JP2008047655A - 配線基板およびその製造方法 - Google Patents
配線基板およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008047655A JP2008047655A JP2006220685A JP2006220685A JP2008047655A JP 2008047655 A JP2008047655 A JP 2008047655A JP 2006220685 A JP2006220685 A JP 2006220685A JP 2006220685 A JP2006220685 A JP 2006220685A JP 2008047655 A JP2008047655 A JP 2008047655A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring pattern
- layer
- forming
- metal foil
- conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/12—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4846—Leads on or in insulating or insulated substrates, e.g. metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/20—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by affixing prefabricated conductor pattern
- H05K3/205—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by affixing prefabricated conductor pattern using a pattern electroplated or electroformed on a metallic carrier
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/38—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
- H05K3/382—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the metal
- H05K3/384—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the metal by plating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09209—Shape and layout details of conductors
- H05K2201/09654—Shape and layout details of conductors covering at least two types of conductors provided for in H05K2201/09218 - H05K2201/095
- H05K2201/098—Special shape of the cross-section of conductors, e.g. very thick plated conductors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/20—Details of printed circuits not provided for in H05K2201/01 - H05K2201/10
- H05K2201/2072—Anchoring, i.e. one structure gripping into another
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/01—Tools for processing; Objects used during processing
- H05K2203/0147—Carriers and holders
- H05K2203/0156—Temporary polymeric carrier or foil, e.g. for processing or transferring
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/03—Metal processing
- H05K2203/0307—Providing micro- or nanometer scale roughness on a metal surface, e.g. by plating of nodules or dendrites
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/03—Metal processing
- H05K2203/0353—Making conductive layer thin, e.g. by etching
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/03—Metal processing
- H05K2203/0384—Etch stop layer, i.e. a buried barrier layer for preventing etching of layers under the etch stop layer
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/38—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
- H05K3/386—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by the use of an organic polymeric bonding layer, e.g. adhesive
Abstract
【効果】本発明によれば、絶縁層と配線パターンとの密着性が非常に高い配線基板を得ることができる。
【選択図】図1
Description
に伴い導体のボトム幅も狭くなる。このための銅箔の厚さを薄くする必要がある。しかし、導体厚さを薄くすると、導体の抵抗値が高くなったり、実装する電子部品とのインナーリードとのボンディグ信頼性が低下する原因となる。また、この配線基板を、たとえば液晶素子に形成されている端子と異方導電性接着剤(ACF)を用いて異方導電接着した場合
の導通不具合が生じやすくなく。
法があり、この方法によれば導体を厚くすることがでいる。この方法では、導体厚を厚くすることができるが、導体層を形成するために形成したシード層を除去する必要があり、このシード層の除去工程で形成した導体の幅が細くなる。このため20μm以下のファイ
ンピッチの導体を形成した場合、この導体と基材との密着強度が不足して、導体剥がれが発生する問題ががある。
ィルムとの密着性を向上させる必要があるが、この付けられた瘤のために、電解銅箔のボトム部における配線の切れが悪くなりやすく2層COFよりもファインピッチの配線パター
ンを形成することは困難である。また、この方法では電解銅箔の厚さを厚くしたとしても瘤をつける必要があり、さらに上記の理由により薄Cu箔を使用するのには限界がある。
上記のような従来の配線基板においては、配線ピッチ幅を狭くすることにより、配線の幅が狭くなると、配線と絶縁層との密着性が低下し、さらに配線の幅も一定せずに配線幅の変動による配線の電気抵抗値などの配線の特性の変動幅が大きく、ファインピッチ化された配線においては、その特性などの変動幅が大きすぎて、著しくファインピッチ化された配線を形成するのには適していなかった。
ストを用いて反転した回路パターンを形成した樹脂基板に銅メッキを行い、前記樹脂基板の銅メッキパターン上に半硬化状態の樹脂フィルムをラミネートした後、前記レジスト付
樹脂基板を剥離し、前記銅めっきパターンに樹脂を埋め込むことにより、表面を平坦化して、配線の方面がフラットで且つ矩形形状になるようにしたテープキャリアの製造方法。」の発明が開示されている。しかしながら、この方法により得られた配線パターンは、その断面形状が矩形であって、断面台形状の配線は形成されない。
さらに本発明の配線基板は、上記配線パターンの下端部にノジュールメッキ層が形成されており、該配線パターンの少なくともノジュールメッキ層が絶縁基材中に埋設されていることが好ましい。
本発明において、絶縁基材がポリイミド、エポキシ樹脂、ポリアミック酸およびポリアミドイミドよりなる群から選ばれる少なくとも一種類の絶縁性樹脂から形成されていることが好ましく、さらに、上記絶縁基材の表面に臨み配線パターンの上端部を形成する貴の金属が、金、、銀、白金よりなる群から選ばれるいずれかの金属を含むことが好ましく、さらに、上記配線パターンの本体部を形成する金属が、銅または銅合金であることが好ましい。また、上記のような本発明の配線基板においては、上記配線パターンの上端部断面幅が、該配線パターンの下端部断面幅の40〜99%の範囲内にある好ましく、さらにこのようにして配線パターンの上端部にある貴の金属層の厚さが0.01〜3μmの範囲内
にあることが好ましい。
導電性支持金属箔の表面に感光性樹脂層を形成する工程;
該感光性樹脂層を導電性支持金属箔表面に面する底部開口幅が表面開口幅よりも小さくなるように露光・現像して配線パターンを形成するための溝部を形成する工程;
該露光・現像して形成された溝部の底部の導電性支持金属箔上に該導電性支持金属箔を構成する金属よりも貴の導電性金属を析出させる工程;
