JP5142946B2 - アクチュエータ - Google Patents

Description

この発明は、円筒形状の磁石体と、この磁石体と同心に配置された円筒形状のコイルとを備え、コイルに通電することで、磁石体が軸線方向に移動するアクチュエータに関する。

従来、円筒形状のハウジングの内周面に取り付けられた円筒形状の第１の磁石、およびこの第１の磁石の内側で同心に配置された円柱形状の第２の磁石から構成された磁石体と、第１の磁石と第２の磁石との間に配置された円筒形状のコイルと、このコイルを保持し、駆動対象体に取り付けられ、底面が第２の磁石の先端面に対向した有底円筒形状のコイル保持手段と、第２の磁石の先端面に取り付けられた第１のセンサ電極と、この第１のセンサ電極に対向してコイル保持手段の底面に取り付けられ、第１のセンサ電極とともに容量性センサの変位検出電極対を構成する第２のセンサ電極とを備え、第１の磁石と第２の磁石は、磁束がコイルに鎖交するように着磁されたアクチュエータが知られている（例えば、特許文献１参照）。
このものの場合、コイルに通電することで、コイルに鎖交する磁束とコイルを流れる電流との相互作用により、磁石体に対してコイルとともにコイル保持手段が軸線方向に移動し、容量性センサが駆動対象体の変位量を検出する。

特開２００７−６６９５号公報

しかしながら、このものの場合、コイルが第１の磁石と第２の磁石との間に設けられているので、コイルに巻回された導線の巻数を増加させて磁石体とコイルとの間に発生する力を大きくすることができず、また、コイルの熱を外部に排出することが困難でありコイルの温度が上昇してしまうという問題点があった。
また、温度が上昇したコイルの熱は、コイル保持手段を介して第２のセンサ電極に伝導されるので、第２のセンサ電極の温度が上昇し、第２のセンサ電極の熱膨張によって、第１のセンサ電極と第２のセンサ電極との間の距離が変化する。
その結果、容量性センサが検出する駆動対象体の変位量に誤差が生じてしまうという問題点があった。

この発明は、上述のような問題点を解決することを課題とするものであって、その目的は、コイルに巻回された導線の巻数を増加させて、磁石体とコイルとの間に発生する力を大きくすることができるとともに、コイルの温度上昇を抑制し、また、容量性センサが検出する駆動対象体の変位量に誤差が生じることを抑制することができるアクチュエータを提供するものである。

この発明に係るアクチュエータは、複数の円筒形状の磁石を有し、それぞれの前記磁石が同心でかつ径方向に重ねられて構成された円筒形状の磁石体と、前記磁石体の中心孔に嵌合され、一端部が駆動対象体に取り付けられる第１のシャフトと、先端面が前記第１のシャフトの他端部の端面に対向して設けられた第２のシャフトと、前記第１のシャフトの他端部の端面に設けられた第１のセンサ電極と、前記第２のシャフトの先端面に設けられ、前記第１のセンサ電極とともに容量性センサの変位検出電極対を構成する第２のセンサ電極と、前記磁石体の軸線方向の外側で、前記磁石体と同心に配置された円筒形状のコイルと、前記コイルを保持したコイル保持手段と、前記コイル保持手段に接触して設けられ、前記コイル保持手段の熱を外部に排出する排熱手段と、前記コイルの反前記駆動対象体側に設けられ、熱絶縁体を介して前記コイル保持手段を支持するとともに、前記第２のシャフトを支持したベースとを備え、前記磁石体は、磁束が前記コイルに鎖交するように着磁されており、前記コイルに通電することで、前記コイルに鎖交する磁束と前記コイルを流れる電流との相互作用により、前記磁石体が前記軸線方向に移動する。

この発明に係るアクチュエータによれば、コイルの径方向の寸法を大きくすることができるので、コイルに巻回された導線の巻数を増加させて、磁石体とコイルとの間に発生する力を大きくすることができるとともに、排熱手段がコイル保持手段の熱を外部に排出するので、コイル保持手段に保持されたコイルの温度上昇を抑制することができ、また、コイルの熱が容量性センサに伝達することを抑制して、容量性センサが検出する駆動対象体の変位量に誤差が生じることを抑制することができる。

