JP2007527601A - 質量分析計の焦点面検出器アセンブリ - Google Patents
質量分析計の焦点面検出器アセンブリ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007527601A JP2007527601A JP2007502023A JP2007502023A JP2007527601A JP 2007527601 A JP2007527601 A JP 2007527601A JP 2007502023 A JP2007502023 A JP 2007502023A JP 2007502023 A JP2007502023 A JP 2007502023A JP 2007527601 A JP2007527601 A JP 2007527601A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- assembly
- mass spectrometer
- microchannel plate
- electron multiplier
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 78
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 5
- 239000012855 volatile organic compound Substances 0.000 description 5
- 238000011161 development Methods 0.000 description 4
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000001819 mass spectrum Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000708 deep reactive-ion etching Methods 0.000 description 2
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 2
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 2
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 2
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000000451 chemical ionisation Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011364 vaporized material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
- G01N30/62—Detectors specially adapted therefor
- G01N30/72—Mass spectrometers
- G01N30/7206—Mass spectrometers interfaced to gas chromatograph
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/025—Detectors specially adapted to particle spectrometers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/28—Static spectrometers
- H01J49/32—Static spectrometers using double focusing
- H01J49/322—Static spectrometers using double focusing with a magnetic sector of 90 degrees, e.g. Mattauch-Herzog type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
- H01J49/46—Static spectrometers
- H01J49/48—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
Description
本出願は、2004年3月31日に出願された米国仮特許出願第60/577,920号;2004年3月31日に出願された米国仮特許出願第60/557,969号;2004年3月5日に出願された米国仮特許出願第60/550,663号;および2004年3月5日に出願された米国仮特許出願第60/550,664号の利益を主張し、ここで、これら4つの仮出願は、それらの全体が参考として本明細書中に援用される。
(発明の分野)
本発明は、一般に質量分析計の分野に、そして特にその焦点面検出器に関する。
質量分析計は、プロセスモニタリングから生命科学まで多くの適用で広く用いられている。過去60年間の経過に亘って種々の器具が開発されてきた。新たな開発の焦点は、2つの部分からなる:(1)高質量解像度とともになお高い質量範囲のための懸命の努力、および(2)小さな、デスクトップ質量分析計器具の開発に関する。
電子衝撃イオン化、レニウムフィラメント
DC−電圧および永久磁石
イオンエネルギー:0.5−2.5kV DC
質量範囲:2−200D
ファラデーカップ検出器アレイまたはストリップ電荷検出器
10∧11までのゲインを備えた積算操作性増幅器
衝撃係数(デューティサイクル):>99%
読み出し時間:0.03秒〜10秒
感度:ストリップ電荷検出器で約10ppm
さらに、イオン光学要素は、減圧チャンバーフロア内またはチャンバー壁上に取り付けられる。これらの光学要素はまた、減圧ハウジングの一体部分であり得る。小器具では、しかし、これらイオン光学要素は、「光学ベンチ」として作用するベースプレート上に構築され得る。このベンチは、これらイオン光学要素を支持する。このベースプレートは、減圧またはマスターフランジに対して取り付けられ、減圧下で質量分析計を作動するために必要な減圧シールを提供する。上記ベースプレートはまた、それ自体、減圧またはマスターフランジとして作用し得る。
1つの局面では、質量分析計の焦点面検出器アセンブリは、この分析計の焦点面を横切るイオンを検出するような形態のイオン検出器、およびこの焦点面に平行な平面に横たわり、そしてイオンが上記イオン検出器と接触する前にメッシュを通過してこの質量分析計の磁石を出るように位置決めされた電気伝導性のメッシュを備える。このメッシュは、回路接地に対して低電圧電位で維持される。上記メッシュは、上記磁石に直接取り付けられ得るか、またはある程度の距離だけ離れて位置決めされ得る。
上記イオン検出器は、マイクロチャネルプレート電子増倍管、および第1のマイクロチャネルプレート電子増倍管から発せられる電子を検出するように位置決めされ、かつそのような形態にある検出器アレイを含む。磁石を通過するイオンは、上記電子倍増管の第1の面上の負電位によって生成された高負電圧場から上記メッシュによって遮蔽される。