該溝部の底部の導電性支持金属箔上に析出した貴の導電性金属の上に該貴の導電性金属よりも卑の導電性金属が該溝部を満たすように析出させて配線パターンを形成する工程;
感光性樹脂層を除去する工程;
該感光性樹脂層が除去された該導電性支持金属箔の表面に、該形成された配線パターン
が埋没するように絶縁層を形成する工程;
導電性支持金属箔をエッチング除去して表面に絶縁層と配線パターンの上端部に貴の金属を露出させる工程;
を有することを特徴とする配線基板の製造方法にある。
導電性支持金属箔の表面に感光性樹脂層を形成する工程;
該感光性樹脂層を導電性支持金属箔表面に面する底部開口幅が表面開口幅よりも小さくなるように露光・現像して配線パターンを形成するための溝部を形成する工程;
該露光・現像して形成された溝部の底部の導電性支持金属箔上に該導電性支持金属箔を構成する金属よりも貴の導電性金属を析出させる工程;
該溝部の底部の導電性支持金属箔上に析出した貴の導電性金属の上に該貴の導電性金属よりも卑の導電性金属が該溝部を満たすように析出させ、さらに、該形成された配線パタンの底部にノジュール層を形成する工程;
感光性樹脂層を除去する工程;
該形成された配線パターンを底部に形成されたノジュール層と共に絶縁層に埋設する工程:
導電性支持金属箔をエッチング除去して表面に絶縁層と配線パターンの上端部に貴の金属を露出させる工程;
を有することを特徴とする配線基板の製造方法にある。
可撓性を有する支持樹脂フィルムに導電性金属箔を積層した複合支持フィルムの導電性金属箔をハーフエッチングして極薄導電性金属層を有する複合支持体を形成する工程;
該複合支持体の感光性樹脂層を極薄導電性金属層の表面に感光性樹脂を塗布して感光性樹脂層を形成し、該感光性樹脂層を、極薄導電性金属層に面する底部開口幅が表面開口幅よりも小さくなるように露光・現像して配線パターンを形成するための溝部を形成する工程;
該露光・現像して形成された溝部の底部の極薄導電性金属層上に該極薄導電性金属層を構成する金属よりも貴の導電性金属を析出させる工程;
該溝部の底部の導電性支持金属箔上に析出した貴の導電性金属の上に該貴の導電性金属よりも卑の導電性金属が該溝部を満たすように析出させ、さらに、該形成された配線パタンの底部にノジュール層を形成してノジュールを有する配線パターンを形成する工程;
感光性樹脂層を除去する工程;
該形成された配線パターンを底部に形成されたノジュール層と共に絶縁層に埋設する工程:
導電性支持金属箔をエッチング除去して表面に絶縁層と配線パターンの上端部に貴の金属を露出させる工程;
を有することを特徴とする配線基板の製造方法にある。
導電性支持体金属箔の一方の面に、感光性樹脂層を形成して、該導電性支持体金属箔の表面に面する底部開口幅が表面開口幅よりも小さくなるように露光・現像して該露光・現像した感光性樹脂層の底部に該導電性支持体金属箔の表面を露出させる工程;
該露光・現像された感光性樹脂層をマスキング材として、導電性金属箔をハーフエッチングして、導電性支持体金属箔に凹部を形成する工程;
該導電性支持体金属箔に形成された凹部の表面にノジュールメッキ層を形成し、次いで、該ノジュールメッキ層が形成された導電性金属箔の凹部にノジュールよりも貴の金属でメッキ層を形成する工程;
該ノジュールが形成され、さらに貴の金属でメッキ層が形成された、感光性樹脂および
ハーフエッチングされた導電性金属箔によって形成される凹部に、上記貴の金属よりも卑の金属を析出させて、該凹部を金属で満たして配線パターンを形成する工程;
上記感光性樹脂層を除去する工程;
該形成された配線パターンを絶縁層に埋設する工程:
導電性支持金属箔およびノジュールをエッチング除去して表面に絶縁層と配線パターンの上端部に貴の金属を露出させる工程;
を有することを特徴とする配線基板の製造方法にある。
とえば、配線パターンの上面に粘着テープなどを貼着して配線パターンを剥離しようとしても、絶縁層から配線パターンを剥離することはできない。
非常にファインピッチの配線基板を製造したとしても、絶縁信頼性が高く、しかも配線抵抗も安定した非常に信頼性の高い配線基板を得ることができる。
図1に示すように、本発明の配線基板に形成されいる配線は、本体部と上端部とを有し、上端部の表面近傍には本体部との対比において、電気陰性度が本体部を形成する金属より貴な金属で形成されている。
ターン12は、下端部14の断面幅W1の幅が、配線パターン12の上端部15の断面幅W2の断面幅よりも広く形成されており、その断面形状は略台形である。
線幅を表すボトムW1の幅は、通常は4〜50μm、好ましくは6〜40μmの範囲内にあり、またトップW2の幅は、通常は2〜40μm、好ましくは4〜30μmの範囲内にある。本発明の配線基板に形成されている配線パターン12の下端部14の幅W1に対する上端部15の幅W2の比(W2/W1)は、通常は0.1〜0.9、好ましくは0.2〜0.8の範囲内にある。上記のような断面台形の配線の高さ(h1)は、通常は3〜15μm、好ましくは5〜10μmの範囲内にある。上記のような厚さを有する配線のうち、貴の金属層16の厚さ(h4)は、上述のように通常は0.01〜3μm、好ましくは0.1〜1μmであるから、本体部13の厚さ(h2)は通常は2.99〜12μm、好ましくは4.9〜9μmの範囲内にある。
上記のような配線基板を製造するために、本発明の第1の方法では、図2(a)に示すよ
うに、
まず、導電性支持金属箔110を用意し、この導電性支持金属箔110の表面に感光性樹脂層112を形成する。ここで導電性支持金属箔110としては、電気メッキ可能な導電性を有する金属であって、後の工程で溶解除去する必要があることから、エッチング除去可能な金属箔を使用することができる。このような導電性金属箔110の例としては、銅箔、アルミニ
ウム箔などを挙げることができるが、特にエッチングの除去性を考慮すると銅箔を使用することが好ましく、このような銅箔には電解銅箔、圧延銅箔などがあるが、本発明ではこれらのいずれの導電性金属箔を使用することができる。このような導電性支持金属箔110
の厚さは、適宜選定することができるが、通常は3〜18μm、好ましくは6〜12μmの範囲内にある。本発明で、上記導電性支持金属箔110は、通常は単独で使用するが、導
電性支持体金属箔110として薄い金属箔を使用する場合には、感光性樹脂層112を形成する面とは反対の面に樹脂支持体層(図示なし)を配置して使用することもできる。
ディップコーターなどの公知の塗布方法を用いて塗布することができる。このような感光性樹脂を上記のような塗布法で塗布した後、例えば100〜130℃の温度に2〜3分間加熱硬化させて感光性樹脂層112を形成する。
露光パターン114を配置して、露光装置116を用いて、感光性樹脂層112を露光・現像する
。この感光性樹脂層112の露光・現像することにより、図2(b)に示すように、感光性樹
脂の硬化体からなるパターン115を形成する。
表面開口119の幅W'1よりも小さくなるように露光する。例えば、露光装置として非テリセントリックレンズ(主光線最大入力角度±2°以上)を用いた装置を使い、i・h・g3
線が混在したUV波長で露光することにより、底開口118の幅を、表面開口119の幅よりも小さく形成することができる。このときポジ型のフォトレジストを使用することは言うまでもない。
ン115には配線を形成する溝部120が形成される。この溝部120の底部である底開口118は感光性樹脂114に形成された溝の底部であり、この底開口118は導電性支持体金属箔110に接
触して閉塞している。また、溝部120の他の開口部は、表面開口119である。この溝部120
に導体を析出させることにより配線が形成される。
溝部120を形成した後、溝部120の底開口118の露出している導電性支持体金属箔110の上に貴の金属メッキ層122を形成する。ここで貴の金属メッキ層122は、この溝部120全体に析
出されて形成される配線本体を構成する金属よりも電気陰性度が貴である金属であり、配線本体を銅あるいは銅合金で形成する場合、このような貴の金属の例として、金、白金、銀を挙げることができ、これらの金属の合金であってもよい。本発明では特にこの貴の金属として金を使用することが好ましい。このように金からなるメッキ層は、貴の金属メッキ層122の厚さ制御なども容易であり、さらに後の工程で、形成された配線がエッチング
液と接触した場合に、エッチング液による配線の侵食を防止することができる。
メッキ層122を形成することができる。
の金属として、本発明では通常は銅または銅合金を用いる。すなわち、上記のようにして形成された金メッキ層122の表面に、市販の銅メッキ液を用いて、メッキ条件を通常はDk
1〜3A/dm2の範囲内に設定して17〜24℃の温度条件下で10〜20分間電解銅メッ
キを行うことにより、図2(d)に示すように、この溝部120内に密な銅メッキ層を形成することができる。上記のようにして形成された溝部120の深さと同等の厚さに銅を析出させ
て溝部120全体を銅で満たすように銅を析出させて配線パターン125を形成することができる。こうして配線パターン125を形成した後、感光性樹脂からなるパターン115を除去する。この感光性樹脂からなるパターン115は、例えば10%程度の濃度に調整された水酸化
アルカリ水溶液を用いることにより、容易に除去する行うことができる。
上記のようにしてパターン115を除去すると、導電性支持金属箔110の一方の面に金メッキ層122を介して銅からなる配線パターン125が接合した構造物が得られる。そして、この配線パターン125の断面形状は台形状である。
この絶縁層127は、例えば、絶縁性樹脂硬化体の前駆体を配線パターン125が埋没するような厚さに塗布して、所定の温度に加熱保持してこの前駆体を硬化させることにより形成することができる。たとえば図2(f)に示すように、ポリアミック酸のメチルピロリドン
溶液のような絶縁層形成液をを導電性支持金属箔110の表面に、上記工程で製造した配線
パターン125が埋没する厚さ、たとえば配線パターンの125の高さをh1とした場合、この