以下、この発明の各実施の形態を図に基づいて説明するが、各図において、同一または相当の部材、部位については、同一符号を付して説明する。
実施の形態１．
図１はこの実施の形態に係るアクチュエータの要部を示す断面図である。
この実施の形態に係るアクチュエータは、望遠鏡に備えられた薄板形状の駆動対象体であるミラー１の裏面に取り付けられている。
このアクチュエータは、動作することでミラー１を変形させ、ミラー１の表面で反射する光の波面を調整する。
このアクチュエータは、円筒形状の磁石体２と、円筒形状のコイル３とを備えている。
磁石体２は、軸線がミラー１に直交するように配置されている。
また、磁石体２は、円筒形状の第１の磁石２ａと、この第１の磁石２ａの外側に固定された円筒形状の第２の磁石２ｂと、この第２の磁石２ｂの外側に固定された円筒形状の第３の磁石２ｃとを有し、それぞれの磁石が互いに同心でかつ径方向に重ねられて構成されている。
コイル３は、磁石体２の軸線方向の外側であって磁石体２の反ミラー１側に、磁石体２と同心に配置されている。

第１の磁石２ａは、軸線方向であってコイル３からミラー１に向かう方向に磁束が通過するように着磁されている。
第２の磁石２ｂは、径方向外側に向かって磁束が通過するように着磁されている。
第３の磁石２ｃは、軸線方向であってミラー１からコイル３に向かう方向に磁束が通過するように着磁されている。
これにより、磁石体２を通過する磁束は、コイル３に鎖交する。

また、このアクチュエータは、磁石体２の中心孔に嵌合された第１のシャフト４と、この第１のシャフト４の反ミラー１側に配置された第２のシャフト５とを備えている。
第１のシャフト４の一端部の端面は、ミラー１の裏面に接着により接合されており、第１のシャフト４は、軸線がミラー１に直交するように配置されている。
第２のシャフト５の先端面は、第１のシャフト４の他端部の端面に対向しており、第２のシャフト５は、第１のシャフト４と同心に配置されている。

また、このアクチュエータは、コイル３を保持したコイル保持手段６と、熱絶縁体であるスペーサ７を介してコイル保持手段６を支持するとともに、第２のシャフト５を支持したベース８とを備えている。
コイル保持手段６は、図示しない締結手段を用いて、ベース８に固定されている。なお、締結手段に限らず、その他の手段を用いてコイル保持手段６をベース８に固定してもよい。
コイル保持手段６は、コイル３の内周面、外周面および反ミラー１側の面に、図示しない良熱伝導性の接着剤を介して、隙間なく接合されている。
この接着剤は、アルミナコンパウンドを混成して熱伝導性を高めたエポキシ系接着剤である。なお、この接着剤は、このものに限らず、その他の良熱伝導性の接着剤であってもよい。
スペーサ７は、断熱性の材料であるガラス繊維強化エポキシ樹脂から構成されている。なお、スペーサ７は、このものに限らず、例えば、セラミック素材、チタン合金、オーステナイト系ステンレス素材等の断熱性の材料から構成されてもよい。
ベース８は、複数のアクチュエータを連結するベース連結体９に固定されている。

また、このアクチュエータは、コイル保持手段６の外周面に面接触した排熱手段１０を備えている。
排熱手段１０は、コイル保持手段６の外周面に面接触した充填材１１と、この充填材１１を介してコイル保持手段６の熱を外部に排出する排熱部材１２とを有している。
充填材１１は、柔軟で良熱伝導性な材料である、酸化アルミニウム粉末を混成させたシリコンコンパウンドから構成されている。なお、この充填材１１は、このものに限らず、その他の柔軟で良熱伝導性な材料から構成されてもよい。
排熱手段１０は、充填材１１によって、コイル保持手段６と隙間なく面接触している。

コイル保持手段６および排熱部材１２は、良熱伝導性の材料であるアルミニウム合金から構成されている。
なお、コイル保持手段６および排熱部材１２は、このものに限らず、例えば、銅合金等の良熱伝導性の材料から構成されてもよい。

