JP2008016466A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008016466A JP2008016466A JP2006182955A JP2006182955A JP2008016466A JP 2008016466 A JP2008016466 A JP 2008016466A JP 2006182955 A JP2006182955 A JP 2006182955A JP 2006182955 A JP2006182955 A JP 2006182955A JP 2008016466 A JP2008016466 A JP 2008016466A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- manufacturing
- semiconductor device
- layer
- amorphous silicon
- silicon layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】n型半導体基板の表面側にアルミニウム系金属電極が被覆されたMOSゲート構造を形成し、裏面側を研磨した後、裏面に前記n型半導体基板より高不純物濃度のn型フィールドストップ層とp型コレクタ層をこの順に形成する半導体装置の製造方法において、前記フィールドストップ層が、リンまたは砒素をドーパントとするドープドアモルファスシリコン層を堆積する工程と、該ドープドアモルファスシリコン層を熱処理する工程とにより形成されるn型半導体シリコン層を繰り返し積層して形成される半導体装置の製造方法とする。
【選択図】 図1
Description
特許請求の範囲の請求項3記載の発明によれば、前記ドープドアモルファスシリコン層を堆積する工程ごとに、前記ドーパントを導入する工程でのイオン注入エネルギーとドーズ量をそれぞれ調整することにより、フィールドストップ層の不純物イオンの分布を制御する特許請求の範囲の請求項1記載の半導体装置の製造方法とすることも好ましい。
特許請求の範囲の請求項5記載の発明によれば、前記アモルファスシリコン層が、プラズマCVDまたはCAT−CVDなどによる低温CVD法により堆積される特許請求の範囲の請求項2乃至4のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法とすることが好ましい。
特許請求の範囲の請求項7記載の発明によれば、前記熱処理が、レーザー照射により行われる特許請求の範囲の請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法とすることがより好適である
特許請求の範囲の請求項8記載の発明によれば、前記熱処理が、基板表面側のアルミニウム系金属電極が被覆されたMOSゲート構造に実質的に悪影響を及ぼさない程度の低温電気炉アニールにより行われる特許請求の範囲の請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法とすることが望ましい。
特許請求の範囲の請求項10記載の発明によれば、前記アルミニウム系金属電極を含むMOSゲート構造に実質的に影響を及ぼす温度以下の温度が400℃乃至550℃の範囲のいずれかの温度である特許請求の範囲の請求項8または9に記載の半導体装置の製造方法とすることがいっそう望ましい。
図1は、本発明にかかる半導体装置の製造方法により作成された半導体装置の実施例1としてのIGBTの半導体基板の断面図である。この半導体装置はプレーナーゲート構造のIGBT1であり、たとえば、FZ−n型半導体基板をn型ドリフト層2とし、そのn型ドリフト層2の表面側にp型のチャネル層3が形成されている。
一方、ドリフト層2の裏面側にはn型の高濃度不純物拡散層よりなるフィールドストップ層9が12μmの深さ(深さ)で形成されている。さらに、フィールドストップ層9の表面層には、p型のコレクタ層10が浅く形成されている。コレクタ電極11がこのp型コレクタ層10の表面に形成されている。
図2−1(a)はIGBTの表面側構造を形成した後の半導体基板の要部断面図である。IGBTの表面側構造の製造方法は従来と同様であるので、以下、この部分については簡単な説明とする。1200V耐圧のIGBTの製造方法について説明する。まず、比抵抗が60Ωcmで525μmの厚さのFZウエハよりなるn型半導体基板の表面にゲート絶縁膜6を形成し、さらにその上にゲート電極7となるポリシリコンを積層させる。これらのポリシリコン層とゲート電極層にフォトエッチングを施して、チャネル層3形成用の窓を開け、ボロンイオンをイオン注入する。再度フォトレジストを塗布して、エミッタ領域4を形成するために前記窓の中央部にレジストを残すパターニングのフォトエッチングを施し、そのレジストをマスクとしてイオン注入法によりエミッタ領域4形成用のヒ素イオンを打ち込む。アニール処理により、注入イオンの活性化をおこない、チャネル層3およびエミッタ領域4を形成する。その後、層間絶縁膜8を積層し、それをフォトエッチングしてチャネル層3およびエミッタ領域4の一部を露出させ、その上にアルミニウム等でエミッタ電極5を積層する(図2−1(a))。
ただし、シリコン基板の裏面上には通常、自然酸化膜(図示せず)が存在するので、除去されずにそのまま自然酸化膜上にアモルファスシリコン層が成膜された場合、その後、どのような熱処理を施しても下地のシリコン基板の結晶情報がアモルファスシリコンへ伝わらないため後処理工程でのエピタキシャルシリコン成長が困難となる。従って、アモルファスシリコンの成膜の直前に、気体HF(フッ化水素)を成膜チャンバーに微量導入して裏面のシリコン基板面に形成された自然酸化膜を除去する工程を導入することが好ましい。
図7に実施例1にかかるレーザーアニール装置20の概略構成図を示す。レーザー発振装置21から発振されるレーザービーム(破線で示す)は反射ミラー22およびアッテネーター(減衰器)23を経て、さらにビームの拡大のためのレンズ24、ホモジナイザー25(均質器)を経てシリコンウエハ26表面の所定の位置に照射され、図示しないビームの走査機構によりシリコンウエハ上を走査される。
