JP2008028415A - Soiウエーハの製造方法及びsoiウエーハ - Google Patents
Soiウエーハの製造方法及びsoiウエーハ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008028415A JP2008028415A JP2007243860A JP2007243860A JP2008028415A JP 2008028415 A JP2008028415 A JP 2008028415A JP 2007243860 A JP2007243860 A JP 2007243860A JP 2007243860 A JP2007243860 A JP 2007243860A JP 2008028415 A JP2008028415 A JP 2008028415A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- soi
- heat treatment
- layer
- hydrogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【解決手段】 少なくとも、ベースウエーハとガスイオンの注入により形成された微小気泡層を有するボンドウエーハとを接合する工程と、前記微小気泡層を境界としてSOI層を有するウエーハを剥離する工程とを含む水素イオン剥離法によってSOIウエーハを製造する方法において、前記ボンドウエーハとして、FZウエーハまたはエピタキシャルウエーハ、あるいは少なくとも表面のCOPを低減したCZウエーハの何れかを使用し、前記剥離工程後、水素またはアルゴンを含む雰囲気下で、前記SOI層を有するウエーハにバッチ式炉で熱処理を施すことを特徴とするSOIウエーハの製造方法。
【選択図】 図1
Description
しかしながら、SOI層は非常に薄く、その表面を研磨すると、面内の研磨量の違いからSOI層の厚さのバラツキが大きくなる問題があった。
特許文献2によれば、支持基板と単結晶シリコン薄膜の結合を強固にする第2次熱処理(結合熱処理)後、水素雰囲気中で1000〜1300℃の温度で10分〜5時間の第3次熱処理を行い、シリコン薄膜の平均表面粗さを改善する方法が開示されている。
このように、これらの公報に記載されている技術は、いずれも水素雰囲気中で熱処理を行い、剥離されたウエーハの表面粗さを改善させるものである。
上記各熱処理(アニール)のうち、急速加熱・急速冷却装置を用いたラピッドサーマルアニール(RTA)は、きわめて短時間の熱処理で済むので、上記のような埋め込み酸化膜をエッチングしてしまうようなこともないし、さらにはSOI層中のCOPを合わせて除去することも可能であり、表面粗さを効率的に改善できると思われていた。
しかしながら、RTA装置で行う熱処理は枚葉式であるため、長時間処理を行うとスループットが低く効率が悪い上、製造コストも上昇し、実用的でない。
一方、長時間の処理が可能なバッチ式炉では、一度に大量のウエーハを熱処理できるものの、昇温速度が遅いために前述のように水素アニール処理時にSOI層中のCOPを介して埋め込み酸化膜がエッチングされ、ピットが生じるという問題がある。
さらに、この方法ではタッチポリッシュのような研磨は行わなくて済むため、SOI層の膜厚の均一性も保たれる。
前記したように、本発明では急速加熱・急速冷却装置とバッチ式炉による2段階の熱処理を施すことで表面粗さの短周期成分と長周期成分が共に改善されるが、初段で急速加熱・急速冷却装置による短時間の熱処理を行うことにより、その表面の結晶性が回復され、SOI層中のCOPが大幅に削減される。従って、次段でバッチ式炉による熱処理を行うようにすれば、SOI層中のCOPがほとんど消滅しているため、比較的長時間の熱処理を行っても、貫通したCOPを介して起こる水素ガスまたはアルゴンガスによる埋め込み酸化膜のエッチングが抑制され、ピットが生じることも無い。
このように、結晶全体のCOPを低減した単結晶インゴットから作製されたCZウエーハであれば、通常の鏡面研磨加工された面を接合面として用いることができるので、エピタキシャルウエーハを用いる場合に比べて接合不良を低減することができる。また、CZウエーハであるため、FZウエーハでは作製が困難とされる、直径200mm、300mm、あるいはそれ以上の大直径ウエーハにも対応可能である。さらに、結晶全体(ウエーハ全体)においてCOPが低減されているため、剥離後のウエーハをボンドウエーハとして再利用する際に、剥離面の研磨代を制限する必要がない。
ここで、図1は本発明の水素イオン剥離法でSOIウエーハを製造する方法の製造工程の一例を示すフロー図である。
まず、図1の水素イオン剥離法において、工程(a)では、2枚のシリコン鏡面ウエーハを準備するものであり、デバイスの仕様に合った基台となるベースウエーハ1とSOI層となるボンドウエーハ2を準備する。