また、このアクチュエータは、第１のシャフト４の他端部の端面に固定された第１のセンサ電極１３と、第２のシャフト５の先端面に固定された第２のセンサ電極１４とを備えている。
第１のセンサ電極１３および第２のセンサ電極１４は、ミラー１の変位である静電容量の変化を電気的に検出する容量性センサの変位検出電極対を構成している。
第１のセンサ電極１３および第２のセンサ電極１４は、リード線（図示せず）によって、容量性センサの検出回路部（図示せず）に接続されている。
容量性センサは、電流発生制御回路（図示せず）に電気的に接続されている。
電流発生制御回路は、容量性センサからミラー１の変位検出値が入力され、この入力された値と目標の値とが一致するように、コイル３に流れる電流の値およびコイル３に流れる電流の方向を調整する。

また、このアクチュエータは、第２のシャフト５とベース８との間に、調整手段である差動ネジリング１５を備えている。
差動ネジリング１５は、円筒形状に形成されており、内周面および外周面のそれぞれには、ネジ溝が形成されている。
内周面に形成されたネジ溝のピッチは、外周面に形成されたネジ溝ピッチと僅かに異なるようになっている。
図示しない回転抑制手段を用いて第２のシャフト５の回転を抑制させた状態で、差動ネジリング１５を回転させることで、第２のシャフト５とベース８との軸線方向の相対位置が微少量だけ変化する。
差動ネジリング１５は、ベース８を貫通して配置されているので、ベース８の反ミラー１側から、差動ネジリング１５を回転させることができる。

第１のシャフト４、第２のシャフト５、ベース８、ベース連結体９および差動ネジリング１５は、それぞれ、熱膨張率が概ね１［ｐｐｍ／Ｋ］以下の低熱膨張性材料である超低熱膨張セラミック素材から構成されている。
なお、第１のシャフト４、第２のシャフト５、ベース８、ベース連結体９および差動ネジリング１５は、このものに限らず、例えば、スーパーインバー素材等の低熱膨張性材料から構成されてもよく、また、熱膨張率が概ね５［ｐｐｍ／Ｋ］以下の低熱膨張性材料である、低膨張セラミックまたは高切削性インバー合金等から構成されてもよい。

次に、この実施の形態に係るアクチュエータの動作について説明する。
コイル３に通電することで、コイル３に鎖交する磁束とコイル３を流れる電流との相互作用により、磁石体２が軸線方向に移動する。
その結果、第１のシャフト４が軸線方向に移動して、ミラー１が変形する。
容量性センサは、第１のセンサ電極１３と第２のセンサ電極１４とから構成される静電容量の変化量を用いて、ミラー１の変位を検出する。

以上説明したように、この実施の形態に係るアクチュエータによれば、コイル３が磁石体２の軸線方向の外側に配置されているので、コイル３の径方向の寸法を大きくすることができ、コイル３に巻回された導線の巻数を増加させて、磁石体２とコイル３との間に発生する力を大きくすることができる。その結果、アクチュエータの駆動力を大きくすることができる。
また、排熱手段１０がコイル保持手段６の熱を外部に排出するので、コイル保持手段６に保持されたコイル３の温度上昇を抑制することができる。
また、第１のシャフト４は一端部がミラー１に固定されるとともに中間部が磁石体２に嵌合され、第１のシャフト４の他端部に第１のセンサ電極１３が取り付けられ、第２のシャフト５の先端部に第２のセンサ電極１４が取り付けられ、第２のシャフト５がベース８に支持されているので、磁石体２の温度が変化した場合であっても、磁石体２の熱膨張の影響を受けることなく、第１のセンサ電極１３と第２のセンサ電極１４とから構成される静電容量の変化量を用いて、ミラー１の変位を検出することができる。
また、排熱手段１０がコイル保持手段６の熱を外部に排出することによって、コイル３の熱が第１のシャフト４および第２のシャフト５に伝達することが抑制されるので、第１のシャフト４および第２のシャフト５の温度上昇が抑制され、第１のシャフト４および第２のシャフト５の熱膨張が抑制されて、第１のセンサ電極１３と第２のセンサ電極１４とから構成される静電容量の変化量を用いたミラー１の変位の検出の精度を向上させることができる。
また、排熱手段１０がコイル保持手段６の熱を外部に排出することによって、コイル３の熱が第１のシャフト４および第２のシャフト５を介して、第１のセンサ電極１３および第２のセンサ電極１４に伝達することが抑制されるので、第１のセンサ電極１３および第２のセンサ電極１４の温度上昇が抑制され、第１のセンサ電極１３および第２のセンサ電極１４の熱膨張が抑制されて、容量性センサが検出するミラー１の変位量に誤差が生じることを抑制することができる。
また、コイル保持手段６は、スペーサ７を介してベース８に支持されているので、コイル３からコイル保持手段６に伝導した熱が、ベース８を介して第２のシャフト５に伝導することを抑制することができ、第２のシャフト５が熱膨張することを抑制することができる。
その結果、第１のセンサ電極１３と第２のセンサ電極１４とから構成される静電容量の変化量を用いたミラー１の変位の検出の精度を向上させることができる。