h1×1.01〜1.8μm程度の厚さに塗布し、加熱して溶媒を除去するとともに絶縁層を形成する樹脂成分を加熱硬化させる。このときの加熱温度は、たとえばポリイミド前駆体を用いた場合には、通常は250〜500℃、好ましくは300〜400℃で通常は120〜360分間、好ましくは180〜240分間である。
ように、断面台形形状の配線パターン122は絶縁層127内に埋没する。
このようにして絶縁層127を形成した後、導電性支持体金属箔110をエッチングして除去する。この導電性支持体金属箔110は、上述のように通常は電解銅箔であるので、塩化第2銅、過酸化水素および塩酸を含む銅のエッチング剤を用いて溶解除去することができる。上記のようなエッチング剤を用いて導電性支持体金属箔110を溶解してゆくと、図2(g)に示すように、配線パターンの形成されていない部分では上記のようにして硬化させた絶縁層127が露出する。また、配線パターン125の形成された部分では、この配線パターンの上端部にある金メッキ層122が露出する。上記のエッチング剤によってはこの金メッキ層122はエッチングされないので、エッチングすることにより、図2(g)に示されるように、絶
縁層127および配線パターン125の表面を覆っている導電性支持体金属箔110は全て除去さ
れて絶縁層127の表面に配線パターン125の上端部を覆う金メッキ層122が臨んだ形態の上
面が形成される。そして、この金メッキ層122の下には、金メッキ層122を台形の短い辺とする断面台形状の配線パターン125の本体部が絶縁層127中に埋め込まれた状態で存在する。
配線パターン間にあった導電性支持体金属箔110はエッチングにより除去されるために金
属は存在せず、この絶縁層表面でマイグレーションなどにより配線パターン間に短絡が形成されることはない。また、配線パターン125の形状は埋め込まれている部分の幅が大き
い台形状になっているので、この埋め込まれた断面台形の配線パターン125を絶縁層127から引き抜くことは実質上不可能であり、この配線パターン125は絶縁層127に対して非常に高い密着性を有している。
縁性複合フィルムを加熱圧着して、熱硬化性接着剤層132を硬化させて配線パターン125を熱硬化性接着剤の硬化体132内に埋め込んだ後、図3(g-2)に示されるように、導電性支持体金属箔110を、上記と同様にしてエッチングにより除去して熱硬化性接着剤の硬化体132を露出させることもできる。
有して入ればよい。ただし、断面が台形形状の配線パターンの125の法面で熱硬化性樹脂
層132が形成されずに露出している場合、次の工程で導電性支持体金属箔110をエッチング除去する工程で、この配線パターンの露出した法面もエッチング液と接触するために、この配線パターン125の露出した法面は、エッチング剤との接触により侵食をうけて、この
部分の線幅が細くなる。従って導電性支持体金属箔110が厚く、エッチング液との接触時
間を長くすることが必要な場合には、配線パターン125の法面全体が熱硬化性樹脂層132で被覆されていることが好ましい。
ミドフィルム、ポリエーテルイミドフィルム、液晶ポリマーを挙げることができる。このような絶縁フィルムの厚さ(h3)は、通常は12.5〜75μm、好ましくは25〜50μmの範囲内にある。
図5に示すように、この方法では、図2に示したように、導電性支持体金属箔110を単
独で使用することもできるが、この導電性支持体金属箔110を除去する際のエッチング液
との接触をより短時間にするために、導電性支持体金属箔110をハーフエッチングなどに
より薄くして使用することが好ましい。このために導電性支持体金属箔110と支持樹脂フ
ィルム109とを予め積層した積層フィルムを調製する。図5(a)には、支持樹脂フィルム109と導電性支持体金属箔110とが積層された積層フィルム108が示されている。このように
導電性支持体金属箔110と支持樹脂フィルム109との積層には、接着剤を使用することもできるし、接着剤を使用ぜずに積層することもできる。
ィルム、ポリイミドフィルム、ポリオレフィンフィルムなどを使用することができる。このような支持樹脂フィルム109の厚さに特に制限はないが、導電性支持体金属箔110を扱いやすいようにするためには、10〜200μmの範囲内の厚さを有する樹脂フィルムが使
用しやすい。
化水素などを含む銅に対するエッチング剤と接触させる。エッチング剤との接触方法に特に制限はないが、導電性支持体金属箔110が均一にエッチングされるようにスプレーエッ
チングすることが好ましい。
短くするために導電性支持体金属箔の厚さを上記のように薄くすることが好ましい。
この積層フィルム108の導電性支持体金属箔110の表面に感光性樹脂層112を形成する。
ここで形成する感光性樹脂層112は、ポジ型感光性樹脂層でなくてはならない。また、こ
の感光性樹脂層112の厚さは、通常は3〜20μm、好ましくは6〜18μmの範囲内にあ
る。このような感光性樹脂層112は、上述のような公知の塗布方法を採用して塗布するこ
とができ、こうした塗布された感光性樹脂層は、上記と同様の温度で所定時間加熱することにより硬化する。
図5(c)に示すように、上記のようにして形成された感光性樹脂層112の表面に、所望の
露光パターン114を配置して露光装置116を用いて露光・現像することにより、図5(d)に示すように感光性樹脂硬化体からなるパターン115を形成する。
からなるパターン115が形成され、パターン115には配線を形成する溝部120が形成される
。
成する。
本発明では、上記のようにして形成された溝部120の底開口118に露出している導電性支持体金属箔110の上に貴の金属メッキ層122を形成する。ここで貴の金属メッキ層122は、
この溝部120全体に析出されて形成される配線本体部を構成する金属よりも電気陰性度が
貴である金属である。配線本体を銅あるいは銅合金で形成する場合、このような貴の金属の例として、金、白金、銀を挙げることができ、これらの金属の合金であってもよい。本発明では特にこの貴の金属として金を使用することが好ましい。このように金からなるメッキ層は、貴の金属メッキ層122の厚さ制御なども容易であり、さらに後の工程で、形成
された配線がエッチング液と接触した場合に、エッチング液による配線の侵食を防止することができる。
メッキ層122を形成することができる。
1〜3A/dm2の範囲内に設定して17〜24℃の温度条件下で10〜20分間電解銅メッ
キを行うことにより、図5(f)に示すように、この溝部120内に密な銅メッキ層を形成す
ることができる。このようにして形成された密な銅メッキ層が配線の本体部123を形成す
る。このようにして形成される密な銅メッキ層からなる配線の本体部123の厚さは、パタ
ーン115の厚さと同等にすることもできるが、後の工程で、本体部123の下部にノジュール層を形成することから、この本体部123の厚さは、パターン115よりもわずかに薄くすることが好ましく、通常はパターン115の厚さの80%〜99%程度の厚さになるように銅の
電気メッキを行う。
の高さを有する樹枝状の金属メッキであり、電気メッキによって形成することができる。このノジュール層126は、配線を絶縁層に強固に固定するものであり、上記配線の本体部123と同一の金属で形成することを特に必要とするものではないが、ノジュール層126と本
体部123とを一体的に形成されていることが好ましい。本発明では配線の本体部123は銅または銅合金で形成されていることからノジュール層126も銅または銅合金で形成されてい
ることが好ましい。
ッキ電流密度3〜30A/dm2、メッキ液中の銅イオン濃度1〜50g/リットル、メッキ
温度20〜60℃、メッキ時間5〜600秒間の範囲内の条件に設定される。ノジュール層126を銅あるいは銅合金で形成する場合に使用される銅メッキ浴としては硫酸銅メッキ
浴、ピロリン酸銅メッキ浴などが好適である。上記のようにして電気メッキを行うことにより、銅が樹枝状に析出したノジュールが形成される、このノジュール層126の層厚は、
通常は0.1〜15μm、好ましくは1〜10μmの範囲内にある。このようにしてノジュール層を形成した後、必要により、形成されたノジュールに瘤付けメッキおよびかぶせ目っ子を行うことができる。瘤付けメッキは形成されたノジュールに微細な粒状の金属を析出させるメッキ方法であり、かぶせメッキは、こうして瘤付けメッキにより析出した微細な粒状金属を被覆固定するメッキ方法である。銅あるいは銅合金から形成されたノジュールに対する瘤付けメッキおよびかぶせメッキは、通常は、銅あるいは銅合金を用いて行われる。
成に用いたパターン115は除去される。この感光性樹脂の硬化体からなるパターン115は、
たとえば10%程度の濃度に調整された水酸化アルカリ水溶液を用いることにより、容易に除去することができる。
パターン115を除去すると、支持樹脂フィルム109と導電性支持体金属箔110からなる積
層フィルム108の導電性支持体金属箔110の表面に貴の金属メッキ層122を介して配線の本
体部123が接合し、さらにこの本体部123の下端部にはノジュール層126が形成された配線
が多数形成されている。このような形態で形成されている配線は貴の金属メッキ層122側
の断面幅が本体部123の下端部の断面幅よりも狭い台形形状を有している。
このノジュール層および配線パターンを絶縁層に埋設する方法としては、上述のように絶縁層を形成する樹脂の前駆体を導電性支持体金属箔上に塗布して、ノジュール層および配線パターンを前駆体を硬化させることにより形成される絶縁性樹脂層に埋設する方法、および、絶縁性樹脂フィルムの表面の熱硬化性樹脂層を有する絶縁性複合フィルムを貼着して、熱硬化性樹脂層中にノジュール層および配線パターンの少なくとも一部を埋設し、次いでこの熱硬化性樹脂層を硬化させる方法を挙げることができる。
図5(i)には、絶縁性樹脂フィルムと熱硬化性樹脂層132とを有する絶縁性複合フィルム130を用いた例が示されている。
れることがなく好ましいが、上記のように導電性支持体金属箔110を予めハーフエッチン