なお、急速加熱・急速冷却装置による熱処理とバッチ式炉による熱処理の施す順番は、特にボンドウエーハとしてCOPを多く有する通常のCZウエーハを使用する場合には、急速加熱・急速冷却装置による熱処理を先に行うことが好ましい。
これに対して、結晶全体のCOPを低減した単結晶インゴットから作製されたCZウエーハの場合、単結晶インゴットから切り出され、鏡面ウエーハに加工された鏡面研磨面をそのまま使用できるのでエピタキシャルウエーハに比べて接合不良を低減することができる。
まず、水素またはアルゴンを含む雰囲気下で急速加熱・急速冷却装置を用いて行う熱処理は、1000℃〜シリコンの融点以下の温度範囲で、1〜300秒間行うようにすることができる。
このように、剥離後のSOI層を有するウエーハに急速加熱・急速冷却装置を用いて水素またはアルゴンを含む雰囲気下の熱処理を施せば、極めて短時間で効率よくSOI層表面の結晶性を回復し、表面粗さ、特にその短周期成分(約1μm角前後)を改善し、SOI層中のCOPも大幅に低減することができる。なお、熱処理温度としては、1200〜1350℃の温度範囲とするのがより効果的である。
まず、加熱ヒータ22,22’によってベルジャ21内を、例えば1000℃〜シリコンの融点以下の所望温度に加熱し、その温度に保持する。分割された加熱ヒータそれぞれを独立して供給電力を制御すれば、ベルジャ21内を高さ方向に沿って温度分布をつけることができる。したがって、ウエーハの処理温度は、ステージ27の位置、すなわち支持軸26の炉内への挿入量によって決定することができる。熱処理雰囲気は、ベースプレート25のガス流入口より水素またはアルゴンを含む雰囲気ガスを導入することによって調整する。
さらに熱処理するSOIウエーハがある場合には、熱処理装置20の温度を降温させてないので、次々にウエーハを投入し連続的に熱処理をすることができる。
図7の熱処理装置30は、石英からなるチャンバー31を有し、このチャンバー31内でウエーハ38を熱処理するようになっている。加熱は、チャンバー31を上下左右から囲繞するように配置される加熱ランプ32によって行う。このランプ32はそれぞれ独立に供給される電力を制御できるようになっている。
ガスの排気側は、オートシャッター33が装備され、外気を封鎖している。オートシャッター33には、ゲートバルブによって開閉可能に構成される不図示のウエーハ挿入口が設けられている。また、オートシャッター33にはガス排気口が設けられており、炉内雰囲気を調整できるようになっている。
また、チャンバー31には不図示の温度測定用特殊窓が設けられており、チャンバー31の外部に設置されたパイロメータ37により、その特殊窓を通してウエーハ38の温度を測定することができる。
まず、熱処理装置30に隣接して配置される、不図示のウエーハハンドリング装置によってウエーハ38を挿入口からチャンバー31内に入れ、トレイ34上に配置した後、オートシャッター33を閉める。
このような熱処理雰囲気とすれば、SOIウエーハ表面に害となるような被膜を形成することもなく、確実にSOIウエーハの表面のダメージ層の結晶性を回復し、表面粗さ、特にその短周期成分を改善するこができるからである。
ここで、バッチ式炉とは、通常、縦型または横型の熱処理炉に複数のウエーハを載置し、水素ガスを導入して比較的緩やかに昇温した後、所定温度で所定時間熱処理を施し、比較的ゆっくりと降温する、いわゆるバッチ式の熱処理炉であり、一度に大量のウエーハの熱処理が可能である。また、温度の制御性に優れており、安定した操業が可能である。
また、急速加熱・急速冷却装置のみで長時間処理する方法に比べ、効率的に熱処理することができ、表面特性に優れたSOIウエーハを高いスループットで、かつ低コストで製造することができる。
このように表面粗さに関する1μm角及び10μm角のRMS値が共に0.5nm以下である本発明に係るSOIウエーハは、短周期から長周期に及ぶその表面粗さが、鏡面研磨ウエーハと略同等であり、しかも膜厚均一性にも優れるため、近年の高集積デバイスの作製に好適に使用することができる。
SOIウエーハの製造:
まず、CZ法により製造した直径が150mmのシリコン鏡面ウエーハのうち、一方をベースウエーハ1、他方をボンドウエーハ2として用い、図1の(a)〜(e)に従って、ボンドウエーハ2を剥離して、SOI層を有するウエーハ6を得た。この時、SOI層7の厚さは0.4ミクロンとし、その他イオン注入等の主な条件は次の通りとした。
1)埋込み酸化膜厚:400nm(0.4ミクロン)、
2)水素注入条件:H+ イオン、注入エネルギ 100keV
注入線量 8×1016/cm2
3)剥離熱処理条件:N2 ガス雰囲気下、500℃、30分
こうして厚さ約0.4ミクロンのSOI層7を有するウエーハ6を得た。