また、差動ネジリング１５を用いて、ベース８の反コイル３側から、ベース８に対する第２のシャフト５の軸線方向の位置を調整することができるので、例えば、複数のアクチュエータをミラー１の裏面に取り付けた場合に、それぞれのアクチュエータのベース８に対する第２のシャフト５の軸線方向の位置を、運用前または運用中に、簡単に調整することができる。

また、第１のシャフト４、第２のシャフト５およびベース８は、熱膨張率が概ね５［ｐｐｍ／Ｋ］以下の低熱膨張性材料から構成されているので、第１のシャフト４、第２のシャフト５およびベース８の温度が変化した場合であっても、第１のシャフト４、第２のシャフト５およびベース８の熱膨張を抑制することができるので、第１のセンサ電極１３と第２のセンサ電極１４とから構成される静電容量の変化量を用いたミラー１の変位の検出の精度を向上させることができる。

実施の形態２．
図２はこの実施の形態に係るアクチュエータの要部を示す断面図である。
この実施の形態に係るアクチュエータは、第１のシャフト４の一端部の端面に固定されたエンドパッド１６と、ミラー１の裏面に固定された対象体パッドであるミラーパッド１７とを備えている。
エンドパッド１６は、強磁性体から構成されている。
ミラーパッド１７は、強磁性体であり、かつ、ミラー１の素材とほぼ等しい熱膨張率の材料から構成されている。
ミラー１が石英ガラスまたは超低膨張ガラス等の材料から構成されている場合には、ミラーパッド１７を、インバーまたはスーパーインバー素材等の材料から構成する。
これにより、ミラー１およびミラーパッド１７の温度が変化した場合であっても、ミラー１とミラーパッド１７との間に生じる熱変形量の差異を低減させることができるので、ミラー１とミラーパッド１７との間の熱変形量の差異によって生じるミラー１の所望外の歪の発生を抑制することができる。

また、このアクチュエータは、エンドパッド１６とミラーパッド１７との間に設けられた球面体磁石１８を備えている。
球面体磁石１８は、エンドパッド１６およびミラーパッド１７を磁気吸着しており、これにより、第１のシャフト４がミラー１に取り付けられている。

第１のシャフト４の一端部には、径方向に延びたフランジ部４ａが形成されている。
第１のシャフト４の他端部の周囲には、円筒形状の押さえ部材１９が固定されている。
磁石体２のミラー１側の端面は、第１のシャフト４のフランジ部４ａに当接し、磁石体２の反ミラー１側の端面は、リング形状の弾性材２０を介して、押さえ部材１９により、ミラー１側へ押圧されている。
これにより、磁石体２は第１のシャフト４に強固に固定される。
弾性材２０は、金属製のサラバネである。なお、弾性材２０は、勿論このものに限らず、例えば、樹脂製のリングであってもよい。

