JP5762749B2 - 冷電子増倍放出源を備える電離真空計 - Google Patents
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Description
なお、本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
〔態様1〕
マイクロチャンネルプレートを含む電子生成アレイを備え、
前記マイクロチャンネルプレートは、種となる電子を生成する生成源を有する電子生成部、および前記電子生成部によって生成された前記種となる電子を受けて前記電子を増倍する電子増倍部を備えており、
さらに、
前記電子が気体の化学種と衝突するイオン化体積空間と、
前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを収集する収集電極と、
を備える電離真空計。
〔態様2〕
態様1において、前記イオン化体積空間が、前記電子を内側に保持する陽極で形成されており、前記電子を生成する生成源は前記陽極の外側に配置され、前記陽極は前記収集電極を取り囲んでいる電離真空計。
〔態様3〕
態様2において、さらに、
前記陽極の外側で形成されたイオンを収集する第2の収集電極、
を備える電離真空計。
〔態様4〕
態様1において、前記収集電極によって収集される電流が、圧力信号を形成する電離真空計。
〔態様5〕
態様4において、前記イオン化体積空間が、プレート状の陽極とプレート状の収集電極との間の体積空間によって形成されており、前記生成源が、前記プレート状の陽極と前記プレート状の収集電極との間に配置されている電離真空計。
〔態様6〕
態様1において、前記マイクロチャンネルプレートが、入力面および出力面を有しており、前記入力面と前記出力面との間に電圧が印加される電離真空計。
〔態様7〕
態様6において、前記マイクロチャンネルプレートが、種となる電子の自然放出を引き起こすように処理された電離真空計。
〔態様8〕
態様7において、電子放出材料が、前記マイクロチャンネルプレートの前記電子増倍部の前記入力面に設けられており、種となる電子が、照射線によって生成される電離真空計。
〔態様9〕
態様1において、さらに、
前記イオン化体積空間内の電子の数に基づいて、前記電子生成アレイからの電子ビーム電流を制御する調整手段、
を備える電離真空計。
〔態様10〕
態様9において、さらに、
陽極に接続され、前記電子ビーム電流の制御に利用される電流計、
を備える電離真空計。
〔態様11〕
電子が気体の化学種と衝突するイオン化体積空間を形成する筒状のワイヤグリッドを含む陽極構造体と、
電子の種を生成する装置、および前記電子の種を生成する装置からの電子を増倍する電子増倍装置を含む、電子を生成する生成源と、
前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを収集する収集電極と、
を備えており、
前記収集電極および前記生成源の一方は前記陽極構造体の内側に配置されており、前記収集電極および前記生成源の他方は前記陽極構造体の外側に配置されている電離真空計。
〔態様12〕
態様11において、前記筒状のワイヤグリッドが、少なくとも1つの支柱体に接続された複数の円状ワイヤとして構成されている電離真空計。
〔態様13〕
態様11において、前記電子を生成する生成源は前記陽極構造体の外側に配置され、前記収集電極は前記陽極構造体の内側に配置されている電離真空計。
〔態様14〕
態様13において、さらに、
前記陽極構造体の外側に配置された第2の収集電極、
を備える電離真空計。
〔態様15〕
態様11において、前記電子を生成する生成源は前記陽極構造体の内側に配置され、前記収集電極は前記陽極構造体の外側に配置されている電離真空計。
〔態様16〕
態様11において、前記収集電極によって収集される電流が、圧力信号を形成する電離真空計。
〔態様17〕
態様11において、前記電子を増倍する電子増倍装置が、マイクロチャンネルプレートを有する電離真空計。
〔態様18〕
電子が気体の化学種と衝突するイオン化体積空間を形成する筒状のワイヤグリッドを含む陽極構造体と、
マイクロチャンネルプレートを含む電子生成アレイと、