まず、図1(e)の剥離したまま、すなわち本発明に係る2段階熱処理を全く施していないSOI層を有するウエーハの表面(剥離面)の表面粗さについて、原子間力顕微鏡法により1ミクロン角及び10ミクロン角でP−V(Peak to Valley)値及びRMS値での表面粗さの測定を行った。P−V値で、1ミクロン角の場合は平均56.53nm、10ミクロン角の場合は平均56.63nmだった。また、RMS(自乗平均平方根粗さ)値では、1ミクロン角の場合は平均7.21nm、10ミクロン角の場合は平均5.50nmであった。
図2は、RTA処理温度及び処理時間と、1ミクロン角でのP−V値の関係を示したグラフである。このグラフから、1000℃〜1225℃の温度範囲で数秒ないし数十秒のRTA処理を施すことにより、未処理のものに比べ表面粗さの短周期成分(1μm)が大きく改善され、鏡面研磨ウエーハ(PW)に近いP−V値が得られることが分かる。尚、図2において、1000、1100、1200、1225℃の各温度に対応するプロットの形状は、それぞれ四角、三角、ひし形、丸で表してある。
図4のグラフから、1200℃のRTA処理では処理時間が長いほどRMS値が減少し、表面粗さが経時的に改善する傾向を示しているものの、いずれの温度でも数秒ないし数十秒のRTA処理を施すことにより鏡面研磨ウエーハ(PW)と同程度までRMS値が大きく改善されていることが分かる。尚、図4のプロット形状と熱処理温度との関係は図2と同様である。
SOIウエーハの熱処理:
図1の(a)〜(e)工程に従って前記RTA装置による熱処理試験で使用したSOIウエーハと同条件で製造されたSOIウエーハに、表1に示す熱処理条件の下でRTA装置による熱処理(水素100%雰囲気)を施した後、バッチ式炉による熱処理(アルゴン100%雰囲気)を施し、本発明に係る2段階の熱処理を施したSOIウエーハを得た(実施例1、2)。一方、RTA装置による熱処理後、バッチ式炉による熱処理を施さないものも用意した(比較例1)。
前記実施例1、2及び比較例1で得たSOIウエーハの熱処理前及び熱処理後の表面粗さ(RMS値)を原子間力顕微鏡法により1ミクロン角及び10ミクロン角で測定し、その結果を表2に示した。
一方、熱処理後では、1μm角ではウエーハ間での差はほとんど無いものの、10μm角では実施例1、2のウエーハは大きく改善されて、それらの1μm角のRMS値に近い値を示しているのに対し、バッチ式炉による熱処理を施していない比較例1のウエーハは、1μm角では大きく改善されているが、10μm角では実施例1、2のRMS値よりかなり大きく、表面粗さの長周期成分が十分改善されていないことが分かる。
ボンドウエーハの作製:
磁場を印可して引き上げるCZ法を用い、引き上げ条件(V/G)を制御してグローイン欠陥を低減したシリコン単結晶を引き上げ、このインゴットを通常の方法により加工し、結晶全体のCOPを低減したCZ鏡面ウエーハ(直径200mm、結晶方位<100>)を作製した(実施例3)。このウエーハ表面のCOPおよびヘイズレベルを表面検査装置(KLAテンコール社製、SP−1)により測定したところ、直径0.12μm以上のCOPは全く存在せず、その鏡面のヘイズレベルは平均約0.03ppmであった。
一方、通常の引き上げ条件(引き上げ速度1.2mm/min)で引き上げたシリコン単結晶インゴットから作製されたCZ鏡面ウエーハ(直径200mm、結晶方位<100>)を、エピタキシャル成長装置に投入し、1125℃で10μm厚のエピタキシャル層を有するエピタキシャルウエーハを作製した(実施例4)。
エピタキシャル層堆積前のCZウエーハ表面に存在する直径0.12μm以上のCOPは平均約1000個/ウエーハであった。また、エピタキシャル層表面のヘイズレベルは、平均約0.2ppmであった。また、マウンドと呼ばれる突起物が見られるウエーハも存在していた。
前記実施例3、実施例4の方法によりボンドウエーハとして作製されたウエーハをそれぞれ10枚ずつ用意し、図1の(a)〜(e)工程に従い、前記RTA装置による熱処理試験と同一条件でSOIウエーハを製造し、剥離後のSOI表面や接合界面を観察することにより、ボイドやブリスターの有無を調査するとともに、その発生原因を評価した。その結果、実施例3のウエーハを用いて製造したSOIウエーハの場合は、ボンドウエーハの表面(接合面)のヘイズや突起物に起因すると考えられるボイドは全く観察されなかったのに対し、実施例4のウエーハを用いて製造したSOIウエーハの場合、エピタキシャル層表面のヘイズまたはマウンドに起因すると考えられるボイドやブリスターが存在するウエーハが10枚中3枚あることが確認された。
前記実施例3、実施例4の剥離後のSOIウエーハに対し、SOI層表面を研磨することなく、バッチ式炉を用いてアルゴン97%/水素3%雰囲気下、1225℃、3時間の熱処理を行なった。
前記実施例3、4で得たSOIウエーハの熱処理前後の表面粗さを1ミクロン角及び10ミクロン角で測定し表3に示した。
例えば、上記実施例ではCZウエーハが用いられているが、本発明で使用できるウエーハはこれに限定されず、エピタキシャルウエーハあるいはFZウエーハを用いることもできる。