以下の説明では、特定の詳細な説明は、本発明の種々の実施形態の完全な理解を提供するために提示される。しかし、当業者は、実施形態がこれらの詳細なくして実施され得ることを理解する。その他の例では、コンピューター、マイクロプロセッサー、メモリーなどのような、質量分析計にともなう周知の構造は、例示の実施形態の不必要なあいまいにする記載を避けるために詳細には示されないか、または記載されていない。
Claims (33)
- 質量分析計の焦点面検出器アセンブリであって:
該質量分析計の焦点面に平行な第1の平面にある第1の面を有するイオン検出器;および
該質量分析計の焦点面に平行な第2の平面にあり、そして第1の電圧電位を有する電気伝導性メッシュであって、該質量分析計の磁石を出るイオンが、該イオン検出器に接触する前に該メッシュを通過するよう配置されている、メッシュ、を備える、アセンブリ。 - 前記第2の平面が、前記焦点面と同一平面にある、請求項1に記載のアセンブリ。
- 前記第2の平面が、前記焦点面から1ミリメートル未満だけ分離されている、請求項1に記載のアセンブリ。
- 前記第1の平面および第2の平面が、2ミリメートル未満だけ分離されている、請求項1に記載のアセンブリ。
- 前記メッシュが、イオンに対し80%を超える透明度を有する、請求項1に記載のアセンブリ。
- 前記メッシュが前記磁石の面の上に取り付けられ、そしてそれと電気的に連続している、請求項1に記載のアセンブリ。
- 前記第1の電圧電位が、約100ボルト絶対値以下である、請求項1に記載のアセンブリ。
- 前記磁石の面が、第2の電圧電位を有する、請求項1に記載のアセンブリ。
- 前記第1の電圧電位と第2の電圧電位との差異が、500ボルトより少ない、請求項8に記載のアセンブリ。
- 前記イオン検出器が:
第1のマイクロチャネルプレート電子増倍管であって、該第1のマイクロチャネルプレート電子増倍管の第1の面が前記イオン検出器の第1の面を規定する第1のマイクロチャネルプレート電子増倍管;および
該第1のマイクロチャネルプレート電子増倍管の第2の面から発する電子を検出するように位置決めされ、かつ形態とされる検出器アレイ、を備える、請求項1に記載のアセンブリ。 - 前記検出器アレイが、ファラデーカップ検出器アレイ、ストリップ電荷検出器アレイ、およびCCD検出器アレイの中から選択される、請求項10に記載のアセンブリ。
- 前記第1のマイクロチャネルプレート電子増倍管の第1の面が、前記第1の電圧電位に対して負の電圧電位を有する、請求項10に記載のアセンブリ。
- 前記マイクロチャネルプレート電子増倍管の第1の面が、その第2の面に対して負の電圧電位を有する、請求項12に記載のアセンブリ。
- 前記マイクロチャネルプレート電子増倍管の第1の面が、その第2の面に対して−500ボルトより大きい電圧電位を有する、請求項12に記載のアセンブリ。
- 前記イオン検出器が:
前記第1のマイクロチャネルプレート電子増倍管と前記検出器アレトとの間に位置決めされる少なくとも第2のマイクロチャネルプレート電子増倍管を備える、請求項10に記載のアセンブリ。 - 前記第1および第2のマイクロチャネルプレート電子増倍管が、絶縁体によって分離される、請求項15に記載のアセンブリ。
- 前記第1のマイクロチャネルプレート電子増倍管の第2の面および前記第2のマイクロチャネルプレート電子増倍管の第1の面が、2ミリメートル未満だけ分離される、請求項15に記載のアセンブリ。
- 前記第1のマイクロチャネルプレート電子増倍管の第2の面および前記第2のマイクロチャネルプレート電子増倍管の第1の面が、0.5ミリメートル未満だけ分離される、請求項15に記載のアセンブリ。
- 前記イオン検出器が:前記第1のマイクロチャネルプレート電子増倍管および前記検出器アレイが連結されるアセンブリホルダーを備える、請求項10に記載のアセンブリ。
- 前記メッシュが、前記アセンブリホルダーに連結される、請求項19に記載のアセンブリ。
- 前記イオン検出器が:直接電荷測定デバイスを備える、請求項1に記載のアセンブリ。
- 前記直接電荷測定デバイスが、CCD型デバイスまたはファラデーカップ検出器アレイの1つを備える、請求項21に記載のアセンブリ。
- 質量分析計の焦点面検出器アセンブリであって:
第1のマイクロチャネルプレート電子増倍管であって、その第1の面が、該質量分析計の焦点面に平行な第1の平面にあり、そして該質量分析計の磁石に面し、該磁石に対して100ボルト未満の電圧差異を有する第1のマイクロチャネルプレート電子増倍管;および
該第1のマイクロチャネルプレート電子増倍管の第2の面から発する電子を検出するように位置決めされ、かつ形態にある検出器アレイ、を備える、アセンブリ。 - さらに:
少なくとも、第1のマイクロチャネルプレート電子増倍管および前記検出器アレイとの間に位置決めされる第2のマイクロチャネルプレート電子増倍管を備える、請求項1に記載のアセンブリ。 - 質量分析計であって:
焦点合わせされたストリームでイオンを発するような形態であるイオン供給源;
該イオンのストリームのイオンの少なくとも一部分を受容するような形態である焦点面検出器;および
該焦点面検出器における電圧電位から、該イオンが該分析計の焦点面に到達するまで該ストリームのイオンを遮蔽するための遮蔽手段、を備える、質量分析計。 - 前記遮蔽手段が、前記質量分析計の焦点面に平行な平面中にある電気伝導性メッシュを備える、請求項25に記載の質量分析計。
- 前記メッシュが、前記質量分析計の回路接地に対し100ボルト未満の電圧電位を有する、請求項26に記載の質量分析計。
- 前記焦点面検出器が:
少なくとも1つのマイクロチャネルプレート電子増倍管であって、その第1の面が、前記質量分析計の焦点面に平行な平面中にあるマイクロチャネルプレート電子増倍管;および
該マイクロチャネルプレート電子増倍管の第2の面から発する電子を検出するように位置決めされ、かつ形態である検出器アレイを備える、請求項25に記載の質量分析計。 - 前記遮蔽手段が、前記マイクロチャネルプレート電子増倍管の第1の面を構成し、該第1の面が、前記質量分析計の回路接地に対して100ボルト未満の電圧電位を有する、請求項28に記載の質量分析計。
- イオンのビームを生成する工程;
個々のイオンの電荷/質量比に従って該ビームのイオンを曲げる工程;
該ビームのイオンに影響し得る電場を生成する工程;および
該電場から該ビームのイオンを遮蔽する工程、を包含する、方法。 - 前記遮蔽する工程が、遮蔽されるイオンと前記電場の供給源との間に置かれたメッシュに低電圧電荷を与えることを含む、請求項30に記載の方法。
- 前記低電圧電荷が、回路接地に等しい、請求項30に記載の方法。
- 前記電場の供給源が、マイクロチャネルプレート電子増倍管である、請求項30に記載の方法。
Applications Claiming Priority (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US55066304P | 2004-03-05 | 2004-03-05 | |
US55066404P | 2004-03-05 | 2004-03-05 | |
US60/550,664 | 2004-03-05 | ||
US60/550,663 | 2004-03-05 | ||