グして導電性支持体金属箔110の厚さが薄い場合には、この導電性支持体金属箔110を除去するためのエッチング液との接触を短時間にすることができ、このように短時間の接触では配線パターン125の法面に熱硬化性樹脂層132によって覆われていない部分があったとしても、エッチング液との接触によって溶出する配線パターン125形成金属(具体的には銅
あるいは銅合金)の量は非常にわずかであることから、配線パターン125の一部が露出し
ていてもよい。しかしながら、配線パターン125の露出部分が多くなると、配線パターン125の熱硬化性時接着剤層132に対する接合力が充分に発現しないことがあるので、断面が
台形形状の配線の法面の長さの少なくとも20%、好ましくは50%以上が熱硬化性接着剤層132の硬化体に埋没するような厚さの熱硬化性樹脂層132とを有する絶縁性複合フィルム130を用いる。
する接着性樹脂としては、上述の接着性樹脂を用いることができる。したがって、その硬化温度および講時間などは上記と同様である。
くともこの導電性支持体金属箔110から支持樹脂フィルム109を剥離する除去することができる。
本発明では、この導電性支持体金属箔110をエッチング液と接触させて溶解除去する。
この導電性支持体金属箔110は、通常は電解銅箔であり、上記のように支持樹脂フィルム109と積層して使用する場合には、導電性支持体金属箔110は、予めエッチングして非常に
薄い金属層として使用されるので、この導電性支持体金属箔110の除去のためのエッチン
グ液との接触時間は非常に短時間であり、塩化第2銅、塩酸および過酸化水素を含むエッチング液を使用する場合には、35〜45℃の温度で、通常は8〜60秒間、好ましくは15〜50秒間である。
ンを形成したとしても、銅箔を選択的にエッチングして配線を形成するという工程を有していないので、配線ピッチ幅を狭くすることによって形成される配線の幅が狭くなって、実質的に有効な配線を形成できないといった事態は発生しない。しかも形成された断面形状が台形の配線を絶縁層の中に埋設しているのでの線幅がエッチングン伴って細くやせ細ってしまうこともなく、配線の抵抗値が配線の太さで変動することもない。また、配線パターンが絶縁層中に埋設されており、隣接する配線パターンの間にマイグレーションを引き起こす金属も存在しないので、非常に高い絶縁特性を示す。
図8には、比較的厚手の導電性支持体金属箔110の表面に感光性樹脂層112を形成する。なお、この方法では、導電性支持体金属箔110の感光性樹脂層112が形成されていない面に、導電性支持体金属箔110を保護するために、樹脂層109を形成してもよい。こような樹脂層は109は、樹脂組成物を塗布することもできるし、予めフィルム上に形成した樹脂フィ
ルムを貼着することによって形成することもできる。このように樹脂層109を形成するこ
とにより、導電性支持体金属箔110を部分エッチングする際に、裏面側からの導電性支持
体金属箔110のエッチングを防止することができる。
属箔110側の底開口118の幅が表面開口119の幅よりも小さく形成された溝部120がパターン115によって形成される。
性支持体金属箔110の厚さに対して通常は、30〜80%、好ましくは40〜70%であ
り、具体的には凹部140の深さは4〜16μm、好ましくは6〜14μmの範囲内にある。
このように導電性支持体金属箔110に凹部140を形成した状態が図8(c)に示されている。
ここで形成するノジュール142は、通常は、0.1〜15μmの高さを有する樹枝状の
金属メッキであり、電気メッキによって形成することができる。このノジュール142を形
成する金属に特に限定はないが、ノジュール142と導電性支持体金属箔110と同一に金属で形成することが好ましい。従って、本発明では導電性支持体金属箔110は銅または銅合金
で形成されていることがこのましいことから、このノジュール142も銅または銅合金で形
成されていることが好ましい。
キ電流密度3〜30A/dm2、メッキ液中の銅イオン濃度1〜50g/リットル、メッキ温
度20〜60℃、メッキ時間5〜600秒間の範囲内の条件に設定される。ノジュール142を銅あるいは銅合金で形成する場合に使用される銅メッキ浴としては硫酸銅メッキ浴、
ピロリン酸銅メッキ浴などが好適である。上記のようにして電気メッキを行うことにより、導電性支持体金属箔110に形成された凹部140に、銅が樹枝状に析出したノジュール142
が形成される。このノジュール142は、通常は0.1〜15μm、好ましくは1〜10μm
の長さを有している。このようにしてノジュール142を形成した後、必要により、形成さ
れたノジュール142に瘤付けメッキおよびかぶせメッキを行うことができる。瘤付けメッ
キは形成されたノジュール142に微細な粒状の金属を析出させるメッキ方法であり、かぶ
せメッキは、こうして瘤付けメッキにより析出した微細な粒状金属を被覆固定するメッキ方法である。銅あるいは銅合金から形成されたノジュールに対する瘤付けメッキおよびかぶせメッキは、通常は、銅あるいは銅合金を用いて行われる。なお、上記のノジュール、さらに必要により形成される瘤付けメッキ、かぶせメッキは、電気メッキで形成されることから、導電性支持体金属箔110に形成された凹部140に形成され、導電性を有していないパターン115の表面には形成されない。
する。図8(e)に、この貴の金属メッキ層144が金メッキ層である態様が示されている。
して導電性支持体金属箔110に形成された凹部140の表面に析出したノジュール142、さら
に必要により形成された瘤付けメッキ、かぶせメッキの表面を覆うように形成される。この貴の金属メッキ層144が金メッキ層である場合、この貴の金属メッキ層144の厚さは、通常は0.1〜1μm、好ましくは0.2〜0.8μmであり、貴の金属メッキ層144、さら
に必要により形成される瘤付けメッキ、かぶせメッキによって形付けられるメッキ層の表面形状の沿って、この貴の金属メッキ層には、貴の金属メッキ層144、さらに必要により
形成される瘤付けメッキ、かぶせメッキにより形成されるメッキ層の凹凸状態が反映された凹凸が形成される。
1A/dm2の範囲内に設定して60〜70℃の温度条件下で0.2〜6分間金メッキをする
ことにより、金メッキ層を形成することができる。
内を貴の金属メッキ層114を形成する金属よりも卑の金属で満たして配線の本体部148を形成する。ここで卑の金属は、貴の金属メッキ層144を金メッキ層とした場合には、通常は
銅または銅合金である。
このように上記金メッキ層を形成する金属である金よりも電気陰性度が卑の金属を析出させる。この卑の金属として、本発明では通常は銅または銅合金を用いる。すなわち、上記のようにして形成された金メッキ層122の表面に、市販の銅メッキ液を用いて、メッキ
条件を通常はDk1〜3A/dm2の範囲内に設定して17〜24℃の温度条件下で10〜20
分間電解銅メッキを行うことにより、図8(f)に示すように、この溝部120内に密な銅メッキ層を形成することができる。上記のようにして形成された溝部120の深さと同等の厚さ
に銅を析出させて溝部120全体を銅で満たすように銅を析出させて配線パターン150を形成することができる。こうして形成される配線パターン150は、導電性支持体金属箔110に形成した凹部の部分の断面幅がパターン115に形成された開口部の表面開口119よりも狭く形成されており、上辺部が円弧状に形成された台形形状を有している。
た後、上述のようにして配線パターン150の下端部にノジュール層を形成することもでき
る。
ン115を除去する。樹脂層109は、導電性支持体金属箔110とはそれほど高い接着強度で接
合していないので、単に樹脂層109を導電性支持体金属箔110から剥離して巻き取ることにより除去することできる。このようにして樹脂層109を剥離除去することにより、表面に
導電性支持体金属箔109が露出する。
うに導電性支持体金属箔109の表面に強固に接合しており、物理的に剥離するのは困難で
あるので、剥離剤を使用する。ここで使用する剥離剤としては、10%程度の濃度を有するアルカリ金属水酸化物の水溶液を用いることができる。たとえば水酸化ナトリウムの10%水溶液などを使用し、この水溶液に0.1〜10分程度浸漬することにより、このパターン115を剥離することができる。
らに金メッキ層144を介して銅からなる配線パターン150の本体部148が形成された状態が
示されている。このようにして形成された配線パターンは、下端部の断面幅が広く、上部の断面幅が狭く形成されている。
電性支持体金属箔110の下端部に張り出して形成された配線パターン150を絶縁層に埋設する。
る樹脂の前駆体を導電性支持体金属箔上に塗布して、前駆体を硬化させることにより、配線パターン150を、形成される絶縁性樹脂層に埋設する方法、および、絶縁性樹脂フィル
ムの表面の熱硬化性樹脂層を有する絶縁性複合フィルムを貼着して、熱硬化性樹脂層中に配線パターン150の少なくとも一部を埋設し、次いでこの熱硬化性樹脂層を硬化させる方
法を挙げることができる。
、図8(h)には、たとえばポリイミドフィルムなどからなる絶縁性樹脂フィルム130の表面に、熱硬化性接着剤層132が形成された絶縁性複合フィルム133を、導電性支持体金属箔110の配線パターン150が形成された面に貼着して、配線パターン150を熱硬化性接着剤層132中に埋設した例が示されている。ここで使用する絶縁性複合フィルム133は、通常は厚さ
12.5〜75μm、好ましくは25〜50μmのポリイミドフィルム、ポリエーテルイ
ミドフィルム、液晶ポリマーなどから形成される絶縁性樹脂フィルム130と、この絶縁性
複合フィルム130の一方の面に通常は厚さ5〜50μm、好ましくは9〜25μmのエポキ
シ系接着剤、ポリイミド系接着剤などの熱硬化性接着剤層132が積層された構成を有して
いる。なお、この絶縁性複合フィルム133を構成する熱硬化性接着剤層132は貼着する前には、半硬化状態にあるが、加熱することにより配線パターン150が侵入可能に軟化する。
このように加熱して熱硬化性接着剤層132を軟化させながら加圧することにより熱硬化性