また、このアクチュエータは、第１のシャフト４およびコイル保持手段６に渡って設けられた一対の板ばね２１を備えている。
一方の板ばね２１は、第１のシャフト４のミラー１側端部に接触し、コイル保持手段６のミラー１側端部に熱絶縁パッド２２を介して支持されている。
他方の板ばね２１は、第１のシャフト４の反ミラー１側端部に接触し、コイル３より下方でコイル保持手段６に熱絶縁パッド２３を介して取り付けられている。
それぞれの板ばね２１は、互いに離間して平行に配置されており、コイル保持手段６に対する第１のシャフト４の、軸線方向の移動を可能にするとともに、径方向の移動を規制している。

図３は図２の板ばね２１を示す平面図である。
板ばね２１は、板厚が０．１［ｍｍ］のばね用ステンレス鋼板である。
板ばね２１の中心には、エンドパッド１６または第１のシャフト４が貫通する孔２１ａが形成されている。
板ばね２１の周縁部には、コイル保持手段６に取り付けるための貫通した複数の孔２１ｂが形成されている。
板ばね２１の第１のシャフト４側の部位とコイル保持手段６側の部位との間には、両部位間の熱伝導を抑制する熱伝導抑制手段であるスリット２１ｃが形成されている。
このスリット２１ｃは、板ばね２１を第１のシャフト４の軸線方向から視たときに、半径の異なる円弧形状のものと、半径が同一である円弧形状のものとが、同心に形成されている。
これにより、第１のシャフト４側の部位とコイル保持手段６側の部位との間の熱伝導路の距離が板ばね２１の半径より増大し、両部位間の熱伝導を抑制している。

なお、スリット２１ｃは、円弧形状に限らず、その他の形状であってもよい。
また、熱伝導抑制手段は、板ばね２１に形成されたスリット２１ｃに限らず、例えば、板ばね２１の、第１のシャフト４側の部位とコイル保持手段６側の部位との間に設けられた熱絶縁体であってもよい。
これにより、板ばね２１の、第１のシャフト４側の部位とコイル保持手段６側の部位との間の熱伝導を抑制することができる。

また、板ばね２１には、第１のセンサ電極１３または第２のセンサ電極１４と接続されたリード線を通すための貫通した２個の孔２１ｄが形成されている。
この孔２１ｄにリード線を通すことで、リード線がスリット２１ｃに干渉することを防ぎ、リード線が板ばね２１の動作を妨害することを防ぐことができる。
その他の構成は実施の形態１と同様である。

以上説明したように、この実施の形態に係るアクチュエータによれば、エンドパッド１６、ミラーパッド１７および球面体磁石１８により、第１のシャフト４の軸線方向への押し引き力を確実にミラー１へ伝達することができる。
また、エンドパッド１６は、球面体磁石１８の面に沿って自在に傾くことができるので、ミラー１の法線に対して第１のシャフト４の軸線が傾く方向、またはねじれる方向に第１のシャフト４に力が作用した場合であっても、その力は球面体磁石１８には伝達されず、その結果、その力がミラー１に伝達されることを防ぐことができる。
また、球面体磁石１８がエンドパッド１６の端面上およびミラーパッド１７の端面上を転動可能であるので、第１のシャフト４がミラー１に対して、径方向にずれた場合であっても、ミラー１に、第１のシャフト４の径方向への力が伝達されることを防ぐことができる。

また、一対の板ばね２１が、コイル保持手段６に対する第１のシャフト４の、軸線方向の移動を可能にするとともに径方向の移動を規制するので、第１のシャフト４がミラー１に対して、径方向にずれた場合であっても、第１のシャフト４を、コイル３および第２のシャフト５と同心に維持するとともに、第１のシャフト４を軸線方向へ移動させることができる。

また、板ばね２１は、第１のシャフト４側の部位とコイル保持手段６側の部位との間に、両部位間の熱伝導を抑制する熱伝導抑制手段を有しているので、コイル保持手段６の熱が第１のシャフト４に伝達することを抑制することができる。その結果、第１のシャフト４が熱膨張することを抑制することができる。