を備え、前記マイクロチャンネルプレートは、種となる電子を生成する生成源を有する電子生成部、および前記電子生成部によって生成された前記種となる電子を受けて前記電子を増倍する電子増倍部を備えており、
さらに、
前記陽極構造体の内側に配置され、前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを収集する収集電極、
を備える電離真空計。
〔態様19〕
態様18において、前記筒状のワイヤグリッドが、少なくとも1つの支柱体に接続された複数の円状ワイヤとして構成されている電離真空計。
〔態様20〕
態様18において、前記電子を生成する生成源は前記陽極構造体の外側に配置され、前記収集電極は前記陽極構造体の内側に配置されている電離真空計。
〔態様21〕
態様20において、さらに、
前記陽極構造体の外側に配置された第2の収集電極、
を備える電離真空計。
〔態様22〕
態様18において、前記電子を生成する生成源は前記陽極構造体の内側に配置され、前記収集電極は前記陽極構造体の外側に配置されている電離真空計。
〔態様23〕
態様18において、前記収集電極によって収集される電流が、圧力信号を形成する電離真空計。
〔態様24〕
電子を生成して増倍する電子生成アレイ手段と、
電子が気体の化学種と衝突するイオン化体積空間を形成する筒状のワイヤグリッドを含む陽極手段と、
前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを収集する収集電極手段と、
圧力測定のために、前記収集されたイオンから信号を形成する手段と、
を備える電離真空計。
〔態様25〕
気体の化学種から気体の圧力を測定する方法であって、
マイクロチャンネルプレートの電子生成部を含む電子生成アレイを用いて電子を生成する過程と、
前記マイクロチャンネルプレートの電子増倍部を用いて電子を増倍する過程と、
前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを、収集電極を用いて収集する過程と、
前記収集されたイオンから圧力信号を形成する過程と、
を備える気体圧力測定方法。
〔態様26〕
態様25において、さらに、
プレート状の陽極とこれに平行なプレート状のイオン収集手段との間で電子を生成する過程と、
前記平行なプレート状のイオン収集手段で前記イオンを収集する過程と、
を備える気体圧力測定方法。
〔態様27〕
態様25において、さらに、
電子を、表面処理が施されたマイクロチャンネルプレートに通すことで当該電子を増倍する過程、
を備える気体圧力測定方法。
〔態様28〕
気体の化学種から気体の圧力を測定する方法であって、
電子の種を生成する装置を含む、電子を生成する生成源を用いて、電子を生成する過程と、
前記電子を増倍する過程と、
前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを、収集電極を用いて収集する過程と、
前記収集されたイオンから圧力信号を形成する過程と、
を備え、
前記収集電極および前記生成源の一方を、電子が気体の化学種と衝突するイオン化体積空間を形成する筒状のワイヤグリッドを含む陽極構造体の内側に配置し、前記収集電極および前記生成源の他方を、前記陽極構造体の外側に配置することを含む、気体圧力測定方法。
〔態様29〕
態様28において、前記電子を生成する生成源を、前記陽極構造体の外側に配置し、前記収集電極を、前記陽極構造体の内側に配置することを含む、気体圧力測定方法。
〔態様30〕
態様28において、前記電子を生成する生成源を、前記陽極構造体の内側に配置し、前記収集電極を、前記陽極構造体の外側に配置することを含む、気体圧力測定方法。
〔態様31〕
態様28において、さらに、
電子を、表面処理が施された少なくとも1つのマイクロチャンネルプレートに通すことで当該電子を増倍する過程、
を備える気体圧力測定方法。
〔態様32〕
態様28において、さらに、
少なくとも1つのダイノードを用いて電子を増倍する過程、
を備える気体圧力測定方法。
〔態様33〕
態様28において、さらに、
前記陽極構造体の外側に配置された第2の収集電極を用いて、イオンを前記陽極構造体の外側で収集する過程、
を備える気体圧力測定方法。
〔態様34〕
基板を用意する過程と、