4…水素イオン注入微小気泡層(封入層)、 5…剥離ウエーハ、
6…SOI層を有するウエーハ、 7…SOI層、
20…熱処理装置、 21…ベルジャ、 22,22’…加熱ヒータ、
23…ハウジング、 24…水冷チャンバ、 25…ベースプレート、
26…支持軸、 27…ステージ、 28…SOIウエーハ、
29…モータ、
30…熱処理装置、 31…チャンバー、 32…加熱ランプ、
33…オートシャッター、 34…石英トレイ、 35…3点支持部、
36…バッファ、 37…パイロメータ、 38…ウエーハ。
Claims (3)
- 少なくとも、ベースウエーハとガスイオンの注入により形成された微小気泡層を有するボンドウエーハとを接合する工程と、前記微小気泡層を境界としてSOI層を有するウエーハを剥離する工程とを含む水素イオン剥離法によってSOIウエーハを製造する方法において、前記ボンドウエーハとして、FZウエーハまたはエピタキシャルウエーハ、あるいは少なくとも表面のCOPを低減したCZウエーハの何れかを使用し、前記剥離工程後、水素またはアルゴンを含む雰囲気下で、前記SOI層を有するウエーハにバッチ式炉で熱処理を施すことを特徴とするSOIウエーハの製造方法。
- 少なくとも、ベースウエーハとガスイオンの注入により形成された微小気泡層を有するボンドウエーハとを接合する工程と、前記微小気泡層を境界としてSOI層を有するウエーハを剥離する工程とを含む水素イオン剥離法によってSOIウエーハを製造する方法において、前記ボンドウエーハとして、結晶全体のCOPを低減した単結晶インゴットから作製されたCZウエーハを使用し、前記剥離工程後、水素またはアルゴンを含む雰囲気下で、前記SOI層を有するウエーハにバッチ式炉で熱処理を施すことを特徴とするSOIウエーハの製造方法。
- 前記バッチ式炉による熱処理条件は1200〜1350℃の温度範囲とすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のSOIウエーハの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007243860A JP2008028415A (ja) | 1999-10-14 | 2007-09-20 | Soiウエーハの製造方法及びsoiウエーハ |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29213499 | 1999-10-14 | ||
JP2007243860A JP2008028415A (ja) | 1999-10-14 | 2007-09-20 | Soiウエーハの製造方法及びsoiウエーハ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001530120A Division JP4103391B2 (ja) | 1999-10-14 | 2000-10-13 | Soiウエーハの製造方法及びsoiウエーハ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008028415A true JP2008028415A (ja) | 2008-02-07 |
Family
ID=39118665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007243860A Pending JP2008028415A (ja) | 1999-10-14 | 2007-09-20 | Soiウエーハの製造方法及びsoiウエーハ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008028415A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012169449A (ja) * | 2011-02-14 | 2012-09-06 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 貼り合わせウェーハの製造方法 |
JP2015216296A (ja) * | 2014-05-13 | 2015-12-03 | 株式会社Sumco | 半導体エピタキシャルウェーハの製造方法および固体撮像素子の製造方法 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07321120A (ja) * | 1994-05-25 | 1995-12-08 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | シリコンウェーハの熱処理方法 |
JPH08264552A (ja) * | 1995-03-24 | 1996-10-11 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリコンウエーハの製造方法 |