ちなみに、レーザーダイシング加工では、加工モードに入る状態でダイシングを行う。加工モードにするには、照射エネルギー密度を1台あたり2J/cm2/以上にすればよい。数μmの厚さの金属電極を切断する場合には、照射エネルギー密度は、1台あたり3J/cm2程度が適当である。
YAG3ωレーザーなどの全固体レーザーを単パルスで使用して照射した場合には、例えば直径0.9mm程度のスポット照射のため長い照射時間が必要になり、処理時間がウエハ1枚当たり数時間、例えば5インチウエハのアニールに2時間程度もかかってしまうようになる。また、照射エネルギーを大きくして1つの照射エリアにレーザー照射した場合には、ウエハ表面にレーザー照射による加工跡が残ってしまう場合があるので好ましくない。
以上説明した製造条件の場合、積層フィールドストップ層の不純物濃度プロファイルは図3の拡散深さ方向の不純物濃度プロファイル図に示すようなトップフラット(BOX型)近似のプロファイル(深さ方向の不純物濃度分布がフラットなプロファイル)になる。この積層フィールドストップ層9の最表面(裏面)に、ドーズ量が1×1015cm−2程度のボロンイオンを打ち込み、アニール処理を施してp型コレクタ層10を形成する。そして、スパッタリング法などにより、コレクタ層10の表面にコレクタ電極11を被着させることによって、図2−1(g)に示す厚さ12μmのフィールドストップ層を有するFS−IGBT1ができあがる。以上の説明では4回のドープドアモルファスシリコン層の積層の場合であったが、積層回数を増やすことにより、さらにフィールドストップ層の厚さを増加できることはいうまでもない。
2 ドリフト層
3 チャネル層
4 エミッタ層
5 エミッタ電極
6 ゲート絶縁膜
7 ゲート電極
8 層間絶縁膜
9 フィールドストップ層
10 コレクタ層
11 コレクタ電極。
Claims (10)
- n型半導体基板の表面側にアルミニウム系金属電極が被覆されたMOSゲート構造を形成し、裏面側を研磨した後、裏面に前記n型半導体基板より高不純物濃度のn型フィールドストップ層とp型コレクタ層をこの順に形成する半導体装置の製造方法において、前記フィールドストップ層が、リンまたは砒素をドーパントとするドープドアモルファスシリコン層を堆積する工程と、該ドープドアモルファスシリコン層を熱処理する工程とにより形成されるn型半導体シリコン層を繰り返し積層して形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記ドープドアモルファスシリコン層を堆積する工程が、アモルファスシリコン層を堆積し、該アモルファスシリコン層へイオン注入により前記ドーパントを導入する工程を有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ドープドアモルファスシリコン層を堆積する工程ごとに、前記ドーパントを導入する工程でのイオン注入エネルギーとドーズ量をそれぞれ調整することにより、フィールドストップ層の不純物イオンの分布を制御することを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ドープドアモルファスシリコン層を堆積する工程が、アモルファスシリコン層を堆積し、この堆積と同時にドーパントとしてリンまたは砒素のイオンを含有させる工程を有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記アモルファスシリコン層が、プラズマCVDまたはCAT−CVDなどによる低温CVD法により堆積されることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記フィールドストップ層の厚さが10μm乃至20μmであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理が、レーザー照射により行われることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理が、基板表面側のアルミニウム系金属電極が被覆されたMOSゲート構造に実質的に悪影響を及ぼさない程度の低温電気炉アニールにより行われることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理が、レーザー照射と前記低温電気炉アニールにより行われることを特徴とする請求項8記載の半導体装置の製造方法。
- 前記アルミニウム系金属電極を含むMOSゲート構造に実質的に影響を及ぼす温度以下の温度が400℃乃至550℃の範囲のいずれかの温度であることを特徴とする請求項8または9に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006182955A JP5201305B2 (ja) | 2006-07-03 | 2006-07-03 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006182955A JP5201305B2 (ja) | 2006-07-03 | 2006-07-03 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008016466A true JP2008016466A (ja) | 2008-01-24 |
JP5201305B2 JP5201305B2 (ja) | 2013-06-05 |
Family
ID=39073237
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006182955A Expired - Fee Related JP5201305B2 (ja) | 2006-07-03 | 2006-07-03 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5201305B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010141136A (ja) * | 2008-12-11 | 2010-06-24 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 半導体素子の製造方法 |