接着剤層132に配線パターン150を侵入させることができ、さらにこの加熱によって熱硬化性接着剤層が熱硬化する。このときの温度は使用する熱硬化性樹脂の種類によって異なるが、たとえばエポキシ樹脂系の接着剤を使用する場合、加熱温度を、通常は180〜200℃、圧力を2〜6kg/cm2の範囲内に設定する。このような条件における加熱時間は、
通常は1〜2分間である。
に配線パターン150が埋め込まれ、この熱硬化性接着剤層132の上端部は、通常は、導電性支持体金属箔110の下端部に当接する。上記の配線パターン150において、金メッキ層144
が形成されている部分は、導電性支持体金属箔110の部分であり、これより下方の配線パ
ターンの法面には金メッキ層は形成されておらず、配線パターンの本体部を形成する金属、具体的には銅または銅合金が露出している。
複合フィルム133を用いる代わりに、たとえばポリイミドフィルムの前駆体であるポリア
ミック酸の溶液を、配線パターン150が埋め込まれるように導電性支持体金属箔110の配線パターン150が形成されている面に塗布してこれを硬化させることによって絶縁層を形成
してもよい。
端部を絶縁層内に埋設した後、好ましくは熱硬化性接着剤層132が導電性支持体金属箔110の下端部に当接するように配置した後に、導電性支持体金属箔110をエッチングにより除
去する。この導電性支持体金属箔110は、通常は銅箔であり、従って、塩化第2銅、塩酸および過酸化水素を含有する銅用のエッチング剤などを接触させることにより除去することができる。このときに導電性支持体金属箔110をより均一に除去するために、上記例示し
たような銅用のエッチング剤をスプレーで導電性支持体金属箔110の表面に噴霧すること
が好ましい。このときのエッチング液の温度などのスプレーエッチング条件は適宜設定することができるが、通常はエッチング液温を20〜60℃、スプレーエッチング時間を10秒〜600秒の範囲内に設定する。
ると、導電性支持体金属箔110は溶解除去され配線パターンが形成されていない部分では
熱硬化性接着剤層132の硬化体が露出する。他方、配線パターン150が形成されている部分の導電性支持体金属箔110も同様にエッチングされるが、この配線パターン150が形成されている部分には、上述のようにノジュール142が形成されており、さらに必要により、瘤
付けメッキ、かぶせメッキが施されており、このかぶせメッキの上に金メッキ層144が形
成されている。従って、図8(h)で示せば、導電性支持体金属箔110に形成された凹部
にノジュール142、瘤付けメッキ、かぶせメッキ、金メッキ層144がこの順序形成され、この金メッキ層144を介して配線の本体部128を形成する銅層が積層された構成を有している。従って、上記のように導電性支持体金属箔110側からエッチング液をスプレー噴霧する
と、まず導電性支持体金属箔110が溶解除去され、さらに同様に銅で形成されているノジ
ュール、瘤付けメッキ、かぶせメッキも上記の銅用のエッチング剤により溶解除去される。
ので、配線パターンは表面に金メッキ層144が露出した状態で絶縁層(熱硬化性接着剤の
硬化体)133の表面に突出して形成される。しかも、この金メッキ層144の表面は、ノジュール、瘤付けメッキ、かぶせメッキによって形成されていた形態の反転した形態を有しており、相当大きい凹凸が形成されいる。
図9に示すように、上記の方法で製造された配線パターン12は、絶縁フィルム32の
表面に配線パターン12の本体部13の下端部14が接するように形成されており、この配線パターン12の側面は熱硬化性接着剤の硬化体30によって被覆されている。この熱硬化性接着剤の硬化体30の上部には配線パターン12の上部が突出しており、この配線パターン12の上端部14は、上記工程で除去されたノジュール(さらに、瘤付けメッキ、かぶせメッキ)の形状を反映して凹凸が形成されており、この凹凸の表面を覆うように金メッキ層16が形成されている。
電子部品を実装した配線基板をLCDの基板に形成された端子と電気的に接続する場合に、
異方性導電接着剤中に導電性粒子を配合せずに、接着剤だけでも電気的接続を行うことができ、しかも導電性粒子を配合した場合よりも信頼性を高くすることができる。
金属と含有しない接着剤を介して、この配線パターンとITOなどとを接合すると、この配
線パターンに形成されたノジュールの形態に起因した凹凸(以下、「ノジュールレプリカ」と記載することもある)が、圧縮されて変形してITO基板上に電気的に接合して、配線
パターンとITO基板などとを電気的に接続する。殊にこのノジュールレプリカが加圧によ
って変形し、ITO基板と比較液大きな面積で接点を形成するので、ACFのように導電性粒子を含有しなくても、このノジュールレプリカが、押しつぶされてITO基板と本発明の配線
基板との間に良好な電気的接続が形成され、異方的導電接続を形成することができる。
パターンが絶縁層内埋設されていることから、絶縁層と配線との密着性が高く、配線が絶縁層から剥離するといった配線不良が発生することがない。さらに、配線の幅を狭く形成したとしても、この配線は銅箔をエッチングして形成する工程で形成していないので、配線の幅が狭くなることがなく、配線の幅を一定に保つことができる。従って、配線の幅の変動によって配線の電気抵抗値が変動することがない。
また、配線が絶縁層内に埋設されているので、配線間に余剰の金属が存在せず、さらに絶縁層の表面に露出している配線パターンの表面が電気陰性度の高い金などで形成されているので、隣接する配線との間でマイグレーションなどによる短絡が発生することがない。
次に本発明の配線基板について、実施例を示して説明するが、本発明の配線基板はこれらによって限定されるものではない。
)を6μmの厚さに塗布して100℃で1分間乾燥硬化後に、露光現像装置を用いて20
μmピッチのパターンをレジスト上に描画した。
度で露光し、その後1.5%KOH溶液で65秒間現像した。ボトム部ギャップは6.9μm、トップ部ギャップは12.2μmであった。
金メッキ層を形成された。
20μmピッチであった。
ファンFC)を用意した。
180℃の温度で2.5kg/mm2の圧力をかけて6時間保持し、接着剤層の中に銅メッキ回路を埋め込んだ状態で接着剤を硬化させて、ポリイミドフィルム/銅メッキ回路が埋設された接着剤硬化体/銅箔の層構成を有する積層体を得た。
ング剤を、40℃で1分間スプレーして、積層体の銅箔をエッチングして溶解除去して、接着剤の硬化体を露出させた。
μmであり、ボトム幅がトップ幅より広い台形形状の断面を有している。なお、図10に
おいて、配線パターンの表面は観察用の蒸着膜(カーボン)で被覆されている。
ストに露光装置で20μmピッチのパターンを描画した。
度で露光し、その後1.5%KOH溶液で65秒間現像した。ボトム部ギャップは6.2μm、トップ部ギャップは11.5μmであった。
の上面に9分間攪拌しながら銅メッキを行い、感光性樹脂硬化物からなるギャップ部に8μm高さの銅メッキ層を形成した。こうして形成された銅メッキからなるCuパターンは2
0μmピッチであった。
このポリアミック酸のN-メチルピロリドン溶液を、上述の逆台形形状の断面形状を有する銅メッキ回路が形成された銅箔の銅メッキ回路形成面にリップコーターを用いて、60℃の温度で、2度塗布して銅メッキ回路を覆うと共に、樹脂厚さ40μmに調整した。次
いで370℃に3時間加熱してポリアミック酸の脱水閉環反応を行い、副生したH2Oを除
去した。
上記のようにして形成された配線基板にセロファンテープを貼着して、配線パターンの接着強度を測定したが、セロファンテープを用いたピール強度試験ではパターンの剥がれは発生しなかった。
4〜87.6g/リットル、Cuイオン濃度115〜135g/リットル、比重1.250〜1.253の範囲内に調整されており、このエッチング液を2本のノズルでスプレーし
、各ノズルの圧力2kg/cm2に調整し、ノズル1本当たりの流量を1.83リットル/1
分間に調整した。
した。
度で露光し、その後1.5%KOH溶液で65秒間現像した。ボトム部ギャップは6.4μm、トップ部ギャップは11.8μmであった。
0μmピッチであった。
g/リットルの溶液にα-ナフトキノリン(C3H9N)を200ppm添加した銅メッキ液を用いて、Dk=2A/dm2にて25℃、で5秒間、激しく攪拌しながらメッキし、高さ4〜4.5μmのノジュール(銅微細粒子)を形成した。
銅メッキ回路を有する銅箔(PETフィルム付)を得た。
製、X糊)を塗布したテープ(巴川製作所(株)製、エレファンFC)を用意した。
ヒートした後、130℃のヒートロールで3m/分の速度で連続ラミネートして、配線に形成されたノジュールを接着剤層中に埋設するように仮圧着した。次いで、上記マイクロシン銅箔の裏打ち材である50μm厚のPETフィルムを巻き取りながら機械的に剥離した。このPETフィルムとマイクロシン銅箔との接着強度はそれほど高くないので、PETフィルムを巻き取ることにより、マイクロシン銅箔からPETフィルムを容易に剥離することができ
た。
0℃で4時間加熱した後、160℃で6時間加熱保持して接着剤を硬化させた。
冷却後、このフィルムの銅箔面を、塩化第2銅、塩酸および過酸化水素を含有する上述
のエッチング液を用いた同一のエッチング装置で40℃で9秒間スプレーエッチングして、支持体であるマイクロシン銅箔を溶解除去して、ボトム部のノジュールが接着剤に埋め込まれ、トップに金メッキ層が形成された20μmピッチの配線が形成された配線基板を
得た。
の側面が多少エッチングされていたが、配線は、ボトム幅は12μm、トップ幅は5μmであり、ボトム幅がトップ幅よりも広い台形状の断面を有していた。このような台形の断面を有する配線パターンの法面長さの下端部から70%が接着剤中に埋め込まれていた。
この支持体である電解銅箔のシャイニー面にロールコーターを用いてポジ型フォトレジスト(ロームアンドハース社製、FR200-8cp)を6.8μmの厚さに塗布し、100℃で1分間乾燥硬化させた後、得られたレジスト上に、露光装置を用いて、20〜100μmピ
ッチのパターンを有する回路を描画した。