また、板ばね２１には、第１のシャフト４側の部位とコイル保持手段６側の部位との間の熱伝導路の距離が板ばね２１の半径より増大するようにスリット２１ｃが形成されているので、簡単な構成で、コイル保持手段６の熱が第１のシャフト４に伝達することを抑制することができる。

なお、この実施の形態では、第１のシャフト４の先端面に強磁性体から構成されたエンドパッド１６を備えたアクチュエータについて説明したが、勿論このものに限らず、例えば、第１のシャフト４を強磁性体から構成され、エンドパッド１６を省略したアクチュエータであってもよい。
この場合、第１のシャフト４は、例えば、スーパーインバー合金、フェライト系ステンレス鋼またはマルテンサイト系ステンレス等の材料から構成される。

また、この実施の形態では、エンドパッド１６とミラーパッド１７との間に設けられた球面体磁石１８を備えたアクチュエータについて説明したが、勿論このものに限らず、例えば、第１のシャフト４とミラーパッド１７との間に設けられた球面体磁性体を備え、この球面体磁性体を磁石体２の近傍（例えば、磁石体２から、磁石体２の厚みの数分の一以下の距離）に配置することで、球面体磁性体が磁石体２の磁場の作用によって磁化して第１のシャフト４側に引き寄せられる。
これにより、第１のシャフト４が強磁性体でない場合であっても、エンドパッド１６を省略することができる。

実施の形態３．
図４はこの実施の形態に係るアクチュエータの要部を示す断面図である。
この実施の形態に係るアクチュエータは、ミラー１の裏面に固定されたミラーパッド１７を備えている。
第１のシャフト４は、一端部に、ミラー１に点接触する球面形状の突起部４ｂが形成されている。
第１のシャフト４は、強磁性体であるスーパーインバー合金から構成されている。
なお、第１のシャフト４は、このものに限らず、例えば、フェライト系ステンレス鋼またはマルテンサイト系ステンレス等の材料から構成されてもよい。
その他の構成は実施の形態２と同様である。

以上説明したように、この実施の形態に係るアクチュエータによれば、ミラー１の裏面には強磁性体で構成されたミラーパッド１７が固定され、第１のシャフト４は、強磁性体から構成されているので、磁石体２の磁場の作用によって第１のシャフト４が磁化して、第１のシャフト４の一端部がミラーパッド１７を磁気吸着するので、簡単な構成で、第１のシャフト４をミラー１に取り付けることができる。
また、第１のシャフト４の突起部４ｂがミラーパッド１７に点接触しているので、実施の形態２に記載のアクチュエータと同様にして、ミラー１の法線に対して第１のシャフト４の軸線が傾く方向、またはねじれる方向に第１のシャフト４に力が作用した場合であっても、その力はミラーパッド１７には伝達されず、その結果、その力がミラー１に伝達されることを防ぐことができる。
また、第１のシャフト４の突起部４ｂがミラーパッド１７に点接触しているので、実施の形態２に記載のアクチュエータと同様にして、第１のシャフト４がミラー１に対して、径方向にずれた場合であっても、ミラー１に、第１のシャフト４の径方向への力が伝達されることを防ぐことができる。

なお、上記各実施の形態では、ミラー１とコイル３との間に磁石体２が配置されたアクチュエータについて説明したが、勿論このものに限らず、ミラー１と磁石体２との間にコイル３が配置されたアクチュエータであってもよい。

また、上記各実施の形態では、３個の磁石を有した磁石体２について説明したが、勿論このものに限らず、磁束がコイル３に鎖交するように着磁されていれば、２個または４個以上の磁石を有した磁石体２であってもよい。

また、上記各実施の形態では、駆動対象体として、ミラー１を例に説明したが、勿論このものに限らず、その他のものであってもよく、例えば、微小位置決めステージであってもよい。

この発明の実施の形態１に係るアクチュエータの要部を示す断面図である。 この発明の実施の形態２に係るアクチュエータの要部を示す断面図である。 図２の板ばねを示す平面図である。 この発明の実施の形態３に係るアクチュエータの要部を示す断面図である。

