JP2009289693A - 荷電粒子検出器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 応答速度が速くリニアリティを維持できる出力範囲を広くすることが可能なイオン検出器を提供する。
【解決手段】 このイオン検出器は、MCP13と、複数のスリットをそれぞれ有する複数の平板状ダイノードDY1〜DY9とを備えている。複数の平板状ダイノードDY1〜DY9は、MCP13の電子出力面13sに対して平行に、スペーサSを介して積層され、初段の平板状ダイノードDY1は電子出力面13sに平行に対向している。このイオン検出器によれば、mVに至るリニアリティを有する出力信号が得られ、そのパルス幅は600ps程度に短くすることができる。
【選択図】 図2
【解決手段】 このイオン検出器は、MCP13と、複数のスリットをそれぞれ有する複数の平板状ダイノードDY1〜DY9とを備えている。複数の平板状ダイノードDY1〜DY9は、MCP13の電子出力面13sに対して平行に、スペーサSを介して積層され、初段の平板状ダイノードDY1は電子出力面13sに平行に対向している。このイオン検出器によれば、mVに至るリニアリティを有する出力信号が得られ、そのパルス幅は600ps程度に短くすることができる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、質量分析装置等の真空チャンバ内に配置されイオンや電子を検出する荷電粒子検出器に関する。
質量分析装置は、特定の場の中を飛行するイオンの軌跡又は速度が、質量によって異なることを利用して、イオンの質量分析を行っている。すなわち、イオンを電界及び/又は磁界によって偏向した場合には、偏向量は質量に応じて異なるので、イオン検出器へのイオンの入射位置が質量毎に異なり、また、イオンを電界中で加速した場合には、加速されたイオンの飛行速度が質量によって異なるので、イオン検出器へのイオンの入射タイミングが質量毎に異なる。
後者の原理を利用した質量分析装置は、TOF(Time Of Flight)型の質量分析装置と言われている。TOF型の質量分析装置では、質量が異なっているために、その飛行速度の異なるイオンをイオン検出器で検出し、イオン検出器にイオンが到達するまでの時間を計測している。このようなTOF型の質量分析装置は、例えば特許文献1に記載されており、イオン検出器としてはマイクロチャンネルプレート(MCP)が用いられている。
米国特許5,770,858号明細書
しかしながら、従来のイオン検出器では、出力のリニアリティが維持できる出力範囲が制限されている。これはMCPが高抵抗であるため、MCPからの出力電子量が所定値を超えると、MCPから単位時間当り出力される電子が枯渇し、リニアリティを維持できなくためである。特に、MCPの高速応答性を維持した状態でリニアリティの高い出力が得られるイオン検出器があれば、イオンの到達時間を更に精密に分離することができるので、高精度な質量分析器に適用できる。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、応答速度が速くリニアリティを維持できる出力範囲を広くすることが可能なイオン検出器を提供することを目的とする。
上述の課題を解決するため、本発明に係る荷電粒子検出器は、マイクロチャンネルプレート(MCP)と、複数のスリットをそれぞれ有する複数の平板状ダイノードと、を備え、複数の平板状ダイノードは、MCPの電子出力面に対して平行に、スペーサを介して積層され、初段の平板状ダイノードは電子出力面に平行に対向していることを特徴とする。
従来のMCPでは、MCPから単位時間当りに出射される電子量が増加すると、MCP内の電子が枯渇し、MCPに入射するイオン量に対する出力電子量のリニアリティを維持できなくなる傾向がある。一方、MCPから出力される電子量が枯渇しないように、MCPの増倍率を低く設定しておけば、リニアリティを維持することができる。本発明では、MCPの後段には、平板状のダイノードを積層して電子を更に増倍することとしたため、電子が十分に増倍されつつも、広いダイナミックレンジにおいてリニアリティを維持することができる。