真空引きされる装置内で前記基板に対して処理を行うために、前記真空引きされる装置を真空引きする過程と、
圧力を測定する過程と、
を備え、
前記圧力測定過程は、
電子が気体の化学種と衝突するイオン化体積空間を形成する筒状のワイヤグリッドを含む陽極構造体と、
電子の種を生成する装置、および前記電子の種を生成する装置からの電子を増倍する電子増倍装置を含み、前記陽極構造体の外側に配置された、電子を生成する生成源と、
前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを収集する、前記陽極構造体の内側に配置された収集電極と、を用意し、
さらに、
前記真空引きされた装置内で前記基板に対して処理を行い、処理された基板を形成する過程、
を備える方法。
〔態様35〕
基板を用意する過程と、
真空引きされる装置内で前記基板に対して処理を行うために、前記真空引きされる装置を真空引きする過程と、
圧力を測定する過程と、
を備え、
前記圧力測定過程は、
種となる電子を生成する生成源を有する電子生成部、および前記電子生成部によって生成された前記種となる電子を受けて前記電子を増倍する電子増倍部を備えたマイクロチャンネルプレートを含む電子生成アレイと、
前記電子が気体の化学種と衝突するイオン化体積空間と、
前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを収集する収集電極と、を用意し、
さらに、
前記真空引きされた装置内で前記基板に対して処理を行い、処理された基板を形成する過程、
を備える方法。
Claims (34)
- マイクロチャンネルプレートを含む電子生成アレイを備え、
前記マイクロチャンネルプレートは、種となる電子を生成する生成源を有する電子生成部、および前記電子生成部によって生成された前記種となる電子を受けて前記電子を増倍する電子増倍部を備えており、
さらに、
前記電子が気体の化学種と衝突するイオン化体積空間と、
前記イオン化体積空間内の電子の数のフィードバックに基づいて、前記電子生成アレイからの電子ビーム電流を制御する調整手段と、
前記イオン化体積空間内の前記電子のエネルギーを制御するエネルギーフィルターと、
前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを収集する収集電極と、
を備える電離真空計。 - 請求項1において、前記イオン化体積空間が、前記電子を内側に保持する陽極で形成されており、前記電子を生成する生成源は前記陽極の外側に配置され、前記陽極は前記収集電極を取り囲んでいる電離真空計。
- 請求項2において、さらに、
前記陽極の外側で形成されたイオンを収集する第2の収集電極、
を備える電離真空計。 - 請求項1において、前記収集電極によって収集される電流が、圧力信号を形成する電離真空計。
- 請求項4において、前記イオン化体積空間が、プレート状の陽極とプレート状の収集電極との間の体積空間によって形成されており、前記生成源が、前記プレート状の陽極と前記プレート状の収集電極との間に配置されている電離真空計。
- 請求項1において、前記マイクロチャンネルプレートが、入力面および出力面を有しており、前記入力面と前記出力面との間に電圧が印加される電離真空計。
- 請求項6において、前記マイクロチャンネルプレートが、種となる電子の自然放出を引き起こすように処理された電離真空計。
- 請求項7において、電子放出材料が、前記マイクロチャンネルプレートの前記電子増倍部の前記入力面に設けられており、種となる電子が、照射線によって生成される電離真空計。
- 請求項1において、さらに、
陽極に接続され、前記イオン化体積空間内の電子の数を測定し、前記電子ビーム電流の制御に利用される電流計、
を備える電離真空計。 - 電子が気体の化学種と衝突するイオン化体積空間を形成する筒状のワイヤグリッドを含む陽極構造体と、
電子の種を生成する装置、および前記電子の種を生成する装置からの電子を増倍する電子増倍装置を含む、電子を生成する生成源と、
前記イオン化体積空間内の電子の数のフィードバックに基づいて、前記生成源からの電子ビーム電流を制御する調整手段と、
前記イオン化体積空間内の前記電子のエネルギーを制御するエネルギーフィルターと、
