JPS6135325A - 電離真空計 - Google Patents

電離真空計

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Publication number
JPS6135325A
JPS6135325A JP15539184A JP15539184A JPS6135325A JP S6135325 A JPS6135325 A JP S6135325A JP 15539184 A JP15539184 A JP 15539184A JP 15539184 A JP15539184 A JP 15539184A JP S6135325 A JPS6135325 A JP S6135325A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic field
collector
ions
intensity
ionization vacuum
Prior art date
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Pending
Application number
JP15539184A
Other languages
English (en)
Inventor
Tokuo Ogiwara
徳男 荻原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Atomic Energy Agency
Original Assignee
Japan Atomic Energy Research Institute
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Filing date
Publication date
Application filed by Japan Atomic Energy Research Institute filed Critical Japan Atomic Energy Research Institute
Priority to JP15539184A priority Critical patent/JPS6135325A/ja
Publication of JPS6135325A publication Critical patent/JPS6135325A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L21/00—Vacuum gauges
    • G01L21/30—Vacuum gauges by making use of ionisation effects
    • G01L21/32—Vacuum gauges by making use of ionisation effects using electric discharge tubes with thermionic cathodes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電離真空計に関する。詳しくは、本発明は、電
極を球形にすることにより磁場の向きおよびその強度に
対して何ら補正することなく圧力測定を可能にする電離
真空計に関するものである。
電離真空針は、真空下で圧力を測定する装置の一種であ
る。その代表的な構造は、第１図に示す如く、フィラメ
ント１、引き出し電極２、イオンコレクタ３からなる。
フィラメントｌから引き出された熱電子は、引き出し電
極２によって引き出され、この熱電子によってイオン化
された気体分子（以下イオンという）のうち引き出し電
極２とコレクタ３間で生成されたイオンがコレクタ３に
集められる。このイオンのつくる電流（以下イオン電流
という）が空間の気体分子密度の関数であることを用い
て圧力を求める装置である。しかし、従来の電離真空計
においては、磁場中に置かれた場合、磁場の向きおよび
その強度によってコレクタ３に集められるイオン電流が
変化し、真の圧力を与えないという問題があった。イオ
ン磁場の向きを回転軸とするラセン運動をしながら磁場
の向きに進む。また磁場の強さが強い程ラセン運動にお
ける回転半径は小さくなるという性質をもつ。
従来の電離真空計の電極構造が平板ないしは円筒形であ
ることから、あらゆる方向に対称性をもたないため、例
えば第１図に示す如く、Ａ点を出発したイオンは磁場の
向きＩＢのときにはコレクタに集められるイオンが、磁
場の向きＩＢ’　のときにはコレクタに集められなくな
る。また、磁場の強度が変化する場合にも、磁場の向き
を中心軸とする回転の回転半径が変化するためイオンの
コレクタへの集まり方が変化することになる。
本発明の目的は、かかる欠陥を改善した電離真空計を提
供することである。画して、この目的は、電極構造を球
形とし、イオンを磁場の存在の有無および磁場強度にか
かわらずすべてコレクタに集めうるようにしたことによ
り達成することを得た。本発明の電離真空計の１具体例
を第２図について説明する。電極を球形にすることによ
り、この電離真空計は、磁場の向きに対しては、あらゆ
る方向が同等であり、同一強度の磁場であれば等しいイ
オン電流を与える。また、イオンが磁場の向きを中心軸
としてラセン運動しているときの回転半径が変化しても
（即ち、磁場強度が変化しても）引き出し電極６とコレ
クタ７の間で生成されたイオンは、この２電極間（６，
７間）につくられる電界にりすべてコレクタに集められ
ることになる。こうして、磁場の強度にもよらず、また
その向きにもよらず、同一圧力下では、一定のイオン電
流を与える。
以上に述べたように、球形の電極からなる電離真空計に
おいては、磁場の向きおよび強度に対して何らの補正を
することなく圧力測定をすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の電離真空計の一例である。図において、
４は真空容器。 第２図は本発明の一具体例である。図において、５はフ
ィラメント、８は真空容器、画して各電極は球形の金網
よりなる。 なお、第１図、第２図とも電極およびフィラメントの支
持構造は省略されている。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 真空下で圧力を測定する電離真空計において、電極を球
    形としたことを特徴とする電離真空計。
JP15539184A 1984-07-27 1984-07-27 電離真空計 Pending JPS6135325A (ja)

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JPS6135325A true JPS6135325A (ja) 1986-02-19

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011508211A (ja) * 2007-12-19 2011-03-10 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 冷電子増倍放出源を備える電離真空計
CN103762147A (zh) * 2013-12-24 2014-04-30 兰州空间技术物理研究所 电离规阳极结构

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US8686733B2 (en) 2007-12-19 2014-04-01 Brooks Automation, Inc. Ionization gauge having electron multiplier cold emission source
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