JP3542918B2 - イオンガイド - Google Patents
イオンガイド Download PDFInfo
- Publication number
- JP3542918B2 JP3542918B2 JP07173199A JP7173199A JP3542918B2 JP 3542918 B2 JP3542918 B2 JP 3542918B2 JP 07173199 A JP07173199 A JP 07173199A JP 7173199 A JP7173199 A JP 7173199A JP 3542918 B2 JP3542918 B2 JP 3542918B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion guide
- rod
- rods
- bent
- pole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、イオンガイドに関し、特に、質量分析に不要な中性粒子が質量分析系に入るのを防止することのできるイオンガイドに関する。
【0002】
【従来の技術】
大気圧下で発生したイオンをイオンガイドを用いて高真空領域に導入する方法は、質量分析法の一技術として広く知られている。図1は、従来のイオンガイドの構成を示したものである。図中1は、2つのオリフィス2及び3によって囲まれた差動排気室であり、ロータリーポンプ(RP)4によって数Torr程度に真空引きされている。
【0003】
また、5は拡散ポンプ(DP)6によって10−2Torr程度の低真空に真空引きされた第1中間室、7はDP8によって10−5Torr程度の中真空に真空引きされた第2中間室、9はDP10によって10−7Torr程度の高真空に真空引きされた分析部である。湾曲した4本のロッドから成るQポールイオンガイド11は、オリフィス3の近傍から分析部9の入口付近にかけて橋渡しするように設置されていて、Qポールイオンガイド11の対向するロッドには、A−A断面図に示すように、高周波電源12からの高周波電圧が同位相で印加されている。
【0004】
尚、ここで図1に示したQポールイオンガイドは、図を簡単にする目的で、Qポールイオンガイドを構成している4本のロッドの内、上下方向に重なった2本を省略し、横方向に並んだ2本のみで代表させて描いてある。
【0005】
オリフィス2から差動排気室1に導入されたイオンは、オリフィス3を介してQポールイオンガイド11の入口部に到達し、高周波電圧によってイオンガイド内に発生する電磁界によって振動を与えられながら、第1中間室5及び第2中間室7を経由して分析部9の入口部まで、湾曲したQポールイオンガイド11内をイオン輸送される。
【0006】
このとき、質量分析にとって不要な中性粒子は、イオンガイド内に発生する高周波電磁界の変動に対して全く応答しないため、イオンと共に輸送される途中で、湾曲したイオンガイドの外部に向けて排除され、分析部9の入口部まで到達することはできない。こうして、Qポールイオンガイド11を図のようになだらかに湾曲させることにより、中性粒子が分析部9に入るのを防止し、分析部9の汚染を少なくする構成になっている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような構成において、Qポールイオンガイド11は、通常4本のロッドの組み合わせであり、各ロッドの湾曲精度を同一に保つことがむつかしいという問題があった。また、各ロッド間のギャップを一定に保ってQポールイオンガイド11を組み立てる場合、組み立て方法がむつかしく、各ロッド間のギャップ精度を維持することができないという問題があった。
【0008】
本発明の目的は、上述した点に鑑み、イオンガイドの各ロッドの湾曲精度を気にする必要がなく、しかも、各ロッド間のギャップを所定の値に保って組み立てることのできるイオンガイドを提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、本発明にかかるイオンガイドは、4本以上の偶数本の折れ曲がった形状を有するロッドをイオン通路の周囲に配置することにより、屈曲したイオン通路を形成したイオンガイドであって、各ロッドの折れ曲がり部は、ロッドに設けられた切れ込み部分で折り曲げられて成ることを特徴としている。
【0010】
また、前記各ロッドは、各ロッドの直線部分において、ホルダーによって一体的に固定されていることを特徴としている。
【0011】
また、前記ホルダーは、絶縁物で作られていることを特徴としている。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。図2は、本発明にかかるQポールイオンガイドの一実施例を表わしたものである。図中(a)は、Qポールイオンガイドを構成するロッドの原形態、(b)は、該ロッドを用いてQポールイオンガイドを組み上げたときの全体構成、(c)は、Qポールイオンガイドのホルダー付近の断面図を示す。
【0013】
このうち、図2(b)は、図を簡単にする目的で、Qポールイオンガイドを構成する4本のロッドの内、上下に重なっている2本を省略すると共に、残りの2本のロッドを含む平面で切った断面図として描いてある。
【0014】
図2(a)及び(b)から明らかなように、本実施例では、ロッドをなだらかに湾曲させるのではなく、折れ線状に屈曲させることによって、電荷を持たない中性粒子をイオンガイドの内部から外部へと排除させる。イオンガイドを屈曲させる方法は、図2(a)にあるように、まずQポールを構成する各ロッド13に1か所だけ深い切れ込み14を入れて、その部分を用いて折り曲げるようにする。A−A断面図は、この切れ込み部14のロッドの断面を示したものである。
【0015】
切れ込み部14で折り曲げられた4本のロッド13は、図2(b)にあるように、切れ込み部14をイオンガイドの外側に向けて、絶縁物、例えば碍子でできた4個のホルダー15を用いてネジ止めされ、一体的に固定される。固定の際に、折り曲げ部分をある程度自由に動かすことができるので、極めて容易に折れ線状のQポールの形を組み立てることができる。
【0016】
この場合、ロッド13の切れ込み部14はイオンガイドの外側に向けられているが、これはイオンガイドのイオン通路側に高周波電場の歪みを与えないための配慮である。ただし、仮にロッド13の切れ込み部14をイオンガイドの内側に向けて組み立てたとしても、イオンガイド内の高周波電場に生じる歪みは小さく、実際上の悪影響は少ない。
【0017】
