JPH0624105B2 - 多重極レンズ - Google Patents
多重極レンズInfo
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- JPH0624105B2 JPH0624105B2 JP62293399A JP29339987A JPH0624105B2 JP H0624105 B2 JPH0624105 B2 JP H0624105B2 JP 62293399 A JP62293399 A JP 62293399A JP 29339987 A JP29339987 A JP 29339987A JP H0624105 B2 JPH0624105 B2 JP H0624105B2
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- metal cylinder
- electrodes
- cylinder
- multipole lens
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 21
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 6
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/06—Electron- or ion-optical arrangements
- H01J49/067—Ion lenses, apertures, skimmers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/12—Lenses electrostatic
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空中での荷電粒子を収束する多重極レンズ
の構造に係り、例えば質量分析計の補助やレンズ系とし
て用いられる静電4重極レンズや、高周波電圧を印加す
る4重極質量分析計に応用される多重極レンズの構造に
関する。
の構造に係り、例えば質量分析計の補助やレンズ系とし
て用いられる静電4重極レンズや、高周波電圧を印加す
る4重極質量分析計に応用される多重極レンズの構造に
関する。
多重極レンズのうち、最もよく用いられているのが、4
重極レンズであり、4重極質量分析計に多く用いられて
いる。従来、製品化されている4重極レンズは、大きく
分けて第3図,第4図に示した2種類に区別される
(「四重極質量分析計」不破、藤井編、講談社 197
7年)。
重極レンズであり、4重極質量分析計に多く用いられて
いる。従来、製品化されている4重極レンズは、大きく
分けて第3図,第4図に示した2種類に区別される
(「四重極質量分析計」不破、藤井編、講談社 197
7年)。
従来型の電極両端固定方式(第3図)は、4本の円柱電
極2が、その両端部を、絶縁物4を介して環状円板形の
シールド電極3に取付ねじ6により固定され、さらに、
該2枚のシールド電極3のうち一方が真空容器1内に片
持ち状態で装着されている。
極2が、その両端部を、絶縁物4を介して環状円板形の
シールド電極3に取付ねじ6により固定され、さらに、
該2枚のシールド電極3のうち一方が真空容器1内に片
持ち状態で装着されている。
一方、従来型の電極両外周固定方式(第4図)も前記電
極両端固定方式(第3図)とほぼ同一の構造となってい
るが、異なる点は比較的長い円柱電極2の両側の外周
に、さらに絶縁スペーサ8を取付ねじ6によつて取付け
て半径方向の固定をおこなつている点である。両方式と
もシールド電極3の中央の孔7を通つて、荷電粒子ビー
ムが入出射され、4本の円柱電極2に囲まれた該中央孔
7が荷重粒子ビームの入出射口となる。また電極2の下
方には真空排気口5が存在する。
極両端固定方式(第3図)とほぼ同一の構造となってい
るが、異なる点は比較的長い円柱電極2の両側の外周
に、さらに絶縁スペーサ8を取付ねじ6によつて取付け
て半径方向の固定をおこなつている点である。両方式と
もシールド電極3の中央の孔7を通つて、荷電粒子ビー
ムが入出射され、4本の円柱電極2に囲まれた該中央孔
7が荷重粒子ビームの入出射口となる。また電極2の下
方には真空排気口5が存在する。
これらの従来方式の問題点は下記の点である。
(1) 円柱電極が、中心軸(Z転)に対する回転方向の
ねじれに弱く、したがつて取付精度が十分に得られな
い。
ねじれに弱く、したがつて取付精度が十分に得られな
い。
(2) 真空排気口5に対して電極2が露出しているの
で、この真空排気口の下方にある油拡散ポンプのオイル
が飛散して直接付着し、電極2の表面が汚れて絶縁化
し、イオンのチヤージアツプによるイオン軌道の乱れの
恐れがある。
で、この真空排気口の下方にある油拡散ポンプのオイル
が飛散して直接付着し、電極2の表面が汚れて絶縁化
し、イオンのチヤージアツプによるイオン軌道の乱れの
恐れがある。
この(2) の問題点に対しては、出願人は先の特許(特
開昭63−271858号)において円柱電極を絶縁物の円筒に
取付ける構造を提案したが、その後の検討で判明したこ
とは、精度よく加工できる絶縁材料が得ずらい点であ
る。
開昭63−271858号)において円柱電極を絶縁物の円筒に
取付ける構造を提案したが、その後の検討で判明したこ
とは、精度よく加工できる絶縁材料が得ずらい点であ
る。
以上の問題点を解決する方法として、本発明がなされ
た。
た。
本発明は、複数の電極を対称に配置し、交互に正負の電
圧を印加して、前記複数の電極に囲まれた入出射口から
荷電粒子ビームを真空中で収束又は拡散させる多重極レ
ンズにおいて、前記の各電極は円筒状であり絶縁シート
を介して金属製の円筒の内壁に金属製円筒軸方向に加工
された複数の円弧状の凹部に配置され、この配置はそれ
ぞれの電極が金属製円筒の中心軸に対して対称性を保つ
てなされ、前記金属製円筒の外壁から取付ねじが絶縁体
を介して貫通し前記電極を取付けていることを特徴とす
る。
圧を印加して、前記複数の電極に囲まれた入出射口から
荷電粒子ビームを真空中で収束又は拡散させる多重極レ
ンズにおいて、前記の各電極は円筒状であり絶縁シート
を介して金属製の円筒の内壁に金属製円筒軸方向に加工
された複数の円弧状の凹部に配置され、この配置はそれ
ぞれの電極が金属製円筒の中心軸に対して対称性を保つ
てなされ、前記金属製円筒の外壁から取付ねじが絶縁体
を介して貫通し前記電極を取付けていることを特徴とす