JP2012033782A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | Igbtの製造方法及びigbt |
CN103839805A (zh) * | 2012-11-23 | 2014-06-04 | 中国科学院微电子研究所 | 一种功率器件的制备方法 |
CN103959472A (zh) * | 2011-12-22 | 2014-07-30 | 住友电气工业株式会社 | 半导体器件及其制造方法 |
CN109196622A (zh) * | 2016-05-31 | 2019-01-11 | 欧洲激光系统和解决方案公司 | 深结电子器件及其制造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02119122A (ja) * | 1988-10-28 | 1990-05-07 | Sony Corp | 低抵抗多結晶半導体薄膜の製造方法 |
JPH07297406A (ja) * | 1994-04-21 | 1995-11-10 | Tdk Corp | 縦型薄膜半導体装置 |
JP3081739B2 (ja) * | 1992-10-20 | 2000-08-28 | 三菱電機株式会社 | 絶縁ゲート型半導体装置及びその製造方法 |
JP3288218B2 (ja) * | 1995-03-14 | 2002-06-04 | 三菱電機株式会社 | 絶縁ゲート型半導体装置およびその製造方法 |
JP2002299346A (ja) * | 2001-04-02 | 2002-10-11 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2003059856A (ja) * | 2001-08-09 | 2003-02-28 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
US7005702B1 (en) * | 2000-05-05 | 2006-02-28 | International Rectifier Corporation | IGBT with amorphous silicon transparent collector |
-
2006
- 2006-07-03 JP JP2006182955A patent/JP5201305B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02119122A (ja) * | 1988-10-28 | 1990-05-07 | Sony Corp | 低抵抗多結晶半導体薄膜の製造方法 |
JP3081739B2 (ja) * | 1992-10-20 | 2000-08-28 | 三菱電機株式会社 | 絶縁ゲート型半導体装置及びその製造方法 |
JPH07297406A (ja) * | 1994-04-21 | 1995-11-10 | Tdk Corp | 縦型薄膜半導体装置 |
JP3288218B2 (ja) * | 1995-03-14 | 2002-06-04 | 三菱電機株式会社 | 絶縁ゲート型半導体装置およびその製造方法 |
US7005702B1 (en) * | 2000-05-05 | 2006-02-28 | International Rectifier Corporation | IGBT with amorphous silicon transparent collector |
JP2002299346A (ja) * | 2001-04-02 | 2002-10-11 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2003059856A (ja) * | 2001-08-09 | 2003-02-28 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010141136A (ja) * | 2008-12-11 | 2010-06-24 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 半導体素子の製造方法 |
JP2012033782A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | Igbtの製造方法及びigbt |
CN103959472A (zh) * | 2011-12-22 | 2014-07-30 | 住友电气工业株式会社 | 半导体器件及其制造方法 |
EP2797117A4 (en) * | 2011-12-22 | 2015-08-19 | Sumitomo Electric Industries | SEMICONDUCTOR COMPONENT AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR |
US9153661B2 (en) | 2011-12-22 | 2015-10-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing same |
CN103839805A (zh) * | 2012-11-23 | 2014-06-04 | 中国科学院微电子研究所 | 一种功率器件的制备方法 |
CN103839805B (zh) * | 2012-11-23 | 2018-09-11 | 中国科学院微电子研究所 | 一种功率器件的制备方法 |
CN109196622A (zh) * | 2016-05-31 | 2019-01-11 | 欧洲激光系统和解决方案公司 | 深结电子器件及其制造方法 |
KR20190015262A (ko) * | 2016-05-31 | 2019-02-13 | 레이저 시스템즈 앤드 솔루션즈 오브 유럽 | 디이프 접합 전자 소자 및 그의 제조 공정 |
JP2019523986A (ja) * | 2016-05-31 | 2019-08-29 | レーザー システムズ アンド ソリューションズ オブ ヨーロッパ | 深い接合の電子装置及びその製造方法 |