度で露光し、その後1.5%KOH溶液で70秒間現像した。20μmピッチのボトム部のギャップは8μmであり、トップ部ギャップは13μmであり、他のピッチ幅の部分においても、レジスト断面が台形形状になるように露光現像した。
グ液の噴霧圧力は2kg/cm2、ノズル先端までの距離は15cmである。
2A/dm2で2分間メッキして0.2μm厚保の金メッキ層を形成した。
次いで、硫酸銅メッキ添加剤(ロームアンドハース社製、カパーグリームST-901)を添加した銅メッキ液を用いて25℃において、Dk=3A/dm2で12分間攪拌しながら
銅メッキを行いレジストのギャップ部に高さ8μmのCu回路を形成した。こうして形成さ
れたCu回路のピッチ幅は、上述のように20〜100μmである。
るパターン付銅箔を得た。
)にポリアミドイミド系樹脂系接着剤(巴川製作所(株)製、X糊)を42mm幅で7μm厚保
に塗布したテープ(巴川製作所(株)製、商品名:エレファンFC)を用意した。
圧力を加えながら3m/分の速度で連続ラミネートして、銅メッキ回路の下端部が接着剤層に埋った状態に仮圧着して、ポリイミドフィルムと銅メッキ回路の下端部が埋め込まれた接着剤層と銅メッキ回路の支持体である銅箔とからなる積層体を形成した。
チング液を用いて40℃で1.5分間スプレーエッチングして、支持体として使用していた銅箔をエッチング除去した。このエッチングにより、最初に支持体銅箔に形成したノジュールも溶解除去されたが、除去されたノジュールの形状に沿って金メッキ層が形成されており、従って、この銅メッキ回路の表面にはエッチングにより除去されたノジュールの反転形状が形成されていた。
12・・・配線パターン
13・・・本体部
14・・・下端部
15・・・上端部
16・・・貴の金属層(金メッキ層)
20・・・絶縁フィルム
22・・・表面
24・・・ノジュール層
30・・・熱硬化性接着剤の硬化体
32・・・絶縁フィルム
109・・・樹脂層
110・・・導電性支持金属箔
112・・・感光性樹脂層
114・・・露光パターン
115・・・パターン
116・・・露光装置
118・・・底開口
119・・・表面開口
110・・・導電性支持体金属箔
120・・・溝部
122・・・貴の金属メッキ層(金メッキ層)
123・・・本体部
125・・・配線パターン
126・・・ノジュール層
127・・・絶縁層
128・・・本体部
130・・・絶縁フィルム
132・・・熱硬化性接着剤層(熱硬化性接着剤の硬化体)
133・・・絶縁性複合フィルム
140・・・凹部
142・・・ノジュール
144・・・金メッキ層
148・・・本体部(卑の金属メッキ層)
150・・・配線パターン
Claims (23)
- 絶縁基材と、絶縁基材内に配線パターンの本体部が埋設されると共に少なくとも上端部上面が該絶縁基板の表面に露出するように形成された配線パターンとからなる配線基板であり、該配線パターンの上端部上面の断面幅が、埋設されている該配線パターンの下端部断面幅よりも小さく、かつ該配線パターンの上端部を形成する金属が、配線パターンの本体部を形成する金属よりも貴であることを特徴とする配線基板。
- 上記配線パターンの本体部が絶縁基材に埋設されており、該配線パターンの上端部の上面が絶縁基材の表面に露出していることを特徴とする請求項第1項記載の配線基板。
- 上記配線パターンの下端部にノジュールメッキ層が形成されており、該配線パターンの少なくともノジュールメッキ層が絶縁基材中に埋設されていることを特徴とする請求項第1項記載の配線基板。
- 上記配線パターンの下端部から配線パターンの法面の長さの少なくとも20%が絶縁基材に埋設されていることを特徴とする請求項第1項記載の配線基板。
- 上記絶縁基材が、ポリイミド、エポキシ樹脂、アミック酸およびポリアミドイミドよりなる群から選ばれる少なくとも一種類の絶縁性樹脂から形成されていることを特徴とする請求項第1項乃至第4項のいずれかの項記載の配線基板。
- 上記絶縁基材の表面に臨み配線パターンの上端部を形成する貴の金属が、金、銀、白金よりなる群から選ばれるいずれかの金属を含むことを特徴とする請求項第1項乃至第4項のいずれかの項記載の配線基板。
- 上記配線パターンの本体部を形成する金属が、銅または銅合金であることを特徴とする請求項第1項乃至第4項のいずれかの項記載の配線基板。
- 上記配線パターンの上端部上面の断面幅が、該配線パターンの下端部断面幅の40〜99%の範囲内にあることを特徴とする請求項第1項乃至第4項のいずれかの項記載の配線基板。
- 上記配線パターンの上端部にある貴の金属層の厚さが0.01〜3μmの範囲内にある
ことを特徴とする請求項第1項乃至第4項のいずれかの項記載の配線基板。 - 導電性支持金属箔の表面に感光性樹脂層を形成する工程;
該感光性樹脂層を導電性支持金属箔表面に面する底部開口幅が表面開口幅よりも小さくなるように露光・現像して配線パターンを形成するための溝部を形成する工程;
該露光・現像して形成された溝部の底部の導電性支持金属箔上に該導電性支持金属箔を構成する金属よりも貴の導電性金属を析出させる工程;
該溝部の底部の導電性支持金属箔上に析出した貴の導電性金属の上に該貴の導電性金属よりも卑の導電性金属が該溝部を満たすように析出させて配線パターンを形成する工程;
感光性樹脂層を除去する工程;
該感光性樹脂層が除去された該導電性支持金属箔の表面に、該形成された配線パターンが埋没するように絶縁層を形成する工程;
導電性支持金属箔をエッチング除去して表面に絶縁層と配線パターンの上端部に貴の金属を露出させる工程;
を有することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 上記配線パターンが埋設されるように絶縁層を形成する工程が、絶縁層を形成する樹脂を形成可能な樹脂前駆体を感光性樹脂層が除去された該導電性支持金属箔の表面塗布して硬化させる工程であることを特徴とする請求項第10項記載の配線基板の製造方法。
- 上記配線パターンが埋設されるように絶縁層を形成する工程が、絶縁性樹脂フィルムの表面に熱硬化性接着剤層を有する絶縁性複合フィルムを、感光性樹脂層が除去された該導電性支持金属箔の表面に貼着して加熱して熱硬化性接着剤層に配線パターンが埋設された状態で、熱硬化性接着剤を硬化させることにより絶縁層を形成する工程であることを特徴とする請求項第10項記載の配線基板の製造方法。
- 導電性支持金属箔の表面に感光性樹脂層を形成する工程;
該感光性樹脂層を導電性支持金属箔表面に面する底部開口幅が表面開口幅よりも小さくなるように露光・現像して配線パターンを形成するための溝部を形成する工程;
該露光・現像して形成された溝部の底部の導電性支持金属箔上に該導電性支持金属箔を構成する金属よりも貴の導電性金属を析出させる工程;
該溝部の底部の導電性支持金属箔上に析出した貴の導電性金属の上に該貴の導電性金属よりも卑の導電性金属が該溝部を満たすように析出させ、さらに、該形成された配線パタンの底部にノジュール層を形成する工程;
感光性樹脂層を除去する工程;
該形成された配線パターンを底部に形成されたノジュール層と共に絶縁層に埋設する工程:
導電性支持金属箔をエッチング除去して表面に絶縁層と配線パターンの上端部に貴の金属を露出させる工程;
を有することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 上記配線パターンが埋設されるように絶縁層を形成する工程が、絶縁層を形成する樹脂を形成可能な樹脂前駆体を感光性樹脂層が除去された該導電性支持金属箔の表面塗布して硬化させる工程であることを特徴とする請求項第13項記載の配線基板の製造方法。
- 上記配線パターンが埋設されるように絶縁層を形成する工程が、絶縁性樹脂フィルムの表面に熱硬化性接着剤層を有する絶縁性複合フィルムを、感光性樹脂層が除去された該導電性支持金属箔の表面に貼着して加熱して熱硬化性接着剤層に配線パターンが埋設された状態で、熱硬化性接着剤を硬化させることにより絶縁層を形成する工程であることを特徴とする請求項第13項記載の配線基板の製造方法。
- 可撓性を有する支持樹脂フィルムに導電性金属箔を積層した複合支持フィルムの導電性金属箔をハーフエッチングして極薄導電性金属層を有する複合支持体を形成する工程;
該複合支持体の感光性樹脂層を極薄導電性金属層の表面に感光性樹脂を塗布して感光性樹脂層を形成し、該感光性樹脂層を、極薄導電性金属層に面する底部開口幅が表面開口幅よりも小さくなるように露光・現像して配線パターンを形成するための溝部を形成する工程;
該露光・現像して形成された溝部の底部の極薄導電性金属層上に該極薄導電性金属層を構成する金属よりも貴の導電性金属を析出させる工程;
該溝部の底部の導電性支持金属箔上に析出した貴の導電性金属の上に該貴の導電性金属よりも卑の導電性金属が該溝部を満たすように析出させ、さらに、該形成された配線パタンの底部にノジュール層を形成してノジュールを有する配線パターンを形成する工程;
感光性樹脂層を除去する工程;
該形成された配線パターンを底部に形成されたノジュール層と共に絶縁層に埋設する工程:
導電性支持金属箔をエッチング除去して表面に絶縁層と配線パターンの上端部に貴の金
属を露出させる工程;
を有することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 上記配線パターンが埋設されるように絶縁層を形成する工程が、絶縁層を形成する樹脂を形成可能な樹脂前駆体を感光性樹脂層が除去された該導電性支持金属箔の表面塗布して硬化させる工程であることを特徴とする請求項第16項記載の配線基板の製造方法。
- 上記配線パターンが埋設されるように絶縁層を形成する工程が、絶縁性樹脂フィルムの表面に熱硬化性接着剤層を有する絶縁性複合フィルムを、感光性樹脂層が除去された該導電性支持金属箔の表面に貼着して加熱して熱硬化性接着剤層に配線パターンが埋設された状態で、熱硬化性接着剤を硬化させることにより絶縁層を形成する工程であることを特徴とする請求項第16項記載の配線基板の製造方法。