JPH08330316A (ja) * | 1995-05-31 | 1996-12-13 | Sumitomo Sitix Corp | シリコン単結晶ウェーハおよびその製造方法 |
JPH1084101A (ja) * | 1996-09-06 | 1998-03-31 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Soi基板の作製方法およびsoi基板 |
JPH10200080A (ja) * | 1996-11-15 | 1998-07-31 | Canon Inc | 半導体部材の製造方法 |
JPH10275905A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Mitsubishi Electric Corp | シリコンウェーハの製造方法およびシリコンウェーハ |
JPH10335616A (ja) * | 1997-05-29 | 1998-12-18 | Mitsubishi Materials Shilicon Corp | Soi基板の製造方法 |
JPH113842A (ja) * | 1997-06-11 | 1999-01-06 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 半導体電子素子用基板およびその製造方法 |
JPH11145020A (ja) * | 1997-11-05 | 1999-05-28 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Soiウエーハの熱処理方法およびsoiウエーハ |
JPH11145436A (ja) * | 1997-11-10 | 1999-05-28 | Nec Corp | 張り合わせsoi基板及びその製造方法 |
JPH11150080A (ja) * | 1997-11-18 | 1999-06-02 | Denso Corp | 半導体基板の製造方法および半導体基板の製造装置 |
JPH11186277A (ja) * | 1997-12-17 | 1999-07-09 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | シリコン単結晶ウエーハの熱処理方法ならびにシリコン単結晶ウエーハ |
JPH11191617A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Mitsubishi Materials Silicon Corp | Soi基板の製造方法 |
-
2007
- 2007-09-20 JP JP2007243860A patent/JP2008028415A/ja active Pending
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07321120A (ja) * | 1994-05-25 | 1995-12-08 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | シリコンウェーハの熱処理方法 |
JPH08264552A (ja) * | 1995-03-24 | 1996-10-11 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリコンウエーハの製造方法 |
JPH08330316A (ja) * | 1995-05-31 | 1996-12-13 | Sumitomo Sitix Corp | シリコン単結晶ウェーハおよびその製造方法 |
JPH1084101A (ja) * | 1996-09-06 | 1998-03-31 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Soi基板の作製方法およびsoi基板 |
JPH10200080A (ja) * | 1996-11-15 | 1998-07-31 | Canon Inc | 半導体部材の製造方法 |
JPH10275905A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Mitsubishi Electric Corp | シリコンウェーハの製造方法およびシリコンウェーハ |
JPH10335616A (ja) * | 1997-05-29 | 1998-12-18 | Mitsubishi Materials Shilicon Corp | Soi基板の製造方法 |
JPH113842A (ja) * | 1997-06-11 | 1999-01-06 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 半導体電子素子用基板およびその製造方法 |
