JP2008068255A - ガスを汚染なしに加熱するための方法および装置 - Google Patents
ガスを汚染なしに加熱するための方法および装置 Download PDFInfo
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- B01J2208/00433—Controlling the temperature using electromagnetic heating
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Abstract
【解決手段】高純度のガスを0.1〜10barの圧力(絶対圧)で、ガスを汚染しない高純度の固形物を介して案内し、この場合、該固形物が、高純度の容器内に位置しており、該容器の壁が、赤外線放射に対して85%よりも過度に多く透過性である材料から成っており、容器に赤外線放射によって照射し、これによって、固形物を加熱し、該固形物が、ガスを加熱するようにした。
【選択図】図1
Description
Claims (13)
- 高純度のガスを300〜1200℃の温度に汚染なしに加熱するための方法において、高純度のガスを0.1〜10barの圧力(絶対圧)で、ガスを汚染しない高純度の固形物を介して案内し、この場合、該固形物が、高純度の容器内に位置しており、該容器の壁が、赤外線放射に対して85%よりも過度に多く透過性である材料から成っており、容器に赤外線放射によって照射し、これによって、固形物を加熱し、該固形物が、ガスを加熱することを特徴とする、高純度のガスを汚染なしに加熱するための方法。
- 固形物が、合計して100ppm(質量)よりも少ない不純物を有するシリコン、SiCおよびSi3N4のグループから選択されている、請求項1記載の方法。
- 高純度の多結晶のシリコンを固形物として使用する、請求項1または2記載の方法。
- 当該方法を1〜10barの圧力(絶対圧)で実施する、請求項1から3までのいずれか1項記載の方法。
- 加熱したいガスが、シラン、ハロゲン化シランおよび水素のグループから選択されたガスである、請求項1から4までのいずれか1項記載の方法。
- 加熱したいガスが、300℃〜1200℃に汚染なしに加熱される水素である、請求項3から5までのいずれか1項記載の方法。
- 加熱したいガスが、水素とトリクロロシランとから成る、300℃〜400℃に汚染なしに加熱される混合物である、請求項3から5までのいずれか1項記載の方法。
- ガスの50〜500m3/hを容器を通して案内する、請求項1から7までのいずれか1項記載の方法。
- ガスを汚染なしに加熱するための装置であって、ガスに対する流入開口と、加熱されたガスに対する流出開口とを備えた容器と、該容器に赤外線放射によって照射するようになっている加熱放射器とが設けられている形式のものにおいて、容器が、高純度の材料から成っており、該材料が、ガスを汚染しないようになっていて、赤外線放射に対して85%よりも過度に多く透過性であり、容器が、ガスを汚染しない高純度の固形物で充填されており、該固形物が、赤外線放射によって加熱されるようになっていることを特徴とする、ガスを汚染なしに加熱するための装置。
- 固形物が、それぞれ合計して100ppm(質量)よりも少ない不純物を有するシリコン、SiCおよびSi3N4のグループから選択されている、請求項9記載の装置。
- 容器が、0.01〜0.1m3の容積を有している、請求項9または10記載の装置。
- 容器が、石英ガラスから成る容器である、請求項9から11までのいずれか1項記載の装置。
- 加熱放射器が、800〜2700℃の加熱螺旋体温度を備えた赤外線放射器である、請求項9から12までのいずれか1項記載の装置。
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