JP2008047740A - 基板への部品実装方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液晶パネル6などの基板の部品接合部位をプラズマ処理した後、その接合部位に部品を接合する基板への部品実装方法において、反応空間21に第1の不活性ガス25を供給するとともに反応空間21の近傍に配設したアンテナ23に高周波電圧を印加して反応空間21から誘導結合型プラズマからなる一次プラズマ26を吹き出させ、この一次プラズマ26を、第2の不活性ガスを主とし適量の反応性ガスを混合した混合ガス領域30に衝突させて二次プラズマ31を発生させ、発生した二次プラズマ31を基板の部品接合部位に照射するようにした。
【選択図】図4
Description
まず、本発明の液晶パネルに対する部品実装装置の第1の実施形態について,図1〜図7を参照して説明する。
次に、本発明の部品実装装置の第2の実施形態について,図8を参照して説明する。尚、本実施形態の説明では、上記第1の実施形態と同一の構成要素については同一の参照符号を付して説明を省略し、主として相違点についてのみ説明する。
2 プラズマ処理部
3 異方導電膜貼付部
4 仮圧着部
5 本圧着部
6 液晶パネル(基板)
7 部品接合部位
8 異方導電膜
9 電子部品
12 接続電極
14 ロボット装置(移動手段)
14a 可動ヘッド
20 プラズマヘッド
21 反応空間
22 反応容器(誘導結合型プラズマ発生部)
23 アンテナ
24 高周波電源
25 第1の不活性ガス
26 一次プラズマ
27 混合ガス容器(プラズマ展開部)
28 混合ガス
30 混合ガス領域
31 二次プラズマ
Claims (13)
- 基板の部品接合部位をプラズマ処理した後、その接合部位に部品を接合する基板への部品実装方法において、反応空間に第1の不活性ガスを供給するとともに反応空間の近傍に配設したアンテナに高周波電圧を印加して反応空間から誘導結合型プラズマからなる一次プラズマを吹き出させ、この一次プラズマを、第2の不活性ガスを主とし適量の反応性ガスを混合した混合ガス領域に衝突させて二次プラズマを発生させ、発生した二次プラズマを基板の部品の接合部位に照射することを特徴とする基板への部品実装方法。
- 混合ガス領域は、予め混合した第2の不活性ガスと反応性ガスの混合ガスを当該領域に供給して形成することを特徴とする請求項1記載の基板への部品実装方法。
- 混合ガス領域は、第2の不活性ガスと反応性ガスを別々に当該領域に供給して形成することを特徴とする請求項1記載の基板への部品実装方法。
- 基板はフラットパネルディスプレイ用のパネル、接合部位はパネルの端部に設けられた接続電極、部品は接続電極上に貼付ける異方導電膜及びその上に仮圧着及び本圧着されるフラットパネルディスプレイ駆動用の電子部品であり、部品実装工程が、プラズマ処理工程と、異方導電膜貼付工程と、仮圧着工程と、本圧着工程とを有することを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の基板への部品実装方法。
- プラズマ処理工程における混合ガス中の反応性ガスは酸素ガスを含むガスであることを特徴とする請求項4記載の基板への部品実装方法。
- プラズマ処理工程の処理時間を、異方導電膜貼付工程と、仮圧着工程と、本圧着工程の処理時間の内の最も短い処理時間以下とすることを特徴とする請求項4記載の基板への部品実装方法。
- プラズマ処理工程と異方導電膜貼付工程を同一工程としてその処理時間を、仮圧着工程と、本圧着工程の処理時間の内の最も短い処理時間以下とすることを特徴とする請求項4記載の基板への部品実装方法。
- 第1の不活性ガスの誘導結合型プラズマからなる一次プラズマを吹き出させる誘導結合型プラズマ発生部と、第2の不活性ガスと反応性ガスの混合ガス領域に一次プラズマを衝突させてプラズマ化した混合ガスから成る二次プラズマを発生するプラズマ展開部とを有するプラズマヘッドと、基板の部品接合部位に沿ってプラズマヘッドが相対移動するように基板とプラズマヘッドを相対移動させる移動手段とを設けたプラズマ処理部と、基板の部品接合部位に部品を接合する部品接合部とを備えたことを特徴とする基板への部品実装装置。
- 移動手段がロボット装置を備え、そのロボット装置のX、Y、Z方向に移動可能な可動ヘッドにプラズマヘッドを搭載したことを特徴とする請求項8記載の基板への部品実装装置。
- 基板はフラットパネルディスプレイ用のパネル、接合部位はパネルの端部に設けられた接続電極、部品は接続電極上に貼付ける異方導電膜及びその上に仮圧着及び本圧着されるフラットパネルディスプレイ駆動用の電子部品であり、プラズマ処理部と、異方導電膜貼付部と、仮圧着部と、本圧着部とを有することを特徴とする請求項8記載の基板への部品実装装置。
- プラズマ処理部における処理時間を、異方導電膜貼付部と、仮圧着部と、本圧着部における処理時間の内の最も短い処理時間以下としたことを特徴とする請求項10記載の基板への部品実装装置。
- プラズマ処理部と異方導電膜貼付部を同一装置としてその処理時間を、仮圧着部と、本圧着部の処理時間の内の最も短い処理時間以下としたことを特徴とする請求項10記載の基板への部品実装装置。
- フラットパネルディスプレイのサイズが、10インチ以上であることを特徴とする請求項10に記載の基板への部品実装装置。
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