する磁場において感度軸方向に変位可能な可動極板と、変位した前記可動極板を電磁力によって変位前の位置に戻す作用を有し前記可動極板の両面に設けられたコイルと、を備えることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のサーボ型加速度計。

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