US55796904P | 2004-03-31 | 2004-03-31 | |
US55792004P | 2004-03-31 | 2004-03-31 | |
US60/557,920 | 2004-03-31 | ||
US60/557,969 | 2004-03-31 | ||
PCT/US2005/007128 WO2005088672A2 (en) | 2004-03-05 | 2005-03-04 | Focal plane detector assembly of a mass spectrometer |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007527601A true JP2007527601A (ja) | 2007-09-27 |
JP2007527601A5 JP2007527601A5 (ja) | 2008-04-17 |
JP4931793B2 JP4931793B2 (ja) | 2012-05-16 |
Family
ID=34961731
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007502023A Active JP4931793B2 (ja) | 2004-03-05 | 2005-03-04 | 質量分析計の焦点面検出器アセンブリ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20060011829A1 (ja) |
EP (1) | EP1721330A2 (ja) |
JP (1) | JP4931793B2 (ja) |
WO (2) | WO2005088671A2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010205699A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 電子増倍器及び電子検出器 |
JP2010238502A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Hamamatsu Photonics Kk | 質量分析装置 |
WO2021024505A1 (ja) * | 2019-08-02 | 2021-02-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | イオン検出器、測定装置および質量分析装置 |
JP2021027033A (ja) * | 2020-07-08 | 2021-02-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | イオン検出器、測定装置および質量分析装置 |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU766473B2 (en) * | 1998-10-06 | 2003-10-16 | University Of Washington | Charged particle beam detection system |
DE102006004478A1 (de) * | 2006-01-30 | 2007-08-02 | Spectro Analytical Instruments Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zur Detektion von Teilchen |
WO2007138679A1 (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-06 | Shimadzu Corporation | 質量分析装置 |
US7339169B1 (en) | 2006-11-29 | 2008-03-04 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Sample rotating turntable kit for infrared spectrometers |
DE102007052794A1 (de) * | 2007-11-02 | 2009-05-07 | Schwarzer, Robert, Prof. Dr. | Vorrichtung zur Kristallorientierungsmessung mittels Ionen-Blocking-Pattern und einer fokussierten Ionensonde |
US8549893B2 (en) | 2009-03-06 | 2013-10-08 | Thermo Finnigan Llc | System and method for a gas chromatograph to mass spectrometer interface |
GB2478984A (en) | 2010-03-26 | 2011-09-28 | Hexcel Composites Ltd | Curable composite material |
US11081331B2 (en) * | 2015-10-28 | 2021-08-03 | Duke University | Mass spectrometers having segmented electrodes and associated methods |
US10872755B2 (en) * | 2016-03-17 | 2020-12-22 | Leidos, Inc. | Low power mass analyzer and system integrating same for chemical analysis |
MX2020011575A (es) | 2018-04-30 | 2021-01-20 | Leidos Inc | Un sistema mejorado de interrogacion de masa de baja energia y ensayo para determinar niveles de vitamina d. |
GB201808892D0 (en) | 2018-05-31 | 2018-07-18 | Micromass Ltd | Mass spectrometer |
GB201808949D0 (en) | 2018-05-31 | 2018-07-18 | Micromass Ltd | Bench-top time of flight mass spectrometer |
US11373849B2 (en) | 2018-05-31 | 2022-06-28 | Micromass Uk Limited | Mass spectrometer having fragmentation region |
GB201808890D0 (en) | 2018-05-31 | 2018-07-18 | Micromass Ltd | Bench-top time of flight mass spectrometer |
GB201808912D0 (en) | 2018-05-31 | 2018-07-18 | Micromass Ltd | Bench-top time of flight mass spectrometer |
GB201808894D0 (en) | 2018-05-31 | 2018-07-18 | Micromass Ltd | Mass spectrometer |
GB201808936D0 (en) | 2018-05-31 | 2018-07-18 | Micromass Ltd | Bench-top time of flight mass spectrometer |
EP3803950A1 (en) | 2018-05-31 | 2021-04-14 | Micromass UK Limited | Mass spectrometer |
CN109031452B (zh) * | 2018-06-29 | 2019-11-12 | 北京空间机电研究所 | 一种多谱段探测器的拼接焦面组件及拼接方法 |
CN108962717B (zh) * | 2018-08-09 | 2024-01-26 | 金华职业技术学院 | 一种用于研究大分子的质谱仪及研究电荷量方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57191952A (en) * | 1981-05-22 | 1982-11-25 | Jeol Ltd | Mass spectrograph |
JPH02270256A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-05 | Jeol Ltd | 同時検出型質量分析装置 |
US5801380A (en) * | 1996-02-09 | 1998-09-01 | California Institute Of Technology | Array detectors for simultaneous measurement of ions in mass spectrometry |
JP2001015011A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Horiba Ltd | 強誘電体型光電デバイス |
JP2001517858A (ja) * | 1997-09-23 | 2001-10-09 | サイファーゲン・バイオシステムズ・インコーポレーテッド | 飛行時間型質量分析計用2次イオン発生/検出器 |
WO2002058105A2 (en) * | 2001-01-16 | 2002-07-25 | California Institute Of Technology | Direct detection of low-energy charged particles using metal oxide semiconductor circuitry |
WO2003032358A1 (en) * | 2001-10-09 | 2003-04-17 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Intensified hybrid solid-state sensor |
JP2004533611A (ja) * | 2001-05-04 | 2004-11-04 | アメルシャム・バイオサイエンシーズ・アクチボラグ | 高速可変ゲインシステムおよび該システムの制御方法 |
Family Cites Families (77)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2309414A (en) | 1939-10-24 | 1943-01-26 | Gen Electric | Damping magnet system |
GB650861A (en) | 1948-10-01 | 1951-03-07 | Jack Blears | Improvements relating to magnet systems for mass spectrometers |
GB674729A (en) | 1949-04-13 | 1952-07-02 | Mullard Radio Valve Co Ltd | Mass spectrographs and like apparatus |
US2964627A (en) | 1957-07-01 | 1960-12-13 | Trub Tauber & Co A G | Double-focussing spectrometer for electrically charged particles |
US3478204A (en) | 1964-08-24 | 1969-11-11 | Jean R Berry | Mass spectrometer ion source having a laser to cause autoionization of gas |
US3521054A (en) | 1968-02-29 | 1970-07-21 | Webb James E | Analytical photoionization mass spectrometer with an argon gas filter between the light source and monochrometer |
US3555331A (en) | 1968-08-08 | 1971-01-12 | Susquehanna Corp | Apparatus for maintaining vacuum conditions by molecular depletion of gas |
SE358254B (ja) | 1971-09-15 | 1973-07-23 | K Linderoth | |
US3898456A (en) | 1974-07-25 | 1975-08-05 | Us Energy | Electron multiplier-ion detector system |
US4016421A (en) | 1975-02-13 | 1977-04-05 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Analytical apparatus with variable energy ion beam source |
US4071848A (en) | 1976-11-26 | 1978-01-31 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Thinned aperiodic antenna arrays with improved peak sidelobe level control |
US4182984A (en) | 1978-05-05 | 1980-01-08 | Westinghouse Electric Corp. | Magnetic damping assembly with temperature compensator for watthour meters |
DE3014053A1 (de) | 1980-04-11 | 1981-10-15 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 3400 Göttingen | Regelanordnung fuer ein massenspektrometer |
US4456898A (en) | 1982-02-11 | 1984-06-26 | General Electric Company | Thermal compensators for magnetic circuits |
FR2544914B1 (fr) * | 1983-04-19 | 1986-02-21 | Cameca | Perfectionnements apportes aux spectrometres de masse |
US4476732A (en) * | 1983-04-21 | 1984-10-16 | Varian Associates, Inc. | Septumless jet stream on-column injector for chromatography |
DE3510378A1 (de) | 1985-03-22 | 1986-10-02 | Coulston International Corp., Albany, N.Y. | Verfahren zur analytischen bestimmung von organischen stoffen |
DE3710935C2 (de) * | 1986-04-23 | 1994-08-18 | Finnigan Mat Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Massenspektrometers sowie Massenspektrometer zur Durchführung des Verfahrens |
US4855747A (en) | 1987-08-17 | 1989-08-08 | Trustees Of The University Of Pennsylvania | Method of target imaging and identification |
US4859848A (en) | 1987-10-09 | 1989-08-22 | Masstron, Inc. | Mass spectrometer apparatus |
FR2640697B1 (fr) | 1988-12-16 | 1993-01-08 | Cit Alcatel | Ensemble de pompage pour l'obtention de vides eleves |
FR2640821B1 (fr) | 1988-12-16 | 1991-05-31 | Thomson Csf | Antenne a couverture tridimensionnelle et balayage electronique, du type reseau volumique rarefie aleatoire |
US5299577A (en) | 1989-04-20 | 1994-04-05 | National Fertility Institute | Apparatus and method for image processing including one-dimensional clean approximation |
US5313061A (en) | 1989-06-06 | 1994-05-17 | Viking Instrument | Miniaturized mass spectrometer system |
US5231591A (en) | 1989-09-11 | 1993-07-27 | Nellcor Incorporated | Agent gas analyzer and method of use |
US5046018A (en) | 1989-09-11 | 1991-09-03 | Nellcor, Inc. | Agent gas analyzer and method of use |
US4988867A (en) | 1989-11-06 | 1991-01-29 | Galileo Electro-Optics Corp. | Simultaneous positive and negative ion detector |
GB8928917D0 (en) | 1989-12-21 | 1990-02-28 | Vg Instr Group | Method and apparatus for surface analysis |
US5135870A (en) | 1990-06-01 | 1992-08-04 | Arizona Board Of Regents | Laser ablation/ionizaton and mass spectrometric analysis of massive polymers |
GB2249426A (en) | 1990-10-31 | 1992-05-06 | Dennis Leigh Technology Limite | Mass spectrometer |
JPH04326943A (ja) | 1991-04-25 | 1992-11-16 | Hitachi Ltd | 真空排気システム及び排気方法 |
US5461235A (en) | 1991-06-21 | 1995-10-24 | Cottrell; John S. | Mass spectrometry apparatus and method relating thereto |
US5382793A (en) | 1992-03-06 | 1995-01-17 | Hewlett-Packard Company | Laser desorption ionization mass monitor (LDIM) |
US5264813A (en) | 1992-05-19 | 1993-11-23 | Caterpillar Inc. | Force motor having temperature compensation characteristics |
US5317151A (en) | 1992-10-30 | 1994-05-31 | Sinha Mahadeva P | Miniaturized lightweight magnetic sector for a field-portable mass spectrometer |
US5331158A (en) | 1992-12-07 | 1994-07-19 | Hewlett-Packard Company | Method and arrangement for time of flight spectrometry |
US5490765A (en) | 1993-05-17 | 1996-02-13 | Cybor Corporation | Dual stage pump system with pre-stressed diaphragms and reservoir |
US5386115A (en) | 1993-09-22 | 1995-01-31 | Westinghouse Electric Corporation | Solid state micro-machined mass spectrograph universal gas detection sensor |
GB9409953D0 (en) * | 1994-05-17 | 1994-07-06 | Fisons Plc | Mass spectrometer and electron impact ion source therefor |
JP3128053B2 (ja) * | 1995-05-30 | 2001-01-29 | 株式会社島津製作所 | ガスクロマトグラフ質量分析装置 |
DE19524609A1 (de) | 1995-07-06 | 1997-01-09 | Leybold Ag | Vorrichtung zum raschen Evakuieren einer Vakuumkammer |
US6135971A (en) | 1995-11-09 | 2000-10-24 | Brigham And Women's Hospital | Apparatus for deposition of ultrasound energy in body tissue |
US5808299A (en) | 1996-04-01 | 1998-09-15 | Syagen Technology | Real-time multispecies monitoring by photoionization mass spectrometry |
JP3833263B2 (ja) | 1996-04-12 | 2006-10-11 | ザ パーキン―エルマー コーポレイション | イオン検出器、およびそれを用いた計器 |
US6051832A (en) | 1996-08-20 | 2000-04-18 | Graseby Dynamics Limited | Drift chambers |
DE19644713A1 (de) * | 1996-10-28 | 1998-05-07 | Bruker Franzen Analytik Gmbh | Hochauflösender Hochmassendetektor für Flugzeitmassenspektrometer |
US6316768B1 (en) | 1997-03-14 | 2001-11-13 | Leco Corporation | Printed circuit boards as insulated components for a time of flight mass spectrometer |
US5929819A (en) | 1996-12-17 | 1999-07-27 | Hughes Electronics Corporation | Flat antenna for satellite communication |
US6191419B1 (en) | 1997-08-06 | 2001-02-20 | California Institute Of Technology | Machined electrostatic sector for mass spectrometer |
WO1999017865A1 (en) | 1997-10-07 | 1999-04-15 | University Of Washington | Magnetic separator for linear dispersion and method for producing the same |
US6403956B1 (en) | 1998-05-01 | 2002-06-11 | California Institute Of Technology | Temperature compensation for miniaturized magnetic sector |
US6155097A (en) | 1998-05-29 | 2000-12-05 | Varian, Inc. | Method and apparatus for selectively extracting and compressing trace samples from a carrier to enhance detection |
US6195705B1 (en) | 1998-06-30 | 2001-02-27 | Cisco Technology, Inc. | Mobile IP mobility agent standby protocol |
US6300626B1 (en) | 1998-08-17 | 2001-10-09 | Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Time-of-flight mass spectrometer and ion analysis |
AU766473B2 (en) | 1998-10-06 | 2003-10-16 | University Of Washington | Charged particle beam detection system |
US6198096B1 (en) | 1998-12-22 | 2001-03-06 | Agilent Technologies, Inc. | High duty cycle pseudo-noise modulated time-of-flight mass spectrometry |
US6635883B2 (en) | 1999-12-06 | 2003-10-21 | Epion Corporation | Gas cluster ion beam low mass ion filter |
US6614019B2 (en) * | 2000-01-20 | 2003-09-02 | W. Bruce Feller | Mass spectrometry detector |
US6858839B1 (en) * | 2000-02-08 | 2005-02-22 | Agilent Technologies, Inc. | Ion optics for mass spectrometers |
US6831276B2 (en) | 2000-05-08 | 2004-12-14 | Philip S. Berger | Microscale mass spectrometric chemical-gas sensor |
EP1287547A2 (en) | 2000-05-31 | 2003-03-05 | The Johns Hopkins University | Pulsed laser sampling for mass spectrometer system |
RU2182347C2 (ru) | 2000-08-04 | 2002-05-10 | Институт физики полупроводников СО РАН | Акустооптический перестраиваемый фильтр |
US6847039B2 (en) * | 2001-03-28 | 2005-01-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Photodetecting device, radiation detecting device, and radiation imaging system |
