JP5662393B2 - 電子ビーム検出器、電子ビーム処理装置及び電子ビーム検出器の製造方法 - Google Patents
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Description
図3は、第1実施形態に係る電子ビーム検出器の概要を示す斜視図である。
第2の支持体15にも開口16aと連通する開口15aが形成されており、これらの開口15a、16aにより遮蔽板1の開口1aが形成される。さらに、第1の支持体13及びエッチストッパ膜14には、遮蔽体膜16の開口16aに対応する部分に、開口16aよりも大きな径の開口13a、14aが形成されている。
図7は、第2実施形態に係る電子ビーム検出器の断面図である。なお、本実施形態の電子ビーム検出器20において、図4の電子ビーム検出器10と同一の構成については同一の符号を付してその説明を省略する。
図8(a)、(b)は、第3実施形態に係る電子ビーム検出器の製造方法を示す断面図である。なお、本実施形態の電子ビーム検出器において、図4の電子ビーム検出器10と同一の構成については同一の符号を付してその説明を省略する。
図9は、第4実施形態に係る電子ビーム検出器の断面図である。なお、本実施形態の電子ビーム検出器40において、図4の電子ビーム検出器10と同一の構成については同一の符号を付してその説明を省略する。
図11は、第5実施形態に係る電子ビーム検出器を示す断面図である。なお、本実施形態の電子ビーム検出器50において、図7に示す電子ビーム検出器20と同様の構成には同一の符号を付してその説明を省略する。
図14は、第6実施形態に係る電子ビーム検出器を示す断面図である。
Claims (11)
- 複数の開口が形成された平板状の第1の支持体と、前記第1の支持体の上に積層され前記開口と同じ位置に開口を有する遮蔽体膜とを含む遮蔽板と、
前記遮蔽板と平行に配置され、前記第1の支持体の開口と同じ位置に開口が形成された平板状の第2の支持体と、前記第2の支持体の上に積層され前記第2の支持体の開口を塞ぐとともに前記遮蔽板を通過した電子ビームを散乱させる散乱体膜とを含む散乱体と、
前記遮蔽板及び前記散乱体膜に平行に配置され、前記散乱体膜を透過した電子ビームを電気信号に変換する平板状のビーム検出素子と、
を有することを特徴とする電子ビーム検出器。 - 前記遮蔽板の前記第1の支持体と前記散乱体の第2の支持体とが向かい合う向きに配置されていることを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム検出器。
- 前記遮蔽板の第1の支持体と、前記散乱体の第2の支持体とが密着していることを特徴とする請求項2に記載の電子ビーム検出器。
- 前記散乱体と前記ビーム検出素子とがスペーサ膜を介して一体的に接合されていることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の電子ビーム検出器。
- 複数の開口が形成された平板状の第1の支持体と、前記第1の支持体の上に積層され前記開口と同じ位置に開口を有する遮蔽体膜とを含む遮蔽板と、
前記遮蔽板と平行に配置され、前記第1の支持体の下に接合されて前記遮蔽板を通過した電子ビームを散乱させる散乱体膜と、
前記遮蔽板及び散乱体膜に平行に配置され、前記散乱体膜を透過した電子ビームを電気信号に変換する平板状のビーム検出素子と、
を有することを特徴とする電子ビーム検出器。 - 複数の開口が形成された第1の支持体と、
前記支持体の上に積層され、前記第1の支持体の開口を塞ぐ散乱体膜と、
前記散乱体膜の上に積層され、前記第1の支持体の開口の上方に開口を有する遮蔽体膜と、
前記第1の支持体と平行に配置され、前記散乱体膜を透過した電子ビームを電気信号に変換する平板状のビーム検出素子と、
を有することを特徴とする電子ビーム検出器。 - 前記散乱体膜と前記第1の支持体との間に、前記散乱体膜及び前記第1の支持体と異なる材料によって形成されてなるエッチストッパ膜が形成されていることを特徴とする請求項6に記載の電子ビーム検出器。
- 前記支持体の下面が金属膜で覆われていることを特徴とする請求項7に記載の電子ビーム検出器。
- 電子ビームを電気信号に変換する平板状のビーム検出素子と、
前記ビーム検出素子の表面に形成されたシリコン膜よりなる散乱体膜と、
前記散乱体膜の上に形成され、複数の開口を有する遮蔽体膜と、
を有する電子ビーム検出器。 - 電子ビームを照射させる電子ビーム照射手段と、
前記電子ビームが照射される試料が載置される試料ステージと、
前記試料ステージ上に配置され、前記電子ビームの特性を検出する電子ビーム検出器を備えた電子ビーム処理装置であって、
前記電子ビーム検出器は、複数の開口が形成された平板状の第1の支持体と、前記第1の支持体の上に積層され前記開口と同じ位置に開口を有する遮蔽体膜とを含む遮蔽板と、前記遮蔽板と平行に配置され、前記第1の支持体の開口と同じ位置に開口が形成された平板状の第2の支持体と、前記第2の支持体の上に積層され前記第2の支持体の開口を塞ぐとともに前記遮蔽板を通過した電子ビームを散乱させる散乱体膜とを含む散乱体と、前記遮蔽板及び前記散乱体膜に平行に配置され、前記散乱体膜を透過した電子ビームを電気信号に変換する平板状のビーム検出素子と、を有することを特徴とする電子ビーム処理装置。 - 複数の開口が形成された平板状の第1の支持体と、前記第1の支持体の上に積層され前記開口と同じ位置に開口を有する遮蔽体膜とを含む遮蔽板を作製する工程と、
前記第1の支持体の開口と同じ位置に開口が形成された平板状の第2の支持体と、前記第2の支持体の上に積層され前記遮蔽板を通過した電子ビームを散乱させる散乱体膜とを含む散乱体を作製する工程と、
前記散乱体膜を透過した電子ビームを電気信号に変換する平板状のビーム検出素子を用意する工程と、
前記遮蔽板、散乱体及びビーム検出素子を平行に並べて容器に固定する工程と、を有する電子ビーム検出器の製造方法であって、
前記散乱体を作製する工程は、
平板状の第2の支持体を用意する工程と、
前記第2の支持体の上に、前記第2の支持体と異なる材料からなるエッチストッパ膜を形成する工程と、
前記エッチストッパ膜の上に前記エッチストッパ膜と異なる材料からなる散乱体膜を形成する工程と、
エッチングにより、前記第2の支持体の所定箇所に開口を形成する工程と、
前記第2の支持体の開口に露出したエッチストッパ膜を選択的に除去する工程と、を有することを特徴とする電子ビーム検出器の製造方法。
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