また、図2(c)は、ホルダー15の部分で切ったQポールイオンガイドのB−B断面図を示している。図から明らかなように、4本のロッド13は等間隔を保ちながら対向配置され、円環状のホルダー15の内側に彫られた凹部16に嵌め込まれて、止めネジ17によりネジ止め固定されて組み立てられている。この組み立て精度には再現性があるため、Qポールイオンガイドを洗浄するために分解する場合でも、必ず元通りに組み立て直すことができ、イオンガイドとしての所定の性能を容易に出すことができる。
【0018】
尚、本実施例では、Qポール(4本)のイオンガイドを対象としているが、本発明は必ずしもQポールに限定されるものではなく、ヘクサポール(6本)やオクタポール(8本)のイオンガイドにも応用することが可能である。
【0019】
また、本実施例では、ロッドの1か所に切れ込みを入れて折れ線状に屈曲させたイオンガイドを示したが、ロッドの切れ込みはただ1か所に限定されるものではなく、図3に示すごとく、ロッドの2か所に切れ込みを入れて、2か所を屈曲させたタイプのものであっても良く、あるいは、図示しないが3か所以上を屈曲させたタイプのものであっても良い。
【0020】
また、本実施例では、ロッド1セットにつき、絶縁物製のホルダー4個を用いて固定するように条件を設定したが、図4のように、ホルダーの幅を大きくして、使用するホルダーの個数を少なくすることも可能である。
【0021】
【発明の効果】
以上述べたごとく、本発明のイオンガイドによれば、イオンガイドのロッドの折り曲げ位置に相当する部分に切れ込みを入れて、この部分のみをある程度の精度で折り曲げると共に、この折り曲げたロッドを複数本集めて、絶縁物製のホルダーで一体的に固定するようにしたので、ロッド間のギャップが精度良く組み上がり、イオンガイドとしての品質を容易に維持することができる。
【0022】
また、イオンガイドを洗浄するためにロッドを分解する場合でも、ロッドの組み立て精度に再現性があるため、必ず元通りに組み立て直すことができ、イオンガイドとしての所定の性能を容易に出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のイオンガイドを示す図である。
【図2】本発明にかかるイオンガイドの一実施例を示す図である。
【図3】本発明にかかるイオンガイドの一実施例を示す図である。
【図4】本発明にかかるイオンガイドの一実施例を示す図である。
【符号の説明】
1・・・差動排気室、2・・・オリフィス、3・・・オリフィス、4・・・ロータリーポンプ、5・・・第1中間室、6・・・拡散ポンプ、7・・・第2中間室、8・・・拡散ポンプ、9・・・分析部、10・・・拡散ポンプ、11・・・Qポールイオンガイド、12・・・高周波電源、13・・・ロッド、14・・・切れ込み、15・・・ホルダー、16・・・凹部、17・・・止めネジ。
Claims (3)
- 4本以上の偶数本の折れ曲がった形状を有するロッドをイオン通路の周囲に配置することにより、屈曲したイオン通路を形成したイオンガイドであって、各ロッドの折れ曲がり部は、ロッドに設けられた切れ込み部分で折り曲げられて成ることを特徴とするイオンガイド。
- 前記各ロッドは、各ロッドの直線部分において、ホルダーによって一体的に固定されていることを特徴とする請求項1記載のイオンガイド。
- 前記ホルダーは、絶縁物で作られていることを特徴とする請求項2記載のイオンガイド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07173199A JP3542918B2 (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | イオンガイド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07173199A JP3542918B2 (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | イオンガイド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000268770A JP2000268770A (ja) | 2000-09-29 |
JP3542918B2 true JP3542918B2 (ja) | 2004-07-14 |
Family
ID=13468972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP07173199A Expired - Fee Related JP3542918B2 (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | イオンガイド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3542918B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013136509A1 (ja) | 2012-03-16 | 2013-09-19 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置及びイオンガイドの駆動方法 |
US9589781B2 (en) | 2010-12-17 | 2017-03-07 | Shimadzu Corporation | Ion guide and mass spectrometer |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8507850B2 (en) * | 2007-05-31 | 2013-08-13 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Multipole ion guide interface for reduced background noise in mass spectrometry |
US7923681B2 (en) * | 2007-09-19 | 2011-04-12 | Dh Technologies Pte. Ltd. | Collision cell for mass spectrometer |
US9236235B2 (en) | 2008-05-30 | 2016-01-12 | Agilent Technologies, Inc. | Curved ion guide and related methods |
JP2010123561A (ja) * | 2008-11-24 | 2010-06-03 | Varian Inc | 曲線状イオンガイドおよび関連方法 |
-
1999