JPH11145020A (ja) * | 1997-11-05 | 1999-05-28 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Soiウエーハの熱処理方法およびsoiウエーハ |
JPH11145436A (ja) * | 1997-11-10 | 1999-05-28 | Nec Corp | 張り合わせsoi基板及びその製造方法 |
JPH11150080A (ja) * | 1997-11-18 | 1999-06-02 | Denso Corp | 半導体基板の製造方法および半導体基板の製造装置 |
JPH11186277A (ja) * | 1997-12-17 | 1999-07-09 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | シリコン単結晶ウエーハの熱処理方法ならびにシリコン単結晶ウエーハ |
JPH11191617A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Mitsubishi Materials Silicon Corp | Soi基板の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012169449A (ja) * | 2011-02-14 | 2012-09-06 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 貼り合わせウェーハの製造方法 |
JP2015216296A (ja) * | 2014-05-13 | 2015-12-03 | 株式会社Sumco | 半導体エピタキシャルウェーハの製造方法および固体撮像素子の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4103391B2 (ja) | Soiウエーハの製造方法及びsoiウエーハ | |
EP1045448B1 (en) | A method of fabricating soi wafer by hydrogen ion delamination method | |
JP3500063B2 (ja) | 剥離ウエーハを再利用する方法および再利用に供されるシリコンウエーハ | |
JPH11307472A (ja) | 水素イオン剥離法によってsoiウエーハを製造する方法およびこの方法で製造されたsoiウエーハ | |
US20130089968A1 (en) | Method for finishing silicon on insulator substrates | |
JP2000091342A (ja) | シリコンウエーハの熱処理方法及びシリコンウエーハ | |
JP3451908B2 (ja) | Soiウエーハの熱処理方法およびsoiウエーハ | |
KR102327330B1 (ko) | Soi웨이퍼의 제조방법 | |
TWI609434B (zh) | SOS substrate manufacturing method and SOS substrate | |
JP4228419B2 (ja) | Soiウエーハの製造方法およびsoiウエーハ | |
WO2003079447A1 (fr) | Procede de production de plaquettes par collage | |
JP4624812B2 (ja) | Soiウエーハの製造方法 | |
TWI549192B (zh) | Method of manufacturing wafers | |
JP2008028415A (ja) | Soiウエーハの製造方法及びsoiウエーハ | |
JP2008235495A (ja) | Soiウェーハ及びその製造方法 | |
JP4379927B2 (ja) | Soiウエーハの製造方法およびsoiウエーハ | |
JP2010129918A (ja) | 半導体ウェーハの表層高強度化方法 | |
JP2004214399A (ja) | 半導体基板の製造方法およびウェーハ剥離熱処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110426 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110614 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120214 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120404 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120807 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121212 |