特に、積層された平板状のダイノードのそれぞれは、複数のスリットを有しており、スリットの内面で電子は増倍され、初段の平板状ダイノードはMCPの電子出力面に平行に対向している。したがって、平板状ダイノードの面内における各位置における電子は一緒に進行し、電子はスリットの内面に衝突しつつも、大きく蛇行することなく、ダイノードの厚み方向に沿って進行するので、本発明の荷電粒子検出器によれば、出力のリニアリティを維持しつつも応答速度を速くすることが可能となる。
また、初段の前記ダイノードの対向するMCPの各チャンネルは、MCPの厚み方向に対して傾斜しており、各チャンネルの中心を通る直線を第1直線とし、スリットの長手方向及び平板状ダイノード厚み方向の双方に垂直な方向を幅方向とし、初段の平板状ダイノードのスリットにおける電子入射面側の開口の幅方向の中点と、電子出射側の開口の幅方向の中点を結ぶ直線を第2直線とすると、第1直線の傾きと、第2直線の傾きとは、厚み方向に対して互いに逆向きであることが好ましい。
この場合、第1及び第2直線の傾きが互いに逆であるため、第1直線に沿ってMCPから出射した電子は、第2直線に沿うことになるスリットの内面に効率的に入射することになるため、初段のダイノードにおける電子の収集効率を向上させることができる。
また、上述の荷電粒子検出器は、MCPの電子出力面側の電極が、その開口端に固定された金属筒体と、金属筒体に電気的に接続された導電性固定材と、導電性固定材に固定され、抵抗を介して初段の平板状ダイノードに接続されるリードピンと、導電性固定材が埋め込まれた絶縁材料とを備えることが好ましい。
MCPのイオン入射面側の電極と、MCPの電子出力面側の電極との間には、バイアス電圧が印加される。電子出力面側の電極は、金属筒体、導電性固定材、抵抗を介して、初段の平板状のダイノードに接続されているので、簡易な構造で、MCPと初段の平板状のダイノードとを電気的に接続することができ、これらの間の電圧を抵抗によって容易に設定することができる。
また、上述の荷電粒子検出器において、金属筒体のMCPに隣接する部分の外径は、この外径に平行なMCPの外径よりも小さいことが好ましい。この場合、MCPのイオン入射面側の電極と、金属筒体のMCPに隣接する部分とは、直接的に対面しないので、これらの間の放電が抑制される。
また、上述の荷電粒子検出器において、金属筒体は、その側壁に開口を有しており、この開口を介して金属筒体の内部と外部とが連通していることが好ましい。この荷電粒子検出器は、質量分析装置のチャンバ内などのように、イオンが直線的に飛行できる程度の真空中(1気圧よりも低い減圧環境)に配置されるので、チャンバ内と金属筒体内が上記開口を介して十分に連通しており、金属筒体内部を真空状態まで十分に減圧し、また、チャンバ内と金属筒体内との気圧差の発生を抑制することができる。
本発明に係る荷電粒子検出器によれば、広いダイナミックレンジにおいて、リニアリティを維持した状態で高速の応答速度を有することができる。
以下、実施の形態に係る荷電粒子検出器についてイオン検出器を例に説明する。なお、同一要素には同一符合を用いることとし、重複する説明は省略する。
図1は、実施の形態に係るイオン検出器の平面図である。
このイオン検出器は、マイクロチャンネルプレート(MCP)13を備えている。MCP13の本体はガラス等の絶縁体からなり、その厚み方向に対して若干傾斜して延びた複数の貫通孔13Hを有している。電子入射面(電子増倍面)として機能する貫通孔13Hの内壁は二次電子放出材料が形成されている。貫通孔13Hが形成された領域は、MCP13の有効領域13aであり、その外側に位置する環状の周辺領域13xにはカソード電極Kが固定されている。カソード電極Kは、周辺領域13xに固定される環状電極Kaと、環状電極Kaの外周面から外側に向けて一体的に延びたタブ電極Kbとを有している。タブ電極Kbにはカソード電位(−HV1)が与えられる配線が接続される。