- 1999-03-17 JP JP07173199A patent/JP3542918B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9589781B2 (en) | 2010-12-17 | 2017-03-07 | Shimadzu Corporation | Ion guide and mass spectrometer |
WO2013136509A1 (ja) | 2012-03-16 | 2013-09-19 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置及びイオンガイドの駆動方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000268770A (ja) | 2000-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5465480A (en) | Method of manufacturing a gating grid | |
CN104517798B (zh) | 用于组合的线性离子阱和四极滤质器的方法和装置 | |
JP5667569B2 (ja) | 4極質量フィルタとして動作可能な二次元半径方向放出イオントラップ | |
US7781728B2 (en) | Ion transport device and modes of operation thereof | |
US7339166B2 (en) | Interface and process for enhanced transmission of non-circular ion beams between stages at unequal pressure | |
US6441370B1 (en) | Linear multipole rod assembly for mass spectrometers | |
US7491932B2 (en) | Multipole ion guide having longitudinally rounded electrodes | |
JP2012525672A (ja) | イオン分析装置及びその使用方法 | |
JPH10188879A (ja) | プラズマ質量スペクトロメータ | |
JP5675099B2 (ja) | イオンソース | |
US8859960B2 (en) | Method for transmitting ions and carrier gas between mutually facing curved electrodes | |
JP3542918B2 (ja) | イオンガイド | |
US6525314B1 (en) | Compact high-performance mass spectrometer | |
JP2001351563A (ja) | 質量分析装置 | |
US8258470B2 (en) | Radio frequency lens for introducing ions into a quadrupole mass analyzer | |
US4329582A (en) | Tandem mass spectrometer with synchronized RF fields | |
JPH0624105B2 (ja) | 多重極レンズ | |
US5291016A (en) | Electrostatic lens arrangement of multi-stages of multi-pole electrodes and mass spectrometer using the same | |
US9818592B2 (en) | Ion guide or filters with selected gas conductance | |
US11728153B2 (en) | Collision cell with enhanced ion beam focusing and transmission | |
US7470900B2 (en) | Compensating for field imperfections in linear ion processing apparatus | |
EP2822021B1 (en) | Reduction of cross-talk between RF components in a mass spectrometer | |
JP3395458B2 (ja) | Ms/ms型四重極質量分析装置 | |
JP7251585B2 (ja) | イオンガイド装置及びイオンガイド方法 | |
CA1134956A (en) | Tandem mass spectrometer with open structure ac-only rod sections, and method of operating a mass spectrometer system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040323 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040402 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080409 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090409 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090409 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100409 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110409 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110409 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120409 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130409 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130409 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140409 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |