JP2010205699A - 電子増倍器及び電子検出器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】MCP2の周縁部23とMCP3の周縁部33同士を導電性のスペーサ層7を介して接合することによって、チャンネル部22,32同士の間に間隙12を形成する。これによって、特に高いゲインが必要とされる用途に用いる場合は、スペーサ層7の厚みを調節することによって、間隙12を大きくすることでゲインを増大させることができる。また、ゲインの増大と共に時間特性も要求される用途に用いる場合は、スペーサ層7の厚みを調節することによって、所望の特性が得られるように間隙12の大きさを調節することができる。以上によって、スペーサ層7の厚みを調節するだけで、用途に応じた特性を容易に得ることができる。
【選択図】図4
Description
Claims (9)
- 積層された複数のマイクロチャンネルプレートと、
前記積層された複数のマイクロチャンネルプレートの電子入射面側に配置される入力側電極板と、を備え、
前記マイクロチャンネルプレートは、厚み方向に貫通する複数のチャンネルが形成されるチャンネル部、及び前記チャンネル部を取り囲む周縁部を有すると共に、各々の前記周縁部同士が導電性のスペーサ層を介して接合されることによって、各々の前記チャンネル部同士の間に形成される間隙を有し、
前記入力側電極板は、環状に形成されて、前記マイクロチャンネルプレートの前記周縁部に接合されることを特徴とする電子増倍器。 - 前記積層された複数のマイクロチャンネルプレートの電子出射面側に配置される出力側電極板を更に備え、
前記出力側電極板は、環状に形成されて、前記マイクロチャンネルプレートの前記周縁部に接合されることを特徴とする請求項1記載の電子増倍器。 - 前記入力側電極板及び前記出力側電極板は、前記マイクロチャンネルプレートの前記周縁部よりも大きな外周を有することを特徴とする請求項2記載の電子増倍器。
- 前記スペーサ層を介して互いに接合される各々の前記周縁部の接合面は、前記スペーサ層を介して互いに離間し、離間距離が内周側から外周側へ向かって大きくなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の電子増倍器。
- 前記周縁部には、前記チャンネル部が前記間隙側において厚み方向に窪むことにより、内周縁側に角部が形成されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の電子増倍器。
- 前記スペーサ層は、熱可塑性接着剤を含んで構成されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の電子増倍器。
- 前記スペーサ層は、熱硬化性接着剤を含んで構成されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の電子増倍器。
- 前記スペーサ層は、金属製のスペーサ材を備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の電子増倍器。
- 請求項1〜8のいずれか一項記載の電子増倍器を備え、前記電子増倍器で増倍させて電子を検出することを特徴とする電子検出器。
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