- 導電性支持体金属箔の一方の面に、感光性樹脂層を形成して、該導電性支持体金属箔の表面に面する底部開口幅が表面開口幅よりも小さくなるように露光・現像して該露光・現像した感光性樹脂層の底部に該導電性支持体金属箔の表面を露出させる工程;
該露光・現像された感光性樹脂層をマスキング材として、導電性金属箔をハーフエッチングして、導電性支持体金属箔に凹部を形成する工程;
該導電性支持体金属箔に形成された凹部の表面にノジュールを形成し、次いで、該ノジュールが形成された導電性金属箔の凹部にノジュールよりも貴の金属でメッキ層を形成する工程;
該ノジュールが形成され、さらに貴の金属でメッキ層が形成された、感光性樹脂およびハーフエッチングされた導電性金属箔によって形成される凹部に、上記貴の金属よりも卑の金属を析出させて、該凹部を金属で満たして配線パターンを形成する工程;
上記感光性樹脂層を除去する工程;
該形成された配線パターンを絶縁層に埋設する工程:
導電性支持金属箔およびノジュールをエッチング除去して表面に絶縁層と配線パターンの上端部に貴の金属を露出させる工程;
を有することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 上記導電性支持体金属箔の感光性樹脂層が形成されていない面に支持樹脂フィルムが積層されていることを特徴とする請求項第19項記載の配線基板の製造方法。
- 上記配線パターンが埋設されるように絶縁層を形成する工程が、絶縁層を形成する樹脂を形成可能な樹脂前駆体を感光性樹脂層が除去された該導電性支持金属箔の表面塗布して硬化させる工程であることを特徴とする請求項第19項記載の配線基板の製造方法。
- 上記配線パターンが埋設されるように絶縁層を形成する工程が、絶縁性樹脂フィルムの表面に熱硬化性接着剤層を有する絶縁性複合フィルムを、感光性樹脂層が除去された該導電性支持金属箔の表面に貼着して加熱して熱硬化性接着剤層に配線パターンが埋設された状態で、熱硬化性接着剤を硬化させることにより絶縁層を形成する工程であることを特徴とする請求項第19項記載の配線基板の製造方法。
- 上記絶縁層に埋設される配線パターンの底部にもノジュールが形成されていることを特徴とする請求項第19項乃至第22項のいずれかの項記載の絶縁基板の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006220685A JP2008047655A (ja) | 2006-08-11 | 2006-08-11 | 配線基板およびその製造方法 |
TW096128805A TW200819011A (en) | 2006-08-11 | 2007-08-06 | Wiring boards and processes for manufacturing the same |
KR1020070079052A KR20080014623A (ko) | 2006-08-11 | 2007-08-07 | 배선 기판 및 그 제조 방법 |
US11/836,522 US20090183901A1 (en) | 2006-08-11 | 2007-08-09 | Wiring Boards and Processes for Manufacturing the Same |
CNA2007101357124A CN101123852A (zh) | 2006-08-11 | 2007-08-10 | 电路基板及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006220685A JP2008047655A (ja) | 2006-08-11 | 2006-08-11 | 配線基板およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008047655A true JP2008047655A (ja) | 2008-02-28 |
JP2008047655A5 JP2008047655A5 (ja) | 2008-07-31 |
Family
ID=39085958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006220685A Pending JP2008047655A (ja) | 2006-08-11 | 2006-08-11 | 配線基板およびその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090183901A1 (ja) |
JP (1) | JP2008047655A (ja) |
KR (1) | KR20080014623A (ja) |
CN (1) | CN101123852A (ja) |
TW (1) | TW200819011A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011065757A2 (en) * | 2009-11-25 | 2011-06-03 | Lg Innotek Co., Ltd. | Printed circuit board and manufacturing method thereof |
JPWO2011090034A1 (ja) * | 2010-01-19 | 2013-05-23 | 国立大学法人京都大学 | 導電膜及びその製造方法 |
CN103755989A (zh) * | 2014-01-14 | 2014-04-30 | 广东生益科技股份有限公司 | 电路基板及其制备方法 |
WO2015012376A1 (ja) * | 2013-07-24 | 2015-01-29 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 表面処理銅箔、キャリア付銅箔、基材、樹脂基材、プリント配線板、銅張積層板及びプリント配線板の製造方法 |
JP2015042779A (ja) * | 2013-07-24 | 2015-03-05 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 表面処理銅箔、キャリア付銅箔、基材、銅張積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板の製造方法 |
CN105835478A (zh) * | 2015-01-29 | 2016-08-10 | Jx金属株式会社 | 表面处理铜箔、及关于它的制品 |
JP2017011251A (ja) * | 2015-06-24 | 2017-01-12 | 京セラ株式会社 | 配線基板およびその製造方法 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090260862A1 (en) * | 2008-04-16 | 2009-10-22 | Andrew Yaung | Circuit modification device for printed circuit boards |
JPWO2012070381A1 (ja) * | 2010-11-22 | 2014-05-19 | 日本電気株式会社 | 実装構造及び実装方法 |
JP2013093405A (ja) * | 2011-10-25 | 2013-05-16 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板及びその製造方法 |
US20130186764A1 (en) * | 2012-01-19 | 2013-07-25 | Kesheng Feng | Low Etch Process for Direct Metallization |
JP2013153068A (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-08 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板、発光装置及び配線基板の製造方法 |
JP5410580B1 (ja) * | 2012-08-09 | 2014-02-05 | 日本特殊陶業株式会社 | 配線基板 |
KR101851882B1 (ko) | 2013-07-23 | 2018-04-24 | 제이엑스금속주식회사 | 표면 처리 동박, 캐리어가 형성된 동박, 기재, 수지 기재, 프린트 배선판, 구리 피복 적층판 및 프린트 배선판의 제조 방법 |
KR101482429B1 (ko) * | 2013-08-12 | 2015-01-13 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판 및 그 제조방법 |
JP2015041729A (ja) * | 2013-08-23 | 2015-03-02 | イビデン株式会社 | プリント配線板 |
JP6385198B2 (ja) * | 2014-08-21 | 2018-09-05 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板の製造方法 |
US10550490B2 (en) | 2015-05-22 | 2020-02-04 | Versitech Limited | Transparent conductive films with embedded metal grids |
CN106356351B (zh) * | 2015-07-15 | 2019-02-01 | 凤凰先驱股份有限公司 | 基板结构及其制作方法 |
EP3322267A1 (en) | 2016-11-10 | 2018-05-16 | AT & S Austria Technologie & Systemtechnik Aktiengesellschaft | Component carrier with adhesion promoting shape of wiring structure |