前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを収集する収集電極と、
を備えており、
前記収集電極および前記生成源の一方は前記陽極構造体の内側に配置されており、前記収集電極および前記生成源の他方は前記陽極構造体の外側に配置されている電離真空計。 - 請求項10において、前記筒状のワイヤグリッドが、少なくとも1つの支柱体に接続された複数の円状ワイヤとして構成されている電離真空計。
- 請求項10において、前記電子を生成する生成源は前記陽極構造体の外側に配置され、前記収集電極は前記陽極構造体の内側に配置されている電離真空計。
- 請求項12において、さらに、
前記陽極構造体の外側に配置された第2の収集電極、
を備える電離真空計。 - 請求項10において、前記電子を生成する生成源は前記陽極構造体の内側に配置され、前記収集電極は前記陽極構造体の外側に配置されている電離真空計。
- 請求項10において、前記収集電極によって収集される電流が、圧力信号を形成する電離真空計。
- 請求項10において、前記電子を増倍する電子増倍装置が、マイクロチャンネルプレートを有する電離真空計。
- 電子が気体の化学種と衝突するイオン化体積空間を形成する筒状のワイヤグリッドを含む陽極構造体と、
マイクロチャンネルプレートを含む電子生成アレイと、
を備え、前記マイクロチャンネルプレートは、種となる電子を生成する生成源を有する電子生成部、および前記電子生成部によって生成された前記種となる電子を受けて前記電子を増倍する電子増倍部を備えており、
さらに、
前記イオン化体積空間内の電子の数のフィードバックに基づいて、前記電子生成アレイからの電子ビーム電流を制御する調整手段と、
前記イオン化体積空間内の前記電子のエネルギーを制御するエネルギーフィルターと、
前記陽極構造体の内側に配置され、前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを収集する収集電極と、
を備える電離真空計。 - 請求項17において、前記筒状のワイヤグリッドが、少なくとも1つの支柱体に接続された複数の円状ワイヤとして構成されている電離真空計。
- 請求項17において、前記電子を生成する生成源は前記陽極構造体の外側に配置され、前記収集電極は前記陽極構造体の内側に配置されている電離真空計。
- 請求項19において、さらに、
前記陽極構造体の外側に配置された第2の収集電極、
を備える電離真空計。 - 請求項17において、前記電子を生成する生成源は前記陽極構造体の内側に配置され、前記収集電極は前記陽極構造体の外側に配置されている電離真空計。
- 請求項17において、前記収集電極によって収集される電流が、圧力信号を形成する電離真空計。
- 電子を生成して増倍する電子生成アレイ手段と、
電子が気体の化学種と衝突するイオン化体積空間を形成する筒状のワイヤグリッドを含む陽極手段と、
前記イオン化体積空間内の電子の数のフィードバックに基づいて、前記電子生成アレイ手段からの電子ビーム電流を制御する調整手段と、
前記イオン化体積空間内の前記電子のエネルギーを制御するエネルギーフィルター手段と、
前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを収集する収集電極手段と、
圧力測定のために、前記収集されたイオンから信号を形成する手段と、
を備える電離真空計。 - 気体の化学種から気体の圧力を測定する方法であって、
マイクロチャンネルプレートの電子生成部を含む電子生成アレイを用いて電子を生成する過程と、
前記マイクロチャンネルプレートの電子増倍部を用いて電子を増倍する過程と、
イオン化体積空間内の電子の数のフィードバックに基づいて、前記電子生成アレイからの電子ビーム電流を調整する過程と、
前記イオン化体積空間内の前記電子のエネルギーを選別する過程と、
前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを、収集電極を用いて収集する過程と、
前記収集されたイオンから圧力信号を形成する過程と、
を備える気体圧力測定方法。 - 請求項24において、さらに、
プレート状の陽極とこれに平行なプレート状のイオン収集手段との間で電子を生成する過程と、