図2は、図1に示した荷電粒子検出器のII−II矢印断面図である。
MCP13は、周辺領域13xの外側面上に外側電極13b、内側面上に内側電極13cを備えている。有効領域13aの外側に位置するMCP13の外側電極13bは、熱可塑性導電性接着剤ADによって、カソード電極Kに接着されている。同様にMCP13の内側電極13cは熱可塑性導電性接着剤(図示せず)によって金属筐体K2の一方の端面に接着されている。金属筒体K2の形状は円筒形であり、側壁には内部と外部を連通させる開口OP1,OP2が設けられている。金属筒体K2の外径はMCP外径よりも僅かに小さく、また、内径はMCP有効領域13aとほぼ同じである。金属リング15の金属筒体K2側の部分は、外側に折れ曲がっており、この金属リング15の一方の開口端面は、金属筒体K2の他方の端面に固定されている。金属リング15は、好ましくはコバール金属(FeNiCo合金)からなる。
なお、金属筒体K2と金属リング15は抵抗溶接されている。本イオン検出器の各部品は脱ガスの少ない接着剤及び抵抗溶接のみで接着されるため、ネジ止めによって組み立てられる装置に比べて、部品点数が少なく組立工程が簡素である。
なお、金属筒体K2と金属リング15は抵抗溶接されている。本イオン検出器の各部品は脱ガスの少ない接着剤及び抵抗溶接のみで接着されるため、ネジ止めによって組み立てられる装置に比べて、部品点数が少なく組立工程が簡素である。
金属リング15内には、絶縁性ガラスからなる絶縁材料16が充填されており、絶縁材料16の内には絶縁リング14,17が管軸方向に離間して埋設され、絶縁リング14,17の外周面は金属リング15の内面に固定されている。絶縁リング14,17は好ましくはガラスセラミックスからなる。ガラスセラミックスは熱膨張係数が小さく、遮光性を有する。
金属筒体K2内には、複数のダイノードを有する二次電子増倍装置が配置されている。この二次電子増倍装置は、平板状の最終段ダイノードDY10上にスペーサSを介して積層された平板状ダイノードDY9,DY8,DY7,DY6,DY5,DY4,DY3,DY2,DY1及びグリッド電極GRを有している。最終段ダイノードDY10と前段のダイノードDY9との間にはアノードPが配置されている。最終段ダイノードDY10は、絶縁リング14上に位置しており、スリットは設けられておらず、リードピンT(DY10)に電気的に接続されている。他のダイノードDY1〜DY9は、紙面に垂直な方向に延びた複数のスリットSLを有しており、それぞれリードピンT(DY1)〜T(DY9)に電気的に接続されている。なお、グリッド電極GRは、リードピンT(K)に接続してもよい。
アノードPは、網目状であって複数の開口を有しており、ダイノードDY9から出射された電子の一部はアノードPを通過して最終段ダイノードDY10に到達するが、最終段ダイノードDY10で反射された電子はアノードPで収集される。アノードPはリードピンT(P)に電気的に接続されている。各リードピンの下部は、絶縁材料16内に埋設されており、絶縁材料16はダイノードDY1〜DY10及びアノードPを物理的に支持し、絶縁材料16は金属リング15と共にステムを構成している。なお、リードピンはコバール金属からなる。
このように、ステムのMCP側には、電子を増倍するための多数のスリットを有した金属板が10段積層され、二次電子増倍装置を構成しているが、金属板からなるダイノードDY1〜DY9に形成されたスリットSLは、金属板をエッチングすることにより形成される。ダイノードDY1〜DY10及びアノードPを構成する各金属板の周辺部には開口が設けられており、この開口内にはスペーサSとしてセラミックボールが嵌っており、各金属板が厚み方向及びこれに垂直な二次元方向において位置決めされている。
各ダイノードDY1〜DY9のスリットSLの対向する内面は、紙面に垂直な軸を中心にそれぞれ湾曲しており、これらの湾曲面には薄い酸化アルミニウムを含む二次電子増倍材料が堆積されている。なお、紙面は金属筒体K2の管軸に平行であり、MCP13の電子出力面13sに垂直である。各ダイノードDY1〜DY9はメタルチャンネルダイノード又はベネシアンブラインド型ダイノードを構成している。
上記イオン検出器を真空チャンバ内に配置して陽イオンを飛行させると、陽イオンがイオン検出器の負電位に引かれてMCP13のイオン入射面13tに入射する。MCP13はイオンを電子に変換し、かつ電子を増倍して後段の電子増倍装置に輸送する。電子増倍装置は、MCP13で増倍された電子をさらに増倍し、アノードPから出力する。
以上のように、このイオン検出器は、MCP13と、複数のスリットをそれぞれ有する複数の平板状ダイノードDY1〜DY9とを備え、複数の平板状ダイノードDY1〜DY9は、MCP13の電子出力面13sに対して平行に、スペーサSを介して積層され、初段の平板状ダイノードDY1は電子出力面13sに平行に対向している。平板状ダイノードの各スリットには電子入射面すなわち電子増倍面が形成されている。
図3は、図2に示したイオン検出器の領域IIIにおける拡大図である。平板状ダイノードDY1のスリットSLの傾斜はMCP13のチャンネル(貫通孔13H)の傾斜に対して互い違いとなるように配置されている。このように配置することで、MCP13の貫通孔13Hから出射した電子は、平板状ダイノードDY1の有効部分(スリット内)に適切に入射するので電子の収集効率が向上する。以下、詳説する。
初段の平板状ダイノードDY1の対向するMCP13の各貫通孔13Hは、MCP13の厚み方向(Z軸方向)に対して傾斜している。各貫通孔13Hの中心を通る直線を第1直線B1とする。第1直線B1は、貫通孔13Hの軸を通る直線である。図3では、第1直線B1は、貫通孔13イオン入射面13tの位置における開口のX軸方向の中点m1と、電子出射面13sの位置における開口のX軸方向の中点m2を結ぶ直線である。
MCP13の内壁で増倍され、電子出射面13sから出射した電子群は、若干の広がり角度を有して発散しようとするが、初段の平板状ダイノードDY1の手前に存在するグリッド電極GRによって集束され、平板状ダイノードDY1の内面に衝突する。ここで、平板状ダイノードDY1のスリットSLの長手方向(Y軸方向)、及び平板状ダイノードDY1の厚み方向(Z軸方向)の双方に垂直な方向を、幅方向(X軸方向)とする。図3はXZ平面における装置の断面を示している。
初段の平板状ダイノードDY1のスリットSL1における電子入射面側の開口の幅方向の中点M1と、電子出射側の開口の幅方向の中点M2を結ぶ直線を第2直線B2とする。第1直線B1と第2直線B2とは、鋭角aで交差している。第1直線B1の傾きと、第2直線B2の傾きとは、厚み方向(Z軸方向)に対して互いに逆向きである。ZをXの関数とすると、XZ平面における第1直線B1の傾きは負であり、第2直線B2の傾きは正である。
この場合、第1直線B1及び第2直線B2の傾きが互いに逆であるため、第1直線B1に沿ってMCP13から出射した電子は、第2直線B2に沿うことになるスリットSLの内面DS1に効率的に入射することになるため、初段のダイノードDY1における電子の収集効率を向上させることができる。スリットSLの内面DS1は、内面DS2に対して向き合っており、内面DS1において増倍して反射された電子群は、内面DS2において反射され、次段のダイノードの内面に入射する。
内面DS1は中心軸G1を中心として湾曲した湾曲面から構成され、内面DS2は中心軸G2を中心として湾曲した湾曲面から構成されている。中心軸G1,G2は、いずれもY軸に平行である。これらの湾曲面はXZ平面内において直線を構成する平面とすることもでき、その傾斜は第2直線B2に沿うことができる。
なお、残りのダイノードDY2〜DY9における上記と同一定義の直線の傾きは、偶数番目が負であり、奇数番目が正となり、効率的な電子収集と電子増倍が行われる。
また、平板状ダイノードDY1と電子出力面13sとの間の離隔距離(隙間)dは、面内利得均一性(Gain Uniformity)を高くし走行時間拡がり(T.T.S.)を抑制する観点から、1〜5mmが好ましく、2〜4mm(本例では3mm)が更に好ましい。
距離dが小さい場合、MCPの1点から出力した電子が全てダイノードの不感領域に入る可能性が増し、結果としてイオンの検出効率を下げてしまう。距離dが3mmの場合、1点から出力した電子の少なくとも一部は有感領域へ入射して増倍される。シミュレーションの結果、この構成における面内利得均一性は80%以上であった。なお、距離dが3mmにおいて不感領域に入射した電子は有効に増倍されないが、これは単にゲインが下がったように作用し、イオンの検出効率には影響しない。
一方、この距離dが大きいとMCPとダイノード間での電子走行時間広がりが増大し、イオン検出器としての応答時間特性が劣化する。
上述のイオン検出器では、MCP13から出力される電子量が枯渇しないように、MCP13の増倍率を1000倍程度に低く設定しておけば、リニアリティを維持することができる。MCP13の後段には、平板状のダイノードDY1〜DY10を積層して電子を更に増倍することとしたため、電子が十分に増倍されつつも、広いダイナミックレンジにおいて、入射イオン量に対する出力電子量のリニアリティを維持することができる。
特に、積層された平板状のダイノードDY1〜DY9のそれぞれは、複数のスリットSLを有しており、スリットSLの内面で電子は増倍され、初段の平板状ダイノードDY1、そして残りのダイノードDY2〜DY10も、MCP13の電子出力面13sに平行に対向している。したがって、平板状ダイノードの面内における各位置における電子は一緒に進行し、電子はスリットSLの内面に衝突しつつも、大きく蛇行することなく、ダイノードの厚み方向に沿って進行する。このように、このイオン検出器によれば、出力のリニアリティを維持しつつも応答速度を速くすることが可能となる。
また、金属筒体K2のMCP13に隣接する部分の外径DK2は、この外径DK2に平行なMCP13の外径D13よりも僅かに小さい。また、カソード電極Kの環状電極Kaの外径DKも、この外径DKに平行なMCP13の外径D13よりも僅かに小さい。D13−DK=Δ(図1参照)=D13−DK2である。この場合、MCP13のイオン入射面13t側の電極Kaと、金属筒体K2のMCP13に隣接する部分とは、直接的に対面しないので、これらの間の放電が抑制される。
また、金属筒体K2は、その側壁に開口OP1,OP2を有しており、この開口OP1,OP2を介して金属筒体K2の内部と外部とが連通している。このイオン検出器は、質量分析装置のチャンバ内などのように、イオンが直線的に飛行できる程度の真空中(1気圧よりも低い減圧環境)に配置されるので、真空装置としてのチャンバ内と金属筒体K2内が開口OP1,OP2を介して十分に外部と連通しており、チャンバ内と金属筒体K2内との気圧差の発生を抑制することができ、また、金属筒体K2内部の真空度を良好に保つことができる。
図4は、イオン検出器の底面図である。
絶縁リング17は、リードピンT(DY1)〜T(DY10)、T(K)、T(P)が貫通する孔1,2,3,4,5,6,7,8,9,10,12をそれぞれ有している。絶縁リング14の構造も絶縁リング17の構造と同一であり、同様にリードピンが貫通している。また、絶縁材料16内は、複数のリードピンT(DY1)〜T(DY10)、T(P)が貫通している。
MCP13の電子出力面側の電極13cは、金属筒体K2の開口端に固定されており、金属筒体K2の下部に位置する金属リング15の内面に、導電性固定材(導電性ガラス)20に固定されており、これらの電極13、金属筒体K2、金属リング15、及び導電性固体材20は電気的に接続されている。導電性固定材20にはリードピンT(K)が固定されており、リードピンT(K)は、初段の平板状ダイノードDY1に抵抗R1(図5参照)を介して接続されている。なお、導電性固定材20は絶縁材料16内に埋め込まれている。
MCP13のイオン入射面13t側の電極13bと、MCP13の電子出力面13s側の電極13cとの間には、バイアス電圧が印加される。電子出力面13s側の電極13cは、金属筒体K2、導電性固定材20、リードピンT(K)、抵抗R1、リードピンT(DY1)を介して、初段の平板状のダイノードDY1に電気的に接続されている。したがって、簡易な構造で、MCP13と初段の平板状のダイノードDY1とを電気的に接続することができ、これらの間の電圧を抵抗R1によって容易に設定することができる。
図5は、各リードピン(端子)に接続されるブリーダ回路の平面図であり、図6は、リードピンに接続される各種電極とダイノードの接続関係を示す図である。
図5に示す絶縁性の配線基板100上には、複数の電極パッドT(DY1)〜T(DY10)T(P)、T(K)と、印刷配線PLが形成されている。ここでは、便宜上、リードピンT(DY1)〜T(DY10)T(P)、T(K)と、これらが接続される電極パッドT(DY1)〜T(DY10)T(P)、T(K)とは同一符号を用いることとし、いずれも端子と呼称することとする。配線基板100はポリイミド製であり、各種抵抗及びコンデンサも配線基板100上に配置されている。
電源(−HV1)の電圧は、−5kVであり、これがカソード電極Kのタブ電極Kbに接続され、これはMCP13の一方の電極に接続されている。MCP13の他方の電極に接続された金属筒体K2は、端子T(K)及び抵抗RMCPを介して電源(−HV1)の負極に接続されている。したがって、カソード電極Kと金属筒体K2との間には、抵抗RMCPを介して、バイアス電圧が印加される。端子T(K)の電位は−4kVに設定しておき、MCPのバイアス電圧は1kVとする。
金属筒体K2をカソードの端子T(K)とすると、これは抵抗R1を介して端子T(DY1)に接続され、端子T(DY1)は抵抗R2を介して端子T(DY2)に接続され、同様に、端子T(DY2)は抵抗R3を介して端子T(DY3)に接続され、端子T(DY3)は抵抗R4を介して端子T(DY4)に接続され、端子T(DY4)は抵抗R5を介して端子T(DY5)に接続され、端子T(DY5)は抵抗R6を介して端子T(DY6)に接続され、端子T(DY6)は抵抗R7を介して端子T(DY7)に接続され、端子T(DY7)は抵抗R8を介して端子T(DY8)に接続されている。端子T(DY8)は抵抗R9及び抵抗R9に並列なコンデンサC1を介して端子T(DY9)に接続され、端子T(DY9)は抵抗R10及び抵抗R10に並列なコンデンサC2を介して端子T(DY10)に接続されている。各端子は、それぞれダイノードに接続されている。
端子T(DY10)は抵抗R11及び抵抗R11に並列なコンデンサC3、更に抵抗RAを介して端子T(P)に接続されている。なお、ダイノード列の後段においてはコンデンサが抵抗に対して並列に挿入されている。このようにコンデンサを接続すると、瞬時的な電流をコンデンサからダイノードへ提供できるので、パルス状の入力信号に対して、より高いリニアリティーを実現できる。
また、端子T(P)はアノードPに接続されているが、端子T(P)は、コンデンサ(結合コンデンサ)C4を介して出力端子T(VOUT)に接続されている。コンデンサC4は、アノードPから出力された信号のうち直流成分をカットする。出力端子T(VOUT)は、同軸ケーブル(コネクタ)Xの内部導体X1を介して電圧計Vの一端に接続されている。電圧計Vの他方端はグランドに接続され、電圧計Vの両端間には負荷抵抗RLが接続されている。本例では、同軸ケーブルXを用いているため、ノイズが信号に混入しにくい。アノードPにはコンデンサC4が接続されているので、アノードPからの出力信号をGNDレベルに変換して出力することができる。
なお、最終段ダイノードDY10の接続される端子T(DY10)はコンデンサC5を介してグランド端子(GND)に接続されている。このグランド端子(GND)は、同軸ケーブルXの外部導体X2に接続されている。また、別のコンデンサC5が、最終段ダイノードDY10と同軸ケーブルXの外側導体(グランド電位)X2との間に接続され、高周波特性を改善している。また、端子T(P)と端子(DY10)はそれぞれ抵抗を介して第2電源(−HV2)に接続されている。第2電源(−HV2)の負電位の値は−3kVである。
以上、説明したように、MCP13の外側電極(カソード電極K)13bと、MCPの内側電極13cとの間にブリーダ回路から、バイアス電圧が与えられる。MCP13およびダイノードの各段には、抵抗で分割して電圧が供給されている。バイアス電圧が供給されたイオン検出器に入射したイオンは、MCP13によって電子へ変換され、発生した二次電子はMCP13によって1000倍に増倍される。この電子は次にダイノードDY1〜DY10に入射し、さらに1000倍に増倍されて出力される。出力信号はコンデンサC4で直流成分がカットされ、交流成分のみが出力される。このような構成により、入射したイオン1個、1個を高い時間分解能で計測することが可能となる。
本荷電粒子イオン検出器では、陽イオンだけでなく陰イオンの検出も可能である。例えば、第1、2電源(−HV1)(−HV2)にそれぞれ5kV,7kV印加することで、MCPの入射面側が正の電位となり陰イオンが引きつけることができるため、同様に計測することができる。また、同じ手法で、電子の検出も可能となる。
上記のイオン検出器は、時間応答特性が高い。MCPに単一のイオンが入射したときにMCPのみから出力される電子流のパルス幅は300ps以下である。また、積層した金属よりなるダイノードDY1〜DY10のみからの出力信号のパルス幅は1ns以下が期待される。このイオン検出器の構成で、シミュレーションを行ったところ、出力信号のパルス幅として600psが得られた。なお、TOF型の質量分析装置で用いられるイオン検出器には2ns以下の上昇時間が必要である。このような時間応答特性は、単に高速な2つの電子増倍器を組み合わせただけでは実現できない。特に、ダイノードが板状でMCPと平行に対面していることが重要である。これにより、MCPから出力した電子がダイノードに入るまでの時間差を最小にすることができるので、高速応答特性が得られる。さらに、両者を正確に平行に配置するため、MCPはステムを基準に金属筒体によって固定されている。一方、ダイノードもステムを基準に正確に固定される。
また、上述のイオン検出器は、入射イオンに対する出力信号のリニアリティが高い。一般にMCPは高速性を有するもののダイナミックレンジの上限が5μAほどに制限される。これは、MCPのチャンネル壁が高抵抗であるため、入射電流が大きくなると電荷が枯渇し、電子を増倍できなくなることによる。本検出器は、大量の電子を増倍する部分がダイノードから構成されているため、mAに至る範囲で高いリニアリティを確保することが可能である。
なお、仮に、光電子増倍管におけるライン型ダイノードのみでイオン検出器を構成した場合、イオン入射面が平坦でないために、出力信号の応答時間特性は10nsを超えてしまうものと推測される。このような応答特性では、十分に質量分離をすることができないため、これをTOF型の質量分析装置には適用することができない。また、2枚のMCPを積層して用いると、ns以下の高速応答特性が確保されるものの、上述のようにダイナミックレンジは依然として小さいままである。したがって、MALDI−TOF(マトリックス支援レーザ脱イオン化飛行時間)型の質量分析装置のように、広いダイナミックレンジを要求する装置では、その利用が制限されることとなる。