US10512165B2 (en) * | 2017-03-23 | 2019-12-17 | Unimicron Technology Corp. | Method for manufacturing a circuit board |
US20190174632A1 (en) * | 2017-12-05 | 2019-06-06 | Canon Components, Inc. | Flexible printed circuit and electronic device |
JP6965436B2 (ja) * | 2018-08-20 | 2021-11-10 | エルジー・ケム・リミテッド | 透明発光素子ディスプレイ用埋め込み型電極基板およびその製造方法 |
KR20210008671A (ko) * | 2019-07-15 | 2021-01-25 | 엘지이노텍 주식회사 | 인쇄회로기판 및 이의 제조 방법 |
CN114080088A (zh) * | 2020-08-10 | 2022-02-22 | 鹏鼎控股(深圳)股份有限公司 | 电路板及其制备方法 |
-
2006
- 2006-08-11 JP JP2006220685A patent/JP2008047655A/ja active Pending
-
2007
- 2007-08-06 TW TW096128805A patent/TW200819011A/zh unknown
- 2007-08-07 KR KR1020070079052A patent/KR20080014623A/ko not_active Application Discontinuation
- 2007-08-09 US US11/836,522 patent/US20090183901A1/en not_active Abandoned
- 2007-08-10 CN CNA2007101357124A patent/CN101123852A/zh active Pending
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011065757A2 (en) * | 2009-11-25 | 2011-06-03 | Lg Innotek Co., Ltd. | Printed circuit board and manufacturing method thereof |
WO2011065757A3 (en) * | 2009-11-25 | 2011-09-29 | Lg Innotek Co., Ltd. | Printed circuit board and manufacturing method thereof |
US9532462B2 (en) | 2009-11-25 | 2016-12-27 | Lg Innotek Co., Ltd. | Printed circuit board and manufacturing method thereof |
US9125315B2 (en) | 2010-01-19 | 2015-09-01 | Kyoto University | Conductive film and method for its production |
JPWO2011090034A1 (ja) * | 2010-01-19 | 2013-05-23 | 国立大学法人京都大学 | 導電膜及びその製造方法 |
WO2015012376A1 (ja) * | 2013-07-24 | 2015-01-29 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 表面処理銅箔、キャリア付銅箔、基材、樹脂基材、プリント配線板、銅張積層板及びプリント配線板の製造方法 |
JP2015042779A (ja) * | 2013-07-24 | 2015-03-05 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 表面処理銅箔、キャリア付銅箔、基材、銅張積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板の製造方法 |
CN105408524A (zh) * | 2013-07-24 | 2016-03-16 | Jx日矿日石金属株式会社 | 表面处理铜箔、附载体铜箔、基材、树脂基材、印刷配线板、覆铜积层板及印刷配线板的制造方法 |
US10257938B2 (en) | 2013-07-24 | 2019-04-09 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Surface-treated copper foil, copper foil with carrier, substrate, resin substrate, printed wiring board, copper clad laminate and method for producing printed wiring board |
CN103755989A (zh) * | 2014-01-14 | 2014-04-30 | 广东生益科技股份有限公司 | 电路基板及其制备方法 |
CN105835478A (zh) * | 2015-01-29 | 2016-08-10 | Jx金属株式会社 | 表面处理铜箔、及关于它的制品 |
CN105835478B (zh) * | 2015-01-29 | 2019-08-09 | Jx 金属株式会社 | 表面处理铜箔、及关于它的制品 |
JP2017011251A (ja) * | 2015-06-24 | 2017-01-12 | 京セラ株式会社 | 配線基板およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200819011A (en) | 2008-04-16 |
CN101123852A (zh) | 2008-02-13 |
US20090183901A1 (en) | 2009-07-23 |
KR20080014623A (ko) | 2008-02-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008047655A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
WO2007058147A1 (ja) | プリント配線基板、その製造方法およびその使用方法 | |
TW493366B (en) | Production method for multi-layer wiring board | |
JP2006278774A (ja) | 両面配線基板の製造方法、両面配線基板、およびそのベース基板 | |
TWI400024B (zh) | 配線基板及其製造方法 | |
US9232644B2 (en) | Wiring substrate | |
JP3352705B2 (ja) | 異方導電性接着フィルムを用いた実装構造 | |
JP2003243807A (ja) | 配線基板及びその製造方法 | |
JP3075484B2 (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JP4129665B2 (ja) | 半導体パッケージ用基板の製造方法 | |
JP2009277987A (ja) | 電子部品実装用フィルムキャリアテープ、その製造方法、および、半導体装置 | |
JP2012074487A (ja) | 半導体パッケージの製造方法 | |
JP2006147867A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JP2001111201A (ja) | 配線板の製造方法およびそれを用いて製造された配線板 | |
JP2009272571A (ja) | プリント配線基板及びその製造方法 | |
JP3833084B2 (ja) | 電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法 | |
JP2001168485A (ja) | 配線基板および転写媒体とそれらの製造方法 | |
JP2003209342A (ja) | 配線基板の製造方法及び配線基板 | |
JP2018010931A (ja) | 配線基板及びその製造方法 | |
JP2002198461A (ja) | プラスチックパッケージ及びその製造方法 | |
JP3925449B2 (ja) | 半導体装置用テープキャリアおよびその製造方法 | |
JP4734875B2 (ja) | アディティブメッキ用絶縁体、アディティブメッキ金属皮膜付き基板 | |
JP2005183587A (ja) | プリント配線基板の製造方法および半導体装置 | |
JP2007273648A (ja) | プリント配線板及びその製造方法 | |
TWM324288U (en) | Producing the wiring board |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080215 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080618 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080724 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080729 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080926 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090210 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090623 |