KR102478873B1 (ko) | 2016-05-31 | 2022-12-19 | 레이저 시스템즈 앤드 솔루션즈 오브 유럽 | 디이프 접합 전자 소자 및 그의 제조 공정 |
CN109196622B (zh) * | 2016-05-31 | 2024-04-02 | 欧洲激光系统和解决方案公司 | 深结电子器件及其制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5201305B2 (ja) | 2013-06-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8501548B2 (en) | Method for producing a semiconductor device using laser annealing for selectively activating implanted dopants | |
JP3211394B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
CN101256948B (zh) | 半导体元件的制造方法 | |
US20120178223A1 (en) | Method of Manufacturing High Breakdown Voltage Semiconductor Device | |
US20020192914A1 (en) | CMOS device fabrication utilizing selective laser anneal to form raised source/drain areas | |
JP2009302373A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US20120329257A1 (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
JP2018082007A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5668270B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP5326217B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5201305B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010021525A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR102478873B1 (ko) | 디이프 접합 전자 소자 및 그의 제조 공정 | |
US7737036B2 (en) | Integrated circuit fabrication process with minimal post-laser annealing dopant deactivation | |
JP4043865B2 (ja) | レーザ照射を用いた半導体装置の製造方法 | |
US20090042353A1 (en) | Integrated circuit fabrication process for a high melting temperature silicide with minimal post-laser annealing dopant deactivation | |
JP7155759B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
US7863193B2 (en) | Integrated circuit fabrication process using a compression cap layer in forming a silicide with minimal post-laser annealing dopant deactivation | |
JP5692241B2 (ja) | 逆阻止型半導体素子の製造方法 | |
JP2002246329A (ja) | 半導体基板の極浅pn接合の形成方法 | |
JP3185386B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5103695B2 (ja) | 電界効果型半導体装置の製造方法 | |
JPH0677155A (ja) | 半導体基板の熱処理方法 | |
TWI642092B (zh) | 深接面電子裝置及其製造方法 | |
JPH0595000A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20080204 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20081216 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20090219 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090323 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20091112 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20110422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120703 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120705 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120830 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130129 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160222 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |