JP2007520048A - イオンフィードバックを抑制した平行板型電子増倍管 - Google Patents
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- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/06—Electrode arrangements
- H01J43/18—Electrode arrangements using essentially more than one dynode
- H01J43/24—Dynodes having potential gradient along their surfaces
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Abstract
【選択図】図2B
Description
101 2次放出面
102 2次放出面
103 コレクター
104 チャンネル
105 開口端
106 検出回路
111 ガラスプレート
112 ガラスプレート
200 電子増倍管
202 プレート
204 プレート
206 内面
208 内面
210 チャンネル
212 入力端
700 多層プレート
701 第1層
702 第2層
703 第3層
Claims (14)
- 電子放出性の第1の内面を有する第1のプレートと、
電子放出性の第2の内面を有する第2のプレートと、
前記第1のプレートと前記第2のプレートに接続された電源と、
前記第1のプレートと前記第2のプレートによる電子増倍に応じた信号を生成するコレクターと、
を備え、
前記第1の内面と前記第2の内面は、平行であり、且つ非平面状であることを特徴とする電子増倍管。 - 前記第1の内面と前記第2の内面は、波形の1周期分に相当する形状であることを特徴とする請求項1に記載の電子増倍管。
- 前記第1の内面と前記第2の内面は、波形の2周期分に相当する形状であることを特徴とする請求項1に記載の電子増倍管。
- 前記第1のプレートと前記第2のプレートは、同心円筒の切断された部分に相当する形状であることを特徴とする請求項1に記載の電子増倍管。
- 前記第1のプレートと前記第2のプレートは、還元酸化鉛ガラスまたは還元酸化ビスマスガラスで形成されることを特徴とする請求項1に記載の電子増倍管。
- 前記第1のプレートと前記第2のプレートは、多層に形成されることを特徴とする請求項1に記載の電子増倍管。
- 前記層の1つの層は、サポート層であることを特徴とする請求項6に記載の電子増倍管。
- 前記サポート層は、Al2O3、AlN、Si、SiO2ガラス、Si3N4、またはSiCで形成されることを特徴とする請求項7に記載の電子増倍管。
- 前記層の1つの層は、抵抗層であることを特徴とする請求項6に記載の電子増倍管。
- 前記抵抗層は、Si、C、Ge、またはSi3N4で形成されることを特徴とする請求項9に記載の電子増倍管。
- 前記抵抗層は、化学気相堆積法により形成されることを特徴とする請求項10に記載の電子増倍管。
- 前記層の1つの層は、電子放出層であることを特徴とする請求項6に記載の電子増倍管。
- 前記電子放出層は、ダイアモンドフィルム、Al2O3、Si3N4、SiO2、MgO、またはBNで形成されることを特徴とする請求項12に記載の電子増倍管。
- 前記電子放出層は、化学気相堆積法により形成されることを特徴とする請求項12に記載の電子増倍管。
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