前記平行なプレート状のイオン収集手段で前記イオンを収集する過程と、
を備える気体圧力測定方法。 - 請求項24において、さらに、
電子を、表面処理が施されたマイクロチャンネルプレートに通すことで当該電子を増倍する過程、
を備える気体圧力測定方法。 - 気体の化学種から気体の圧力を測定する方法であって、
電子の種を生成する装置を含む、電子を生成する生成源を用いて、電子を生成する過程と、
前記電子を増倍する過程と、
前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを、収集電極を用いて収集する過程と、
前記収集されたイオンから圧力信号を形成する過程と、
イオン化体積空間内の電子の数のフィードバックに基づいて、前記生成源からの電子ビーム電流を調整する過程と、
前記イオン化体積空間内の前記電子のエネルギーを選別する過程と、
を備え、
前記収集電極および前記生成源の一方を、電子が気体の化学種と衝突する前記イオン化体積空間を形成する筒状のワイヤグリッドを含む陽極構造体の内側に配置し、前記収集電極および前記生成源の他方を、前記陽極構造体の外側に配置することを含む、気体圧力測定方法。 - 請求項27において、前記電子を生成する生成源を、前記陽極構造体の外側に配置し、前記収集電極を、前記陽極構造体の内側に配置することを含む、気体圧力測定方法。
- 請求項27において、前記電子を生成する生成源を、前記陽極構造体の内側に配置し、前記収集電極を、前記陽極構造体の外側に配置することを含む、気体圧力測定方法。
- 請求項27において、さらに、
電子を、表面処理が施された少なくとも1つのマイクロチャンネルプレートに通すことで当該電子を増倍する過程、
を備える気体圧力測定方法。 - 請求項27において、さらに、
少なくとも1つのダイノードを用いて電子を増倍する過程、
を備える気体圧力測定方法。 - 請求項27において、さらに、
前記陽極構造体の外側に配置された第2の収集電極を用いて、イオンを前記陽極構造体の外側で収集する過程、
を備える気体圧力測定方法。 - 基板を用意する過程と、
真空引きされる装置内で前記基板に対して処理を行うために、前記真空引きされる装置を真空引きする過程と、
圧力を測定する過程と、
を備え、
前記圧力測定過程は、
電子が気体の化学種と衝突するイオン化体積空間を形成する筒状のワイヤグリッドを含む陽極構造体と、
電子の種を生成する装置、および前記電子の種を生成する装置からの電子を増倍する電子増倍装置を含み、前記陽極構造体の外側に配置された、電子を生成する生成源と、
前記イオン化体積空間内の電子の数のフィードバックに基づいて、前記生成源からの電子ビーム電流を制御する調整手段と、
前記イオン化体積空間内の前記電子のエネルギーを制御するエネルギーフィルターと、
前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを収集する、前記陽極構造体の内側に配置された収集電極と、を用意し、
さらに、
前記真空引きされた装置内で前記基板に対して処理を行い、処理された基板を形成する過程、
を備える方法。 - 基板を用意する過程と、
真空引きされる装置内で前記基板に対して処理を行うために、前記真空引きされる装置を真空引きする過程と、
圧力を測定する過程と、
を備え、
前記圧力測定過程は、
種となる電子を生成する生成源を有する電子生成部、および前記電子生成部によって生成された前記種となる電子を受けて前記電子を増倍する電子増倍部を備えたマイクロチャンネルプレートを含む電子生成アレイと、
前記電子が気体の化学種と衝突するイオン化体積空間と、
前記イオン化体積空間内の電子の数のフィードバックに基づいて、前記電子生成アレイからの電子ビーム電流を制御する調整手段と、
前記イオン化体積空間内の前記電子のエネルギーを制御するエネルギーフィルターと、
前記電子と前記気体の化学種との衝突によって形成されたイオンを収集する収集電極と、を用意し、
さらに、
前記真空引きされた装置内で前記基板に対して処理を行い、処理された基板を形成する過程、
を備える方法。
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