TW589723B (en) * | 2001-09-10 | 2004-06-01 | Ebara Corp | Detecting apparatus and device manufacturing method |
US6649908B2 (en) | 2001-09-20 | 2003-11-18 | Agilent Technologies, Inc. | Multiplexing capillary array for atmospheric pressure ionization-mass spectrometry |
US6646256B2 (en) | 2001-12-18 | 2003-11-11 | Agilent Technologies, Inc. | Atmospheric pressure photoionization source in mass spectrometry |
WO2003071569A2 (en) | 2002-02-20 | 2003-08-28 | University Of Washington | Analytical instruments using a pseudorandom array of sample sources, such as a micro-machined mass spectrometer or monochromator |
WO2003077281A1 (en) * | 2002-03-08 | 2003-09-18 | University Of Washington | Preparative separation of mixtures by mass spectrometry |
US6680477B2 (en) | 2002-05-31 | 2004-01-20 | Battelle Memorial Institute | High spatial resolution matrix assisted laser desorption/ionization (MALDI) |
AU2003295316A1 (en) | 2002-05-31 | 2004-04-19 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Methods and devices for laser desorption chemical ionization |
KR100449876B1 (ko) | 2002-12-05 | 2004-09-22 | 삼성전기주식회사 | 블록형 다채널 광신호를 연결할 수 있는 다층인쇄회로기판 및 그 방법 |
KR100451635B1 (ko) | 2002-12-10 | 2004-10-08 | 삼성전기주식회사 | 섬유 블록과 파이프 블록, 및 이를 이용하여 다층인쇄회로기판의 층간 광신호를 연결하는 방법 |
US20060076482A1 (en) | 2002-12-13 | 2006-04-13 | Hobbs Steven E | High throughput systems and methods for parallel sample analysis |
KR100525223B1 (ko) | 2002-12-24 | 2005-10-28 | 삼성전기주식회사 | 장거리 신호 전송이 가능한 광 인쇄회로기판 |
KR100499005B1 (ko) | 2002-12-27 | 2005-07-01 | 삼성전기주식회사 | 다채널 블록형 광원소자가 패키징된 인쇄회로기판 |
US20040222374A1 (en) | 2003-05-07 | 2004-11-11 | Scheidemann Adi A. | Ion detector array assembly and devices comprising the same |
US6979818B2 (en) | 2003-07-03 | 2005-12-27 | Oi Corporation | Mass spectrometer for both positive and negative particle detection |
-
2005
- 2005-03-04 EP EP05732599A patent/EP1721330A2/en not_active Withdrawn
- 2005-03-04 WO PCT/US2005/007197 patent/WO2005088671A2/en active Application Filing
- 2005-03-04 US US11/071,992 patent/US20060011829A1/en not_active Abandoned
- 2005-03-04 US US11/073,426 patent/US7550722B2/en active Active
- 2005-03-04 JP JP2007502023A patent/JP4931793B2/ja active Active
- 2005-03-04 WO PCT/US2005/007128 patent/WO2005088672A2/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57191952A (en) * | 1981-05-22 | 1982-11-25 | Jeol Ltd | Mass spectrograph |
JPH02270256A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-05 | Jeol Ltd | 同時検出型質量分析装置 |
US5801380A (en) * | 1996-02-09 | 1998-09-01 | California Institute Of Technology | Array detectors for simultaneous measurement of ions in mass spectrometry |
JP2001517858A (ja) * | 1997-09-23 | 2001-10-09 | サイファーゲン・バイオシステムズ・インコーポレーテッド | 飛行時間型質量分析計用2次イオン発生/検出器 |
JP2001015011A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Horiba Ltd | 強誘電体型光電デバイス |
WO2002058105A2 (en) * | 2001-01-16 | 2002-07-25 | California Institute Of Technology | Direct detection of low-energy charged particles using metal oxide semiconductor circuitry |
JP2004533611A (ja) * | 2001-05-04 | 2004-11-04 | アメルシャム・バイオサイエンシーズ・アクチボラグ | 高速可変ゲインシステムおよび該システムの制御方法 |