る。
本発明は、加工精度のよい金属円筒を採用し、円筒電極
との絶縁は絶縁シートを用いる。絶縁シート(例えばマ
イラーシート)の厚みの均一性は十分信頼できるので、
金属円筒の凹部の加工精度がよければ、十分な取付精度
が得られる。
との絶縁は絶縁シートを用いる。絶縁シート(例えばマ
イラーシート)の厚みの均一性は十分信頼できるので、
金属円筒の凹部の加工精度がよければ、十分な取付精度
が得られる。
各円筒電極は、全体を金属円筒で囲まれているので真空
排気口からのオイルの飛散にも保護され、表面が汚れる
可能性も少ない。
排気口からのオイルの飛散にも保護され、表面が汚れる
可能性も少ない。
複数の電極は、円筒の内壁に軸方向に加工された複数の
円弧状の凹部に配置され、この金属製円筒の外壁から絶
縁体を介して貫通する取付ねじにより取付けられている
ので、金属製円筒の中心軸に対する回転方向のねじれに
強い。
円弧状の凹部に配置され、この金属製円筒の外壁から絶
縁体を介して貫通する取付ねじにより取付けられている
ので、金属製円筒の中心軸に対する回転方向のねじれに
強い。
本発明の一実施例を第1図及び第2図により説明する。
電極2は4本であり、各電極2は円筒状をなして左右上
下対称に配置されている。この配置は、金属製の円筒1
1の内壁に加工された複数の凹部12内に対しておこな
われる。この複数の凹部12は、金属製円筒11の軸方
向に加工され、それぞれ円弧状の断面を有する。このよ
うに配置された電極2に対し、前記金属製円筒11の外
壁から取付ねじ6が絶縁体である絶縁碍子13を介して
貫通し、取付ねじ6の先端にこの電極を係止し、取付け
ている。このとき取付ねじ6は、金属製円筒11と電極
2との間に存在する絶縁シート14をも貫通する。
電極2は4本であり、各電極2は円筒状をなして左右上
下対称に配置されている。この配置は、金属製の円筒1
1の内壁に加工された複数の凹部12内に対しておこな
われる。この複数の凹部12は、金属製円筒11の軸方
向に加工され、それぞれ円弧状の断面を有する。このよ
うに配置された電極2に対し、前記金属製円筒11の外
壁から取付ねじ6が絶縁体である絶縁碍子13を介して
貫通し、取付ねじ6の先端にこの電極を係止し、取付け
ている。このとき取付ねじ6は、金属製円筒11と電極
2との間に存在する絶縁シート14をも貫通する。
また、金属製円筒11の両端には多孔シールド電極3が
設けられている。この多孔シールド電極3には、従来の
入出射孔7のほかに排気用の孔15が多数設けられてい
る。この排気用の孔15は真空容器1内を真空にする際
に、空気の排気効率をよくするためのものである。
設けられている。この多孔シールド電極3には、従来の
入出射孔7のほかに排気用の孔15が多数設けられてい
る。この排気用の孔15は真空容器1内を真空にする際
に、空気の排気効率をよくするためのものである。
なお前記絶縁シート14の幅方向の大きさは、円筒状の
電極2と凹部12の接触面積の幅よりもわずかに大きく
しておけば、イオンビームが通る金属製円筒11の軸方
向からは、この絶縁シート14は見えずにすむので、荷
電粒子が散乱しチヤージアツプすることはない。電極2
を円筒状とすることにより、金属円筒11の中心軸方向
から見た排気コンダクタンスをよくすることができると
ともに、電極2を軽量化し、したがつて取付精度も向上
させることができる。
電極2と凹部12の接触面積の幅よりもわずかに大きく
しておけば、イオンビームが通る金属製円筒11の軸方
向からは、この絶縁シート14は見えずにすむので、荷
電粒子が散乱しチヤージアツプすることはない。電極2
を円筒状とすることにより、金属円筒11の中心軸方向
から見た排気コンダクタンスをよくすることができると
ともに、電極2を軽量化し、したがつて取付精度も向上
させることができる。
本発明の多重極レンズによれば、内部に電極を取付ける
円筒を金属円筒としたので加工精度を向上させることが
できる。また、電極は、金属円筒の内壁に加工された凹
部に配置されるので、電極のねじれに対する取付精度を
向上させることができる。
円筒を金属円筒としたので加工精度を向上させることが
できる。また、電極は、金属円筒の内壁に加工された凹
部に配置されるので、電極のねじれに対する取付精度を
向上させることができる。
また、電極を円筒状にすることにより排気コンダクタン
スを向上することができる。
スを向上することができる。
第1図は本発明の一実施例を示す横断面図、第2図は第
1図の縦断面図、第3A図は第1従来例を示す縦断面
図、第3B図は第3A図のB−B断面図、第4A図は第
2従来例の縦断面図、第4B図は第4A図のB−B断面
図である。 1……真空容器、2……電極、3……シールド電極、4
……絶縁物、5……真空排気口、6……取付ねじ、7…
…入出射口、8……絶縁スペーサ、11……金属製円
筒、12……凹部、13……絶縁碍子、14……絶縁シ
ート。
1図の縦断面図、第3A図は第1従来例を示す縦断面
図、第3B図は第3A図のB−B断面図、第4A図は第
2従来例の縦断面図、第4B図は第4A図のB−B断面
図である。 1……真空容器、2……電極、3……シールド電極、4
……絶縁物、5……真空排気口、6……取付ねじ、7…
…入出射口、8……絶縁スペーサ、11……金属製円
筒、12……凹部、13……絶縁碍子、14……絶縁シ
ート。
Claims (1)
- 【請求項1】複数の電極を対称に配置し、交互に正負の
電圧を印加して、前記複数の電極に囲まれた入出射口か
ら荷電粒子ビームを真空中で収束又は発散させる多重極
レンズにおいて、 前記の各電極は円筒状であり絶縁シートを介して金属製
円筒の内壁に金属製円筒軸方向に加工された複数の円弧
状の凹部に配置され、この配置はそれぞれの電極が金属
製円筒の中心軸に対して対称性を保ってなされ、前記金
属製円筒の外壁から取付ねじが絶縁体を介して貫通し前
記電極を取付けている多重極レンズ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62293399A JPH0624105B2 (ja) | 1987-11-20 | 1987-11-20 | 多重極レンズ |
US07/267,310 US4870283A (en) | 1987-11-20 | 1988-11-04 | Electric multipole lens |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62293399A JPH0624105B2 (ja) | 1987-11-20 | 1987-11-20 | 多重極レンズ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01134844A JPH01134844A (ja) | 1989-05-26 |