一方、本イオン検出器に用いた積層した金属よりなるダイノードのみを用いてイオン検出器を構成することも可能だが、この場合は検出効率が課題となる。すなわち、金属板よりなる典型的なダイノードでは、イオンを有効に電子へ変換し増倍できる領域は全面積の30%ほどであり検出効率が低い。本イオン検出器では、MCPをイオン−電子変換面としているため、60%を超える検出効率が得られる。
また、ダイノードのみで106のゲインを得るためには、17段ほどのダイノードを積層する必要がある。このように積層数を増やすと、組み立て精度が確保しにくくなり、出力信号の波形が訛るために、応答速度が若干低くなる。本イオン検出器は、MCPで1000倍のゲインを得ているため、ダイノードは10段で必要なゲインを得ることができる。もちろん、本発明では、ダイノードの数が限定されるものではない。
なお、本イオン検出器のMCPとダイノードの順番を変え、ダイノードにイオンが入射する構成にすると、イオンの検出効率が低く、また、リニアリティの低いイオン検出器となる。本イオン検出器の増倍部の順番は重要である。さらに、本イオン検出器は、ライン型ダイノードのみで構成されたイオン検出器に比べて小型という特徴を有する。
以上のように、本イオン検出器は一般的なダイノードよりなるイオン検出器に比べて高速な応答特性を示し、かつ小型である。さらに、MCPよりなるイオン検出器に比べてダイナミックレンジが高いといおう特徴を有する。上述のシミュレーションによれば、このイオン検出器では、数mVに至るリニアリティを有する出力信号が得られ、そのパルス幅は600ps程度に短くすることができる。なお、上述のイオンは電子などの荷電粒子に読み替えることもできる。
13・・・MCP、SL・・・スリット、DY1〜DY10・・・ダイノード、13s・・・電子出力面、S・・・スペーサ。
Claims (5)
- マイクロチャンネルプレートと、
複数のスリットをそれぞれ有する複数の平板状ダイノードと、
を備え、
複数の前記平板状ダイノードは、前記マイクロチャンネルプレートの電子出力面に対して平行に、スペーサを介して積層され、初段の前記平板状ダイノードは前記電子出力面に平行に対向していることを特徴とする荷電粒子検出器。 - 初段の前記ダイノードの対向するマイクロチャンネルプレートの各チャンネルは、前記マイクロチャンネルプレートの厚み方向に対して傾斜しており、各チャンネルの中心を通る直線を第1直線とし、
前記スリットの長手方向及び前記平板状ダイノード厚み方向の双方に垂直な方向を幅方向とし、初段の前記平板状ダイノードのスリットにおける電子入射面側の開口の幅方向の中点と、電子出射側の開口の幅方向の中点を結ぶ直線を第2直線とすると、
前記第1直線の傾きと、前記第2直線の傾きとは、前記厚み方向に対して互いに逆向きであることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子検出器。 - 前記マイクロチャンネルプレートの電子出力面側の電極が、その開口端に固定された金属筒体と、
前記金属筒体に電気的に接続された導電性固定材と、
前記導電性固定材に固定され、抵抗を介して初段の前記平板状ダイノードに接続されるリードピンと、
前記導電性固定材が埋め込まれた絶縁材料と、
を備えたことを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子検出器。 - 前記金属筒体の前記マイクロチャンネルプレートに隣接する部分の外径は、この外径に平行な前記マイクロチャンネルプレートの外径よりも小さいことを特徴する請求項3に記載の荷電粒子検出器。
- 前記金属筒体は、その側壁に開口を有しており、この開口を介して前記金属筒体の内部と外部とが連通していることを特徴とする請求項3又は4に記載の荷電粒子検出器。
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