符号の説明

１ ミラー（駆動対象体）、２ 磁石体、２ａ 第１の磁石、２ｂ 第２の磁石、２ｃ 第３の磁石、３ コイル、４ 第１のシャフト、４ａ フランジ部、４ｂ 突起部、５ 第２のシャフト、６ コイル保持手段、７ スペーサ（熱絶縁体）、８ ベース、９ ベース連結体、１０ 排熱手段、１１ 充填材、１２ 排熱部材、１３ 第１のセンサ電極、１４ 第２のセンサ電極、１５ 差動ネジリング（調整手段）、１６ エンドパッド、１７ ミラーパッド（対象体パッド）、１８ 球面体磁石、１９ 押さえ部材、２０ 弾性材、２１ 板ばね、２１ａ 孔、２１ｂ 孔、２１ｃ スリット（熱伝導抑制手段）、２１ｄ 孔、２２ 熱絶縁パッド、２３ 熱絶縁パッド。

Claims (8)

1. 複数の円筒形状の磁石を有し、それぞれの前記磁石が同心でかつ径方向に重ねられて構成された円筒形状の磁石体と、
   前記磁石体の中心孔に嵌合され、一端部が駆動対象体に取り付けられる第１のシャフトと、
   先端面が前記第１のシャフトの他端部の端面に対向して設けられた第２のシャフトと、
   前記第１のシャフトの他端部の端面に設けられた第１のセンサ電極と、
   前記第２のシャフトの先端面に設けられ、前記第１のセンサ電極とともに容量性センサの変位検出電極対を構成する第２のセンサ電極と、
   前記磁石体の軸線方向の外側で、前記磁石体と同心に配置された円筒形状のコイルと、
   前記コイルを保持したコイル保持手段と、
   前記コイル保持手段に接触して設けられ、前記コイル保持手段の熱を外部に排出する排熱手段と、
   前記コイルの反前記駆動対象体側に設けられ、熱絶縁体を介して前記コイル保持手段を支持するとともに、前記第２のシャフトを支持したベースとを備え、
   前記磁石体は、磁束が前記コイルに鎖交するように着磁されており、
   前記コイルに通電することで、前記コイルに鎖交する磁束と前記コイルを流れる電流との相互作用により、前記磁石体が前記軸線方向に移動することを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記第２のシャフトと前記ベースとの間に設けられ、前記ベースに対する前記第２のシャフトの前記軸線方向の位置を前記ベースの反前記コイル側から調整可能な調整手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記第１のシャフト、前記第２のシャフトおよび前記ベースの少なくとも１つは、熱膨張率が概ね５［ｐｐｍ／Ｋ］以下の低熱膨張性材料から構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記第１のシャフトの一端部の端面に固定された、強磁性体で構成されたエンドパッドと、
   前記駆動対象体に固定される、強磁性体で構成された対象体パッドと、
   前記エンドパッドと前記対象体パッドとの間に設けられ、両者を磁気吸着する球面体磁石とをさらに備えたことを特徴とする請求項１ないし請求項３の何れか１項に記載のアクチュエータ。
5. 前記第１のシャフトと前記コイル保持手段との間に渡って設けられ、前記コイル保持手段に対する前記第１のシャフトの、前記軸線方向の移動を可能にするとともに径方向の移動を規制する一対の板ばねをさらに備え、
   それぞれの前記板ばねは、互いに離間して平行に配置されていることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
6. 前記板ばねは、前記第１のシャフト側の部位と前記コイル保持手段側の部位との間に、両部位間の熱伝導を抑制する熱伝導抑制手段を有していることを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ。
7. 前記熱伝導抑制手段は、前記第１のシャフト側の部位と前記コイル保持手段側の部位との間の熱伝導路の距離が前記板ばねの半径より増大するように前記板ばねに形成されたスリットであることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。
8. 前記駆動対象体に固定される、強磁性体で構成された対象物パッドをさらに備え、
   前記第１のシャフトは、強磁性体から構成され、一端部には、前記対象物パッドに点接触する球面形状の突起部が形成されており、
   前記磁石体が生成する磁界の作用により、前記第１のシャフトが磁化して前記対象物パッドを磁気吸着することを特徴とする請求項１ないし請求項３の何れか１項に記載のアクチュエータ。

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