JPH0624105B2 true JPH0624105B2 (ja) | 1994-03-30 |
Family
ID=17794263
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62293399A Expired - Lifetime JPH0624105B2 (ja) | 1987-11-20 | 1987-11-20 | 多重極レンズ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4870283A (ja) |
JP (1) | JPH0624105B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4990777A (en) * | 1990-03-02 | 1991-02-05 | Finnigan Corporation | Rod assembly for multipole mass spectrometers |
US5412207A (en) * | 1993-10-07 | 1995-05-02 | Marquette Electronics, Inc. | Method and apparatus for analyzing a gas sample |
JPH09139184A (ja) * | 1995-11-15 | 1997-05-27 | Nikon Corp | 静電偏向器の製造方法 |
US5869838A (en) * | 1996-09-11 | 1999-02-09 | Advanced Lithography Group | Field composable electrostatic lens system |
US6040573A (en) * | 1997-09-25 | 2000-03-21 | Indiana University Advanced Research & Technology Institute Inc. | Electric field generation for charged particle analyzers |
JP4581184B2 (ja) * | 2000-06-07 | 2010-11-17 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
US6528798B1 (en) * | 2000-11-21 | 2003-03-04 | Schlumberger Technologies Inc. | Technique for manufacturing an electrostatic element for steering a charged particle beam |
US6936815B2 (en) * | 2003-06-05 | 2005-08-30 | Thermo Finnigan Llc | Integrated shield in multipole rod assemblies for mass spectrometers |
US7621330B1 (en) | 2008-05-07 | 2009-11-24 | Halliburton Energy Services, Inc. | Methods of using a lower-quality water for use as some of the water in the forming and delivering of a treatment fluid into a wellbore |
US20100276063A1 (en) * | 2009-05-02 | 2010-11-04 | Henry Hoang Xuan Bui | Methods of manufacturing quadrupole mass filters |
US8173976B2 (en) * | 2009-07-24 | 2012-05-08 | Agilent Technologies, Inc. | Linear ion processing apparatus with improved mechanical isolation and assembly |
GB201720884D0 (en) | 2017-12-15 | 2018-01-31 | Shimadzu Corp | Multipole device and manufacturing method |
WO2019155544A1 (ja) * | 2018-02-07 | 2019-08-15 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
WO2019155542A1 (ja) * | 2018-02-07 | 2019-08-15 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3410997A (en) * | 1964-09-08 | 1968-11-12 | Bell & Howell Co | Multipole mass filter |
US4032782A (en) * | 1976-06-04 | 1977-06-28 | Finnigan Corporation | Temperature stable multipole mass filter and method therefor |
-
1987
- 1987-11-20 JP JP62293399A patent/JPH0624105B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-11-04 US US07/267,310 patent/US4870283A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4870283A (en) | 1989-09-26 |
JPH01134844A (ja) | 1989-05-26 |
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