WO2003032358A1 (en) * | 2001-10-09 | 2003-04-17 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Intensified hybrid solid-state sensor |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010205699A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 電子増倍器及び電子検出器 |
JP2010238502A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Hamamatsu Photonics Kk | 質量分析装置 |
WO2021024505A1 (ja) * | 2019-08-02 | 2021-02-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | イオン検出器、測定装置および質量分析装置 |
JP2021026866A (ja) * | 2019-08-02 | 2021-02-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | イオン検出器、測定装置および質量分析装置 |
JP2021027033A (ja) * | 2020-07-08 | 2021-02-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | イオン検出器、測定装置および質量分析装置 |
JP7252179B2 (ja) | 2020-07-08 | 2023-04-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | イオン検出器、測定装置および質量分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060011826A1 (en) | 2006-01-19 |
WO2005088671A3 (en) | 2006-11-09 |
EP1721330A2 (en) | 2006-11-15 |
WO2005088672A2 (en) | 2005-09-22 |
US7550722B2 (en) | 2009-06-23 |
WO2005088672A3 (en) | 2006-08-10 |
US20060011829A1 (en) | 2006-01-19 |
JP4931793B2 (ja) | 2012-05-16 |
WO2005088671A2 (en) | 2005-09-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4931793B2 (ja) | 質量分析計の焦点面検出器アセンブリ | |
US9543138B2 (en) | Ion optical system for MALDI-TOF mass spectrometer | |
JP5301285B2 (ja) | 集束型質量分析計イオンガイド、分光計および方法 | |
US8101923B2 (en) | System and method for spatially-resolved chemical analysis using microplasma desorption and ionization of a sample | |
EP2297763B1 (en) | Charged particle detection system and method | |
JP6254612B2 (ja) | 最適化された磁気分路を備えた質量分析器 | |
US5464975A (en) | Method and apparatus for charged particle collection, conversion, fragmentation or detection | |
US20130092832A1 (en) | Combined distance-of-flight and time-of-flight mass spectrometer | |
JPH11345591A (ja) | サイクロイド質量分析計及びそれに使用されるイオナイザ― | |
JP6535250B2 (ja) | 荷電粒子検出器およびその制御方法 | |
JP2023526078A (ja) | 高性能荷電粒子検出のための装置および方法 | |
US9564306B2 (en) | Mass spectrometer with improved magnetic sector | |
JP6676383B2 (ja) | 飛行時間計測型質量分析装置 | |
AU2007201217A1 (en) | Ion detection system with neutral noise suppression | |
JP6717429B2 (ja) | イオン検出装置及び質量分析装置 | |
US9640378B2 (en) | Time-of-flight mass spectrometer | |
EP1533828A1 (en) | Ion detector | |
JP2015519717A (ja) | 小型の飛行時間型質量分析計 | |
JPWO2018092271A1 (ja) | イオン分析装置 | |
WO2019244805A1 (ja) | Mcpアセンブリおよび荷電粒子検出器 | |
JP2022545651A (ja) | 焦点面検出器 | |
JP2006221876A (ja) | イオン検出器、イオン検出器を備える質量分析計、イオン検出器を操作する方法 | |
US9589776B2 (en) | Ruggedized advanced identification mass spectrometer | |
Appelhans et al. | Wide dispersion multiple collector isotope ratio mass spectrometer | |
RU2272334C1 (ru) | Устройство для анализа газовой смеси |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080228 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110420 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110614 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111017 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120202 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4931793 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150224 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |